JP5287539B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
先ず、第1の実施形態について説明する。図2A乃至図2Cは、第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。ここでは、pチャネルトランジスタの形成に関する説明を行う。
次に、第2の実施形態について説明する。図4A乃至図4Dは、第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。ここでは、pチャネルトランジスタの形成に関する説明を行う。
次に、第3の実施形態について説明する。図7は、第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
半導体基板上に、絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に、多結晶シリコン膜及びアモルファスシリコン膜を含む積層体を形成し、ゲート電極形状に加工する工程と、
前記多結晶シリコン膜及びアモルファスシリコン膜の側方にサイドウォールを形成する工程と、
前記サイドウォールをマスクとして前記半導体基板の表面にp型不純物を導入して不純物導入領域を形成する工程と、
前記サイドウォールをマスクとして前記不純物導入領域の表面に溝を形成する工程と、
前記溝内にSiGe層を選択成長させる工程と、
前記アモルファスシリコン膜を選択的に除去して、前記多結晶シリコン膜を露出する工程と、
前記多結晶シリコン膜上に導電層を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記積層体を形成する工程は、
前記絶縁膜上に、前記多結晶シリコン膜よりも厚い第2の多結晶シリコン膜を形成する工程と、
前記第2の多結晶シリコン膜に不純物のイオン注入を行うことにより、前記第2の多結晶シリコン膜の一部をアモルファス化して前記アモルファスシリコン膜を形成し、前記第2の多結晶シリコン膜の残部を前記多結晶シリコン膜とする工程と、
を有することを特徴とする付記1に記載の半導体装置の製造方法。
前記不純物としてIn又はAsを用いることを特徴とする付記2に記載の半導体装置の製造方法。
前記積層体を形成する工程は、
前記絶縁膜上に、前記多結晶シリコン膜を堆積させる工程と、
前記多結晶シリコン膜上に、前記アモルファスシリコン膜を堆積させる工程と、
を有することを特徴とする付記1に記載の半導体装置の製造方法。
前記アモルファスシリコン膜を選択的に除去する工程は、塩素原子を含有するガスを用いたドライエッチングを行う工程を有することを特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
前記塩素原子を含有するガスとして、塩素ガス及び水素ガスの混合ガスを用いることを特徴とする付記5に記載の半導体装置の製造方法。
前記導電層として、不純物が導入されたSiGe層を形成することを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
前記溝内にSiGe層を選択成長させる工程と、前記アモルファスシリコン膜を選択的に除去する工程との間に、前記SiGe層上にSi層を選択成長させる工程を有することを特徴とする付記1乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
前記半導体基板として、単結晶シリコン基板を用いることを特徴とする付記1乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
前記溝内にSiGe層を選択成長させる工程と、前記アモルファスシリコン膜を選択的に除去する工程と、前記多結晶シリコン膜上に導電層を形成する工程と、を同一のエピタキシャル装置内で行うことを特徴とする付記1乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
4:多結晶シリコン膜
5:アモルファスシリコン膜
6:サイドウォール
7:不純物注入領域
8:溝
9:SiGe層
10:Si層
11:SiGe層
Claims (5)
- 半導体基板上に、絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に、多結晶シリコン膜及びアモルファスシリコン膜を含む積層体を形成し、ゲート電極形状に加工する工程と、
前記多結晶シリコン膜及びアモルファスシリコン膜の側方にサイドウォールを形成する工程と、
前記サイドウォールをマスクとして前記半導体基板の表面にp型不純物を導入して不純物導入領域を形成する工程と、
前記サイドウォールをマスクとして前記不純物導入領域の表面に溝を形成する工程と、
前記溝内にSiGe層を選択成長させる工程と、
前記アモルファスシリコン膜を選択的に除去して、前記多結晶シリコン膜を露出する工程と、
前記多結晶シリコン膜上に導電層を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記積層体を形成する工程は、
前記絶縁膜上に、前記多結晶シリコン膜よりも厚い第2の多結晶シリコン膜を形成する工程と、
前記第2の多結晶シリコン膜に不純物のイオン注入を行うことにより、前記第2の多結晶シリコン膜の一部をアモルファス化して前記アモルファスシリコン膜を形成し、前記第2の多結晶シリコン膜の残部を前記多結晶シリコン膜とする工程と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記不純物としてIn又はAsを用いることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記積層体を形成する工程は、
前記絶縁膜上に、前記多結晶シリコン膜を堆積させる工程と、
前記多結晶シリコン膜上に、前記アモルファスシリコン膜を堆積させる工程と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記アモルファスシリコン膜を選択的に除去する工程は、塩素原子を含有するガスを用いたドライエッチングを行う工程を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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