JP5282264B2 - 射出成形用金型、射出成形装置、磁気記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents

射出成形用金型、射出成形装置、磁気記録媒体用基板の製造方法 Download PDF

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Description

この発明は、磁気ディスク記録装置の基板に用いられる磁気記録媒体用基板を作製するための射出成形用金型、その金型を用いた射出成形装置、その磁気記録媒体用基板の製造方法、及び磁気記録媒体用基板に関する。
コンピュータなどに用いられる磁気ディスク装置には、アルミニウム基板やガラス基板が磁気記録媒体用基板として用いられている。磁気記録媒体用基板は、円板状の形状を有し、基板の中心に、基板の厚さ方向に貫通する貫通孔が形成されている。この基板上に金属磁気薄膜が形成され、金属磁気薄膜を磁気ヘッドで磁化することによりデータが記録される。また、磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体用基板として、プラスチック基板などの樹脂製基板を採用する試みがなされている。この場合、樹脂製基板上に磁性層を形成することで磁気記録媒体を作製する。
磁気記録媒体に用いられる基板には、平面性が良い基板が要求される。樹脂製基板を射出成形法によって作製する場合、射出成形装置に設けられている金型の支持台となるプラテンの平行度を調整したり、金型の表面精度を高めたり、成形の条件を調整したりすることで、樹脂製基板の平面性を良くしている。
また、より高精度な磁気記録媒体を作製するためには、平面性がより良い基板が要求されている。例えば、表面のうねりが1〜2μmの樹脂製基板が要求されている。特に、磁気記録媒体用基板に用いられる樹脂製基板には、表面が鏡面で、平面性が良い基板が要求されている。
また、磁気記録媒体の円周方向に溝を形成し、非磁性領域(非記録領域)によって記録領域を物理的に分離する、いわゆるディスクリートメディアやパターンドメディアが提案されている。例えば、樹脂製基板に微細なパターンを形成することで、パターンドメディアなどを樹脂製基板で作製する試みがなされている。このようなパターンドメディアに用いられる樹脂製基板には、表面に微細なパターンが形成され、平面性が良い基板が要求されている。
従来においては、樹脂製基板の厚さむらを解消するために、厚さむらの生じる方向と同じ方向の傾斜を有するプレートを金型に設けた射出成形装置が提案されている(例えば特許文献1)。
特開2005−88218号公報
しかしながら、特許文献1に記載の射出成形装置では、一定の傾きを有する表面を補正することができても、うねった面を補正して平面性を良くすることは困難である。特に、樹脂製基板の表面を鏡面にして、平面性が良い基板を作製することは困難であった。
この発明は上記の問題を解決するものであり、表面を鏡面にしつつ、表面の平面性が良い樹脂製基板を作製することができる射出成形用金型、射出成形装置、磁気記録媒体用基板の製造方法、及び、それによって作製された磁気記録媒体用基板を提供することを目的とする。
この発明の第1の形態は、表面に膜状のスタンパが設けられた第1金型と、前記第1金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が設けられ、前記第1金型に対向して配置された第2金型と、を備えた射出成形用金型であって、磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第2金型とによって予め基準基板を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第1金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、前記スタンパは、前記第1金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形用金型である。
また、この発明の第2の形態は、表面に膜状のスタンパが設けられた第1金型と、前記第1金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が形成され、前記第1金型に対向して配置された第2金型と、樹脂を射出する射出部と、を備え、前記第1金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に前記射出部によって樹脂を射出する射出成形装置であって、磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第2金型とによって予め基準金型を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第1金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、前記スタンパは、前記第1金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形装置である。
