JP5256607B2

JP5256607B2 - 液体充填装置、及び液体充填方法。

Info

Publication number: JP5256607B2
Application number: JP2006311746A
Authority: JP
Inventors: 千広藤森
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2006-11-17
Filing date: 2006-11-17
Publication date: 2013-08-07
Anticipated expiration: 2026-11-17
Also published as: JP2008126444A

Description

本発明は、液体充填装置、及び液体充填方法に関する。

液体噴射ヘッドから液体をターゲットに対して噴射する液体噴射装置として、例えば、インクジェット式プリンタ（以下、単に「プリンタ」と言う）が知られている。こうしたプリンタでは、着脱自在に構成されたインクカートリッジを装着し、そのインクカートリッジ内に収容されたインクパックから供給されるインクを液体噴射ヘッドから噴射することで印刷を行うものが一般的である。

従来、こうしたプリンタにインクを供給するインクパック内にインクを充填する場合には、インクパックにインク供給路を介してインクを貯留したインクタンクを接続し、そのインクタンク内を加圧状態とすることでインクパック内にインクを充填する方法が知られている（例えば、特許文献１）。また、インクパックとインクタンクとを接続するインク供給路の途中にポンプを設け、そのポンプを駆動させることによりインクタンク内に貯留されたインクを汲み上げてインクパック内に充填する方法も知られている（例えば、特許文献２）。

そして、特許文献１や特許文献２のインク充填方法が用いられるインク充填装置においては、インクパック内に充填するインクの量を調整するため、モータで駆動されるシリンジで所定量のインクを計りとった後、シリンジ内のインクをインクパック内に充填するようになっていた。

このとき、特許文献２においては、インクタンクとシリンジとに高低差があると、シリンジ用のモータではインクを吸引するのが困難となる。そのため、大容量の補充インクタンクからシリンジと同程度の高さに配置された小容量のインク充填用タンクにインクをポンプで汲み上げた後、インク充填用タンク内に貯留されたインクをシリンジ内に吸引するようになっていた。
特開２００３−３２６７３０号公報特開平６−１９１０４９号公報

ところが、特許文献１のようにインクタンク内を加圧状態とするタイプのインク充填装置においては、大容量のインクタンクを耐圧容器で構成したり、液漏れ防止用の設備を設けたりする必要があり、装置の構成が複雑になってしまうという問題があった。

また、特許文献２のインク充填装置においては、シリンジとの高低差を考慮しなければならないために装置の配置に制限があった。更に、インク補充用タンク内の液面位置の変化に伴ってシリンジを駆動するモータにかかる負荷が変動するため、シリンジ内に吸引されるインク量が安定せず、インクパックへのインク充填量の誤差が大きくなってしまうという問題があった。

なお、上記インクジェット式プリンタにインクを供給するインクパック内にインクを充填する場合に限らず、液体収容体に液体を充填するために用いられる液体充填装置においては、こうした実情も概ね共通したものとなっている。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡易な構成で液体収容体への液体充填量の誤差を小さくすることのできる液体充填装置、及び液体充填方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の液体充填装置は、液体タンク内に貯留された液体を、上流端が前記液体タンク内に連通されるとともに下流端が液体収容体内に連通されるように構成された液体供給路を通じて、前記液体収容体内に充填する液体充填装置であって、前記液体供給路の上流側から導入される前記液体を貯留可能であるとともに、その貯留した液体を前記液体供給路の下流側へ導出可能に構成された液体貯留室を具備した中間タンクと、該中間タンクと前記液体タンクとの間を連通する液体供給路の途中に設けられた上流側開閉弁と、前記中間タンクと前記液体収容体との間を連通する液体供給路の途中に設けられた下流側開閉弁と、前記中間タンクの前記液体貯留室内を加圧状態とするための加圧機構と、前記液体収容体内に充填する液体を計量する計量容器を具備した液体計量機構とを備え、該液体計量機構は前記下流側開閉弁よりも下流側の前記液体供給路の途中に設けられ、前記上流側開閉弁を閉弁状態とするとともに前記下流側開閉弁を開弁状態とした上で、前記液体貯留室内に前記加圧機構が加圧気体を供給して加圧状態とすることで、前記液体貯留室内に貯留されている液体を前記液体貯留室の下側から前記計量容器側に圧送し、前記液体計量機構によって前記計量容器内の液体を所定量に調整して前記液体収容体内に充填する。

