JP5302813B2 - 堆積物対策用カバー及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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- 内部でプラズマを発生させて基板を処理する処理チャンバー内に、所定部位を覆うように着脱自在に配置される堆積物対策用カバーであって、
表面に陽極酸化処理を施したアルミニウム製の板材からなり、
カバー本体から突出するように設けられた電極部を使用して前記陽極酸化処理を実施し、
前記陽極酸化処理後に前記電極部を除去してアルミニウムの素地面の露出部面積を減少させ、
かつ、前記電極部を除去した切断面が前記処理チャンバー内において前記プラズマに直接晒されない部位に設けられている
ことを特徴とする堆積物対策用カバー。 - 請求項1記載の堆積物対策用カバーであって、
前記所定部位は、前記処理チャンバー内において着脱不能な部分を含む
ことを特徴とする堆積物対策用カバー。 - 請求項2記載の堆積物対策用カバーであって、
前記所定部位は、前記処理チャンバー内の被処理基板を載置する載置台の周囲を囲むように配置された排気用のバッフル板の下側に位置する部位の一部である
ことを特徴とする堆積物対策用カバー。 - 内部でプラズマを発生させて基板を処理する処理チャンバーを具備したプラズマ処理装置において、
表面に陽極酸化処理を施したアルミニウム製の板材からなり、カバー本体から突出するように設けられた電極部を使用して前記陽極酸化処理を実施し、前記陽極酸化処理後に前記電極部を除去してアルミニウムの素地面の露出部面積を減少させ、かつ、前記電極部を除去した切断面が前記処理チャンバー内において前記プラズマに直接晒されない部位に設けられている堆積物対策用カバーが、
前記処理チャンバー内の所定部位を覆うように着脱自在に配置されたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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