また、この発明の第3の形態は、基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第2金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部に空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第1ステップと、前記第1ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定する第2ステップと、前記第2ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりを反転させた形状を求め、その反転形状のうねりを金型の表面に形成することで、第1金型を作製する第3ステップと、前記第1金型の表面であって前記反転形状のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記反転形状のうねりに倣わせる第4ステップと、前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第1金型と前記第2金型とを対向して配置し、前記第1金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第5ステップと、を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第4の形態は、基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第2金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第1ステップと、前記第1ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定し、更に、前記基準金型の表面のうねりを測定する第2ステップと、前記第2ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりと、前記基準金型の表面のうねりとの差分を求め、その差分のうねりを金型の表面に形成することで第1金型を作製する第3ステップと、前記第1金型の表面であって前記差分のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記差分のうねりに倣わせる第4ステップと、前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第1金型と前記第2金型とを対向して配置し、前記第1金型と前記第2金型とを密着させることで、前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第5ステップと、を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
この発明によると、基準金型を用いて基準基板を作製したときに生じる固有のうねりを取得して、その固有のうねりを反転させた形状のうねりが表面に形成された第1金型を用いることで、磁気記録媒体用基板の表面のうねりを小さくして、平面性を良くすることが可能となる。また、第1金型の表面に設けられて、表面に形成されたうねりに倣わされたスタンパによって、磁気記録媒体用基板の表面を鏡面にすることが可能となる。このように、この発明によると、表面を鏡面にしつつ、表面の平面性が良い磁気記録媒体用基板が得られる。
この発明の実施形態に係る射出成形装置について図1を参照して説明する。図1は、この発明の実施形態に係る射出成形装置を示す断面図である。
この実施形態に係る射出成形装置1は、樹脂製の磁気記録媒体用基板を成形するための第1金型2と第2金型8とを備え、型締装置によって第2金型8を第1金型2に対して接離させることにより、型閉じ、型締め及び型開きを行うようになっている。
第2金型8には、第1金型2に対向する表面に平坦な溝部81が形成されている。この溝部81の形状は、成形によって形成すべき磁気記録媒体用基板の形状に対応している。そして、溝部81を内側にして第1金型2と第2金型8とを対向して配置することで、第1金型2と第2金型8との間に、溝部81に対応する円形の空間が形成される。また、第2金型8は可動プラテン9によって保持されている。
第1金型2は固定プラテン4によって保持され、第1金型2と固定プラテン4とには、外部から溝部81に対応する空間に樹脂を充填するためのスプルー6が形成されている。このスプルー6は、第1金型2の厚さ方向に貫通した貫通孔である。
第1金型2の表面21には、中央に貫通孔が形成された円板状のスタンパ3(金型原盤)が設けられている。このスタンパ3は膜状の原盤であり、1例として、厚さが0.5[mm]程度のニッケルなどの金属薄膜を用いれば良い。また、第1金型2には、第1金型2を貫通し、一部が第1金型2の表面21から突出した保持部材5が設けられている。スプルー6はその保持部材5内に形成されている。スタンパ3の貫通孔を、第1金型2の表面21から突出した保持部材5に嵌め込むことで、スタンパ3は第1金型2の表面に装着される。
さらに、スプルー6に嵌め込まれ、スプルー6に樹脂を供給する射出機7が設けられている。
そして、可動プラテン9を可動させて第2金型8を第1金型2から離間させておく。この状態で、第1金型2の表面21にスタンパ3を装着する。次に、可動プラテン9を可動させて、第2金型8を第1金型2に密着させ、第2金型8の溝部81と第1金型2とで囲まれた空間を形成する。型締め状態において、射出ノズル71を第1金型2に形成されたスプルー6に接触させ、その状態で射出ノズル71から所定の射出圧で樹脂を射出する。射出ノズル71から射出された樹脂はスプルー6を通って、第1金型2と第2金型8との間に形成された空間に充填される。空間に樹脂を充填した後、その樹脂を硬化させて基板形状を成形する。