この構成によれば、内部が加圧状態とされる中間タンクは、液体タンクよりも小容量でよく、加圧の際の圧力を低く抑えることができるため、耐圧のための構成を簡素化することができる。また、液体を液体収容体側に圧送することにより、装置を配置する上での自由度が向上する上、確実に液体が液体収容体側に送られるために充填量の誤差を小さくすることができる。

また、この構成によれば、液体を液体収容体側に圧送することにより、液体計量機構などを配置する上での自由度が向上する上、液体計量機構にかかる負荷が軽減されるので充填量の誤差を小さくすることができる。

また、本発明の液体充填装置は、前記液体貯留室内を減圧状態とするための減圧機構を更に備え、前記下流側開閉弁を閉弁状態とするとともに前記上流側開閉弁を開弁状態とした上で、前記液体貯留室内を前記減圧機構によって減圧状態とすることで、前記液体タンク内に貯留された液体を前記液体貯留室内に吸引する。

この構成によれば、液体を液体タンクから汲み上げるためのポンプを備える必要がなくなる。そのため、例えば加圧及び減圧が可能なポンプなどを用いることにより、装置の構成を簡素化することができる。
また、本発明の液体充填装置は、前記液体収容体と該液体収容体に接続される前記液体供給路の下流端とを内包する密閉容器を更に備え、前記減圧機構により前記密閉容器内を減圧状態とすることで液体充填前の前記液体収容体内の空気を排出させた後、前記液体供給路の下流端を前記液体収容体内に連通させて、液体を前記液体収容体内に充填する。

この構成によれば、減圧機構により密閉容器内を減圧状態とすることで液体充填前の液体収容体内の空気を排出させた後に液体を液体収容体内に充填するため、液体を充填する際に液体収容体内に空気が混入することが抑制される。なお、減圧機構は中間タンク内へ液体を吸引するための機構を兼用することができるため、新たな機構を追加する必要がない。

また、本発明の液体充填方法は、液体タンク内に貯留された液体を、上流端が前記液体タンク内に連通されるとともに下流端が液体収容体内に連通されるように構成された液体供給路を通じて、前記液体収容体内に充填する液体充填方法であって、前記液体供給路の途中に設けられた中間タンクの液体貯留室内を減圧機構によって減圧状態とすることで前記液体タンク内の液体を前記中間タンクの前記液体貯留室内に吸引する工程と、加圧機構によって前記中間タンクの前記液体貯留室内に加圧気体を供給して加圧状態とすることで前記中間タンクの前記液体貯留室内に貯留されている液体を前記液体貯留室の下側から前記液体収容体内に充填する液体を計量する計量容器側に圧送する工程と、前記計量容器内の液体を所定量に調整して前記液体収容体内に充填する工程とを備えた。

この構成によれば、上述の液体充填装置と同様の作用効果を得ることができる。

以下、本発明をインクジェット式プリンタ（以下、単にプリンタという）にインクを供給するインクパック内にインクを充填する液体充填装置について具体化した一実施形態を図１及び図２に従って説明する。

図１に示すように、液体充填装置１１において、内部に液体としてのインクが貯留された液体タンクとしてのインクタンク１２内には、インク供給管１３の上流端（図１では下端）が連通されている。また、インク供給管１３の下流端（図１では上端）は、脱気モジュール１４の流入側と接続されている。

脱気モジュール１４は、インク中に含まれる気体を除去するために設けられたもので、ハウジング１４ａ内に気体分子のみが透過する素材からなる中空糸１４ｂがインクの流れ方向に沿って複数収容されている。また、脱気モジュール１４のハウジング１４ａには、バルブＶ１を備えた吸気管１５を介して吸引ポンプＰ１が接続されている。したがって、バルブＶ１を開弁状態とするとともに吸引ポンプＰ１を駆動させてハウジング１４ａ内を減圧状態とした上で、中空糸１４ｂ内にインクを通過させると、インク中の溶存気体のみが中空糸を透過して吸気管１５を通じて吸引されるため、インクが脱気される。

脱気モジュール１４の流出側には、上流側開閉弁としてのバルブＶ２を備えたインク供給管１６の上流端（図１では左端）が接続されている。また、インク供給管１６の下流端（図１では右端）は、中間タンク１７に接続されている。

