JP2010286430A - 校正装置及び真直形状測定装置 - Google Patents
校正装置及び真直形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010286430A JP2010286430A JP2009142045A JP2009142045A JP2010286430A JP 2010286430 A JP2010286430 A JP 2010286430A JP 2009142045 A JP2009142045 A JP 2009142045A JP 2009142045 A JP2009142045 A JP 2009142045A JP 2010286430 A JP2010286430 A JP 2010286430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disks
- displacement
- measurement value
- calibrated
- rotation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 74
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 41
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 15
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 47
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 36
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】校正対象となる3つの変位センサSS1〜SS3を円板CP1〜CP3に対して相対的に固定し、回転角θ=0度において3つの円板CP1〜CP3の円周を、各変位センサセンサSS1〜SS3を用いて測定して第1の測定値を求め、且つ回転角θ=180度において3つの円板CP1〜CP3の円周を、変位センサセンサSS1〜SS3を用いて測定して第2の測定値を求め、第1の測定値と第2の測定値とに基づいて、前記変位センサを校正できる
【選択図】図1
Description
校正対象となる3つの変位センサを保持するベースと、
直径が所定の一か所以上の回転角位置で校正されている3つ以上の円板と、
前記ベースに対して回転可能に支持され、所望の間隔で前記前記円板を取り付けた回転軸と、を有し、
校正対象となる3つの変位センサを前記円板に対して相対的に固定し、前記所定の回転角位置において前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第1の測定値を求め、且つ前記所定の回転角位置から180度回転させた回転角位置において、前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第2の測定値を求め、前記第1の測定値と前記第2の測定値とに基づいて、前記変位センサを校正できることを特徴とする。
m(0)=mA(0)−2mB(0)+mC(0)=ΔR+P0 (1)
と表せる。
m(π)=mA(π)−2mB(π)+mC(π)=−ΔR+P0 (2)
と表せる。
P0={m(0)+m(π)}/2 (3)
m(0)=mA(0)−2mB(0)+mC(0)=2(ΔR+P0+δ) (4)
と表せる。
m(π)=mA(π)−2mB(π)+mC(π)=2(−ΔR+P0+δ) (5)
と表せる。
P0={m(0)+m(π)}/4+δ (6)
これは、中央の円板CP2の直径が見かけ上2δだけ小さくなったように見えることを示している。ズレ量P0は(3)式より既知であるため、これを(3)式に代入してδを求めることができる。以上の説明では直径が校正されている理想の場合で説明したが、半径法で真円形状が校正された円板を用いても同様の効果が得られる。円周を整数等分する回転角度位置での値から平均半径を算出することも類似の効果がある。
更に校正対象となる3つの変位センサを感度軸が鉛直方向に向くように前記円板に対して相対的に固定し、前記所定の回転角位置において前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第3の測定値を求め、且つ前記所定の回転角位置に対して180度回転させた前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第4の測定値を求め、前記第3の測定値と前記第4の測定値と、前記1つの変位センサの位置ズレに基づいて、前記回転軸の撓みによる前記円板の変位量を求めることができることを特徴とする。尚、「感度軸」とは、変位センサならそのセンサが検出する点を通り、そのセンサが検出する変位の方向を指す軸を言う。変位センサは、デジタルマイクロメータのように接触式でも良いし、非接触式でも良い。
BST 基台
CL コラム
CP1〜CP3 円板
HL センサホルダ
MR 反射鏡
SC 直定規
SH 回転軸
SP1,SP2 支持台
SS1〜SS3 センサ
ST 移動ステージ
VL1、VL2 切欠
Claims (5)
- 校正対象となる3つの変位センサを保持するベースと、
直径が所定の一か所以上の回転角位置で校正されている3つ以上の円板と、
前記ベースに対して回転可能に支持され、所望の間隔で前記円板を取り付けた回転軸と、を有し、
校正対象となる3つの変位センサを前記円板に対して相対的に固定し、前記所定の回転角位置において前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第1の測定値を求め、且つ前記所定の回転角位置から180度回転させた回転角位置において、前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第2の測定値を求め、前記第1の測定値と前記第2の測定値とに基づいて、前記変位センサの相互のゼロ点位置を校正できることを特徴とする校正装置。 - 前記3個以上の円板の平均直径あるいは平均半径の相互差が校正されていて、前記3つの変位センサの相互のゼロ点位置を前記平均直径あるいは平均半径の相互差を用いて校正することを特徴とする請求項1に記載の校正装置
- 前記回転軸は2点で支持されており、重力により前記回転軸のたわみが生じたときに、重力方向のたわみ量が等しくなる3か所に前記円板をそれぞれ取り付けたことを特徴とする請求項1又は2に記載の校正装置。
- 校正対象となる3つの変位センサを感度軸が水平方向に向くように前記円板に対して相対的に固定し、前記所定の回転角位置において前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第1の測定値を求め、且つ前記所定の回転角位置に対して180度回転させた前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第2の測定値を求め、前記第1の測定値と前記第2の測定値とに基づいて、1つの変位センサの位置ズレを求め、
更に校正対象となる3つの変位センサを感度軸が鉛直方向に向くように前記円板に対して相対的に固定し、前記所定の回転角位置において前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第3の測定値を求め、且つ前記所定の回転角位置に対して180度回転させた前記3つ以上の円板の円周を、各変位センサを用いて測定して第4の測定値を求め、前記第3の測定値と前記第4の測定値と、前記1つの変位センサの位置ズレとに基づいて、前記回転軸の撓みによる前記円板の変位量を求めることができることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の校正装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の校正装置によって構成された変位センサを用いていることを特徴とする真直形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009142045A JP5252649B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 校正装置及び真直形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009142045A JP5252649B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 校正装置及び真直形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010286430A true JP2010286430A (ja) | 2010-12-24 |