基板を成形した後、型内において、溝部81の深さ方向(矢印の方向)に移動可能なカット機構12によって穴あけ加工が行われ、中央に貫通孔が形成された基板10(磁気記録媒体用基板)が作製される。この穴あけ加工に伴って、スプルー6の形状に相当する成形体11が、型内において、基板10から切り離される。
この実施形態においては、第1金型2の表面の形状に特徴がある。ここで、第1金型2について図2を参照して説明する。図2は、この発明の実施形態に係るスタンパと金型とを示す断面図である。図2(a)は、スタンパ3を第1金型2に装着する前の状態を示し、図2(b)は、スタンパ3を第1金型2に装着した状態を示す。
この実施形態では、磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型を用いて予め基準基板を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、第1金型2の表面21には、その固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されている。ここで、第1金型2の表面21にそのうねりを形成する方法を説明する。
まず、表面が平坦な基準金型を用いて、その基準金型と第2金型8とによって、基準基板を作製する。そして、基準基板の表面であって基準金型側の表面を、3次元測定器などの平面度測定装置によって計測し、基準基板の平面形状を評価する。具体的には、基準基板の表面のうねりを求める。
次に、平面度測定装置によって求められた基準基板のうねり(固有のうねり)を反転させた形状を求め、その反転形状を有するうねりを金型の表面に形成する。例えばエンドミルによって金型の表面を加工することで、反転形状のうねりを金型の表面に形成する。この反転形状のうねりが表面に形成された金型が第1金型2に相当し、反転形状のうねりが形成された表面が第1金型2の表面21に相当する。すなわち、第1金型2の表面21のうねりは、基準基板の表面のうねりの反転形状となっている。
そして、図2(a)と図2(b)とに示すように、中央に貫通孔31が形成されたスタンパ3を第1金型2の表面21に装着し、スタンパ3を表面21のうねりに倣わせる。このように、反転形状のうねりが表面に形成された第1金型2を、成形品形状を転写するためのスタンパ3の背面に配置し、スタンパ3が第1金型2の表面21のうねりに倣うことで、樹脂製基板の表面のうねりを補正するための補正面が形成される。
そして、上述した射出成形装置1に第1金型2と第2金型8とを設置して、第1金型2と第2金型8とを用いて磁気記録媒体用基板を作製する。成形品である磁気記録媒体用基板に第1金型2による補正面が転写されることで、射出成形機の固有のうねりを軽減して、磁気記録媒体用基板の平面性を向上させることが可能となる。すなわち、基準基板の表面のうねりを反転させた形状を第1金型2の表面21に形成することで、基準金型によって形成される固有のうねりを補正して、成形品(磁気記録媒体用基板)の平面性を向上させることが可能となる。また、スタンパ3を設けることで、成形品である磁気記録媒体用基板の表面を鏡面状態に形成することができる。
以上のように、うねりの反転形状が表面に形成された第1金型2とスタンパ3とを用いて磁気記録媒体用基板を成形することで、表面を鏡面状態にしつつ、平面性が良い磁気記録媒体用基板を作製することが可能となる。
なお、スタンパ3を用いずに、基準基板の表面のうねりを反転させた形状を表面に形成した第1金型2のみで樹脂製基板を成形した場合、その樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができるが、表面粗さRaが悪化してしまい、表面を鏡面状態に形成することができない。磁気記録媒体用基板の表面には超鏡面が要求されている。具体的には、磁気記録媒体用基板の表面には、表面粗さRaが数Åのオーダーの超鏡面が要求されている。従って、スタンパ3を用いずに第1金型2のみで樹脂製基板を成形しても、表面を鏡面状態にしつつ、平面性が良い磁気記録媒体用基板を作製することはできない。
また、成形された樹脂製基板の表面を鏡面にするために金型の表面を鏡面にした場合、うねりの反転形状を金型の表面に維持することができず、樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができない。金型の表面を鏡面にするためには、ラッピングなどの磨き加工によって金型の表面を研磨する必要がある。この磨き加工では、金型の両面を研磨する必要があるため、うねりの反転形状を金型の表面に維持することができず、その結果、平面性を良くすることができない。
以上のように、うねりの反転形状が表面に形成された第1金型2のみでは、成形された樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができるが、その表面を鏡面状態にすることができず、第1金型2の表面を鏡面状態にした場合は、樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができない。
そこで、この実施形態では、うねりの反転形状が表面に形成された第1金型2の表面にスタンパ3を設けて、スタンパ3をその反転形状に倣わせる。そのことにより、スタンパ3によって磁気記録媒体用基板の表面を鏡面状態にし、さらに、スタンパ3がその反転形状に倣わされているため、その反転形状によって表面の平面性を良くすることが可能となる。