中間タンク１７は、図２に示すように、カップ部１７ａの下向きに配置された開口が蓋部１７ｂによって密封された態様となっており、カップ部１７ａ及び蓋部１７ｂで囲まれた内部空間が液体貯留室としての貯留室１７ｃとなっている。また、貯留室１７ｃ内には、フィルタセット１８が収容されている。

フィルタセット１８は、有底円筒形状のフィルタ部１８ａの下向きに配置された開口が円盤状の接続部材１８ｂによって封止された態様となっている。そして、接続部材１８ｂの周縁がカップ部１７ａの内周部に嵌合される態様で、フィルタセット１８は中間タンク１７に取り付けられている。また、接続部材１８ｂにおいてフィルタ部１８ａとの接合部分よりも外周側には、連通孔１８ｃが複数設けられている。したがって、貯留室１７ｃ内は接続部材１８ｂによって上下方向に区画されているが、上下の空間は連通孔１８ｃによって連通している。

インク供給管１６の下流端は、貯留室１７ｃ内において、フィルタ部１８ａ及び接続部材１８ｂで囲まれた空間内に開口している。また、貯留室１７ｃ内において接続部材１８ｂより下側の空間、すなわちフィルタ部１８ａ及び接続部材１８ｂで囲まれていない空間内には、中間タンク１７に接続されたインク供給管１９の上流端（図１では左端）が開口している。したがって、インク供給管１６の上流側から貯留室１７ｃ内に導入されたインクは、貯留室１７ｃ内に貯留されている間にフィルタ部１８ａを透過することで濾過され、インク供給管１９の下流側へ導出されるようになっている。

図１に示すように、インク供給管１９の途中には下流側開閉弁としてのバルブＶ３が設けられているとともに、バルブＶ３の下流側には、液体計量機構としてのシリンジ２０が設けられている。シリンジ２０は、計量容器としての円筒形状のシリンダ２０ａ内にピストン２０ｂが挿通されるとともに、ピストン２０ｂが図示しないモータの駆動によって上下方向に移動されるように構成されている。

また、インク供給管１９においてシリンジ２０の下流側には、バルブＶ４が設けられているとともに、インク供給管１９の下流端には、インク注入ノズル１９ａが接続されている。インク注入ノズル１９ａは、密閉容器２１内にその先端が開口するように、密閉容器２１の上壁に固定されている。

密閉容器２１にはバルブＶ５を備えた吸気管２２を介して減圧機構としての真空ポンプＰ２が接続されている。したがって、バルブＶ５を開弁状態とした上で真空ポンプＰ２を駆動させることによって、密閉容器２１内を略真空状態とすることができるようになっている。

また、密閉容器２１の底壁には上下動シリンダ２３が接続されている。上下動シリンダ２３は、密閉容器２１内においてインク注入ノズル１９ａの下方に配置された支持部材２４を支持するとともに、支持部材２４を上下方向に移動可能に構成されている。そして、支持部材２４は液体収容体としてのインクパック２５を支持可能に構成されている。

インクパック２５は、矩形状をなす２枚の可撓性フィルムを重ね合わせて、コの字形に３辺を熱溶着するとともに、残りの一辺をその中央から導出部材２５ａが突出するように配置された状態で熱溶着することで構成されている。導出部材２５ａは略円筒形状をなすとともに、インクパック２５から突出した先端側（図１では上側）の端部は外径が拡大されている。そして、導出部材２５ａの基端側（図１では下側）はインクパック２５内に開口している。

インクパック２５は、導出部材２５ａの外径が拡大された先端部が支持部材２４に係止されることで支持部材２４によって支持され、上下動シリンダ２３によって上下方向に移動されるようになっている。そして、インクパック２５が上下動シリンダ２３によって上方向に移動された場合には、導出部材２５ａがインク注入ノズル１９ａに接続され、インクパック２５内とインク供給管１９とが連通するようになっている。なお、本実施形態においては、インク供給管１３，１６，１９によって液体供給路が構成されている。

吸気管２２は、バルブＶ５よりも真空ポンプＰ２側において２系統に分岐され、その一方が真空ポンプＰ２に接続されるとともに、その他方が吸気管２２ａとして中間タンク１７側に延設されている。吸気管２２ａの途中にはバルブＶ６が設けられるとともに、中間タンク１７付近で配管２６の途中に接続されている。

