JP5281656B2 - 複数テストサイトでテストリソースを共有する方法、自動試験装置、テスト対象デバイスを設置及び撤去するハンドラ、及びテストシステム - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、複数のデバイスをテストする複数のテストサイトでテストリソースを共有する方法と、自動試験装置と、自動試験装置の複数のテストサイトでテスト対象デバイスを設置及び撤去するハンドラと、複数のデバイスをテストするシステムに関する。

メモリ素子や集積回路（ＩＣ）等のコンポーネントにはテストが必要である。テストの時にはそれらのテスト対象デバイス（ＤＵＴ）を様々な刺激信号に晒し、デバイスからの応答を測定及び処理し、それを期待応答と比較する。かかるテストは自動試験装置（ＡＴＥ）で実施することができる。自動試験装置は通常、デバイス用のテストプログラム又はテストフローに従ってかかるタスクを実行する。

上記のような自動試験装置としては、例えばＶｅｒｉｇｙＶ９３０００シリーズやＶｅｒｉｇｙＶ５０００シリーズが挙げられる。前者はシステム・オン・ア・チップと、システム・オン・ア・パッケージと、高速メモリデバイスをテストするプラットフォームである。後者は、フラッシュメモリ等のメモリデバイスとマルチチップパッケージをウェハソートと最終テストでテストする。

かかる自動試験装置にテスト対象デバイスを受け付けるサイトが複数ある場合は、複数のデバイスを同時にテストできる。かかる自動試験装置は、把持機構を有するデバイスハンドラを備えることがある。このデバイスハンドラはテストする対象の複数のデバイスを一斉にテストサイトに配置し、テスト完了後にテストサイトからデバイスを除去する。自動試験装置にはデバイスをテストするためのリソースがあり、多サイトテストの場合は全てのサイトからＡＴＥリソースにアクセスできるようにしなければならない。自動試験装置には、サイトごとに用意されるリソースのほかに、ＲＦ測定のためのＲＦリソース等の高価なリソースもあるが、それが使われるのは、テストサイトで実行されるテストプログラム、すなわちテストフローの中のごく短時間に過ぎない。そのような特定リソース、例えばＲＦ測定を実行するリソースを、自動試験装置のテストサイトごとに設ける従来の手法は非常に高価である。代替的に、単一のリソースを自動試験装置に設け、テストサイトで実行される共通のテストフローでリソースを多重化することもできる。しかしこの場合はテスト時間オーバーヘッドが増加する。テストフローすなわちテストプログラムを修正し、それぞれのテストサイトでテストフローを一斉に実行しつつ特定リソースにアクセスするテストフロー部分が重複しないようにする循環型のテストフローを作ることもできるが、この場合はサイトごとに異なるテストフローを開発する必要があり、テストの準備が複雑になる。

本発明の目的は、複数のテストサイトを有する自動試験装置の中で特定リソースを提供する、改良された手法を提供し、自動試験装置の実装コストを抑え、テスト時間オーバーヘッドとテストフローの複雑さを回避することである。

かかる目的は、請求項１に記載の方法と、請求項８に記載の自動試験装置と、請求項１２に記載のテストシステムとによって達成される。

本発明の実施形態は複数のテストサイトでテストリソースを共有する方法を提供するものであって、同方法は、複数のテストサイトで時間をオフセットしつつテストフローを実行することを含み、テストフローは、テストフロー内の所定の位置でテストリソースにアクセスする。

本発明の実施形態は自動試験装置を提供するものであって、同自動試験装置は、テストする対象のデバイスを受け付けるように各々構成された複数のテストサイトと、テストサイトのいずれか１つに選択的に接続されるように構成された特定テストリソースと、テストサイトで時間をオフセットしつつテストフローの実行を開始するように構成されたテスタと、を備え、テストフローは、特定テストリソースにアクセスする部分を備え、時間のオフセットは、テストフローの中で特定テストリソースにアクセスする部分が重複しないように選択され、テスタは、特定テストリソースにアクセスする部分が現在実行中のテストサイトへ特定テストリソースを接続するように構成される。

