JP5274846B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
はじめに、この発明の実施の形態に係る熱処理装置の全体構成について、図1および図2を参照しながら説明する。図1は、熱処理装置100の構成を示す側断面図である。図2(a)および図2(b)は、熱処理装置100を図1の矢印Q1方向および矢印Q2方向からそれぞれみた縦断面図である。
次に、熱処理装置100における基板Wの処理手順について図3を参照しながら説明する。図3は、熱処理装置100にて実行される処理の流れを示す図である。ここで処理対象となる基板Wはイオン注入法により不純物が添加された半導体基板であり、添加された不純物の活性化が熱処理装置100による熱処理により行われる。なお、以下の処理動作は、制御部91が所定のタイミングで各構成を制御することによって行われる。
位置関係調整部6の構成について、図1および図4〜図6を参照しながら説明する。図1は、上述した通り熱処理装置100の側断面図であり、後述する離間位置変更機構61により位置変更される反射カバー32,42の様子を示している。また、図4は、熱処理装置100の側断面図であり、後述する傾動機構62により姿勢変更される反射カバー32,42の様子を示している。また、図5は、熱処理装置100を図1の矢印Q1方向からみた縦断面図であり、後述する回動機構63により姿勢変更される反射カバー32,42の様子を示している。図6は、熱処理装置100の側断面図であり、後述する湾曲度変更機構64により形状変更される(より具体的には、湾曲される)反射カバー32,42の様子を示している。
上述したように、熱処理装置100においては、ハロゲンランプ31およびフラッシュランプ41からの光照射によって基板Wに対する熱処理が行われ、その際に、ハロゲンランプ31、フラッシュランプ41からそれぞれ照射された光線の一部は、反射カバー32の反射面321、反射カバー42の反射面421でそれぞれ反射されて半導体ウェハーWまで到達する。
上記の実施の形態に係る熱処理装置100においては、位置関係調整部6は、離間位置変更機構61、傾動機構62、回動機構63および湾曲度変更機構64を備えるとしたが、これらの全ての機構を必ずしも備える必要はなく、少なくとも1つの変更機構を備える構成としてもよい。
2 保持部
3 第1光照射部
4 第2光照射部
5 チャンバー
6 位置関係調整部
31 ハロゲンランプ
41 フラッシュランプ
61 離間位置変更機構
62 傾動機構
63 回動機構
64 湾曲度変更機構
100 熱処理装置
W 基板
Claims (6)
- 基板に対して光を照射することによって当該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された基板と所定の距離だけ離間した位置から前記基板に向けて光を照射する1以上の光照射手段と、
前記1以上の光照射手段のうちの所定の光照射手段にその反射面を対向させ、前記所定の光照射手段に対して前記保持手段の逆側に配置された反射カバーと、
前記所定の光照射手段に対する前記反射面の対向位置関係を調整する位置関係調整手段と、
を備え、
前記所定の光照射手段が、
平面状に配列された1以上のランプ、
を備え、
前記位置関係調整手段が、
前記1以上のランプが配列される平面の法線方向を中心として前記反射カバーを回動させる回動手段、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置であって、
前記位置関係調整手段が、
前記反射カバーを前記所定の光照射手段に対して進退させて、前記反射面と前記所定の光照射手段との離間距離を変更する離間距離変更手段、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1または2に記載の熱処理装置であって、
前記位置関係調整手段が、
前記反射カバーを傾動させて、前記1以上のランプが配列される平面と前記反射面とがなす角度を変更する傾動手段、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の熱処理装置であって、
前記位置関係調整手段が、
前記反射面を湾曲させる湾曲手段、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の熱処理装置であって、
前記1以上の光照射手段の1つが、
閃光を照射するフラッシュランプ、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の熱処理装置であって、
前記1以上の光照射手段の少なくとも1つが、
ハロゲンランプ、
を備えることを特徴とする熱処理装置。
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