JP5274918B2 - プラズマ処理装置のチャンバー内部材の温度制御方法、チャンバー内部材及び基板載置台、並びにそれを備えたプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
図8は、シリコンを材料とするウェハ径300mm用のフォーカスリング(口径360mm、厚さ3.4mm)を直流電源で加熱したときの装置構成を示した図である。
2 下部電極(サセプタ;載置台)
3 筒状保持部
4 筒状支持部
5 フォーカスリング
6 排気路
7 バッフル板
8 排気管
9 排気装置
10 ウェハの搬入出口
11 ゲートバルブ
12 高周波電源
13 整合器
14 給電棒
15 ウェハ(基板)
16 静電チャック
17 内部電極
18 熱媒体流路
20 配管
21 伝熱ガス供給管
22 上部電極
23 ガス導入管
24 ガス噴出孔
25 電源装置
26 抵抗測定装置
27,28a,28b,28c,28d スイッチ
30 上部熱伝達シート
31 下部熱伝達シート
32 電極棒
34 カバーリング
36 空洞
37 チャンバー側壁の保護部材
40,41,42,43 電極
Claims (7)
- 被処理基板をプラズマ処理するプラズマ処理装置内で用いられ、被処理基板周辺に配置されるリング状部材の温度制御方法であって、
前記リング状部材を複数に分割し、分割された分割リング状部材の端部にそれぞれ給電部を設け、前記給電部の端子を押圧機構により、それぞれ前記分割リング状部材に対して押圧させ、
前記給電部を通して前記分割リング状部材に電力を供給し加熱するとともに、前記チャンバー内部材の抵抗値又は比抵抗を測定し、前記抵抗値又は比抵抗から推測する前記チャンバー内部材の温度に基づいて電力を制御することを特徴とするリング状部材の温度制御方法。 - 前記給電部から一組の電極を選定給電し、次に他の一組の電極を選定給電し、これを繰り返すことにより、前記リング状部材に電流が均一に流れるように制御し、面内を均一に加熱することを特徴とする請求項1に記載のリング状部材の温度制御方法。
- チャンバー内にて処理ガスを高周波電力によりプラズマ化し、該プラズマにより載置台上に載置された被処理基板を処理するプラズマ処理装置のチャンバー内で用いられる複数に分割された分割リング状部材であって、
前記被処理基板周辺に配置され、端部にそれぞれ給電部を備え、前記給電部の端子がそれぞれ押圧機構により押圧されていることを特徴とするプラズマ処理装置の分割リング状部材。 - 前記押圧機構は、バネにより伸縮する前記端子がその収容空間内で伸張し、前記分割リング状部材を押圧する構造であることを特徴とする請求項3に記載の分割リング状部材。
- 被処理基板に対しプラズマ処理を行うチャンバー内に設置され、前記被処理基板を載置する基板載置台であって、
前記基板載置台は、請求項3又は4に記載の分割リング状部材を備えたことを特徴とする基板載置台。 - チャンバー内にて処理ガスを高周波電力によりプラズマ化し、該プラズマにより載置台上に載置された被処理基板を処理するプラズマ処理装置であって、
前記被処理基板周辺に配置され、端部にそれぞれ給電部を備え、前記給電部の端子がそれぞれ押圧機構により押圧されているリング状部材が分割された分割リング状部材と、
前記給電部に電力を供給する電源部と、
前記分割リング状部材の抵抗値及び/又は比抵抗を測定する抵抗測定部と、
前記抵抗値又は比抵抗から推測する前記分割リング状部材の温度に基づいて前記電力を制御する電流制御部と、
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記給電部から一組の電極を選定給電し、次に、他の一組の電極を選定給電し、これを繰り返すことにより、前記分割リング状部材に均一に電流を流す制御機構を備えたことを特徴とする請求項6に記載のプラズマ処理装置。
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