配管２６は、一端側（図１では下側）が中間タンク１７に接続されて貯留室１７ｃ内に連通するとともに、他端側（図１では上側）が加圧機構としての加圧空気供給機構２７に接続されている。配管２６の吸気管２２ａとの接続部よりも加圧空気供給機構２７側には、バルブＶ７が設けられており、バルブＶ７を開弁状態とすると、配管２６を通じて貯留室１７ｃ内に加圧空気が供給されるようになっている。

配管２６の吸気管２２ａとの接続部よりも中間タンク１７側には、予備センサ２８が設けられているとともに、中間タンク１７のカップ部１７ａの上部側面には液面センサ２９が設けられている。

中間タンク１７に接続された配管２６の端部は、図２に示すように、貯留室１７ｃ内において、フィルタセット１８よりも上方位置に開口している。本実施形態において、貯留室１７ｃ内に貯留されるインクの上限量を示す液面位置は、配管２６の貯留室１７ｃ内における開口よりも下側位置となるように設定されている。そして、通常、貯留室１７ｃ内の液面位置は液面センサ２９によってモニタリングされているが、何らかの事情により液面位置が上限を超えて上昇し、配管２６内までインクが浸入してしまった場合は、予備センサ２８によって配管２６内の液面位置を検知するようになっている。

次に、上述した液体充填装置１１を使ってインクパック２５内にインクを充填する液体充填方法について説明する。
まず、図１に示すように、液体充填装置１１の密閉容器２１内に配置された支持部材２４にインクパック２５の導出部材２５ａを係止させる。そして、バルブＶ４、Ｖ６を閉弁状態とするとともにバルブＶ５を開弁状態とした上で、密閉容器２１に接続された真空ポンプＰ２を駆動させて密閉容器２１内を略真空状態とさせる。このとき、導出部材２５ａを通じてインクパック２５内の空気が排出される。

次に、上下動シリンダ２３を駆動させて導出部材２５ａをインク注入ノズル１９ａに接続し、インクパック２５内とインク供給管１９とを連通させる。
次に、バルブＶ３、Ｖ５、Ｖ７を閉弁状態とするとともに、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ６を開弁状態とした上で、吸引ポンプＰ１を駆動させる。このとき、真空ポンプＰ２も引き続き駆動されているため、中間タンク１７の貯留室１７ｃ内が減圧状態となり、インクタンク１２内に貯留されたインクが貯留室１７ｃ内に吸引される。また、脱気モジュール１４のハウジング１４ａ内も吸引ポンプＰ１の駆動によって減圧状態となるため、中空糸１４ｂ内を通過したインクは脱気された後に貯留室１７ｃ内に吸引される。

貯留室１７ｃ内にインクが吸引され、貯留室１７ｃ内の液面位置が上昇して上限液面位置に達したことを液面センサ２９が検知すると、吸引ポンプＰ１及び真空ポンプＰ２の駆動を停止させる。また、バルブＶ１、Ｖ２、Ｖ６を閉弁状態とするとともに、バルブＶ３、Ｖ７を開弁状態とする。

すると、加圧空気供給機構２７から配管２６を通じて中間タンク１７側に加圧空気が供給され、貯留室１７ｃ内の減圧状態が解消される。そして、更に加圧空気が供給されることにより、貯留室１７ｃ内が加圧状態とされ、貯留室１７ｃ内に貯留されているインクがインク供給管１９を通じて圧送される。

また、このインクの圧送と同時に、シリンジ２０に設けられたモータを駆動させて、シリンダ２０ａ内の容積を拡大させるようにピストン２０ｂを移動させる。このとき、貯留室１７ｃからはインクが圧送されているので、モータに大きな負荷をかけることなく、シリンダ２０ａ内にインクが吸引される。そして、シリンダ２０ａ内の容積がインクパック２５に充填するインク量に達すると、モータの駆動を一旦停止するとともに、バルブＶ３を閉弁状態とする。

そして、バルブＶ４を開弁状態とした上で、モータを再び駆動させてピストン２０ｂをシリンダ２０ａ内に挿通させる方向に移動させる。すると、シリンダ２０ａ内に計りとられたインクが、インク供給管１９を通じてインクパック２５内に充填される。このとき、インクパック２５内の空気は排出されているため、速やかにインクの充填が行われる。また、インク注入ノズル１９ａ及びインクパック２５は密閉容器２１に内包されているため、インクパック２５内に空気が混入することが抑制され、インクパック２５内は脱気された所定量のインクで満たされる。

