JP5308185B2 - 表面処理装置 - Google Patents
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- 処理対象物の表面を処理する装置であって、
水蒸気を前記処理対象物の表面に供給する水蒸気供給部と、
前記水蒸気供給部により供給される水蒸気に電子ビームを照射して前記水蒸気を活性化する電子ビーム照射部と、
を備え、
前記電子ビーム照射部が電子ビームを直接には前記処理対象物に照射しない、
ことを特徴とする表面処理装置。 - 処理対象物の表面を処理する装置であって、
水蒸気を前記処理対象物の表面に供給する水蒸気供給部と、
前記水蒸気供給部により供給される水蒸気と混合させるように溶液を噴霧する溶液噴霧部と、
前記水蒸気供給部により供給される水蒸気および前記溶液噴霧部により噴霧された溶液に電子ビームを照射して前記水蒸気および前記溶液を活性化する電子ビーム照射部と、
を備え、
前記電子ビーム照射部が電子ビームを直接には前記処理対象物に照射しない、
ことを特徴とする表面処理装置。 - 処理対象物の表面を処理する装置であって、
水蒸気を前記処理対象物の表面に供給する水蒸気供給部と、
前記水蒸気供給部により供給される水蒸気に電子ビームを照射して前記水蒸気を活性化する電子ビーム照射部と、
前記電子ビーム照射部により電子ビームが照射された水蒸気と混合させるように溶液を噴霧する溶液噴霧部と、
を備え、
前記電子ビーム照射部が電子ビームを直接には前記処理対象物に照射しない、
ことを特徴とする表面処理装置。 - 処理対象物の表面を処理する装置であって、
水蒸気と噴霧状態とした溶液とを共通のノズルの出口から前記処理対象物の表面に供給する水蒸気供給部と、
前記水蒸気供給部により供給される水蒸気および溶液に電子ビームを照射して前記水蒸気および前記溶液を活性化する電子ビーム照射部と、
を備え、
前記電子ビーム照射部が電子ビームを直接には前記処理対象物に照射しない、
ことを特徴とする表面処理装置。 - 前記ノズルの出口の温度を50℃〜200℃とする温度調整手段を更に備えることを特徴とする請求項4に記載の表面処理装置。
- 前記水蒸気の温度を100℃〜200℃として前記水蒸気を前記処理対象物の表面に供給することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の表面処理装置。
- 噴霧状態とした前記溶液の温度を50℃〜200℃として前記溶液を前記処理対象物の表面に供給することを特徴とする請求項2〜4の何れか1項に記載の表面処理装置。
- 前記電子ビーム照射部から出力され前記水蒸気を透過した電子ビームおよび該電子ビーム照射により発生したX線を吸収するシールド部を更に備えることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の表面処理装置。
- 前記溶液を噴霧する際に不活性ガスを用いることを特徴とする請求項2〜4の何れか1項に記載の表面処理装置。
- 前記水蒸気供給部における水蒸気吹き付け口の外周に設けられ不活性ガスを供給するガス供給管を更に備えることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の表面処理装置。
- 前記水蒸気の供給および前記溶液の供給を断続的に行うことを特徴とする請求項2〜4の何れか1項に記載の表面処理装置。
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