本発明の実施形態は、自動試験装置の複数のテストサイトでテストする対象のデバイスを設置及び撤去するハンドラを提供するものであって、同ハンドラは、テストする対象のデバイスを自動試験装置のテストサイトに設置するように構成され、テスト済みデバイスをテストサイトから撤去するように構成された機構と、時間をオフセットしてデバイスを設置するため機構を制御するように構成された制御部と、を備える。

本発明の実施形態は、複数のデバイスをテストするテストシステムを提供するものであって、同システムは、本発明の実施形態による自動試験装置と、本発明の実施形態によるハンドラと、を備える。

リソース多重化により特定テストリソースを共有する第１の従来の方法を示す概略図である。 循環型テストフローを用いて特定テストリソースを共有する第２の従来の方法を示す概略図である。 本発明の実施形態によるテストシステムのブロック図である。 本発明の実施形態によるパイプライン型テストフローによりテストリソースを共有する方法を示す概略図である。

添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。

図１は従来の手法を示す概略図であり、同図に示す自動試験装置１００を使用して複数のデバイスをテストする。

自動試験装置１００は複数のテストサイト１０２、１０４、１０６、及び１０８を備える。図１には４つのテストサイトを有する自動試験装置が示されていることに留意されたい。更に、テストする対象のデバイスをそれぞれのテストサイト１０２乃至１０８に設置１１０ａし、テストしたデバイスをそれぞれのテストサイト１０２乃至１０８から撤去１１０ｂする、ハンドリング機構１１０が設けてある。

自動試験装置は特定のリソースを備える。例えば、テストサイト１０２乃至１０８に保持されたデバイスでＲＦ測定を行うため、ＲＦリソースを備える。更に、テストサイト１０２乃至１０８に向けてリソース１１２を選択的に切り替えるマルチプレクサ１１４が設けてある。自動試験装置１００のテストサイト１０２乃至１０８にはテストフロー１１６乃至１２２が記憶されている。これらのテストフローは同じである場合と異なる場合とがある。それぞれのテストフローは第１の部分１１８ａ乃至１２２ａと第２の部分１１８ｂ乃至１２２ｂとを備える。テストフロー１１６乃至１２２の第１の部分１１６ａ乃至１２２ａは、テストリソースを用いてテストサイト１０２乃至１０８に用意されたテスト対象デバイスでテストを行うが、サイト１０２乃至１０８ごとにテストリソースがあるため、テスト部分１１６ａ乃至１２２ａは同時に実施できる。テストフロー１１６乃至１２２の第２の部分１１６ｂ乃至１２２ｂは、特定のテストリソース１１２にアクセスする。例えばテストサイトに用意されたデバイスに対しＲＦテストを実行するリソースにアクセスする。自動試験装置１００には１つのテストリソース１１２しかないため、テストフロー１１６乃至１２２の第２の部分１１６ｂ乃至１２２ｂは同時に実行できない。むしろ、テストフロー１１６乃至１２２のこの部分１１６ｂ乃至１２２ｂは、テストリソース１１２に順次アクセスする。テストリソース１１２はマルチプレクサ１１４によってテストサイト１０２乃至１０８のいずれか１つに接続される。具体的には、テストフロー１１６乃至１２２の第２の部分が現在実行中のテストサイトに接続される。

より具体的には、時間ｔ_１にはハンドラ１１０がテストする対象のデバイスをテストサイト１０２乃至１０８に設置し、自動試験装置１００は、テストフロー、すなわちテストプログラム１１６乃至１２２の第１の部分１１６ａ乃至１２２ａを時間ｔ_２まで実行する。ｔ_１乃至ｔ_２の期間中は上記のようにデバイスのテストが並行して行われ、テストフローはそれぞれのテストサイト１０２乃至１０８に用意されたリソースにアクセスする。時間ｔ_２に並行テストが完了したら、全てのテストサイト１０２乃至１０８に対し１度だけ提供される特定リソース１１２に対しアクセスが行われる。期間ｔ_２乃至ｔ_３中はサイト１０２の第１のプログラムフロー１１６が第２の部分１１６ｂを実行する。その際、特定リソース１１２はマルチプレクサ１１４を通じてサイト１０２に接続される。サイト１０２では、ＲＦリソース１１２にアクセスするテストフロー部分が現在実行中である。時間ｔ_３には第１のサイト１０２でのテストが完了し、第２のサイトではテストフロー１１８の第２の部分１１８ｂが実行される。その際、リソース１１２がマルチプレクサ１１４を通じて第２のサイト１０４に接続されることにより、第２の部分１１８ｂはリソース１１２にアクセスできるようになる。同様に、時間ｔ_４乃至ｔ_５と時間ｔ_５乃至ｔ_６にはテストフロー１２０及び１２２の第２の部分１２０ｂ及び１２２ｂがテストサイト１０６及び１０８で実行される。