また、樹脂製基板に微細なパターンを形成してパターンドメディアなどに用いる場合、表面にピットなどのパターンが形成されたスタンパ3を用いて樹脂製基板を作製する。この場合、スタンパ3の表面にはパターンが形成されているため、その面を加工することはできない。また、スタンパ3の裏面を加工しようとしても、その加工の過程において、パターンが形成された面を傷つけてしまうおそれがある。
そこで、うねりの反転形状が表面に形成された第1金型2の表面に、表面に微細なパターンが形成されたスタンパ3を設けて、スタンパ3をその反転形状に倣わせる。そのことにより、磁気記録媒体用基板の表面に微細なパターンを形成しつつ、表面の平面性を良くすることが可能となる。なお、第1金型2の表面に微細なパターンを形成する場合は、電鋳によって形成する必要があるが、この場合、パターンが形成された金型を簡便に作製することができない。これに対して、この実施形態のように、表面に微細なパターンが形成されたスタンパ3と第1金型2とを用いることで、表面にパターンが形成され、その表面の平面性が良い磁気記録媒体用基板を簡便に作製することが可能となる。
なお、第1金型2の表面に対するうねりの補正を複数回行っても良い。具体的には、基準基板のうねりの反転形状が表面に形成された第1金型2を用いて樹脂製基板を成形し、その樹脂製基板の表面のうねりを測定する。そして、その表面のうねりの反転形状を求めて、金型の表面にその反転形状のうねりを形成する。その反転形状のうねりが表面に形成された金型を用いて再び樹脂製基板を成形する。このように、金型の表面に対するうねりの補正を複数回行い、成形された樹脂製基板の平面性を良くすることができる金型を第1金型2として用いれば良い。
また、基準基板を成形するための基準金型の表面のうねりを測定し、その基準金型の表面のうねりを基準にした形状のうねりを金型の表面に形成しても良い。例えば、基準金型の表面のうねりと、基準基板の表面のうねりとの差分を求め、その差分の形状のうねりを金型の表面に形成する。これにより、基準金型の表面のうねりを基準にして、樹脂製基板の表面のうねりを補正することが可能となる。差分のうねりが形成された金型が、第1金型2に相当する。
上記の射出成形装置1によって作製された磁気記録媒体用基板は円板状の形状を有し、その基板の中心に貫通孔が形成されている。そして、磁気記録媒体用基板の表面に、スパッタリングなどの成膜方法によってCo系合金などの磁性膜を成膜することで、磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体を作製する。
(磁気記録媒体用基板の材料)
射出成形装置1によって作製される磁気記録媒体用基板には、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、又は活性線硬化性樹脂の他、様々な樹脂を用いることができる。
熱可塑性樹脂として、磁気記録媒体用基板には、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン樹脂(PEEK樹脂)、環状ポリオレフィン樹脂、メタクリルスチレン樹脂(MS樹脂)、ポリスチレン樹脂(PS樹脂)、ポリエーテルイミド樹脂(PEI樹脂)、ABS樹脂、ポリエステル樹脂(PET樹脂、PBT樹脂など)、ポリオレフィン樹脂(PE樹脂、PP樹脂など)、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂(PES樹脂)、ポリアリレート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミド樹脂、又は、アクリル樹脂などを用いることができる。また、熱硬化性樹脂として、例えば、フェノール樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル樹脂(BMC樹脂など)、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又は、ポリベンゾイミダゾール樹脂などを用いることができる。その他、ポリエチレンナフタレート樹脂(PEN樹脂)などを用いることができる。
活性線硬化性樹脂として、例えば、紫外線硬化性樹脂が用いられる。紫外線硬化性樹脂としては、例えば、紫外線硬化性アクリルウレタン系樹脂、紫外線硬化性ポリエステルアクリレート系樹脂、紫外線硬化性エポキシアクリレート系樹脂、紫外線硬化性ポリオールアクリレート系樹脂、紫外線硬化性エポキシ樹脂、紫外線硬化シリコン系樹脂、又は、紫外線硬化アクリル樹脂などを挙げることができる。
また、塗説された硬化前の層に活性線を照射することによって硬化するときに、光開始剤を用いて硬化反応を促進させることが好ましい。このとき光増感剤を併用しても良い。
また、空気中の酸素が上記硬化反応を抑制する場合は、酸素濃度を低下させる、または除去するために、例えば不活性ガス雰囲気下で活性線を照射することもできる。活性線としては、赤外線、可視光、紫外線などを適宜選択することができるが、硬化速度などの生産性の面で紫外線を選択することが好ましいが、特に限定されるものではない。また、活性線の照射中、または前後に加熱によって硬化反応を強化させても良い。
さらに、磁気記録媒体用基板には、液晶ポリマー、有機/無機ハイブリッド樹脂(例えば、高分子成分にシリコンを骨格として取り込んだもの)などを用いても良い。なお、上記に挙げた樹脂は磁気記録媒体用基板に用いられる樹脂の1例であり、この発明に係る基板がこれらの樹脂に限定されることはない。2種以上の樹脂を混合して樹脂製の基板としても良く、また、別々の層として異なる成分を隣接させた基板としても良い。
