JP5228968B2 - 試料ホルダ組み立て体、複数の試料ホルダのセット、ホルダ高さ調整治具、及び試料ホルダベース - Google Patents

Description

本発明は、電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）や電子顕微鏡等の表面分析装置に用いられる試料ホルダベース、この試料ホルダベースの上に配置される複数の試料ホルダのセット、試料ホルダベースと複数の試料ホルダで構成される試料ホルダ組み立て体、複数の試料ホルダのセットの高さを調整するホルダ高さ調整治具に関する。

ＥＰＭＡや電子顕微鏡等の表面分析装置は、鏡筒の内部に収容された試料に電子ビームなどの励起源を照射し、励起源の照射によって試料から放出される２次電子、反射電子、特性Ｘ線等を検出し、試料表面の形態観察や極微少部分の元素分析等を行う。ＥＰＭＡで表面分析を行う際、精度のよい元素分析を行うために、試料のどの部分でも入射電子線の侵入深さや発生する特性Ｘ線の脱出距離等の条件が等しくなるように、測定試料面が電子線の入射方向に対して垂直になるように試料面を水平に揃えて、試料ホルダに装着し、更に、試料の分析面と試料ホルダの最上面が揃うように高さを調節する必要がある。又、分析は、表面分析装置の試料ステージに導入可能な試料ホルダベースに、試料ホルダを固定することにより行う。

例えば、図１６に示すように、従来の試料ホルダベースは、取っ手１４４を備えるベース１４２の上に、サブベース１４１を４つの支柱５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄでそれぞれの４隅を固定した構造をとっている。この構造をとるのは、あらかじめ決められた高さに分析する試料面があるように、不足する高さを調整するためである。図１６（ａ）において示すように、９つの試料ホルダ取付用穴ｒ_１１，ｒ_１２，…ｒ_１９がサブベース１４１に均等に設けられており、試料ホルダは、最大で９つしかサブベース１４１に固定することができない。又、サブベース１４１の中央に位置する試料ホルダ取付用穴ｒ_１５を除く、試料ホルダ取付用穴ｒ_１１，ｒ_１２，…ｒ_１９に対応する８つの試料ホルダ固定用ネジ穴４１ａ，４１ｂ，…４１ｈがそれぞれサブベース１４１の側面に設けられ、試料ホルダ固定用の押しネジが導入可能になっている。一方、試料ホルダ固定用の押しネジの導入の困難な位置となるサブベース１４１の中央の試料ホルダ取付用穴ｒ_１５には、試料ホルダ取付用穴ｒ_１５への試料ホルダの固定用に、サブベース１４１の試料ホルダ取付用穴ｒ_１５の近傍にサブベース１４１の主面に垂直方向に、２つの試料ホルダ固定用ネジ穴９１ａ，９１ｂが設けられている。

一例として示せば、従来の試料ホルダベースに固定される、試料収納部１６１とホルダ固定用凸部１６２からなる従来の試料ホルダ本体（１６１，１６２）は、図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すような形状をなし、８箇所の試料固定用ネジ穴１０３ａ，１０３ｂ，…１０３ｈ（一部図示省略）を備え、ホルダ固定用凸部１６２を、図１６に示したサブベース１４１の中央の試料ホルダ取付用穴ｒ_１５を除く他の試料ホルダ取付用穴ｒ_１１，ｒ_１２，…ｒ_１９の内の一つに挿入し、それぞれに対応した試料ホルダ固定用ネジ穴４１ａ，４１ｂ，…４１ｈの内の一つに押しネジを導入して固定される。ここで、試料ホルダ本体（１６１，１６２）の試料収納部１６１は、例えば、外径ｌ_２１が２６ｍｍ、高さｈ_３１が２３ｍｍ、深さｈ_３２が２０ｍｍである。