図１ではテストリソース１１２が１つのみの例を示しているが、例えば２つの特定テストリソース１１２を設け、４つのテストサイトの内２つのテストサイトで共有することもできることに留意されたい。

５つ以上のテストサイトを設けることもできる。テストフローを若干変えることもできる。例えば、特定リソース１１２にアクセスする部分１１６ｂ乃至１２２ｂをテストの冒頭やテストフローの中間に設けることもできる。

時間ｔ_６にはサイト１０２乃至１０８に配置されたデバイスが全てテストされ、テスト済みのデバイスを図１のシステムから撤去１１０ｂするためハンドラ１１０が再び作動する。そしてプロセスは繰り返される。すなわち、テストする対象の新たなデバイスが空になったサイト１０２乃至１０８へ設置され、上記のようにテストフローが実行される。図１で説明した手法では、テスタのサイトごとに特定テストリソース１１２を用意するコストを削減できるが、コストが削減される代わりにテスト時間が長くなるかテスト時間オーバーヘッドが増加する。具体的には、第１のサイト１０２におけるデバイスのテストは時間ｔ_３で既に完了しているが、デバイスは時間ｔ_６にまとめてテスタから除去される。このためテストサイト１０２は期間ｔ_３乃至ｔ_６中で待機することになる。例えば、サイト１０２でテストが完了したデバイスを新たなデバイスに置き換えることはできない。むしろ、置き換えるには全てのデバイスがテストされるまで待たなければならない。

図２は、特定テストリソースを共有する第２の従来の手法の概略図を示す図である。図２に示す従来の手法では多重化手法を使用せず、循環型のテストフローを使用する。図１で説明した要素と同じ働きをする図２の要素には、図１と同じ参照符号を付してある。

図２から分かるように、第１の部分と第２の部分とを有するテストフローをテストサイト１０２乃至１０８に使用するのではなく、図２に示す手法では、テストフローが４つの部分１１６_１乃至１１６_４、１１８_１乃至１１８_４、１２０_１乃至１２０_４、１２２_１乃至１２２_４に分割される。部分１１６_４乃至１２２_４は、テストフロー１１６乃至１２２の内、特定リソース１１２にアクセスする部分である。テストフローの各部分は、テストサイト１０２乃至１０８で並行してテストする時に特定デバイス１１２にアクセスする部分１１６_４乃至１２２_４が重複しないように配置されている。したがって、第１のサイト１０２では期間ｔ_１乃至ｔ_４中に同テストサイトのテストリソースにアクセスする部分１１６ａ乃至１１６_３が実行され、期間ｔ_４乃至ｔ_５中には部分１１６_４が単一のリソース１１２にアクセスする。第２のテストサイト１０４では期間ｔ_１乃至ｔ_２中にリソース１１２にアクセスし、第３のテストサイト１０６では期間ｔ_２乃至ｔ_３中にリソース１１２にアクセスし、第４のテストサイト１２２では期間ｔ_３乃至ｔ_４中にリソース１１２にアクセスする。ここでもマルチプレクサ１１４は、テストソース１１２にアクセスするテストフロー部分１１６_４乃至１２２_４を、現在実行中のテストサイトへリソース１１２を選択的に接続する。