また、母材としての樹脂は、極力、耐熱温度又はガラス転移温度Tgが高い方が望ましい。樹脂製の磁気記録媒体用基板にはスパッタリングにより磁性層が形成されるため、耐熱温度又はガラス転移温度Tgは、そのスパッタリングにおける温度以上であることが望ましい。例えば、耐熱温度又はガラス転移温度Tgが150℃以上である樹脂を用いることが好ましく、200℃以上である樹脂を用いることがより好ましい。
耐熱温度又はガラス転移温度Tgが150℃以上の代表的な樹脂として、耐熱性ポリカーボネート、シリコン樹脂、テフロン樹脂、無機フィラーを充填したフェノール、メラニン、エポキシ、ポリフェニレンスルファイド、不飽和ポリエステルなどの樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂(PES樹脂)、ポリエーテルイミド樹脂(PEI樹脂)、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、BMC樹脂、又は、液晶ポリマーなどが挙げられる。より具体的には、ポリエーテルスルホン樹脂(PES樹脂)として、ユーデル(ソルベイアデバンストポリマーズ)、ポリエーテルイミド樹脂(PEI樹脂)として、ウルテム(日本GEプラスチック)、ポリアミドイミド樹脂として、トーロン(ソルベイアデバンストポリマーズ)、ポリイミド樹脂(熱可塑性)として、オーラム(三井化学)、ポリイミド(熱硬化性)として、ユーピレックス(宇部興産)、又は、ポリベンゾイミダゾール樹脂として、PBI/Celazole(クラリアントジャパン)が挙げられる。また、液晶ポリマーとして、スミカスーパーLCP(住友化学)、ポリエーテルエーテルケトンとして、ビクトレックス(ビクトレックスMC)が挙げられる。
[実施例]
次に、具体的な実施例について図3から図5を参照して説明する。図3は、樹脂製基板の平面度の測定方法を説明するための図である。図3(a)は樹脂製基板の断面図であり、図3(b)は樹脂製基板の上面図である。また、図4は、基準基板の表面の平面度を示すグラフである。図5は、基準基板のうねりの反転形状が表面に形成された金型を用いて成形された磁気記録媒体用基板の表面の平面度を示すグラフである。
(基準基板の作製)
まず、表面が平坦な基準金型を用いて、その基準金型と第2金型8とによって、基準基板を作製した。具体的には、基板の材料としてポリカーボネートを用い、外径が1.9インチ(48[mm])の基準基板を作製した。
(平面度の測定)
そして、図3(a)に示すように、平面度測定装置200によって、基準基板100の表面であって基準金型側の表面の平面度を測定した。平面度の測定には、斜入射干渉計を用いた。この実施例では、TOROPEL社製のFlatMaster FM100XRAを用いた。そして、基準基板100の表面のうねりの分布を測定した。
この実施例では、基準基板100の直径上における測定結果を図4に示す。1例として、図3(b)に示す基準基板100のX−X線上における測定結果を図4(a)に示し、X−X線に直交するY−Y線上における測定結果を図4(b)に示す。なお、図4(a)と図4(b)とに示すグラフは、説明の便宜上、X−X線上の測定結果と、Y−Y線上の測定結果とを示しているが、この実施例では、基準基板100の表面の任意の点におけるうねりを測定した。図4(a)と図4(b)とにおいて、横軸は基準基板100の測定ポイントを示し、縦軸は基準基板100のうねり(高低)を示している。
(第1金型2の作製)
基準基板100の表面のうねりを反転させた形状を求め、その反転形状のうねりを金型の表面にエンドミルによって形成した。これにより、第1金型2を作製した。
(磁気記録媒体用基板の作製)
そして、うねりの反転形状が表面に形成された第1金型2を射出成形装置1に設置して、第1金型2と第2金型8とを用いて磁気記録媒体用基板を作製した。
(評価)
基準基板100と同じ条件で磁気記録媒体用基板の表面のうねりを測定し、基準基板100の表面のうねりと対比した。その結果、第1金型2を用いて成形された磁気記録媒体用基板の表面のうねりの方が、基準基板100の表面のうねりよりも小さくなった。すなわち、第1金型2を用いて成形された磁気記録媒体用基板の方が、基準基板100よりも表面の平面性が良くなった。
ここで、磁気記録媒体用基板のうねりと基準基板100のうねりと対比するために、磁気記録媒体用基板のX−X線上における測定結果を図5(a)に示し、X−X線に直交するY−Y線上における測定結果を図5(b)に示す。図5(a)と図5(b)とにおいて、横軸は磁気記録媒体用基板の測定ポイントを示し、縦軸は磁気記録媒体用基板のうねり(高低)を示している。
図4(a)に示すグラフと図5(a)に示すグラフとを対比し、図4(b)に示すグラフと図5(b)に示すグラフとを対比すると、第1金型2を用いて成形された磁気記録媒体用基板の方が、基準基板100よりもうねりが小さくなっている。このように、この実施例によると、磁気記録媒体用基板の表面のうねりを小さくして、表面の平面性を良くすることができた。
なお、上述した実施例はこの発明の1例であり、上述した実施形態で説明した別の樹脂を用いても、同様の効果を奏することができる。
この発明の実施形態に係る射出成形装置を示す断面図である。 この発明の実施形態に係るスタンパと金型とを示す断面図である。 樹脂製基板の平面度の測定方法を説明するための図である。 基準基板の表面の平面度を示すグラフである。 基準基板のうねりの反転形状が表面に形成された金型を用いて成形された磁気記録媒体用基板の表面の平面度を示すグラフである。
符号の説明
1 射出成形装置
