JP5316004B2 - 冷却装置 - Google Patents

Description

本発明は、冷却装置に関し、詳細には、蓋体と本体との剥離抑制技術に関する。

例えば、電子パワーモジュール等で発生する熱を冷却するための冷却装置として、流路内に流体を流し熱を奪って冷却する流体冷却式の冷却装置が提案されている（例えば、特許文献１に記載）。

この冷却装置は、複数のリブを有したヒートシンクと、このヒートシンクに固定されるバックプレートにより構成され、バックプレートに形成した溝内に一部のリブを挿入し、それらの間に接着剤を塗布してヒートシンクにバックプレートを接合させた構造としている。

特開２００７−５９８８３号公報

しかし、特許文献１に記載の技術では、発熱体である半導体素子の発熱及び流体が流れる流路内の陽圧により、ヒートシンクが反り、該ヒートシンクとバックプレートが剥離することが考えられる。

そこで、本発明は、発熱部品の発熱及び流路内の陽圧によって本体と蓋体とが剥離し難い信頼性に優れた冷却装置を提供する。

本発明の冷却装置では、本体に形成された流路の中に設けられた仕切り部のうち、蓋体と対向する面に円柱形状の突起部を形成する。この一方、蓋体には、突起部を接着剤と共に嵌合させる凹部を形成する。そして、前記突起部の外周面には、径方向に突出し且つ周方向に延在する突部を形成する。また、突起部を、仕切り部の延在方向に沿って複数設け、これら複数の突起部のうち本体の略中央に設けられた突起部を、他の突起部よりもその突起高さを高くする。

本発明の冷却装置によれば、本体に設けた円柱形状の突起部と蓋体に設けた凹部とを接着剤と共に嵌合させて本体と蓋体を結合させているので、接着剤の剪断接着力により本体と蓋体とを強固に接合できる。

また、本発明の冷却装置によれば、突起部の外周面に径方向に突出し且つ周方向に延在する突部を形成したので、この突部が凹部内において前記突起部の偏りを抑制し、凹部内の接着剤を均等に配分する。このため、接着剤の偏りによる接着力の低下を抑制して、発熱部品の発熱及び流路内の陽圧による反りにより、本体と蓋体との剥離を抑制することができる。このように、本体の中央に設けた突起部をそれ以外の部位に設けた突起部よりも高くしているので、中央の突起部とこれを嵌合させる凹部では、それ以外の部位の突起部とこれを嵌合させる凹部での接着力よりも遙かに接合力が高まる。したがって、本発明によれば、剪断接着力を発揮できる接着剤の量が本体の端部よりも中央の方が高くなり、反りの量が多くなる中央部の反りを抑制し、本体と蓋体の剥離を防止することができる。

図１は実施形態１の冷却装置の断面図である。 図２は図１の冷却装置の蓋体を取り外した本体の斜視図である。 図３は図２の本体に形成した円柱形状の突起部を示す斜視図である。 図４（Ａ）は図１の突起部と凹部の嵌合状態を示す拡大断面図、図４（Ｂ）は図１の突起部と凹部の嵌合状態の他の例を示す拡大断面図である。 図５は実施形態２における冷却装置の本体に設けた突起部と蓋体に設けた凹部の嵌合状態を示す拡大断面図である。 図６は実施形態３の冷却装置の蓋体を取り外した本体の斜視図である。 図７は実施形態３の冷却装置における突起部と凹部の嵌合状態を示す要部拡大断面図である。 図８は実施形態４の冷却装置の本体に形成した突起部を三角柱とした例を示す斜視図である。 図９は実施形態４の冷却装置の本体に形成した突起部を六角柱とした例を示す斜視図である。 図１０は実施形態５の冷却装置の本体に形成した突起部を多角柱形状とし且つその外周面に突起の高さ方向に沿って溝を形成した例を示す斜視図である。 図１１は実施形態５の冷却装置の本体に形成した突起部を多角柱形状とし且つその外周面に突起の高さ方向に沿って溝を形成した他の例を示す斜視図である。 図１２は実施形態６の冷却装置の本体に形成した突起部を示す斜視図である。 図１３は図１２の突起部が凹部に嵌合した状態を示す断面図である。 図１４は実施形態７の冷却装置の本体に形成した突起部を示す斜視図である。 図１５は図１４の突起部が凹部に嵌合した状態を示す断面図である。 図１６は実施形態８の冷却装置の本体に形成した突起部を示す斜視図である。 図１７は図１６の突起部の拡大側面図である。