図２を図１の手法と比較すると、テストの実行が速く、時間ｔ_５には全てのデバイスがテスト済みでハンドラ１１０により除去できるため、テストサイトが待機する時間は発生しないことが分かる。ただし、サイト１０２乃至１０８で実行されるテストフローが非常に複雑であることも図２から理解できる。すなわち、テストプログラムが格段に複雑化されており、図２の例より多くのテストサイトが従来の自動試験装置に存在するとすれば、より一層複雑になる。換言すると、テストサイトの数が増えるにつれてテストプログラムの複雑さは増していく。

自動システムのテストサイトごとに用意される、高価であるにもかかわらず稀にしか使われない特定リソース１１２、図１との関係で説明したテスト時間オーバーヘッドの増加、図２の例で説明したテストプログラムの複雑さ等、従来技術の手法にともなう問題を回避するため、本発明の実施形態では自動試験装置の複数テストサイトで特定テストリソースを共有する新しい手法を提案する。本発明の実施形態では、この手法を「パイプライン型テストフロー」と称する。以下で詳述するように、本発明の実施形態では上述した従来技術の手法の問題を克服するため、テストする対象のデバイスをテストサイトに設置及び撤去する時間をずらし、複数サイトテストフロー（同じテストフロー、またはテストサイトごとに異なるテストフロー）を実行する時間をずらし、テストリソースを順次共有する。本発明は更に、テストサイトフローを、時間をずらして実行しパイプライン型のテストフロー実行を実現する自動試験装置を提供する。また、本発明の実施形態はサイトで時間をずらしつつ部品を設置及び撤去するハンドラを提供する。

図３は、本発明の実施形態によるテストシステムのブロック図である。テストシステム１２４の自動試験装置１００は、本発明の実施形態の原理に従って作動する。自動試験装置は４つのテストサイト１０２乃至１０８と、リソースＲ_Ｉ、Ｒ_ＩＩ、Ｒ_ＩＩＩ、及びＲ_ＩＶを備え、前記リソースの各々はテストサイト１０２乃至１０８のいずれか１つに対応付けられる。具体的には、リソースＲ_Ｉはテストサイト１０２に属し、リソースＲ_ＩＩはテストサイト１０４に属し、リソースＲ_ＩＩＩはテストサイト１０６に属し、リソースＲ_ＩＶはテストサイト１０８に属している。また、全テストサイト１０２乃至１０８で共有される特定リソース１１２も、対応するマルチプレクサ１１４とともに図示されている。自動試験装置はまた、入力ＩＮを通じて信号を受信し、出力ＯＵＴを通じてテスト出力信号を出力するテスタ１２６を備える。テストフローすなわちテストプログラムがテスタからテストサイト１０２乃至１０８に提供され、テスト対象デバイスに対し実行される。テストプログラムはそれぞれのテストサイトで同じである場合と異なる場合とがある。本発明の実施形態によれば、自動試験装置のテスタ１２６は以下で詳述するように、それぞれのテストサイト１０２乃至１０８で時間をオフセットしつつテストフローの実行を開始するように構成される。

システム１２４は更にハンドラ１１０を備え、同ハンドラは自動試験装置１００で、具体的にはテストサイト１０２乃至１０８で、デバイスを設置／撤去する機構１３０と、制御部１２８と、を備える。機構１３０は第１の部品１３０ａを備え、これに沿って把持機構１３０ｂを動かし（矢印１３２参照）、テストする対象のデバイスとテストされたデバイスを把持部１３４乃至１４０により設置／撤去できる。本発明の実施形態によれば、ハンドラ１１８の制御部１２８は、以下で詳述するように把持機構１３０ｂが自動試験装置１００のテストサイト１０２乃至１０８で時間をオフセットしつつデバイスを設置／撤去するように構成される。

図４は、本発明の実施形態による方法の概略図を示す図である。図４ではハンドラの動作が参照符号１１０ａ_１乃至１１０ａ_４及び１１０ｂ_１乃至１１０ｂ_４によって表示されている。テストフローは参照符号１１６乃至１２２によって表示されている。それぞれのテストサイトのリソースにアクセスする部分１１６ａ乃至１２２ａが表示されているほか、マルチプレクサ１１４を通じて単一のリソース１１２にアクセスする部分１１６ｂ乃至１２２ｂが表示されている。

