JP5312313B2 - 黒色合成石英ガラス及びその製造方法 - Google Patents
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Description
即ち、本発明の黒色合成石英ガラスは、遠赤外域の放射率が0.8以上、200〜10000nmの光透過率が厚さ1mmで10%以下、金属不純物濃度の総和が1ppm以下、1280℃での粘度が1011.7ポアズ以上である黒色合成石英ガラスであって、1000ppm以上100000ppm以下の高炭素層と1ppm以上500ppm未満の低炭素層を、各々1〜500μmの厚さで交互に層状に形成してなり、かつ高炭素層を表面に表出させることにより、表面に電気伝導性を発現させてなることを特徴とする。
本発明の黒色合成石英ガラスは、表面に電気伝導性を有することが好適である。
本発明の黒色合成石英ガラスは、500ppm以上100000ppm以下の高炭素層と1ppm以上500ppm未満の低炭素層を、各々1〜500μmの厚さで交互に層状に形成してなることが好ましい。
前記気相反応の温度条件が100℃以上1200℃以下であり、前記焼成の温度条件が1200℃以上2000℃以下であることが好適である。
また、前記焼成時の圧力が大気圧に加えて0.05MPa以上1000MPa以下の範囲であることが好ましい。
上記放射率と透過率を達成する為に、含有される炭素の濃度は、30ppmを超え50000ppm以下、好ましくは100ppm以上50000ppm以下、であることが好適である。30ppm以下では、黒色度が低下し、50000ppmを超えると、気泡が多発生して工業的に使用に適さない。
また、含有される水酸基の濃度が10ppmを超えると、ガラス体の耐熱性が急低下し、合成石英ガラス並みとなってしまう為、水酸基の濃度を10ppm以下とすることが好適である。
ガラス表面に電気伝導性を発現させる方法としては、例えば、炭素濃度500ppm以上100000ppm以下、好ましくは1000ppm以上100000ppm以下の高炭素層と炭素濃度1ppm以上500ppm未満、好ましくは、1ppm以上100ppm以下の低炭素層を交互に積層させ、且つ高炭素層を表面に表出させることにより、表面に電気伝導性を発現させることができる。低炭素層及び高炭素層の厚さは各々1〜500μmであることが好ましい。
加熱焼成時の雰囲気は特に限定されず、例えば、不活性ガス、水素等の還元性ガス、酸素、塩素が挙げられるが、不活性ガスが好ましく、窒素、Ar又はこれらの混合ガス等がより好ましい。
前記焼成を加圧条件で行うことにより、炭素の残留量を効果的に増大することができ好適である。具体的には、前記焼成時の圧力が、大気圧に加えて0.05Mpa以上1000Mpa以下の範囲(即ち、圧力条件が0.15MPa以上1000.1MPa以下の範囲)であることが好ましく、大気圧に加えて0.1MPa以上100MPa以下がより好ましい。なお、本発明において、大気圧に対してさらに圧力を加えた条件を加圧条件と称し、大気圧に対して加えられた圧力値を加圧圧力と称する。
前記焼成の処理時間は、圧力及び温度条件等に応じて適宜選択すればよいが、具体的には、前記温度と圧力範囲内で10分〜500時間保持することが好ましく、30分〜100時間保持することがより好ましい。
状に堆積させて多孔質体を作る。この多孔質体を電気炉内に設けられた石英ガラス製の炉心管内にセットし、所定の温度まで昇温する。このとき多孔質体を反応温度近傍で一定時間保持することにより多孔質体に吸着している水分を除くことが好ましい。
Si−OH + [(CH3)3Si]2NH →
Si−N−[(CH3)3Si]2 + H2O ・・・(1)
テトラクロロシランの火炎加水分解によって、石英ガラス層を何重にも堆積させて得た、直径100mmの柱状をした石英ガラスの多孔質体約1kgを、電気炉内に装着された石英ガラス製の炉心管(直径200mm)内にセットした。次いで、炉心管内を排気した後、500℃に加熱し、この温度で60分間予熱した。その後、反応温度まで昇温し、多孔質体中の水酸基と反応ガスとしてヘキサメチルジシラザンガス蒸気をN2ガスで希釈しながら供給し、反応させた。加熱は、表1に示した反応温度にて、表示された反応時間の間その温度にて保持して行った。なお、N2ガスの流量は1mol/Hrである。反応終了後、処理された多孔質体を加熱炉内に移し、N2雰囲気中で、大気圧に加えて0.6MPaまで加圧し、表1の条件で、焼成して、緻密化された黒色合成石英ガラス体を得た。
得られた黒色合成石英ガラスについて、下記測定を行った。結果を図1及び表2に示す。
表面電気伝導性の測定は、20℃の温度条件で簡易的に上記断面表面に電気端子をおいて、1000Vの電圧を端子間にかけて、電気伝導の有無を検知した。
さらに1280℃に加熱してビームベンディング法によりその温度における粘度(単位:ポアズ)を測定した。
目視により石英ガラスの色を判別した。また、厚さ1mmにおける波長200〜10000nmの光の透過率を測定した。
反応条件及び焼成条件を表1に示した如く変更した以外は実施例1と同様に実験を行った。結果を表2に示した。
反応条件又は焼成条件を表1に示した如く変更した以外は実施例1と同様に実験を行った。結果を表2に示した。
表1に示した如く、反応ガスに従来の塩素ガスを用い、真空条件で焼成した以外は、実施例1と同様の処理条件にて緻密化された合成石英ガラス体を得た。結果を表2に示した。
Claims (6)
- 遠赤外域の放射率が0.8以上、200〜10000nmの光透過率が厚さ1mmで10%以下、金属不純物濃度の総和が1ppm以下、1280℃での粘度が1011.7ポアズ以上である黒色合成石英ガラスであって、1000ppm以上100000ppm以下の高炭素層と1ppm以上500ppm未満の低炭素層を、各々1〜500μmの厚さで交互に層状に形成してなり、かつ高炭素層を表面に表出させることにより、表面に電気伝導性を発現させてなることを特徴とする黒色合成石英ガラス。
- 含有される炭素の濃度が30ppmを超え50000ppm以下であり、含有される水酸基の濃度が10ppm以下であることを特徴とする請求項1記載の黒色合成石英ガラス。
- 請求項1又は2記載の黒色合成石英ガラスの製造方法であって、水酸基を含むシリカ多孔質ガラス体を、揮発性有機珪素化合物雰囲気中で気相反応させた後、大気圧に加えて0.05MPa以上1000MPa以下の圧力範囲で焼成して緻密なガラス体とすることを特徴とする黒色合成石英ガラスの製造方法。
- 前記揮発性有機珪素化合物が、オルガノシラザンであることを特徴とする請求項3記載の黒色合成石英ガラスの製造方法。
- 前記オルガノシラザンが、ヘキサメチルジシラザンであることを特徴とする請求項4記載の黒色合成石英ガラスの製造方法。
- 前記気相反応の温度条件が100℃以上1200℃以下であり、前記焼成の温度条件が1200℃以上2000℃以下であることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項記載の黒色合成石英ガラスの製造方法。
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