以下、本発明を適用した具体的な実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

「実施形態１」
図１は実施形態１の冷却装置の断面図、図２は図１の冷却装置の蓋体を取り外した本体の斜視図、図３は図２の本体に形成した円柱形状の突起部を示す斜視図、図４（Ａ）は図１の突起部と凹部の嵌合状態を示す拡大断面図、図４（Ｂ）は図１の突起部と凹部の嵌合状態の他の例を示す拡大断面図である。

実施形態１の冷却装置は、図１に示すように、発熱部品である半導体モジュール１から発生される熱を流路内を流通する冷媒と熱交換することによって、該半導体モジュール１を冷却する水冷式の冷却器である。この冷却装置は、冷媒が流れる流路２が形成された本体３と、流路２の開口側を覆うようにして本体３の一面３ａに固定される蓋体４と、を備えている。

前記本体３は、熱伝導性に優れた銅やアルミニウム等の金属からなり、半導体モジュール１で発生した熱を放熱させるヒートシンクとしても機能する。この本体３の一面３ａには、内部に冷媒を流通させる流路２が形成されている。かかる流路２は、図２に示すように、平面視略逆コ字状をなす溝として形成され、その内部に冷却水等の如き冷媒を流通させている。そして、この流路２内には、半導体モジュール１の冷却性能を向上させるためのフィン５が複数形成されている。フィン５は、流路２と同じく平面視略逆コ字状をなす厚みの薄い隔壁として形成されると共に、その大きさを異にしている。実施形態１では、流路２内に異なる大きさの３つのフィン５を設けている。流路２は、これらフィン５によって複数に分断される。

また、本体３には、冷媒の流れ方向を誘導する仕切り部６が設けられている。仕切り部６は、平面視略逆コ字状をなす流路２の中央に設けられている。かかる仕切り部６は、流路２の中央にその長手方向に沿って延在するように平面視略長方形をなす突条として形成されている。この仕切り部６は、流路２内を流れる冷媒の流れ方向を誘導する。

そして、この仕切り部６には、図３に示すように、円柱形状の突起部７が形成されている。かかる突起部７は、本体３の中心と対応する位置に仕切り部６の上面６ａから蓋体４に向かって突出するように円柱体として形成されている。この突起部７の外周面には、径方向に突出し且つ周方向に延在する突部８が形成されている。前記突部８は、前記突起部７の外周面に雄ねじの如く螺旋状に形成されている。

また、本体３には、蓋体４をボルト９にて該本体３に固定させるためのボルト取付け孔１０が形成されている。ボルト取付け孔１０は、矩形状をなす四隅と、長手方向の略中央にそれぞれ設けられている。これらボルト９は、流路２内を冷媒が循環することにより陽圧となって本体３から蓋体４を剥離する力以上の軸圧となるようにされている。陽圧とは、流路２内が膨らむ方向に加圧された状態のことを言う。

前記蓋体４は、本体３に形成された流路２を覆う蓋であり、前記ボルト９にて本体３に固定される。この蓋体４と本体３との接触面には、流路２内の冷媒漏れを防止するため、図示を省略するシールが介在される。また、蓋体４は、本体３と同様、熱伝導性に優れた銅やアルミニウム等の金属からなり、半導体モジュール１で発生した熱を放熱させるヒートシンクとしても機能する。半導体モジュール１は、例えば本体３の他面３ｂ（蓋体装着面とは反対側の面）に実装されるか、或いは蓋体４の一面４ａに実装される。図１では、半導体モジュール１を本体３の他面３ｂに実装させている。

蓋体４には、図４（Ａ）に示すように、突起部７を接着剤１１と共に嵌合させる凹部１２が形成されている。かかる凹部１２は、突起部７を嵌合させる円筒状をなす凹みとして形状とされている。この凹部１２の内面１２ａには、何ら突起や溝などが形成されていない。突起部７の最大外径部は、凹部１２の最小内径部よりも小さくされている。そのため、突起部７と凹部１２との間には、これらを接合するための接着剤１１が侵入する微細な隙間が設けられている。

