JP5323342B2 - 半導体ウエハの研磨方法 - Google Patents
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研磨液Aのメタル含有量、平均粒径、シリカ濃度及びpHといった物性値を、表1に示す。
フィルター(メタル選択吸着物質が表面に固定化された繊維から構成されたフィルター:野村マイクロ・サイエンス株式会社製のフィルターMetolate(商標))空隙容量10Lに、表1に示した研磨液Aを、流量を変えて通した場合におけるフィルター内部滞留時間と、フィルトレーション(ろ過)後の研磨液Bのメタル含有量をそれぞれ測定した。その結果を表2に示す。
また、表2に示した研磨液Bのフィルター内部滞留時間1分処理品の放置経過時間とメタル含有量の関係を検証した。その結果を表3に示す。
更に、研磨液Aおよび研磨液B(フィルトレーション(ろ過)を実施して24時間以内のもの)を用いて、300mm直径シリコンウエハの両面を各10μm研磨し、ウエハ内部に浸透したメタル量(バルクメタル量と称す)を評価した。その結果を表4に示す。
次に、研磨液Bを用いて、300mm直径シリコンウエハの両面を各10μm研磨する工程を繰り返した時に発生する研磨液の処理量と研磨液中のメタル含有量との関係を検証した。その結果を表5に示す。
また、研磨液Aを、プレフィルター(1)(メタルイオンや分散剤として良く用いられるアニオンを吸着し難く、高分子量炭化水素を吸着し易い物質を表面に固定化した繊維から構成されたフィルター(同じく、野村マイクロ・サイエンス株式会社製))でフィルトレーション(ろ過)後、更にフィルター(メタル選択吸着物質が表面に固定化された繊維から構成されたフィルター:野村マイクロ・サイエンス株式会社製のフィルターMetolate(商標))でフィルトレーション(ろ過)した研磨液C(フィルター内部滞留時間1分、フィルトレーション(ろ過)を実施して24時間以内のもの)を用いて、300mm直径シリコンウエハの両面を各10μm研磨する工程を繰り返した時に発生する研磨液の処理量と研磨液中のメタル含有量との関係を検証した。尚、プレフィルター(1)及びフィルターの滞留時間を1分とした。その結果を表6に示す。
更に、研磨液Aを、プレフィルター(2)(研磨液中に含有される大粒径凝集粒子やダストを除去する開口径より大きなものを引っ掛ける物理的作用を主とする繊維から構成されたフィルター:ポリプロピレン繊維製の平均開口径10μmのフィルター)でフィルトレーション(ろ過)後、更にフィルター(メタル選択吸着物質が表面に固定化された繊維から構成されたフィルター:野村マイクロ・サイエンス株式会社製のフィルターMetolate(商標))でフィルトレーション(ろ過)した研磨液D(フィルトレーション(ろ過)を実施して24時間以内のもの)を用いて、300mm直径シリコンウエハの両面を各10μm研磨し、研磨洗浄後のウエハ表面を、KLA−Tencor社製SP1で評価した。尚、プレフィルター(1)の滞留時間は、0.5分及びフィルターの滞留時間を1分とした。
Claims (9)
- 半導体ウエハの表面を、研磨液を用いて研磨する半導体ウエハの研磨方法であって、
前記研磨液を、メタル選択吸着性物質が表面に固定化された繊維から構成されたフィルターに、1〜30分滞留させる処理を行った後、0.5〜24時間の内に前記処理後の研磨液を用いて半導体ウエハの表面を研磨する半導体ウエハの研磨方法。 - 前記半導体ウエハが、シリコンである請求項1に記載の半導体ウエハの研磨方法。
- 前記メタルが、遷移金属及び/又は重金属である請求項1又は2に記載の半導体ウエハの研磨方法。
- 前記メタルが、銅、ニッケル、マグネシウム、亜鉛、クロム、銀、鉛である請求項3に記載の半導体ウエハの研磨方法。
- 前記処理後の研磨液中のメタルの含有量が、銅が、1〜30ppb、ニッケルが、1〜30ppb、マグネシウムが、1〜100ppb、亜鉛が、1〜100ppb、クロムが、1〜100ppb、銀が、1〜100ppb、鉛が、1〜100ppbである請求項1又は2に記載の半導体ウエハの研磨方法。
- 前記フィルターにプレフィルターが前置され、且つ前記プレフィルターが、研磨粒子に作用するイオン性分散剤、及び/又は半導体ウエハに吸着して作用するイオン性添加剤以外の選択吸着性物質が表面に固定化された繊維から構成されたものである請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体ウエハの研磨方法。
- 前記イオン性添加剤以外の選択吸着性物質が、防腐剤である請求項5に記載の半導体ウエハの研磨方法。
- 前記フィルターにプレフィルターが前置され、且つ前記プレフィルターが、研磨液中に含有される大粒径凝集粒子やダストを除去する開口径より大きなものを引っ掛ける物理的作用を主とする繊維から構成されたものである請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体ウエハの研磨方法。
- 複数の研磨機に研磨液を供給するタンクに研磨液を補充する際に、メタル選択吸着性物質が表面に固定化された繊維から構成されたフィルターに研磨液を通過させる請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体ウエハの研磨方法。
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