ここで、中間タンク１７の貯留室１７ｃ内に、上限液面位置までインクが貯留された場合の貯留量は、インクパック２５内へのインク充填が所定回数（例えば、２〜３回）行える量に設定されているため、中間タンク１７内へのインク吸引を１回行った後、複数回のインク充填を行うことができる。そして、所定回数のインク充填が行われた後には、再び中間タンク１７へのインク吸引を行う。したがって、液面センサ２９において液面位置が低下したことを検知しなくても、中間タンク１７へのインク吸引を行うことができる。

なお、何らかの事情により液面位置が上限液面位置を超えて上昇し、予備センサ２８によって配管２６内に液面位置を検知した場合には、速やかにバルブＶ２、Ｖ６を閉弁状態として、貯留室１７ｃ内へのインクの流入を停止させる。

上記説明した実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、中間タンク１７はインクタンク１２よりも小容量でよいため、加圧の際の圧力を低く抑えることができる。例えば、インクタンク１２の容量が２００〜６００リットルである場合には、中間タンク１７の容量は２０〜４０リットル程度でよい。したがって、耐圧のための構成を簡素化することができる。

（２）上記実施形態では、中間タンク１７はインクタンク１２よりも小容量でよいため、速やかに圧力状態を変化させることができる。したがって、貯留室１７ｃに大気開放のための設備を備えて減圧状態から加圧状態に切り替えられる際に大気開放等の操作を行う必要がないため、装置及び制御を簡素化することができる。

（３）上記実施形態では、貯留室１７ｃ内から圧送されたインクを、シリンジ２０によって所定量を計りとってインク充填量を調整するようにしたため、シリンジ２０のモータにかかる負荷が軽減され、インク充填量の誤差を小さくすることができる。また、中間タンク１７がシリンジ２０よりも低い位置に配置された場合でも無理なくピストン２０ｂを移動させることができるため、配置の自由度が向上する。

（４）上記実施形態では、真空ポンプＰ２によって密閉容器２１内を略真空状態としてインク充填前のインクパック２５内の空気を排出させた後にインクを充填するようにしたため、インクパック２５内に空気が混入することが抑制される。なお、真空ポンプＰ２は中間タンク１７内へインクを吸引する際にも利用しているため、構成を簡素化することができる。

（５）上記実施形態では、貯留室１７ｃの下側からインクを圧送するようにしたため、圧送されるインク中に貯留室１７ｃ内の空気が混入することを抑制することができる。また、インクタンク１２内のインク量が減少した状態でインクを吸引するなどして、インクとともに吸引された空気が貯留室１７ｃ内に流入してしまった場合にも、流入した空気は配管２６を通じて排出されるため、圧送されるインク中に空気が混入することを抑制することができる。

なお、上記実施形態は以下のような別の実施形態に変更してもよい。
・上記実施形態においては、減圧機構として真空ポンプＰ２を使用するとともに、加圧機構として加圧空気供給機構２７を使用するようにしたが、減圧及び加圧が可能なポンプなどを減圧機構及び加圧機構として使用してもよい。この場合にも、装置の構成を簡素化することができる。

・上記実施形態において、密閉容器２１及び真空ポンプＰ２を備えない構成としてもよい。この場合には、インクタンク１２内に貯留されたインクを中間タンク１７内に汲み上げるためのポンプを設けるようにすればよい。

・上記実施形態において、シリンジ２０を備えない構成としてもよい。この場合にも、インクを圧送することにより、装置を配置する上での自由度が向上する上、インクを確実にインクパック２５側に導出させることができるため、充填量の誤差を小さくすることができる。

・上記実施形態において、計量容器はシリンジ２０を構成するシリンダ２０ａに限らず、その他の計量容器又は液体計量機構によってインク量を調整するようにしてもよい。
・上記実施形態において、液面センサ２９及び予備センサ２８を備えない構成としてもよい。

・上記実施形態において、貯留室１７ｃの下限液面位置を設定し、液面センサ２９によってこの下限液面位置を検知した場合に、中間タンク１７内にインクを吸引するようにしてもよい。この場合には、何らかの事情によって生じた中間タンク１７における液漏れなどを検知することもできる。

