JP2016130648A - 測定方法及び測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】長尺物の長手方向一端の傾きAを水準器で測定し、長尺物の長手方向他端の傾きBを水準器で測定し、更に長尺物の形状h(x)を測定して、第1の位置の傾きCと、第2の位置の傾きDとを求め、傾きA、B、C、Dに基づいて、形状h(x)から放物線誤差g(x)を除去することで、長尺物の撓み等の影響を排除して、長尺物の実際の形状f(x)を精度良く求めることができる。
【選択図】図2
Description
前記長尺物の第1の位置の傾きAを水準器で測定し、前記長尺物の前記第1の位置に対して長手方向に離間した第2の位置の傾きBを水準器で測定する工程と、
前記長尺物の形状h(x)を測定し、測定した形状h(x)に基づいて、前記第1の位置の傾きCと、前記第2の位置の傾きDとを求める工程と、
前記傾きA、B、C、Dに基づいて、前記形状h(x)から放物線誤差g(x)を除去し、前記長尺物の実際の形状f(x)を求める工程と、を有することを特徴とする。
憶する。
M1(x)=f(x−d)+ez(x)−d・ep(x) (1)
M2(x)=f(x)+ez(x) (2)
M3(x)=f(x+d)+ez(x)+d・ep(x) (3)
Δ2f(x)
={f(x+d)−2・f(x)+f(x−d)}/d2
=[{f(x+d)−f(x)}−{f(x)−f(x−d)}]/d2
={M3(x)−2・M2(x)−M1(x)}/d2 (4)
M1(x)=f(x−d)+ez(x)−d・ep(x)+k1 (1)′
M2(x)=f(x)+ez(x)+k2 (2)′
M3(x)=f(x+d)+ez(x)+d・ep(x)+k3 (3)′
Δ2f(x)
={f(x+d)−2・f(x)+f(x−d)}/d2
={M3(x)−2・M2(x)−M1(x)}/d2−{k3−2・k2+k1}/d2
={M3(x)−2・M2(x)−M1(x)}−k123/d2 (4)′
ただし、式(4)′において、k3−2・k2+k1=k123とした。
HLD センサホルダ
LV 水準器
OBJ 長尺物
PB1,PB2,PB3 プローブ
ST ステージ
BS ビームスプリッタ
CP 接触子
CS ケース
FT 浮き子
HED 測定ヘッド
LD 光源
LQ 高粘度液体
MR 鏡
PD 光検出器
RE ロータリエンコーダ
SG 糸
SM サーボモータ
SP 保持部
VL 容器
Claims (6)
- 長尺物の形状を測定する測定方法において、
前記長尺物の第1の位置の傾きAを水準器で測定し、前記長尺物の前記第1の位置に対して長手方向に離間した第2の位置の傾きBを水準器で測定する工程と、
前記長尺物の形状h(x)を測定し、測定した形状h(x)に基づいて、前記第1の位置の傾きCと、前記第2の位置の傾きDとを求める工程と、
前記傾きA、B、C、Dに基づいて、前記形状h(x)から放物線誤差g(x)を除去し、前記長尺物の実際の形状f(x)を求める工程と、を有することを特徴とする測定方法。 - 前記第1の位置は前記長尺物の一端であり、前記第2の位置は前記長尺物の他端であることを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
- 前記長尺物の形状h(x)は、逐次三点法により測定されることを特徴とする請求項1又は2に記載の測定方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の測定方法を実行する測定装置であって、センサホルダと、前記センサホルダに対して相対移動可能となっており、前記長尺物を載置したステージと、前記センサホルダに取り付けられ、前記長尺物の形状を測定する3つのプローブと、前記長尺物の傾きを測定する水準器とを有することを特徴とする測定装置。
- 前記第1の位置及び前記第2の位置の少なくとも一方の近傍にて、前記ステージの傾きを測定する水準器を設けたことを特徴とする請求項4に記載の測定装置。
- 前記水準器は、前記長尺物に当接するヘッドに対して回転する回転体に取り付けられており、前記長尺物の前記第1の位置及び前記第2の位置のいずれかに前記ヘッドを当接させた際に、前記水準器の測定可能範囲を超えた場合、前記回転体を回転させて前記測定可能範囲内に入るように前記ヘッドに対する前記水準器の姿勢を変更できるようになっており、更に、前記回転体の回転角を読み取り可能な検出器を有することを特徴とする請求項4又は5に記載の測定装置。
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JP2015003963A JP6401618B2 (ja) | 2015-01-13 | 2015-01-13 | 測定方法及び測定装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024116705A1 (ja) * | 2022-11-30 | 2024-06-06 | 株式会社三共製作所 | 回転部材の状態を計測するための方法 |
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-
2015
- 2015-01-13 JP JP2015003963A patent/JP6401618B2/ja active Active
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