JP2010197350A - センサホルダ及びセンサ支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】予め決められた孔HL1〜HL3にセンサSS1〜SS3を固定して検出軸方向を鉛直方向に向けた時の、センサホルダSHのたわみ量は、2点支持の梁の集中質量と分布質量を考慮して計算できるので、3つのセンサSS1〜SS3の固定位置の重力によるたわみが等しくなる位置が定まるため、孔HL1〜HL3にセンサSS1〜SS3を配置するのみで、センサSS1〜SS3の鉛直方向のズレがゼロとなる。これにより精度の良い測定が可能となる。
【選択図】図8
Description
前記3つの基準センサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記3つの基準センサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とする。
前記4つのセンサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記4つのセンサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とする。
10a、10b 側壁
11 ベアリングホルダ
12 ベアリングホルダ
13 玉軸受
14 支持軸
15a、15b 玉軸受
17,18 薄板
19,20 円盤
19a、20a 中央開口
B ボルト
BS 基台
FP 平面
OBJ 測定対象物
S1,S2 支点
SA1〜SA3 センサ取り付け部
SB 小ボルト
SH センサホルダ
Claims (8)
- 鉛直方向に配置された測定対象物の表面の形状を測定するセンサを取り付けるための3つの基準センサ取り付け部を有し、2点で基台に支持される棒状のセンサホルダであって、
前記3つの基準センサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記3つの基準センサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とするセンサホルダ。 - 前記センサホルダは、中央の基準センサ取り付け部と、その両側の各基準センサ取り付け部との間における2点で基台に支持されることを特徴とする請求項1に記載のセンサホルダ。
- 前記センサホルダは、2つの基準センサ取り付け部を挟む2点で基台に支持されることを特徴とする請求項1に記載のセンサホルダ。
- 補助センサを取り付けるための補助センサ取り付け部と、1つもしくは複数の付加質量取り付け部とを有し、前記補助センサ取り付け部にセンサを取り付けたときは、センサを取り付けた3つのセンサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなるように、前記付加質量取り付け部に付加質量を取り付けることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセンサホルダ。
- 前記補助センサ取り付け部にセンサを取り付けたときは、センサを取り付けたセンサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなるように、付加質量を取り付けるべき付加質量取り付け部と、取り付けるべき付加質量の情報を記録していることを特徴とする請求項4に記載のセンサホルダ。
- 鉛直方向に配置された測定対象物の表面の形状を測定するセンサを取り付けるための4つのセンサ取り付け部を有し、中央の2つのセンサ取り付け部を挟む2点で基台に支持される棒状のセンサホルダであって、
前記4つのセンサ取り付け部にセンサを取り付けた状態で、重力により前記センサホルダにたわみが生じたときに、前記4つのセンサ取り付け部の位置が鉛直方向において等しくなることを特徴とするセンサホルダ。 - 付加質量を取り付けるための付加質量取り付け部を有することを特徴とする請求項5に記載のセンサホルダ。
- 基台と、
前記基台に対して軸受を介して支持された支持軸と、
請求項1〜6に記載のセンサホルダとを有し、
前記センサホルダは中空円筒状であって、前記センサホルダの内周に、前記支持軸に連結するための保持部を、前記センサホルダの中心を挟んで対称な位置に形成し、前記センサホルダの外周に前記センサ取り付け部を有することを特徴とするセンサ支持装置。
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JP2016130648A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 株式会社ナガセインテグレックス | 測定方法及び測定装置 |
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