JP5280890B2 - センサホルダ及びセンサ支持装置 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 30
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 37
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 20
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
前記3つの基準センサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記3つの基準センサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とする。
前記4つのセンサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記4つのセンサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とする。
10a、10b 側壁
11 ベアリングホルダ
12 ベアリングホルダ
13 玉軸受
14 支持軸
15a、15b 玉軸受
17,18 薄板
19,20 円盤
19a、20a 中央開口
B ボルト
BS 基台
FP 平面
OBJ 測定対象物
S1,S2 支点
SA1〜SA3 センサ取り付け部
SB 小ボルト
SH センサホルダ
Claims (7)
- 鉛直方向に配置された測定対象物の表面の形状を測定するセンサを取り付けるための3つの基準センサ取り付け部を有し、2点で基台に支持される棒状のセンサホルダであって、
前記3つの基準センサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記3つの基準センサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とするセンサホルダ。 - 前記センサホルダは、中央の基準センサ取り付け部と、その両側の各基準センサ取り付け部との間における2点で基台に支持されることを特徴とする請求項1に記載のセンサホルダ。
- 前記センサホルダは、2つの基準センサ取り付け部を挟む2点で基台に支持されることを特徴とする請求項1に記載のセンサホルダ。
- 補助センサを取り付けるための補助センサ取り付け部と、1つもしくは複数の付加質量取り付け部とを有し、前記補助センサ取り付け部に前記補助センサを取り付けたときは、前記センサを取り付けた前記3つの基準センサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなるように、前記付加質量取り付け部に付加質量を取り付けることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセンサホルダ。
- 前記補助センサ取り付け部に前記補助センサを取り付けたときは、前記センサを取り付けた前記3つの基準センサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなるように、付加質量を取り付けるべき付加質量取り付け部の位置と、取り付けるべき付加質量の情報を記録していることを特徴とする請求項4に記載のセンサホルダ。
- 鉛直方向に配置された測定対象物の表面の形状を測定するセンサを取り付けるための4つのセンサ取り付け部を有し、中央の2つのセンサ取り付け部を挟む2点で基台に支持される棒状のセンサホルダであって、
前記4つのセンサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記4つのセンサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とするセンサホルダ。 - 基台と、
前記基台に対して軸受を介して支持された支持軸と、
請求項1〜6に記載のセンサホルダとを有し、
前記センサホルダは中空円筒状であって、前記センサホルダの内周に、前記支持軸に連結するための保持部を、前記センサホルダの中心を挟んで対称な位置に形成し、前記センサホルダの外周に前記センサ取り付け部を有することを特徴とするセンサ支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009045788A JP5280890B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | センサホルダ及びセンサ支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009045788A JP5280890B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | センサホルダ及びセンサ支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010197350A JP2010197350A (ja) | 2010-09-09 |
JP5280890B2 true JP5280890B2 (ja) | 2013-09-04 |
Family
ID=42822195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009045788A Active JP5280890B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | センサホルダ及びセンサ支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5280890B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6401618B2 (ja) * | 2015-01-13 | 2018-10-10 | 株式会社ナガセインテグレックス | 測定方法及び測定装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62162908A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面プロフイ−ル測定方法及び装置 |
DE3635511A1 (de) * | 1986-10-18 | 1988-04-28 | Zeiss Carl Fa | Halterung fuer mass- und formverkoerperung |
JPH0540032A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-02-19 | Hitachi Cable Ltd | 物体の縁の直線度検査装置 |
JP2000009402A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Misawa Ceramics Corp | 柱・梁ユニットの内法寸法測定装置 |
JP2008008879A (ja) * | 2006-05-29 | 2008-01-17 | Satoshi Kiyono | 測定装置、測定基準及び精密工作機械 |
-
2009
- 2009-02-27 JP JP2009045788A patent/JP5280890B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010197350A (ja) | 2010-09-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111031 |
|
A977 | Report on retrieval |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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