又、図１９（ａ）及び図１９（ｂ）は、試料ホルダ本体（１６１，１６２）よりも大きさの大きい、試料収納部１７１とホルダ固定用凸部１７２からなる試料ホルダ本体（１７１，１７２）の例であり、８箇所の試料固定用ネジ穴１０４ａ，１０４ｂ，…１０４ｈ（一部図示省略）を備え、ホルダ固定用凸部１７２を、図１６（ａ）に示したサブベース１４１の中央の試料ホルダ取付用穴ｒ_１５を除く他の試料ホルダ取付用穴ｒ_１１，ｒ_１２，…ｒ_１９の内の一つに挿入し、それぞれに対応した試料ホルダ固定用ネジ穴４１ａ，４１ｂ，…４１ｈの内の一つを介して固定される。ここで、試料ホルダ本体（１７１，１７２）の試料収納部１７１は、例えば、外径ｌ_３１が３２．５ｍｍで、高さｈ_３１及び深さｈ_３２が図１８に示した試料収納部１６１と同じである。

一方、図２０は、従来の試料ホルダベースのサブベース１４１の中央に固定される専用の試料ホルダの一例であり、試料収納部１８１とホルダ固定用凸部１８２からなる試料ホルダ本体（１８１，１８２）は、８箇所の試料固定用ネジ穴１０５ａ，１０５ｂ，…１０５ｈ（一部図示省略）と試料ホルダ固定用穴１８３ａ，１８３ｂとを備えており、試料ホルダ本体（１８１，１８２）は、図１６（ａ）に示したサブベース１４１の試料ホルダ取付用穴ｒ_１５にホルダ固定用凸部１８２を挿入して、試料ホルダ固定用穴１８３ａ，１８３ｂと試料ホルダ固定用ネジ穴９１ａ，９１ｂとを介して、固定ネジ等により、サブベース１４１に固定される。又、試料ホルダ本体（１８１，１８２）の試料収納部１８１は、例えば、外径ｌ_２１、高さｈ_３１及び深さｈ_３２が、図１８に示した試料収納部１６１と同じである。

図２３に、従来の試料ホルダベースのサブベース１４１の試料ホルダ取付用穴ｒ_１１，ｒ_１２，…ｒ_１９に試料ホルダ本体２１１，２１２，…２１９をそれぞれ固定している状態を示す。ここで、試料ホルダ本体２１１〜２１９は、例えば、直径２５ｍｍの試料を収納できる大きさである。従来の試料ホルダベースは、図２３に示すサブベース１４１の中央の試料ホルダ取付用穴ｒ_１５に固定する試料ホルダ本体２１５に関しては、図２０に示したような試料ホルダ固定用穴１８３ａ，１８３ｂを備えた試料ホルダ本体（１８１，１８２）を別途用いなければならなかった。

図１７は、図１６に示した従来の試料ホルダベースを用いて、ＥＰＭＡによる分析を行う際に、分析することが可能な分析可能領域１５１を示している。従来の試料ホルダベースを用いる場合に、試料ホルダを固定等して自由に使用することができる空間である使用可能領域１５２が、例えば、１００ｍｍ×１００ｍｍ×５０ｍｍのとき、分析可能領域１５１は、９０ｍｍ×９０ｍｍの範囲内に定められている。又、サブベース１４１に搭載した各分析試料の高さに６ｍｍ程度の段差があっても分析することができる。ＥＰＭＡ本体の対物レンズ下面には、反射電子検出器や結晶保護用静電トラップなどの障害物がなく、試料スペースが大きく設計されており、様々な試料に対応できるようになっているが、一般的な分析試料としては、樹脂で固めて表面を研磨などの処理を行った包埋試料を図１８〜図２０に示した試料収納部１６１，１７１，１８１に固定して用いる。又、分析試料の大きさも直径が２５ｍｍ前後や３２ｍｍ前後で、厚みが１５ｍｍ前後のものが多く使用されており、分析試料の形状等は比較的限定されてしまっている。

図２１に示すように、試料収納部１９１とホルダ固定用凸部２９２からなる従来の試料ホルダ本体（１９１，２９２）の試料搭載空間の底部には、円形底部２９１が固定ネジ２８６によって固定されている。又、試料ホルダ本体（１９１，２９２）は８箇所の試料固定用ネジ穴１０６ａ，１０６ｂ，…１０６ｈ（一部図示省略）を備えている。ここで、例えば、試料収納部１９１の外径ｌ_４１は２６ｍｍ、高さｈ_４１は３０ｍｍ、深さｈ_４２は２０ｍｍである。

又、図２２に示すように、試料収納部２０１とホルダ固定用凸部２９４からなる従来の試料ホルダ本体（２０１，２９４）の試料搭載空間の底部には、円形底部２９３が固定ネジ２８７によって固定されている。又、試料ホルダ本体（２０１，２９４）は８箇所の試料固定用ネジ穴１０７ａ，１０７ｂ，…１０７ｈ（一部図示省略）を備えている。ここで、例えば、試料収納部２０１の外径l_５１は３９ｍｍ、高さｈ_５１は２３ｍｍ、深さｈ_５２は１３ｍｍである。試料ホルダ本体（１９１，２９２）及び試料ホルダ本体（２０１，２９４）のように高さの異なる試料ホルダ本体を分析に使用する場合は、各々個別の試料ホルダベースを用意するか、図１６で示したサブベース１４１を支える支柱５１ａ〜５１ｄを別の支柱に組み替えて高さ調整を行う必要がある。又、上述したように、図１６に示した従来の試料ホルダベースはベース１４２に支柱５１ａ〜５１ｄを介してサブベース１４１を固定して高さ調整を行っており、サブベース１４１が板状であるため、高さの異なる試料ホルダ本体（１９１，２９２）及び試料ホルダ本体（２０１，２９４）を同時にサブベース１４１に搭載して分析することができない。

このように分析の際、試料ステージのストロークは限られているため、分析可能な高さに分析する試料面があるように、試料ホルダベースに支柱を立てて、板状のサブベースを固定した構造をとることにより、高さ調整を行っている。又、その際、複数個の試料ホルダを一つの試料ホルダベースに固定することも可能ではあるが、上記の理由から、高さの異なる試料ホルダを同時に固定することはできない不都合がある。

図２４に、従来の試料ホルダベースのサブベース１４１の試料ホルダ取付用穴ｒ_１１，ｒ_１３，ｒ_１７，ｒ_１９に、試料ホルダ本体２２１，２２２，２２３，２２４をそれぞれ固定している状態を示している。ここで、試料ホルダ本体２２１〜２２４は直径３２ｍｍの大きさの試料を収納できるが、図２４に示すように、サブベース１４１では、直径３２ｍｍの大きさの試料を収納できる試料ホルダ本体２２１，２２２等は、サブベース１４１上に４つしか固定することができない。

ここで、図２５は、従来の試料ホルダベースの別の一例を示している。サブベース２３１は、４箇所の試料ホルダ専用取付用穴ｑ_１１，ｑ_１２，ｑ_１３，ｑ_１４、及び４つの試料ホルダ固定用ネジ穴７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ（一部図示省略）を備え、試料ホルダ専用取付用穴ｑ_１１，ｑ_１３に、試料ホルダ本体２３３，２３４が固定ネジ７３，７２でそれぞれ固定されている。又、サブベース２３１は、支柱６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄによって、取っ手２３２を備えたベース２３５に固定されている。図２５に示す試料ホルダベースは、図１６に示した試料ホルダベースでは固定することができない直径が３２ｍｍを超える大きさの試料を分析する際の専用の試料ホルダベースとして用いられている。このように、従来は、試料の大きさに合わせて、大きさが異なる試料ホルダを用いる場合には、使用する試料ホルダの大きさに対応した試料ホルダベースも用意する必要があった。

そのため、複数の試料台を収容可能な凹部と、凹部に収容された各試料台の載置面の一部を露出させる開口窓を構成する枠縁部を有する押さえ部材（キャップ）と、凹部の内部に配置されて、各試料台をそれぞれ押さえ部材の枠縁部に向かって上方に押し付けて付勢するばね（付勢手段）とを備え、厚みの異なる複数の試料の上面が同一水平レベルになるように固定する試料ホルダが提案されている（特許文献１）。ＥＰＭＡでは超高真空環境下で試料の測定を行うため、鏡筒の試料室に試料を出し入れする際は、鏡筒の試料室の内部をその都度昇圧及び減圧しなければならず、試料ホルダの交換に多くの作業時間を要してきた。特許文献１に記載の発明によれば、厚みの異なる複数の種類の試料をまとめて試料ホルダの凹部に収容して、上面を同一水平レベルになるように固定することができるため、上述した昇減圧操作を伴う試料ホルダの交換時間を短縮することができ、試料の分析を能率的に行うことができる。

特開平８−２５４５１１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の発明は、単一の試料ホルダに設けられた四隅が切除された方形の凹部の内部に複数の試料を収容するものであり、使用する試料ホルダの大きさや構造により、固定できる試料の数や形状が制限されてしまう。

上述した問題点を鑑み、本発明は、厚みや大きさの異なる複数の試料のそれぞれの形状に合わせて用意した複数の試料ホルダを、一つの試料ホルダベース上に同時に固定し、信頼性の高い試料の表面分析を可能にする試料ホルダベース、この試料ホルダベースの上に配置される複数の試料ホルダのセット、試料ホルダベースと複数の試料ホルダで構成される試料ホルダ組み立て体、複数の試料ホルダのセットの高さを調整するホルダ高さ調整治具を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の態様は、上面に複数のスペーサ取付用凹部を配列した試料ホルダベースと、複数のスペーサ取付用凹部を介して試料ホルダベースにそれぞれ固定される複数の試料ホルダとを備える試料ホルダ組み立て体に関する。即ち、この試料ホルダ組み立て体を構成する複数の試料ホルダのそれぞれが、（イ）試料搭載空間をなす試料収納部、この試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部とを有する試料ホルダ本体と、（ロ）試料収納部の底部と試料ホルダベースの上面との間の距離を調整する高さを有し、ホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有するスペーサ、このスペーサの上部においてホルダ固定用凸部をスペーサに固定するホルダ固定手段、スペーサの下部においてスペーサをスペーサ取付用凹部のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段を有するホルダ高さ調整治具とを備えることを要旨とする。

本発明の他の態様は、上面に複数のスペーサ取付用凹部を配列した試料ホルダベースに、複数のスペーサ取付用凹部を介して固定される複数の試料ホルダのセットに関する。即ち、これらの複数の試料ホルダのそれぞれが、（イ）試料搭載空間をなす試料収納部、この試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部とを有する試料ホルダ本体と、（ロ）試料収納部の底部と試料ホルダベースの上面との間の距離を調整する高さを有し、ホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有するスペーサ、このスペーサの上部においてホルダ固定用凸部をスペーサに固定するホルダ固定手段、スペーサの下部においてスペーサをスペーサ取付用凹部のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段を有するホルダ高さ調整治具とを備えることを要旨とする。そして、試料収納部の高さが互いに異なる複数の試料ホルダ本体と、複数の試料ホルダ本体にそれぞれ適合するホルダ高さ調整治具とが一対をなし、試料収納部の上面の高さが同一となるように選定されていることを特徴とする。

本発明の更に他の態様は、上面に複数のスペーサ取付用凹部を配列した試料ホルダベースに、試料収納部の高さが互いに異なる複数の試料ホルダ本体を、試料収納部の上面の高さが同一となるように固定するためのホルダ高さ調整治具に関する。即ち、このホルダ高さ調整治具が、（イ）試料ホルダ本体が有する試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有し、試料収納部の底部と試料ホルダベースの上面との間の距離を調整する高さを有するスペーサと、（ロ）このスペーサの上部においてホルダ固定用凸部をスペーサに固定するホルダ固定手段と、（ハ）スペーサの下部においてスペーサをスペーサ取付用凹部のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段とを有することを要旨とする。

本発明の更に他の態様は、試料ホルダ本体が備える試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有するスペーサをそれぞれ介して、試料収納部の高さが互いに異なる複数の試料ホルダ本体を、試料収納部の上面の高さが同一となるように固定するための試料ホルダベースに関する。即ち、この試料ホルダベースが、スペーサのそれぞれの下部に設けられたスペーサ固定手段を挿入するためのスペーサ取付用凹部を複数個、上面に配列したことを要旨とする。

本発明によれば、厚みや大きさの異なる複数の試料のそれぞれの形状に合わせて用意した複数の試料ホルダを、一つの試料ホルダベース上に同時に固定し、信頼性の高い試料の表面分析を可能にする試料ホルダベース、この試料ホルダベースの上に配置される複数の試料ホルダのセット、試料ホルダベースと複数の試料ホルダで構成される試料ホルダ組み立て体、複数の試料ホルダのセットの高さを調整するホルダ高さ調整治具を提供することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る高さの異なる試料ホルダ本体をホルダ高さ調整治具を介して一つの試料ホルダベースに固定する一例を示す断面図である。 本発明の第１の実施の形態に係る高さの異なる試料ホルダ本体をホルダ高さ調整治具を介して一つの試料ホルダベースに固定する一例を示す上面図である。 本発明の第１の実施の形態に係る試料ホルダベースの構造の一例を示している。 本発明の第１の実施の形態に係るホルダ高さ調整治具の一例を示している（その１）。 本発明の第１の実施の形態に係るホルダ高さ調整治具の一例を示している（その２）。 本発明の第２の実施の形態に係る大きさの異なる試料ホルダ本体をホルダ高さ調整治具を介して一つの試料ホルダベースに固定する一例を示す断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係る大きさの異なる試料ホルダ本体をホルダ高さ調整治具を介して一つの試料ホルダベースに固定する一例を示す上面図である。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の一例を示している（その１）。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の一例を示している（その２）。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の試料ホルダベースへの固定の一例を示している（その１）。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の試料ホルダベースへの固定の一例を示している（その２）。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の試料ホルダベースへの固定の一例を示している（その３）。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の試料ホルダベースへの固定の一例を示している（その４）。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の試料ホルダベースへの固定の一例を示している（その５）。 本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の試料ホルダベースへの固定の一例を示している（その６）。 従来の試料ホルダベースの構造を例示している。 従来の試料ホルダベースにおける使用可能領域及び分析可能領域を例示している。 従来の試料ホルダ本体の一例を示している（その１）。 従来の試料ホルダ本体の一例を示している（その２）。 従来の試料ホルダ本体の一例を示している（その３）。 従来の試料ホルダ本体の一例を示している（その４）。 従来の試料ホルダ本体の一例を示している（その５）。 従来の試料ホルダベースへの試料ホルダ本体の固定の一例を示している（その１）。 従来の試料ホルダベースへの試料ホルダ本体の固定の一例を示している（その２）。 従来の試料ホルダベースへの試料ホルダ本体の固定の一例を示している（その３）。

次に、図面を参照して、本発明の第１及び第２の実施の形態を説明する。以下の図式において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、縦横の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。又、図面相互間においても互いの比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

又、以下に示す第１及び第２の実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成物品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において種々の変更を加えることができる。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体は、図１及び図２に示すように、上面に複数のスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_２４，…を配列した試料ホルダベース２２と、スペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_２４を介して試料ホルダベース２２にそれぞれ固定される試料ホルダ１，２とを備える試料ホルダ組み立て体である。

第１の試料ホルダ１は、試料搭載空間をなす試料収納部１１と、この試料収納部１１の底部に設けられたホルダ固定用凸部３５とを有する第１の試料ホルダ本体（１１，３５）と、試料収納部１１の底部と試料ホルダベース２２の上面との間の距離を調整する高さを有し、ホルダ固定用凸部３５を収納する凹部を有する第１のスペーサ１３、この第１のスペーサ１３の上部においてホルダ固定用凸部３５を第１のスペーサ１３に固定するホルダ固定手段（押しネジ）１５、第１のスペーサ１３の下部において第１のスペーサ１３をスペーサ取付用凹部ｍ_１４に挿入して固定するスペーサ固定手段（固定ネジ）１４を有する第１のホルダ高さ調整治具（１３，１４，１５）とを備える。

一方、第２の試料ホルダ２は、試料搭載空間をなす試料収納部１６と、この試料収納部１６の底部に設けられたホルダ固定用凸部３６とを有する第２の試料ホルダ本体（１６，３６）と、試料収納部１６の底部と試料ホルダベース２２の上面との間の距離を調整する高さを有し、ホルダ固定用凸部３６を収納する凹部を有する第２のスペーサ１８、この第２のスペーサ１８の上部においてホルダ固定用凸部３６を第２のスペーサ１８に固定するホルダ固定手段（押しネジ）２１、第２のスペーサ１８の下部において第２のスペーサ１８をスペーサ取付用凹部ｍ_２４に挿入して固定するスペーサ固定手段（固定ネジ）１９を有する第２のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）とを備える。

第１の試料ホルダ１の試料収納部１１は、試料３０１の厚みに合わせて用意され、試料搭載空間の底部に円形底部１２を装着している。第１の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体においては、ホルダ固定用凸部３５はホルダ固定手段としての押しネジ１５によって第１のスペーサ１３に固定されている。更に、第１のスペーサ１３はスペーサ固定手段としての固定ネジ１４によって、取っ手２３を備える試料ホルダベース２２のスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１４に固定されている（試料ホルダベース２２の平面図は図３参照。）。第２の試料ホルダ２の試料収納部１６は、試料３０２の厚みに合わせて用意した、円形底部１７を装着している。第１の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体においては、ホルダ固定用凸部３６は、ホルダ固定手段としての押しネジ２１によって第２のスペーサ１８に固定されている。更に、第２のスペーサ１８はスペーサ固定手段としての固定ネジ１９によって試料ホルダベース２２のスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_２４に固定されている。

試料ホルダベース２２上における、第１の試料ホルダ１の試料収納部１１の高さｈ_６１と第１のスペーサ１３の高さｓ_６１を足し合わせた全体の高さＴ_mesの値と、第２の試料ホルダ２の試料収納部１６の高さｈ_７１と第２のスペーサ１８の高さｓ_７１を足し合わせた値は、互いに等しくなるように調節されている。

図２は、図１で示した試料ホルダベース２２上に第１の試料ホルダ１の試料収納部１１及び第２の試料ホルダ２の試料収納部１６が並んで固定されている状態の上面図を示している（図１は、図２に示す上面図のＩ−Ｉ方向から見た断面図に対応する。）。第１の試料ホルダ１の試料収納部１１は試料３０１（図示省略）を固定するための試料固定用ネジ穴２９ａ，２９ｂ，２９ｃ，２９ｄ等を備え、同様に、第２の試料ホルダ２の試料収納部１６も試料３０２（図示省略）を固定するための試料固定用ネジ穴３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ等を備えている。ここで、第１の試料ホルダ１の試料収納部１１と第２の試料ホルダ２の試料収納部１６の水平方向の大きさは等しい。ここで「水平方向」とは、試料ホルダベース２２の主面（表面）に平行な方向である。

図３（ａ）は第１の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体に用いる試料ホルダベース２２の上面図、図３（ｂ）は図３（ａ）の下方から見た側面図、図３（ｃ）は図３（ａ）の右方から見た側面図、図３（ｄ）は背面図をそれぞれ示している。図３（ａ）に示すように、試料ホルダベース２２は、複数（計１８個）のスペーサ取付用凹部ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８を備えている。１８個のスペーサ取付用凹部ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８のそれぞれには、試料ホルダベース２２の上面に垂直方向が回転軸の方向となる雌ネジが設けられている。このため、図１に示したスペーサ固定手段としての雄ネジ（固定ネジ）１４，１９がそれぞれスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８に挿入され、ネジ止めにより複数のホルダ高さ調整治具（１３，１４，１５；１８，１９，２１）がスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８に固定される。そして、各々のホルダ高さ調整治具（１３，１４，１５；１８，１９，２１）に試料ホルダ本体（１１，３５；１６，３６）が固定されるので、試料ホルダ本体（１１，３５；１６，３６）の固定が容易である。即ち、３×３、４×４等のマトリクス状に複数の試料ホルダ本体を試料ホルダベース２２の上面に配置する場合であっても、マトリクスの中央部には工具スペースが確保されるので、特別な試料ホルダを用意する必要がなくなる。又、試料ホルダベース２２は、試料ホルダベース２２を表面分析装置の鏡筒内の試料室（又は試料準備室）に出し入れする際に必要となる取っ手２３を備える。ここで、試料ホルダベース２２は、図１６に示した従来の試料ホルダベースと比較して、サブベース１４１を備えていない。

図４は、第１の試料ホルダ１を試料ホルダベース２２に固定する際に用いられる第１のホルダ高さ調整治具１Ｓの一例を示している。図４（ａ）は、図４（ｂ）の側面図のIVＡ−IVＡ方向から見た断面図に対応する。図４に示す第１のスペーサ１３は、図３に示した試料ホルダベース２２のスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８のいずれかに固定するためのスペーサ固定手段（固定ネジ）１４と、試料ホルダ本体のホルダ固定用凸部３５（図１参照。）を固定するためにホルダ固定手段（押しネジ）１５を導入するための押しネジ用ネジ穴２６を備える。 図５は、第２の試料ホルダ２を試料ホルダベース２２に固定する際に用いられる第２のホルダ高さ調整治具２Ｓの一例を示している。図５（ａ）は、図５（ｂ）の側面図のＶＡ−ＶＡ方向から見た断面図に対応する。図５に示す第２のスペーサ１８は、図４に示した第１のスペーサ１３とは高さが異なる。第２のスペーサ１８も第１のスペーサ１３と同様に、試料ホルダベース２２のスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８のいずれかに固定するためのスペーサ固定手段（固定ネジ）１９と、試料ホルダ本体のホルダ固定用凸部３６（図１参照。）を固定するためにホルダ固定手段（押しネジ）２１を導入するための押しネジ用ネジ穴２７を備える。

ここで、第１のスペーサ１３及び第２のスペーサ１８の高さは一例であり、これに限定されない。

上記のように、本発明の第１の実施の形態に係る試料ホルダベース２２によれば、高さの異なる第１の試料ホルダ１の試料収納部１１及び第２の試料ホルダ２の試料収納部１６であっても、第１のスペーサ１３及び第２のスペーサ１８をそれぞれ介すことによって試料収納部１１及び試料収納部１６の高さ調整を行うことができるため、高さの異なる第１の試料ホルダ本体（１１，３５）及び第２の試料ホルダ本体（１６，３６）を試料ホルダベース２２上に同時に固定することが可能となる。

