JP5288453B2 - ローラーモールド作製方法 - Google Patents
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・L’=L
・S’=S
・H’=L’=L
とした例を示す。
・L’’=L’
・S’’=S’
・H’’=(図1のS3からS5でローラーモールド2を回転させて露光した角度に相当する長さ)
となる。
2:ローラーモールド
3:電子線
11:連続回転
12:ステップ・アンド・リピート
13:アライメントマーク
21:電子光学系
22:回転モータ
23:軸移動モータ
24:ステージ
32:電子源
33:コンデンサレンズ
34:縮小レンズ系
Claims (7)
- パターンを転写するローラー状の押し型(以下「ローラーモールド」という)を作製するローラーモールド作製方法において、
前記作製前のローラーモールドにレジストを塗布するステップと、
最終仕上がりパターン中の回転方向に長いスリット状のパターンの長さを短縮して当該パターンの幅とほぼ同じ幅を持つ電子線が透過するパターンを有するマスクを、前記レジストを塗布した作製前のローラーモールドの所定位置に近接して位置づけるステップと、
前記近接して位置づけた状態で、電子線を前記マスクに照射しつつ当該マスク上のパターンを透過した電子線を前記作製前のローラーモールド上のレジストに露光しつつ回転させるステップと、
前記作製前のローラーモールド上に塗布したレジストに露光しつつ回転させて一周あるいは露光に必要な部分を回転して露光するステップと、
前記回転させて露光した後、前記作製前のローラーモールド上の露光されたレジストを現像するステップと、
前記現像した後の作製前のローラーモールドをエッチングし、前記マスク上のパターンに対応するスリット状の前記最終仕上がりパターンの幅と同じ幅を持つパターンを当該作製前のローラーモールド上に形成するステップと
を有するローラーモールド作製方法。 - 前記マスクで作製前のローラーモールドの回転方向に露光を行った後、回転方向と直角方向の隣接する位置に前記マスクを移動させて位置づけた後、当該マスクでローラーモールドを回転しつつ露光することを繰り返すことを特徴とする請求項1記載のローラーモールド作製方法。
- 前記マスクで作製前のローラーモールド上に塗布したレジストに露光する際に、露光開始位置および露光終了位置で所定時間だけ回転を停止し、パターンの始点および終点の露光を行うことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載のローラーモールド作製方法。
- 前記最終仕上がりパターン中の回転方向に長いスリット状のパターンの長さを短縮して当該パターンの幅とほぼ同じ幅を持つたパターンを作製し、当該作製したパターンを前記マスクにレジストを塗布して電子線描画した後に現像し、更に、エッチングして電子線が透過するパターンを当該マスクに作製したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
- 前記長さを短縮したパターンとして、ほぼ矩形のパターンあるいは回転方向の長さを小さくした矩形のパターンとしたことを特徴とする請求項4記載のローラーモールド作製方法。
- 前記マスク上に形成する長さを短縮したパターンが複数並列にある場合には、当該複数並列を複数に分割して各分割群のパターン毎に回転方向にそれぞれ所定距離ずらし、複数並列のパターン間の回転方向と直角方向のピッチを大きくしたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
- 前記マスクを電子線で全面照射し、当該マスク上に形成したパターンを透過した電子線を電磁型あるいは静電型の縮小レンズを用いて前記作製前のローラーモールドに塗布したレジスト上に縮小したパターンを形成し、回転しつつ露光することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
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