JP5338449B2 - アクチュエータおよび光学装置 - Google Patents
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Description
2…レーザダイオード
3…調芯レンズ(光学部材)
6…アクチュエータ
7…駆動回路
9…パワーモニタ(モニタ手段)
10…制御回路(制御手段)
11…圧電素子(電気機械変換素子)
12…駆動軸
13…移動体
14…拘束部材
15…パルス発生器(交流駆動電圧発生源)
16…AD変換器(直流駆動電圧発生源)
17…加算器(重畳手段)
Claims (7)
- 印加された電圧に応じて機械的変位を生じる電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の機械的変位によって軸方向に変位させられるとともに傾斜させられる駆動軸と、
前記駆動軸に摩擦係合する移動体と、
前記電気機械変換素子に、前記移動体が前記駆動軸に対して滑り変位するように前記駆動軸を軸方向に振動させる交流駆動電圧と、前記移動体が前記駆動軸に対して滑り変位しない低い変化率で前記駆動軸を所望の角度に傾斜させる電圧まで変化可能な直流駆動電圧とを重畳して印加する駆動回路とを有することを特徴とするアクチュエータ。 - 前記電気機械変換素子は、圧電素子であって、
前記圧電素子の寸法変位を部分的に拘束する拘束部材をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記アクチュエータは、請求項1または2に記載のアクチュエータによって光学部材を極座標系の偏角および動径について位置決めすることを特徴とする光学装置。
- 前記光学部材の芯ずれ量に応じて出力が低下するモニタ手段と、
前記アクチュエータの動径と偏角とを、交互に、微少量だけ前後に駆動するウォブリングによる前記モニタ手段の出力変化に基づいて、前記モニタ手段の出力を最大化させるように前記アクチュエータの駆動を制御する制御手段とをさらに有し、
前記動径のウォブリング時間と、前記偏角のウォブリング時間とが等しいことを特徴とする請求項3に記載の光学装置。 - 極座標系の動径および偏角を変化させられる1つのアクチュエータによって光学部材を位置決めする光学装置であり、
前記アクチュエータは、直流駆動電圧を電気機械変換素子に印加することによって偏角位置を変化させ、交流駆動電圧を前記電気機械変換素子に印加することによって動径位置を変化させることを特徴とする光学装置。 - 前記アクチュエータは、前記電気機械変換素子によって軸方向に振動する駆動軸と、前記駆動軸に対して滑り変位する移動体とを含むことを特徴とする請求項5に記載の光学装置。
- 前記光学部材の芯ずれ量に応じて出力が低下するモニタ手段と、
前記アクチュエータの動径と偏角とを、交互に、微少量だけ前後に駆動するウォブリングによる前記モニタ手段の出力変化に基づいて、前記モニタ手段の出力を最大化させるように前記アクチュエータの駆動を制御する制御手段とをさらに有し、
前記動径のウォブリング時間と、前記偏角のウォブリング時間とが等しいことを特徴とする請求項5又は6に記載の光学装置。
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