図４（Ｂ）では、凹部１２の内面１２ａに雌ねじの如く螺旋状に形成された溝１３を形成している。突起部７の外周面に螺旋状に形成された突部８のピッチＰ１と、凹部１２の内面１２ａに螺旋状に形成された溝１３のピッチＰ２とを、同一ピッチまたは異なるピッチとしている。同一ピッチの場合に比べて異なるピッチの場合は、突起部７と凹部１２との隙間が多少広くなり、突起部７と凹部１２とを接合するための接着剤１１の充填量が増える。

前記本体３及び蓋体４は、何れもダイカスト方法又は鍛造加工により一体的に形成される。本体３は、流路２、フィン５及び突起部７も全て一体的に形成してもよく、或いは、突起部７のみ別部品としてもよい。突起部７を別部品とする場合は、アルミニウム合金、鋼材等を使用して機械加工又は押し出し成形したものを本体３に圧入、接着、ネジ締め等により締結する。蓋体４では、凹部１２も一体的に形成するか、或いは凹部１２のみ後加工するようにしてもよい。凹部１２を後加工するには、機械加工により丸孔とし、また、丸孔とした後に内面１２ａに溝１３を加工する。

以上のように構成された本体３に蓋体４を組み付けるには、凹部１２内に接着剤１１を塗布した後、本体３と蓋体４をシール材を間に介在させて上下方向から組み付ける。その際、本体３に設けられた突起部７の先端より接着剤１１が突起部７或いは凹部１２の側面に流動する。この時、突起部７の外周面に設けられた螺旋状の突部８間の螺旋溝内に接着剤１１が流れ込み、突起部７の先端から基端まで全体に均一に接着剤１１が介在することになる。接着剤１１は、例えばシリコーン系、エポキシ系、アクリル系等を使用する。また、接着剤１１の種類は、硬化特性、耐油熱性、接着力等を考慮して選択される。なお、本体３と蓋体４間の接触面に介在させたシールに使用する材料を、前記接着剤１１に代えて使用することもできる。

前記突起部７の外周面に形成された突部８と前記凹部１２の内面に形成された溝１３は、何れも突起部７の表面積（接着面積）及び凹部１２の表面面積（接着面積）を増大することから、これら突起部７と凹部１２間の接着力を増強させる。特に、図４（Ｂ）の場合は、図４（Ａ）に比べて、凹部１２の内面にも溝１３を形成しているため、凹部１２の表面積が増えた分、接着剤１１の量が増えて接着強度が高まる。

前記本体３と蓋体４を上下方向から組み付けた後は、ボルト取付け孔１０にボルト９を挿入して締結する。ボルト９を締めることで、本体３と蓋体４は、シール材を介して密着して固定される。このように組み立てられた冷却装置では、本体３の他面３ｂに実装された発熱部品である半導体モジュール１から発生される熱は、流路２内を流れる冷媒によって吸熱される。その結果、半導体モジュール１を冷却することができる。

実施形態１の冷却装置によれば、突起部７の外周面に設けた突部８又は凹部１２の内面に設けた溝１３により、製造上の部品公差により突起部７と凹部１２とが接して嵌合した場合でも、突起部７の突部８又は凹部１２の溝１３の突部のみ接触するため、接合面積を大幅に減らすことなく両者を嵌合させることができる。前記突部８又は溝１３が無いと、突起部７と凹部１２とが面接触し、これらの間に充填された接着剤１１が少なくり、突起部７と凹部１２間の接合強度が低下する。しかし、実施形態１では、突起部７と凹部１２間の接着剤１１の量が減少しないため、これらを強固に接合させることができる。その結果、接着剤が均等に配分されることになり、接着剤１１の偏りによる接着力の低下が抑制され、反りによる本体３と蓋体４との剥離を防止することができる。

特に、突起部７の突部８と凹部１２の溝１３を共に螺旋状に形成した場合は、接着剤１１が螺旋状に流れ、突起部７の外周面と凹部１２の内面に均等に介在することになる。したがって、突起部７の高さ方向に接着面積を増やさなくても確実に接着力を増すことができ、突起部高さを高くすることによる冷却装置の大型化を防止することができる。また、螺旋状の突部８或いは溝１３とすることで、機械加工で短時間にこれらを加工することができる。

また、実施形態１の冷却装置では、流路２内を冷媒が循環することにより陽圧となった際に生じる冷却装置の反りを、前記突起部７と凹部１２との接着力アップにより抑制することができる。