JP5252649B2 JP5252649B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=43542223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009142045A Active JP5252649B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 校正装置及び真直形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5252649B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105937886A (zh) * | 2015-03-04 | 2016-09-14 | 住友重机械工业株式会社 | 形状测量装置、加工装置及形状测量装置的校正方法 |
CN109186517A (zh) * | 2018-09-05 | 2019-01-11 | 江苏润模汽车检测装备有限公司 | 位移传感器多点位自适应性的自动校零系统及校零方法 |
CN113188491A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-07-30 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种基于位移传感器的旋转台转轴误差测量与校正方法 |
CN116605416A (zh) * | 2023-07-17 | 2023-08-18 | 四川腾盾科技有限公司 | 自动倾斜器标定设备及标定方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005308703A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Kunitoshi Nishimura | 検出器のオフセット誤差校正法 |
JP2009041983A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Nagase Integrex Co Ltd | 多点プローブの零点誤差の変動検出方法 |
-
2009
- 2009-06-15 JP JP2009142045A patent/JP5252649B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005308703A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Kunitoshi Nishimura | 検出器のオフセット誤差校正法 |
JP2009041983A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Nagase Integrex Co Ltd | 多点プローブの零点誤差の変動検出方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105937886A (zh) * | 2015-03-04 | 2016-09-14 | 住友重机械工业株式会社 | 形状测量装置、加工装置及形状测量装置的校正方法 |
KR20160108192A (ko) | 2015-03-04 | 2016-09-19 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 형상계측장치, 가공장치 및 형상계측장치의 교정방법 |
KR101798322B1 (ko) | 2015-03-04 | 2017-11-15 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 형상계측장치, 가공장치 및 형상계측장치의 교정방법 |
TWI609171B (zh) * | 2015-03-04 | 2017-12-21 | 住友重機械工業股份有限公司 | Shape measuring device, processing device, and shape measuring device calibration method |
CN109186517A (zh) * | 2018-09-05 | 2019-01-11 | 江苏润模汽车检测装备有限公司 | 位移传感器多点位自适应性的自动校零系统及校零方法 |
CN109186517B (zh) * | 2018-09-05 | 2024-01-30 | 江苏润模汽车检测装备有限公司 | 位移传感器多点位自适应性的自动校零系统及校零方法 |
CN113188491A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-07-30 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种基于位移传感器的旋转台转轴误差测量与校正方法 |
CN116605416A (zh) * | 2023-07-17 | 2023-08-18 | 四川腾盾科技有限公司 | 自动倾斜器标定设备及标定方法 |
CN116605416B (zh) * | 2023-07-17 | 2023-10-24 | 四川腾盾科技有限公司 | 自动倾斜器标定设备及标定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5252649B2 (ja) | 2013-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Just et al. | Calibration of high-resolution electronic autocollimators against an angle comparator | |
JP5546677B2 (ja) | 表面測定測定機のための測定方法 | |
CN206609370U (zh) | 尺寸测定装置 | |
JP7042620B2 (ja) | サブディビジョナルエラーを決定する方法 | |
JP2007071852A (ja) | 深穴測定装置および深穴測定方法 | |
JP2013526718A (ja) | 自己補償する角度エンコーダ | |
JP5252649B2 (ja) | 校正装置及び真直形状測定装置 | |
JP6657552B2 (ja) | 平面度測定方法 | |
JP2008008879A (ja) | 測定装置、測定基準及び精密工作機械 | |
JP6765710B2 (ja) | 全角度測定器 | |
JP4690276B2 (ja) | 真円度測定装置の較正方法 | |
JP5601699B2 (ja) | 校正装置 | |
JP5290038B2 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
KR101971975B1 (ko) | 파이프 진원도 측정장치 및 측정방법 | |
JP2012117811A (ja) | ウエハ平坦度測定法 | |
JP2009145152A (ja) | 測定装置 | |
JP5460427B2 (ja) | 測定方法及び形状測定装置 | |
TWI558978B (zh) | 真圓度量測裝置及真圓度量測方法 | |
JP2009041983A (ja) | 多点プローブの零点誤差の変動検出方法 | |
JP2015068740A (ja) | 真円度測定装置 | |
JP2010085341A (ja) | 球面形状測定装置および球面形状測定方法 | |
JP6181935B2 (ja) | 座標測定機 | |
JP2005172810A (ja) | 3次元形状測定方法及び3次元形状測定装置 | |
JP4980817B2 (ja) | 多点プローブの零点誤差関連値記録装置 | |
JP2005308703A (ja) | 検出器のオフセット誤差校正法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130412 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5252649 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |