JP5233333B2 - 中空容器成膜装置 - Google Patents
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Description
また、複数のガス供給管からの放出ガスをいったん混合して、共有のガス混合ノズルを通して噴出させることができるので、ガスの混合が充分に行われ、成膜される中空容器の内面に到達するガスの組成は極めて均一な状態を作り出すことが可能になる。
これは膜特性の均一な分布を実現する上で有利となる。また、爆発の危険が高くなるガスの組み合わせであっても、直近で混合することにより、装置の安全性を高めることが可能となる。
PETボトル等のプラスチック中空容器8が入る大きさの外形を備えた金属空洞筐体1と金属蓋2は、外部電極として使用されるために整合装置3を介して高周波電源4に接続されている。対向する内部電極として使用されるガス供給管5の内側には同軸配置された異なるガス管が設置されている。ガス供給管5と金属支持筐体6は接地されており、金属空洞筐体1及び金属蓋2とは誘電体7によって絶縁されている。プラズマ成膜の対象となるプラスチック中空容器8と金属空洞筐体1の間に出来た空間には、テフロン(登録商標)、PET等のプラスチック材料を加工した誘電体部品9が配置される。図2は、図1の中空容器成膜装置の金属蓋を外し上から見た模式図(平面図)である。装置開放時のため、プラスチック中空容器8は表示されていない。a−a' 線の立断面図が図1に相当し、ガス供給管5の拡大された立断面図も図3,4に相当するものである。
◇プラズマ処理条件1
主ガスHMDSOを流量10ml/分にて、かつサブガスとして酸素の流量を50ml/分にて混合注入してPETボトル容器内の真空度を15Pa前後の真空圧力に調整した状態において、高周波電源(周波数13.56MHz)により成膜槽あたり250Wにて電力供給を約10秒間行う操作を行った。
◇プラズマ処理条件2
主ガスであるメタンガスを流量50ml/分にて、かつサブガスとして窒素の流量を30ml/分にて混合注入してPETボトル容器内の真空度を15Pa前後の真空圧力に調整した状態において、高周波電源(周波数13.56MHz)により成膜槽あたり250Wにて電力供給を約5秒間行う操作を行った。
ガス供給管10を使用してプラズマ処理条件1を行った後、5秒間の間隔をおいてガス供給管11を使用してプラズマ処理条件2を実施した。
ガス供給管10を使用してプラズマ処理条件1のみ実施した。
ガス供給管11を使用してプラズマ処理条件1のみ実施した。
ガス供給管13を使用してプラズマ処理条件1を行った後、5秒間の間隔をおいてガス供給管14を使用してプラズマ処理条件2を実施した。
ガス供給管13を使用してプラズマ処理条件1のみ実施した。
ガス供給管14を使用してプラズマ処理条件1のみ実施した。
上記実施例と比較例において成膜されたプラスチック中空容器について、1個体、1日当たりの酸素ガス透過量により、膜のバリア性を比較評価した。
酸素透過量
(ml/個体-day) 0.0017 0.0025 0.0028 0.0020 0.0038 0.0037
バリア性評価 ○ △ △ △ × ×
(○は良好、△は概ね良好だが不充分、×は不良を表す。)
実施例1についてはバリア膜の積層効果により実施例2,3よりバリア値が改善された。実施例2,3、比較例1についてもバリア値は良好であるが実施例1より劣る。比較例1は実施例2,3よりバリア性の数値は若干良好ではあるが、バリア膜の積層効果であり、同様の積層形態の実施例1より劣ることはガス供給管の違いを反映している。比較例2,3については、並行して配置されたガス供給管の影響によると思われるバリア低下が確認された。
2・・・・金属蓋
3・・・・整合器
4・・・・高周波電源
5・・・・ガス供給管
6・・・・金属支持筐体
7・・・・誘電体(絶縁材)
8・・・・プラスチック中空容器
9・・・・誘電体部品
10・・・・ガス供給管(外側)
11・・・・ガス供給管(内側)
12・・・・ガス混合ノズル
13、14・・・・ガス供給管
15・・・・ガス流量制御弁
16・・・・ガス噴出孔
Claims (3)
- プラズマ成膜を行う筐体とプラズマを発生させる為の高周波電源、ガス供給管及び真空排気装置を少なくとも備えて中空容器に成膜を行う装置において、最外郭のガス供給管内部に1本以上の別のガス供給管が同軸配置されるとともに、複数のガス供給管の出口側端部に、最外郭のガス供給管からなり、かつ、最外郭のガス供給管内に配置された別のガス供給管の先端よりも長い部分である、ガス混合器と噴出孔の機能を兼ね備えた共有のガス混合ノズルを有する事を特徴とする中空容器成膜装置。
- 複数のガス供給管が、それぞれ独立したガス流量制御弁を有する事を特徴とする請求項1記載の中空容器成膜装置。
- 同軸配置された複数のガス供給管の内、少なくとも最外郭のガス供給管が導電体材料から成る事を特徴とする請求項1または2に記載の中空容器成膜装置。
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