「実施形態２」
図５は実施形態２における冷却装置の本体に設けた突起部と蓋体に設けた凹部の嵌合状態を示す拡大断面図である。実施形態２では、実施形態１と異なる部位のみ説明し、それ以外の部位は同一の符号を付し説明は省略するものとする。

実施形態２では、突起部７の先端７ａを平坦面とした実施形態１とは異なり、突起部７の先端形状を円錐形状としている。言い換えれば、凹部１２の底部側へ向かって突出するように突起部７の先端部を円錐形状に尖らせている。

このような形状に突起部７の先端７ａを形成すれば、突起部７と凹部１２が部品公差により偏って嵌合した場合でも、凹部１２内に塗布した接着剤１１がその中央から円錐形状をなす先端７ａの傾斜面に沿って流動し、突起部７と凹部１２のそれぞれの表面に均等に接着剤１１が分布することになる。また、突起部７が凹部１２内に嵌合する際に、この突起部７の円錐形状をなす先端７ａで凹部１２内の接着剤１１を凹部１２の底から流動させ易くなる。これにより、本体３と蓋体４を嵌合する際の加圧力を軽減できる。

「実施形態３」
図６は実施形態３の冷却装置の蓋体を取り外した本体の斜視図、図７は実施形態３の突起部と凹部の嵌合状態を示す要部拡大断面図である。実施形態３では、実施形態１と異なる部位のみ説明し、それ以外の部位は同一の符号を付し説明は省略するものとする。

実施形態３では、突起部７を仕切り部６の延在方向に沿って複数設け、それら複数の突起部７のうち本体３の略中央に設けた突起部を、他の突起部よりもその突起高さを高くしている。この実施形態では、仕切り部６の延在方向に沿って３つの突起部７Ａ、７Ｂ、７Ｃを設けている。本体３の略中央に設けられた突起部７Ａは、その両側に設けられた突起部７Ｂ、７Ｃよりもその突起高さを高くしている。

冷却装置の流路２内が陽圧となった際に生じる本体３及び蓋体４の反りは、本体３の中央部に近い程大きくなる。冷却装置の中央が最も流路２内の陽圧により応力が集中し、端になる程中央部位よりも応力が小さくなる。そのため、本実施形態では、本体３の略中央に高さの高い突起部７Ａを設け、両端にこれよりも高さの低い突起部７Ｂ、７Ｃを設けている。これに伴い、蓋体４の略中央に深さの深い凹部１２Ａを設け、両端にこれよりも深さの浅い凹部１２Ｂ、１２Ｃを設けている。

このように、本体３の中央に設けた突起部７Ａをそれ以外の部位に設けた突起部７Ｂ、７Ｃよりも高くしているので、中央の突起部７Ａとこれを嵌合させる凹部１２Ａでは、それ以外の部位の突起部７Ｂ、７Ｃとこれを嵌合させる凹部１２Ｂ、１２Ｃでの接着力よりも遙かに接合力が高まる。したがって、本実施形態によれば、剪断接着力を発揮できる接着剤１１の量が本体３の端部よりも中央の方が高くなり、反りの量が多くなる中央部の反りを抑制し、本体３と蓋体４の剥離を防止することができる。また、冷却装置では、本体３の中央から離れる程反力が小さくなるため、突起部７Ｂ、７Ｃの高さが端では低くてもよいことから端部近傍に設けられるシール溝やボルト取付け孔１０の近傍部にも突起部７Ｂ、７Ｃを設けることができる。こうすることで、半導体モジュール１の搭載面の自由度を増やすことができる。つまり、突起部７Ａ〜７Ｃの位置に制限されずに、半導体モジュール１を搭載する位置が自由となる。

「実施形態４」
図８は実施形態４の冷却装置の本体に形成した突起部を三角柱とした例を示す斜視図、図９は実施形態４の冷却装置の本体に形成した突起部を六角柱とした例を示す斜視図である。実施形態３では、実施形態１と異なる部位のみ説明し、それ以外の部位は同一の符号を付し説明は省略するものとする。

実施形態４では、突起部７を円柱形状とした実施形態１とは異なり、仕切り部６の前記蓋体４と対向する面６ａに多角柱形状の突起部１４、１５を形成している。図８では、突起部１４を三角柱としている。図９では、突起部１５を六角柱としている。そのため、三角柱をなす突起部１４では、円柱の突起部７に対して３箇所の突出部１６を有する。一方、六角柱をなす突起部１５では、円柱の突起部７に対して６箇所の突出部１７を有する。なお、蓋体４に設けられた凹部１２は、実施形態１と同様、円筒形状をなす止まり穴として形成されている。

