JP5276831B2 - 感光性組成物 - Google Patents
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Description
後掲の実施例において詳述するが、感光性組成物ペーストを塗布・乾燥して得られる乾燥塗膜について4つの異なる厚さと、各乾燥塗膜の厚さにおける波長355〜405nmにおける吸光度のグラフを作成し、その近似式から膜厚25μmの乾燥塗膜の吸光度を算出して得られる吸光度の最大値と最小値の差が、0.3以内にあることを意味する。
(2)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の1種類以上との共重合体に、グリシジル(メタ)アクリレートや3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートなどのエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物や(メタ)アクリル酸クロライドを反応させることによって、エチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られるカルボン酸含有感光性樹脂、
(3)グリシジル(メタ)アクリレートや3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート等のエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸を反応させ、生成した二級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、
(4)無水マレイン酸などの不飽和二重結合を有する酸無水物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートなどの水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、
(5)多官能エポキシ化合物と(メタ)アクリル酸などの不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、
(6)ポリビニルアルコール誘導体などの水酸基含有ポリマーに、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、生成したカルボン酸に一分子中にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる水酸基含有のカルボン酸含有感光性樹脂、
(7)多官能エポキシ化合物と、(メタ)アクリル酸などの不飽和モノカルボン酸と、一分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の1個の反応性基を有する化合物(例えば、ジメチロールプロピオン酸など)との反応生成物に、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、
(8)一分子中に少なくとも2個のオキセタン環を有する多官能オキセタン化合物に(メタ)アクリル酸などの不飽和モノカルボン酸を反応させ、得られた変性オキセタン樹脂中の第一級水酸基に対して飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、及び
(9)多官能エポキシ樹脂(例えば、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂など)に不飽和モノカルボン酸(例えば、(メタ)アクリル酸など)を反応させた後、多塩基酸無水物(例えば、テトラヒドロフタル酸無水物など)を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂に、更に、分子中に1個のオキシラン環と1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(例えば、グリシジル(メタ)アクリレートなど)を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂などが挙げられるが、これらに限定されるものでは無い。
R1は、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R2は、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R3およびR4は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
R5およびR6は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、または2つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、
R7およびR8は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状または分岐状のアルキル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基、またはハロゲン原子、アルキル基若しくはアルコキシ基で置換されたアリール基を表し、但し、R7およびR8の一方は、R−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表してもよい)。
R9は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(アルコキシル基を構成するアルキル基の炭素数が2以上の場合、アルキル基は1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、またはフェノキシカルボニル基を表し、
R10、R12は、それぞれ独立に、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R11は、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表す)、
下記一般式(VI)で表される化合物
R13およびR14は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基を表し、
R15、R16、R17、R18およびR19は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、
MはO、SまたはNHを表し、並びに
mおよびnは0〜5の整数を表す)
が挙げられる。中でも、下記式(IV)で表される2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、および式(V)で表される化合物がより好ましい。市販品としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のCGI−325、イルガキュアー OXE01、イルガキュアー OXE02等が挙げられる。これらのオキシムエステル系光重合開始剤は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
このような顔料(C)の適正な添加量は、感光性組成物の乾燥塗膜の355〜405nmの波長における吸光度の最大値と最小値の差が、25μmあたり0.3以内となる範囲であれば任意に添加することができ、例えば、カルボン酸含有樹脂(A)100質量部に対して0.01〜5質量部の範囲である。
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EOCN−104S、軟化点92℃、エポキシ当量=220g/当量)660g、溶媒としてカルビトールアセテート 421.3gおよびソルベントナフサ 180.6gを仕込み、90℃に加熱・攪拌し、溶解した。次に、一旦60℃まで冷却し、アクリル酸 216g、反応触媒としてトリフェニルホスフィン 4.0g、重合禁止剤のメチルハイドロキノン1.3gを加えて、100℃で12時間反応させ、酸価が0.2mgKOH/gの反応生成物を得た。これにテトラヒドロ無水フタル酸 241.7gを仕込み、90℃に加熱し、6時間反応させた。これにより、不揮発分=65質量%、固形分酸価=77mgKOH/g、二重結合当量(不飽和基1モル当たりの樹脂のg重量)=400g/当量、重量平均分子量=7,000のカルボン酸含有樹脂の溶液を得た。以下、このカルボン酸含有樹脂の溶液を、A−1ワニスと称す。
市販の感光性組成物(太陽インキ製PSR−4000G23K)を用いて、同様に試験し、評価を行った。
各感光性組成物をガラス板にアプリケーター塗布後、熱風循環式乾燥炉を用いて80℃で30分乾燥し、その乾燥塗膜をガラス板上に作製した。このガラス板上の各感光性組成物の乾燥塗膜について、紫外可視分光光度計(日本分光株式会社製 Ubest−V−570DS)、及び積分球装置(日本分光株式会社製 ISN−470)を用いて吸光度を測定した。また、各感光性組成物を塗布したガラス板と同一のガラス板について、300〜500nmの波長範囲における吸光度ベースラインを測定した。作製した乾燥塗膜付きガラス板の吸光度から、ベースラインを差し引くことにより乾燥塗膜の吸光度を算出した。この作業をアプリケーターによる塗布厚を4段階に変えて行い、乾燥塗膜厚と吸光度のグラフを作成し、このグラフから乾燥ソルダーレジスト膜厚25μmにおける吸光度を求めた。結果を、実施例1〜6、比較例1〜2については表2に、比較例3については表3に示す。