図４は、図３に示すテストシステムの動作の一部を示す図であり、本発明の実施形態による手法を以下に説明する。本発明の実施形態の原理によれば、テストするべきデバイスをテストサイト１０２乃至１０８で設置１１０ａ_１乃至１１０ａ_４する時間と撤去１１０ｂ_１乃至１１０ｂ_４する時間はずらされる。図から理解できるように、ハンドラ１１０は時間ｔ_１にデバイスをテストサイト１０２に設置１１０ａ_１する。他のテストサイト１０４乃至１０８へのデバイス設置は時間をずらして行われるため、時間ｔ_２にはサイト１０４にデバイスが設置１１０ａ_２され、時間ｔ_３にはサイト１０６にデバイスが設置１１０ａ_３され、時間ｔ_４にはサイト１０８にデバイスが設置１１０ａ_４される。

それぞれのサイト１０２乃至１０８には自動試験装置のテスタからテストプログラムすなわちテストフロー１１６乃至１２２が提供されるが、本発明の実施形態の原理によれば、それぞれのサイト１０２乃至１０８におけるテストフローの実行は、図４に示すように時間をずらして行われる。具体的には、テストフロー部分１１６ａ乃至１２２ａの開始はデバイスの設置と同様にずらされるため、サイト１０２では時間ｔ_１にテストフローが開始し、サイト１０４では時間ｔ_２にテストフローが開始し、サイト１０６では時間ｔ_３にテストフローが開始し、サイト１０８では時間ｔ_４にテストフローが開始する。テストサイト１０２乃至１０８でテストフローの実行が開始する時の時間差により、テストフロー部分１１６ｂ乃至１２２ｂは重複せずに実行される。このため、単一のリソース１１２を使用し、エレメント１１２にアクセスするテストフロー部分１１６ｂ乃至１２２ｂがテストサイトで実行される時に、マルチプレクサ１１４を通じてそれぞれのテストサイト１０２乃至１０８へリソースを結合できる。具体的には、期間ｔ_４乃至ｔ_５には第１のサイト１０２へ単一リソース１１２が結合され、期間ｔ_５乃至ｔ_６には第２のサイト１０４へ単一リソース１１２が結合され、期間ｔ_６乃至ｔ_７には第３のサイト１０６へ単一リソース１１２が結合され、期間ｔ_７乃至ｔ_８には第４のサイト１０８へ単一リソース１１２が結合される。

上述のように、ハンドラはデバイスをそれぞれのサイトに時間をオフセットして配置する。同様に、テスト済みのデバイスをそれぞれのサイトから時間をオフセットして除去もしくは撤去できる。ハンドラは、テストが完了次第サイトからデバイスを除去するように構成される。具体的には、ハンドラ１１０はテスト完了後ｔ_５にサイト１０２からテスト済みデバイスを除去１１０ｂ_１し、テストする対象の新たなデバイスをサイト１０２に配置するため、時間ｔ_６には再びテストフローを実行できる。他のサイト１０４乃至１０８でも同様にテスト済みデバイスの除去とテストする対象の新たなデバイスの設置が行われる。具体的には、時間ｔ_６にはサイト１０４からテスト済みデバイスが除去１１０ｂ_２され、テストする対象の新たなデバイスが挿入されるため、時間ｔ_７には再びテストフローの実行を開始できる。時間ｔ_７にはテストサイト１０６からテスト済みデバイスが除去１１０ｂ_３され、新たなデバイスが挿入されるため、時間ｔ_８には再びサイト１０６でテストフローを実行できる。同様に、時間ｔ_８にはテストサイト１０８からテスト済みデバイスが除去１１０ｂ_４され、新たなデバイスが挿入されるため、時間ｔ_９には再びサイト１０８でテストフローを実行できる。

本発明の実施形態の原理によれば、ＲＦリソース１１２等、高価なリソースを自動試験装置のテストサイト１０２乃至１０８ごとに用意する必要はないため、コストを抑えることができる。また、テストフローの複雑さやテスト時間オーバーヘッドの問題は回避される。また、時間をオフセットしつつテストサイトにデバイスを配置し、時間をオフセットしつつテストサイトからテスト済みデバイスを除去するハンドラにより、新たなデバイスをテストサイトに設置してテストを開始できるため、テストサイト１０２乃至１０８が待機する時間はなくなる。また、自動試験装置で時間をずらしつつテストプログラムの実行を開始することにより、テストプログラム部分１１６ｂ乃至１２２ｂで共通のリソース１１２を使用できる。

図４で説明した実施形態では図３と同様のテストシステムを想定している。すなわち、４つのテストサイトを備える自動試験装置と４つの把持部とを有するテストシステムを想定している。本発明はかかる実施形態に限定されず、自動試験装置のテストサイトはこれより多いこともあれば少ないこともある。テストサイトでデバイスを設置／撤去するため、ハンドラ１１０の把持機構にもそれ相応の数の把持素子を設けることができる。代替的に、ハンドラの把持部がテストサイトより少ない場合は、例えばテストする対象の１つ以上のデバイスを把持部で順次受け付け、それぞれのサイトに配置することもできる。

また、単一デバイス１１２にアクセスする部分１１６ｂ〜１２２ｂは必ずしもテストフローの後ろ寄りでなくともよく、互い違いのテストフロー実行で単一デバイス１１２にアクセスするテストフロー部分が重なる限りは、テストフロー内のどの箇所にあってもよい。図４に示す実施形態では、それぞれのテストサイトで同じテストフローが実行されるが、テストサイト１０２乃至１０８に対して異なるテストフローを提供することもできる。

加えて、本発明は複数のテストサイトで１つのみの特定リソース１１２を共有する実施形態に限定されず、複数の特定テストリソース１１２を用意し、それぞれの特定リソースをテストサイトの部分集合で共有することもできる。例えば図４で第２のリソースを設ければ、サイト１０２及び１０４で第１のリソースを共有し、サイト１０６及び１０８で第２のリソースを共有できる。

上述した本発明の実施形態では後続のテストサイトでテストフローの実行が開始するが、テストフローを不連続的に開始することもできる。例えば図４で、時間ｔ_２以降にテストサイト１０２でテストフローの記憶と実行を開始し、時間ｔ_１にサイト１０６でテストフローの記憶と実行を開始することも可能である。

また、本発明は全てのテストサイトが１つ以上の特定リソースを共有する実施形態に限定されない。例えば、テストサイト１０２及び１０４で実行する同一又は異なるテストフローではリソース１１２にアクセスし、残りのテストサイトでは、デバイスのテストにあたってリソース１１２にアクセスする必要はないものとする。この場合、デバイス１１２を共有するサイトはサイト１０２及び１０４のみであるため、サイト１０２及び１０４ではデバイスの設置／撤去とテストフローの実行開始が時間をずらして行われるが、例えばサイト１０６及び１０８ではサイト１０２と同時にテストを開始でき、また任意の好適な時間にテストを開始できる。

更に、本発明の実施形態による上記の方法は、ハードウェア又はソフトウェアで実装できる。加えて、電子的に読み取り可能な制御信号を含むディスク又はＣＤ等、デジタル記憶媒体に実装してもよく、それがプログラム可能コンピュータシステムと連動することにより、本発明の実施形態による方法を実行する。本発明は一般的に、本発明の実施形態による方法を実行するプログラムコードを機械可読担体に記憶するコンピュータプログラム製品であり、同コンピュータプログラム製品がコンピュータで実行するとプログラムコードが実行される。換言すると、本発明はプログラムコードを有するコンピュータプログラムであって、同コンピュータプログラムがコンピュータで実行すると、プログラムコードが方法を実行するものである。

１００ 自動試験装置
１０２〜１０８ テストサイト
１１０ ハンドラ
１１２ テストリソース
１１４ マルチプレクサ
１１６〜１２２ テストフロー
１２４ テストシステム
１２６ テスタ
１２８ 制御部

Claims (14)