・上記実施形態においては、本発明にかかる液体充填装置をインクジェット式プリンタにインクを供給するインクパック内にインクを充填する場合について説明したが、こうしたインクパックに限らない他の液体収容体に液体を充填する場合にも本発明は同様に適用することができる。例えば、ファクシミリや複写機等に用いられる印刷装置や、液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイ、あるいは面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材などの液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、更には精密ピペットとしての試料噴射装置等に液体を供給するための液体収容体内に液体を充填する場合に適用してもよい。

実施形態における液体充填装置の概略構成図。実施形態における中間タンクの構成を示す一部断面図。

符号の説明

１１…液体充填装置、１２…液体タンクとしてのインクタンク、１３，１６，１９…液体供給路としてのインク供給管、１７…中間タンク、１７ｃ…液体貯留室としての貯留室、２０…液体計量機構としてのシリンジ、２０ａ…計量容器としてのシリンダ、２１…密閉容器、２５…液体収容体としてのインクパック、２７…加圧機構としての加圧空気供給機構、Ｐ２…減圧機構としての真空ポンプ、Ｖ２…上流側開閉弁としてのバルブ、Ｖ３…下流側開閉弁としてのバルブ。

Claims

液体タンク内に貯留された液体を、上流端が前記液体タンク内に連通されるとともに下流端が液体収容体内に連通されるように構成された液体供給路を通じて、前記液体収容体内に充填する液体充填装置であって、
前記液体供給路の上流側から導入される前記液体を貯留可能であるとともに、その貯留した液体を前記液体供給路の下流側へ導出可能に構成された液体貯留室を具備した中間タンクと、
該中間タンクと前記液体タンクとの間を連通する液体供給路の途中に設けられた上流側開閉弁と、
前記中間タンクと前記液体収容体との間を連通する液体供給路の途中に設けられた下流側開閉弁と、
前記中間タンクの前記液体貯留室内を加圧状態とするための加圧機構と、
前記液体収容体内に充填する液体を計量する計量容器を具備した液体計量機構とを備え、
該液体計量機構は前記下流側開閉弁よりも下流側の前記液体供給路の途中に設けられ、
前記上流側開閉弁を閉弁状態とするとともに前記下流側開閉弁を開弁状態とした上で、前記液体貯留室内に前記加圧機構が加圧気体を供給して加圧状態とすることで、前記液体貯留室内に貯留されている液体を前記液体貯留室の下側から前記計量容器側に圧送し、前記液体計量機構によって前記計量容器内の液体を所定量に調整して前記液体収容体内に充填することを特徴とする液体充填装置。
前記液体貯留室内を減圧状態とするための減圧機構を更に備え、
前記下流側開閉弁を閉弁状態とするとともに前記上流側開閉弁を開弁状態とした上で、前記液体貯留室内を前記減圧機構によって減圧状態とすることで、前記液体タンク内に貯留された液体を前記液体貯留室内に吸引することを特徴とする請求項１に記載の液体充填装置。
前記液体収容体と該液体収容体に接続される前記液体供給路の下流端とを内包する密閉容器を更に備え、
前記減圧機構により前記密閉容器内を減圧状態とすることで液体充填前の前記液体収容
体内の空気を排出させた後、前記液体供給路の下流端を前記液体収容体内に連通させて、液体を前記液体収容体内に充填することを特徴とする請求項２に記載の液体充填装置。
液体タンク内に貯留された液体を、上流端が前記液体タンク内に連通されるとともに下流端が液体収容体内に連通されるように構成された液体供給路を通じて、前記液体収容体内に充填する液体充填方法であって、
前記液体供給路の途中に設けられた中間タンクの液体貯留室内を減圧機構によって減圧状態とすることで前記液体タンク内の液体を前記中間タンクの前記液体貯留室内に吸引する工程と、
加圧機構によって前記中間タンクの前記液体貯留室内に加圧気体を供給して加圧状態とすることで前記中間タンクの前記液体貯留室内に貯留されている液体を前記液体貯留室の下側から前記液体収容体内に充填する液体を計量する計量容器側に圧送する工程と、
前記計量容器内の液体を所定量に調整して前記液体収容体内に充填する工程とを備えたことを特徴とする液体充填方法。