2 第1金型
3 スタンパ
4 固定プラテン
5 保持部材
6 スプルー
7 射出機
8 第2金型
9 可動プラテン
10 基板
11 成形体
12 カット機構
21 表面
71 射出ノズル
81 溝部

Claims (4)

  1. 表面に膜状のスタンパが設けられた第1金型と、前記第1金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が設けられ、前記第1金型に対向して配置された第2金型と、を備えた射出成形用金型であって、
    磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第2金型とによって予め基準基板を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第1金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、
    前記スタンパは、前記第1金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形用金型。
  2. 表面に膜状のスタンパが設けられた第1金型と、前記第1金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が形成され、前記第1金型に対向して配置された第2金型と、樹脂を射出する射出部と、を備え、前記第1金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に前記射出部によって樹脂を射出する射出成形装置であって、
    磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第2金型とによって予め基準金型を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第1金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、
    前記スタンパは、前記第1金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形装置。
  3. 基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第2金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部に空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第1ステップと、
    前記第1ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定する第2ステップと、
    前記第2ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりを反転させた形状を求め、その反転形状のうねりを金型の表面に形成することで、第1金型を作製する第3ステップと、
    前記第1金型の表面であって前記反転形状のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記反転形状のうねりに倣わせる第4ステップと、
    前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第1金型と前記第2金型とを対向して配置し、前記第1金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第5ステップと、
    を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
  4. 基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第2金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第2金型とを密着させることで前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第1ステップと、
    前記第1ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定し、更に、前記基準金型の表面のうねりを測定する第2ステップと、
    前記第2ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりと、前記基準金型の表面のうねりとの差分を求め、その差分のうねりを金型の表面に形成することで第1金型を作製する第3ステップと、
    前記第1金型の表面であって前記差分のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記差分のうねりに倣わせる第4ステップと、
    前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第1金型と前記第2金型とを対向して配置し、前記第1金型と前記第2金型とを密着させることで、前記第2金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第5ステップと、
    を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
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