各感光性組成物を、基板の全面にスクリーン印刷により塗布した。その後、熱風循環式乾燥機で80℃で20分間乾燥させ試験片とした。それぞれの露光装置を用いて、この試験片に露光した。その後、1.0質量%の炭酸ナトリウム水溶液で60秒間現像処理してソルダーレジスト膜を得た。この得られたソルダーレジスト膜について、コダックステップタブレットNo.2(21段)で6段の残像感度が認められる露光量を、適正露光量とした。結果を、実施例1〜6、比較例1〜2については表2に、比較例3については表3に併せて示す。
銅厚35μmの銅張基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥させた。その後、各感光性組成物をこの基板上にスクリーン印刷法により塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で60分間乾燥させた。乾燥後、各種露光装置を用いてこの乾燥塗膜を露光した。露光パターンは、全面露光パターンを用いた。ここでの露光量としては、(2)で求められた適正露光量を用いた。露光後、現像(30℃、0.2MPa、1質量%炭酸ナトリウム水溶液)を60秒間行い、続いて、150℃で60分間、熱硬化を行った。
ライン/スペースが300μm/300μmの幅で、銅厚が50μmと70μmの2つの回路パターン基板をそれぞれバフロール研磨後、水洗し、乾燥した。この回路パターン基板上に、各感光性組成物をスクリーン印刷法により塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させた。乾燥後、各種露光装置を用いてこの乾燥塗膜を露光した。露光パターンは、上述したスペース部に、それぞれ順に30/40/50/60/70/80/90/100μmのラインを描画させるパターンを使用した。ここでの露光量としては、(2)で求められた適正露光量(銅厚70μmの場合には、この1.5倍の露光量)を用いた。露光後、1.0質量部%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像を行うことによりソルダーレジストパターンを得た。続いて高圧水銀灯で1000mJ/cm2の露光量で紫外光を照射した後、60分間熱硬化させた。このとき、残存する最小ライン幅を硬化深度の評価とした。表中、100以上とは、100μmのラインも残存しなかったことを意味する。
A評価:設計幅通りの理想の状態、
B評価:耐現像性不足等による表面層の食われ発生、
C評価:アンダーカット状態、
D評価:ハレーション等による線太りが発生、
E評価:表面層の線太りとアンダーカットが発生
である。
上記表1に示す成分から得られる実施例1の感光性組成物をメチルエチルケトンで希釈した。この希釈物をキャリアフィルム上に塗布し、80℃の熱風乾燥器で30分間加熱乾燥して、厚さ25μmの光硬化性・熱硬化性樹脂組成物層を形成し、この上にカバーフィルムを貼り合せてドライフィルムを得た。その後、カバーフィルムを剥がし、パターン形成された銅箔基板にフィルムを熱ラミネートにて貼り合わせた後、表2に示す実施例1と同じ条件で露光を実施し、キャリアフィルムを除去した後、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液で60秒間現像して画像を得た。さらに150℃の熱風乾燥器で60分間加熱硬化を行い、試験基板を作製した。得られた硬化被膜を有する試験基板について、上述した試験方法および評価方法にて、各特性の評価試験を行った。結果は表2の実施例1の結果と同じであった。
1b…露光・現像後のソルダーレジスト膜
1c…基板
Claims (9)
- 紫外線を発生するランプからの光をフォトマスクを介して露光する一括露光法により、または紫外線を発生するランプからの光若しくはレーザー光を用いる直接描画法によりパターン潜像を形成し、このパターン潜像をアルカリ水溶液により現像化させる感光性組成物であって、前記感光性組成物が、(A)カルボン酸含有樹脂、(B)光重合開始剤、および(C)顔料を含み、その露光前の乾燥塗膜の厚さ25μmあたり、355〜405nmの波長範囲における吸光度の最大値と最小値の差が0.3以内であり、前記光重合開始剤(B)が、式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、式(II)で表される基を有するα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、および式(III)で表される基を有するアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤から成る群から選択される1種以上の光重合開始剤であり、かつ、前記(B)光重合開始剤の配合量は、前記(A)カルボン酸含有樹脂100質量部に対して0.01〜30質量部であること、および前記(C)顔料の配合量は、前記(A)カルボン酸含有樹脂100質量部に対して0.01〜5質量部であることを特徴とする感光性組成物。
(式中、
R 1 は、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R 2 は、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R 3 およびR 4 は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
R 5 およびR 6 は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、または2つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、
R 7 およびR 8 は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状または分岐状のアルキル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基、またはハロゲン原子、アルキル基若しくはアルコキシ基で置換されたアリール基を表し、但し、R 7 およびR 8 の一方は、R−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表してもよい)。 - 露光前の前記乾燥塗膜の厚さ25μmあたり、355〜405nmの波長範囲における吸光度が、全て0.3〜1.2の範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載の感光性組成物。
- 前記式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤が、式(V)の化合物を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の感光性組成物。
(式中、
R9は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(アルコキシル基を構成するアルキル基の炭素数が2以上の場合、アルキル基は1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、またはフェノキシカルボニル基を表し、
R10、R12は、それぞれ独立に、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R11は、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表す)。 - 前記顔料(C)が、フタロシアニンブルー系顔料を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 分子中に2つ以上の環状エーテル基および/または環状チオエーテル基を有する熱硬化性成分(D)をさらに含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 前記一括露光法または直接描画法に用いる光源が、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、半導体レーザー、および固体レーザーの中から選択されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 厚さ15〜100μmの乾燥塗膜として適用されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の感光性組成物を、キャリアフィルム上に塗布した後に乾燥して得られるドライフィルム。
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