1. デバイスに対する特定テストを実行するための特定テストリソースを、複数のテストサイト間で共有する方法であって、
   前記方法は、
   前記複数のテストサイトの各々でテストフローを実行することを含み、
   前記テストフローは、前記テストサイトで保持された前記デバイスに対する前記特定テストを実行するために、前記特定テストリソースにアクセスする部分を備え、
   前記複数のテストサイトで実行される前記テストフローの各々における、前記特定テストリソースにアクセスする部分の位置は、当該複数のテストサイトで実行されるテストフローの相互間において同じ位置にあり、
   前記テストフローが前記特定テストリソースにアクセスするタイミングが、前記複数のテストサイトで実行される前記テストフローの相互間において同じタイミングにならないように、前記複数のテストサイトの相互間において前記テストフローを時間をずらしつつ実行すること、
   を特徴とする方法。
2. 前記複数のテストサイトで同じテストフローが実行されること、を特徴とする請求項１に記載の方法。
3. テストする対象の前記デバイスを、時間をずらしつつ前記テストサイトに設置することと、
   テスト済みデバイスを、時間をずらしつつテストサイトから撤去することと、を更に含むこと、
   を特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
4. 各テストサイトにおいて、設置するステップと、実行するステップと、撤去するステップと、を繰り返すことを更に含むこと、を特徴とする請求項３に記載の方法。
5. 前記複数のテストサイトで同じデバイスが、又は異なるデバイスがテストされること、を特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
6. 前記テストフローの内、前記特定テストリソースにアクセスする部分の実行中に、前記テストサイトのいずれか１つを前記特定テストリソースへ結合することを含むこと、
   を特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
7. コンピュータでの実行時に請求項１から６のいずれか一項に記載の前記方法を実行するコンピュータで実行可能な命令を備えること、を特徴とするコンピュータ可読媒体。
8. 自動試験装置であって、
   テストする対象のデバイスを受け付けるように各々構成された複数のテストサイトと、
   前記テストサイトのいずれか１つに選択的に接続されるように、かつ、前記テストサイトで保持された前記デバイスに対する特定テストを実行するように、構成された特定テストリソースと、
   前記テストサイトでテストフローの実行を開始するように構成されたテスタと、を備え、
   前記テストフローは、前記テストサイトで保持された前記デバイスに対する前記特定テストを実行するために、前記特定テストリソースにアクセスする部分を備え、
   前記複数のテストサイトで実行される前記テストフローの各々における、前記特定テストリソースにアクセスする部分の位置は、当該複数のテストサイトで実行されるテストフローの相互間において同じ位置にあり、
   前記テストフローが前記特定テストリソースにアクセスするタイミングが、前記複数のテストサイトで実行される前記テストフローの相互間において同じタイミングにならないように、前記複数のテストサイトで前記テストフローを相互に時間をずらしつつ実行し、
   前記特定テストリソースにアクセスする部分が現在実行中の前記テストサイトへ前記特定テストリソースを接続するように前記テスタが構成されること、
   を特徴とする自動試験装置。
9. 前記テストサイトで同じテストフローの実行を開始するように前記テスタが構成されること、を特徴とする請求項８に記載の自動試験装置。
10. 後続のテストサイトで時間をずらしつつ前記テストフローの実行を開始するように前記テスタが構成されること、を特徴とする請求項８又は９に記載の自動試験装置。
11. 全てのテストサイトで、または前記テストサイトの一部で、時間をずらしてテストフローの実行が開始されること、を特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の自動試験装置。
12. 複数のデバイスをテストするテストシステムであって、前記テストシステムは、
    請求項８から１１のいずれか一項に記載の自動試験装置と、
    自動試験装置の複数のテストサイトでテストする対象のデバイスを設置及び撤去するハンドラを備え、
    前記ハンドラは、
    テストする対象のデバイスを自動試験装置のテストサイトに設置するように構成され、テスト済みデバイスを前記テストサイトから撤去するように構成された機構と、
    時間をずらして前記デバイスを設置するため前記機構を制御するように構成された制御部と、を備えること、
    を特徴とするテストシステム。
13. 前記制御部はテスト済みデバイスを、時間をずらして撤去するように前記機構を更に制御すること、を特徴とする請求項１２に記載のテストシステム。
14. 前記機構が把持部を備えること、を特徴とする請求項１２又は１３に記載のテストシステム。

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