三角柱をなす突起部１４が円筒形状の凹部１２に接着剤１１と共に挿入された時に、これら突起部１４と凹部１２の製造上の部品公差により、突起部１４から張り出た突出部１６が凹部１２の内面に接触した状態で挿入嵌合しても、突起部１４と凹部１２との間には接着剤１１が押し出されることなく介在するスペースができる。そのため、突起部１４の凹部１２への偏り嵌合による接着剤１１の接着面積を低減することなく両者を嵌合することができる。したがって、突起部１４を突起高さ方向に大きくしなくてもよいので、小型化と機械加工のコスト低減が図れる。六角柱をなす突起部１５とした場合も三角柱をなす突起部１４とした場合と同様、接着剤１１の接着面積を低減することなく突起部１５と凹部１２を嵌合させることができる。

「実施形態５」
図１０は実施形態５の冷却装置の本体に形成した突起部を多角柱形状とし且つその外周面に突起の高さ方向に沿って溝を形成した例を示す斜視図、図１１は実施形態５の冷却装置の本体に形成した突起部を多角柱形状とし且つその外周面に突起の高さ方向に沿って溝を形成した他の例を示す斜視図である。実施形態５では、実施形態１と異なる部位のみ説明し、それ以外の部位は同一の符号を付し説明は省略するものとする。

図１０では、突起部１８を八角柱形状とし且つその各面に突起の高さ方向に沿って円弧状の溝１９を形成している。また、この突起部１８では、八角柱形状をなすことから８つの突出部２０を有している。図１１では、突起部２１を八角柱形状とし且つその各面に突起の高さ方向に沿って断面略コ字状の溝２１ａを形成すると共に８つの突起部２２を有している。

この実施形態５の突起部１８、２１では、実施形態４の突起部１４、１５と同様、その周面に突出部２０、２２を有しているので、円筒形状をなす凹部１２に偏って挿入嵌合しても、突起部１８、２１と凹部１２間との間には接着剤１１が押し出されることなく介在するスペースができる。特に、突起部１８、２１の高さ方向に溝１９、２１ａが形成されているため、その溝１９、２１ａ内に接着剤１１が溜まることになる。そのため、突起部１８、２１の凹部１２への偏り嵌合による接着剤１１の接着面積を低減することなく両者を嵌合することができる。したがって、突起部１８、２１を突起高さ方向に大きくしなくてもよいので、小型化と機械加工のコスト低減が図れる。

「実施形態６」
図１２は実施形態６の冷却装置の本体に形成した突起部を示す斜視図、図１３は図１２の突起部が凹部に嵌合した状態を示す断面図である。実施形態６では、実施形態１と異なる部位のみ説明し、それ以外の部位は同一の符号を付し説明は省略するものとする。

実施形態６では、仕切り部６の蓋体４と対向する面６ａに、該仕切り部６の延在方向に沿って突起部２５を延在して形成している。突起部２５は、仕切り部６の長手方向と同一方向に設けられ、この仕切り部６の上面６ａから蓋体４に向かって平面視長方形状をなす突条として突出形成されている。また、この突起部２５の長手方向両端側面からは、幅方向へ突出する突部２６が形成されている。この突部２６は、多少なりとも凹部に面接触する平坦面を有している。一方、蓋体４に形成される凹部２７は、前記突起部２５を嵌合させるに足る平面視略長方形状をなす凹みとして形成されている。この凹部２７の幅は、突起部２５の両端部に突設された突部２６を含む幅以上とされている。

実施形態６の冷却装置によれば、平面視長方形状をなす突起部２５を凹部２７に接着剤１１と共に挿入嵌合させた時に、これら突起部２５と凹部２７の製造上の部品公差により偏って嵌合した場合、前記突部２６が凹部２７の内面に接触する。これにより、突部２６以外の部位と凹部２７の内面との間に接着剤１１を介在させる隙間２８が形成される。この結果、突起部２５が凹部２７に偏って嵌合しても接着剤１１の充填量が減少することなく、突起部２５と凹部２７を接合することができる。したがって、突起部２５と凹部２７を共に高さ方向に大きくしなくても良いので、嵌合部における小型化を図ることができる。

