JP5296131B2 - 昇華性シートの作製方法および内部空所形成部材の作製方法 - Google Patents
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本実施の形態においては、昇華性シートの製造プロセスについて説明する。昇華性シートとは、昇華性材料からなるシート状の部材であって、これを適宜のサイズに切り出した昇華性シート片が、種々のセラミックデバイス(電子部品)をグリーンシートプロセスにて製造する過程において、内部空所形成部材として用いられる。内部空所形成部材とは、完成後のデバイスにおいて内部空所を形成すべく、焼成前の積層体の該内部空所形成位置に埋め込まれるものである。このような内部空所が設けられるセラミックデバイスとしては、例えば、NOxセンサ、酸素センサその他のガスセンサを構成するセンサ素子などがある。
本実施の形態においては、印刷パターンの形成に、メタルマスク印刷を適用する点で特徴的である。以下、この点について説明する。
次に、上述したメタルマスク印刷装置1を利用した昇華性シート作製の流れを概説する。図3は、メタルマスク印刷装置1による印刷処理以降の、昇華性シートの作製過程を段階的に示す図である。
上述のように、昇華性シートを切り出した昇華性シート片が内部空所形成部材として用いられる。それゆえ、内部空所形成部材あるいはさらにこれを用いて製造するデバイスの製造歩留まりを高めるうえにおいては、昇華性シートは、表面平滑性が優れているとともに、厚みの均一性が優れていることが重要である。なぜならば、仮に、昇華性シートに他とは厚みの異なる部位が存在すると、当該部位から切り出された昇華性シート片は、正常な厚みの部位から切り出された昇華性シート片とは異なるサイズおよび形状を有するものとなってしまい、これを内部空所形成部材として内部空所の形成に用いた場合、規定されたサイズの内部空所を形成することができないからである。
上述したような、メタルマスク印刷によって形成した印刷パターンを乾燥処理するという手順によって昇華性シートを形成するという手法は、その原理上、昇華性シートを厚く形成するには、これに応じてメタルマスク6の開口部厚みを大きくすればよいことになる。
2 フィルム
3 基材
4 ステージ
5 スキージ
5a スキージホルダ
5b (スキージの)先端部
5c (スキージの)平行平板面
6 メタルマスク
6a (メタルマスクの)上面
6b パターン開口部
7 ペースト
7a、7b、7c 印刷パターン
10 昇華性シート
10a、10b 半乾燥部
Claims (4)
- 100μm以上の厚みを有する昇華性シートを作製する方法であって、
所定の印刷下地の上に、作製しようとする昇華性シートの形状に応じたパターン開口部および当該昇華性シートの狙い厚みよりも大きな開口部厚みを有するメタルマスクを載置し、前記昇華性シートの主成分である昇華性材料を含むペーストをスキージにて前記開口部に充填することにより前記印刷下地の上に印刷パターンを形成する印刷工程と、
あらかじめ特定されている前記開口部厚みと前記印刷パターンの乾燥挙動との関係に応じた乾燥条件に従って前記印刷パターンを乾燥収縮させることにより、前記狙い厚みの前記昇華性シートを得る乾燥工程と、
を備え、
前記印刷工程においては、前記ペーストの粘度を10Pa・s以上20Pa・s以下とし、SUS製であって厚さが7mm以上11mm以下のスキージを用いて印刷を行う、
ことを特徴とする昇華性シートの作製方法。 - 100μm以上の厚みを有する昇華性シートを作製する方法であって、
所定の印刷下地の上に、作製しようとする昇華性シートの形状に応じたパターン開口部および当該昇華性シートの狙い厚みよりも大きな開口部厚みを有するメタルマスクを載置し、前記昇華性シートの主成分である昇華性材料を含むペーストをスキージにて前記開口部に充填することにより前記印刷下地の上に印刷パターンを形成する印刷工程と、
あらかじめ特定されている前記開口部厚みと前記印刷パターンの乾燥挙動との関係に応じた乾燥条件に従って前記印刷パターンを乾燥収縮させる乾燥工程と、
を備え、
前記印刷工程においては、前記ペーストの粘度を10Pa・s以上20Pa・s以下とし、SUS製であって厚さが7mm以上11mm以下のスキージを用いて印刷を行うようにするとともに、
前記乾燥工程が施された後の前記印刷パターンの上への前記印刷工程による新たな前記印刷パターンの形成と、前記乾燥工程による前記印刷パターンの乾燥収縮とを、複数回繰り返すことにより、前記狙い厚みの前記昇華性シートを形成する、
ことを特徴とする昇華性シートの作製方法。 - 請求項1または請求項2に記載の昇華性シートの作製方法であって、
前記印刷工程においては、前記スキージと前記メタルマスクとのクリアランスを0とし、かつ、前記スキージを直立姿勢に保って印刷を行う、
ことを特徴とする昇華性シートの作製方法。 - グリーンシートプロセスによるセラミックデバイスの作製過程で前記デバイスに内部空所を形成する際に用いる内部空所形成部材を作製する方法であって、
請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の方法によって前記昇華性シートを作製する昇華性シート作製工程と、
前記昇華性シート作製工程によって作製された前記昇華性シートを複数の前記昇華性シート片に切り出すことによって複数の内部空所形成部材を得る切り出し工程と、
を備えることを特徴とする内部空所形成部材の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011065304A JP5296131B2 (ja) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 昇華性シートの作製方法および内部空所形成部材の作製方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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ID=47182393
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011065304A Active JP5296131B2 (ja) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 昇華性シートの作製方法および内部空所形成部材の作製方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5296131B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60135756A (ja) * | 1983-12-24 | 1985-07-19 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的セルの製造方法 |
JPS60165240A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-08-28 | 株式会社村田製作所 | 多層セラミックグリ−ンシ−トの製造方法およびその装置 |
JPH07115967B2 (ja) * | 1989-11-10 | 1995-12-13 | 積水化学工業株式会社 | 空孔形成セラミックス焼結体の製造方法 |
JP3023454B2 (ja) * | 1994-06-20 | 2000-03-21 | 谷電機工業株式会社 | スクリ−ン印刷機用スキ−ジ・ユニット |
JP2000006363A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Fujitsu Ltd | 基板の塗布方法 |
JP4768279B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2011-09-07 | クローバー電子工業株式会社 | ペースト印刷装置 |
JP5387843B2 (ja) * | 2008-10-08 | 2014-01-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 製膜装置 |
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2011
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Publication number | Publication date |
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JP2012200909A (ja) | 2012-10-22 |
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