「実施形態７」
図１４は実施形態７の冷却装置の本体に形成した突起部を示す斜視図、図１５は図１４の突起部が凹部に嵌合した状態を示す断面図である。実施形態７では、実施形態６と異なる部位のみ説明し、それ以外の部位は同一の符号を付し説明は省略するものとする。

この実施形態では、仕切り部６の延在方向に沿って突起部２９を延在して形成している点に関しては実施形態６と同一であるが、長手方向両端の幅方向へ突出する突部２６は形成されていない。その代わりに、突起部２９の延在方向における中央部２９ａを両端部２９ｂ、２９ｃよりもその突起高さを高くしている。この突起部２９を別の見方をすると、長手方向の両端部２９ｂ、２９ｃから中央に行くに従いその突起高さを徐々に高くなるようにしており、中央位置で最も高くされている。この一方、凹部３０は、底面が平らな平面視長方形をなす凹みとして形成されている。

前記凹部３０内に接着剤１１を塗布して突起部２９を嵌合させると、突起部２９の最も突出した中央部２９ａに押されて接着剤１１が両端部２９ｂ、２９ｃへと流れ込む。この時、突起部２９の両端部２９ｂ、２９ｃ程、凹部３０の底面との間に形成される隙間３１が大きくなることから、不要な接着剤１１が中央部２９ａから両端部２９ｂ、２９ｃに流れ込む。そのため、実施形態７では、接着剤１１が流路２内へ流出することによる冷却装置の冷却性能低下を抑制することができる。

「実施形態８」
図１６は実施形態８の冷却装置の本体に形成した突起部を示す斜視図、図１７は図１６の突起部の拡大側面図である。実施形態では、実施形態７と異なる部位のみ説明し、それ以外の部位は同一の符号を付し説明は省略するものとする。

この実施形態では、実施形態７と同様、突起部２９の延在方向における中央部２９ａを両端部２９ｂ、２９ｃよりもその突起高さを高くしており、更に、実施形態６と同様にその両端部に幅方向へ突出する突部２６を設けている。つまり、実施形態８の突起部２９は、実施形態７の突起部形状に加えて実施形態６の突部２６を設けた形状としている。したがって、この実施形態８の突起部２９によれば、実施形態６と実施形態７で奏される効果と同様の効果を得ることができる。

以上、上述の実施形態は、本発明の一例であり、本発明は、前記実施形態に制限されるものではない。

本発明は、電子パワーモジュール等で発生する熱を冷却するための冷却装置に利用することができる。

１…半導体モジュール（発熱部品）
２…流路
３…本体
４…蓋体
５…フィン
６…仕切り部
７、１４，１５，１８，２２…突起部
８…突部
１１…接着剤
１２…凹部
１３，１９，２１ａ…溝
１６，１７，２０，２１…突出部

Claims (4)

1. 一面に形成された溝内に冷媒が流れる流路と、該流路の中に設けられ、冷媒の流れ方向を誘導する仕切り部と、を有した本体と、前記流路の開口側を覆うようにして前記本体の一面に固定される蓋体と、を備え、前記本体の他面又は前記蓋体の一面に実装された発熱部品から放熱される熱を前記冷媒により冷却する冷却装置において、
   前記仕切り部の前記蓋体と対向する面に円柱形状の突起部を形成する一方で、前記蓋体に前記突起部を接着剤と共に嵌合させる凹部を形成し、
   前記突起部は、前記仕切り部の延在方向に沿って複数設けられ、これら複数の突起部のうち前記本体の中央に設けられた突起部を、他の突起部よりもその突起高さを高くしており、
   前記突起部の外周面に、径方向に突出し且つ周方向に延在する突部を形成した
   ことを特徴とする冷却装置。
2. 請求項１に記載の冷却装置であって、
   前記突部は、前記突起部の外周面に螺旋状に形成されている
   ことを特徴とする冷却装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の冷却装置であって、
   前記凹部の内面には、螺旋状の溝が形成されている
   ことを特徴とする冷却装置。
4. 請求項２を引用する請求項３に記載の冷却装置であって、
   前記突起部の外周面に螺旋状に形成された突部のピッチと、前記凹部の内面に螺旋状に形成された溝のピッチとを、同一ピッチまたは異なるピッチとした
   ことを特徴とする冷却装置。

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