なお、第１の試料ホルダ本体（１１，３５）及び第２の試料ホルダ本体（１６，３６）としては、従来の試料ホルダを採用可能である。第１の試料ホルダ本体（１１，３５）及び第２の試料ホルダ本体（１６，３６）として従来の試料ホルダを採用した場合は、第１のスペーサ１３及び第２のスペーサ１８の上部に設けられる凹部の形状や大きさを、ホルダ固定用凸部３５，３６の形状や大きさに適合するように設計すればよいことは勿論である。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体は、図６及び図７に示すように、上面に複数のスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_２４，…を配列した試料ホルダベース２２と、スペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_２４を介して試料ホルダベース２２にそれぞれ固定される試料ホルダ３，４とを備える試料ホルダ組み立て体である。

第１の試料ホルダ３は、試料搭載空間をなす試料収納部２４と、この試料収納部２４の底部に設けられたホルダ固定用凸部３７とを有する第１の試料ホルダ本体（２４，３７）と、試料収納部２４の底部と試料ホルダベース２２の上面との間の距離を調整する高さを有し、ホルダ固定用凸部３７を収納する凹部を有する第１のスペーサ１８、この第１のスペーサ１８の上部においてホルダ固定用凸部３７を第１のスペーサ１８に固定するホルダ固定手段（押しネジ）２１、第１のスペーサ１８の下部において第１のスペーサ１８をスペーサ取付用凹部ｍ_１４に挿入して固定するスペーサ固定手段（固定ネジ）１９を有する第１のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）とを備える。

一方、第２の試料ホルダ４は、試料搭載空間をなす試料収納部１６と、この試料収納部１６の底部に設けられたホルダ固定用凸部３６とを有する第２の試料ホルダ本体（１６，３６）と、試料収納部１６の底部と試料ホルダベース２２の上面との間の距離を調整する高さを有し、ホルダ固定用凸部３６を収納する凹部を有する第２のスペーサ１８、この第２のスペーサ１８の上部においてホルダ固定用凸部３６を第２のスペーサ１８に固定するホルダ固定手段（押しネジ）２１、第２のスペーサ１８の下部において第２のスペーサ１８をスペーサ取付用凹部ｍ_２４に挿入して固定するスペーサ固定手段（固定ネジ）１９を有する第２のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）とを備える。

第１の試料ホルダ本体（２４，３７）の試料収納部２４は、試料３０３の大きさに合わせて用意されたサイズを有し、試料収納部２４の底部には円形底部２５が装着されている。第１の試料ホルダ本体（２４，３７）はホルダ固定用凸部３７をホルダ固定手段（押しネジ）２１によって第１のスペーサ１８に固定されている。更に、第１のスペーサ１８はスペーサ固定手段（固定ネジ）１９によって、試料ホルダベース２２のスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１４に固定される（試料ホルダベース２２の平面図は図３参照。）。 第２の試料ホルダ本体（１６，３６）の試料収納部１６は、試料３０４の大きさに合わせて用意されたサイズを有し、試料収納部１６の底部には円形底部１７が装着されている。第２の試料ホルダ本体（１６，３６）は、ホルダ固定用凸部３６をホルダ固定手段（押しネジ）２１によって第２のスペーサ１８に固定している。更に、第２のスペーサ１８はスペーサ固定手段（固定ネジ）１９によって、試料ホルダベース２２のスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_２４に固定される。ここで、試料ホルダベース２２上における、第１の試料ホルダ３の試料収納部２４の高さｈ_８１と第１のスペーサ１８の高さｓ_８１を足し合わせた全体の高さＴ_mesの値と、第２の試料ホルダ４の試料収納部１６の高さｈ_９１と第２のスペーサ１８の高さｓ_９１を足し合わせた値は、互いに等しくなるように調節されている。

図７に示すように、第１の試料ホルダ３の試料収納部２４は、試料３０３（図示省略）を固定するための試料固定用ネジ穴３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ等を備え、同様に、第２の試料ホルダ４の試料収納部１６は、試料３０４（図示省略）を固定するための試料固定用ネジ穴３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ等を備えている。ここで、第１の試料ホルダ３の試料収納部２４と第２の試料ホルダ４の試料収納部１６の水平方向の大きさは異なる。第１の実施の形態で定義したとおり、「水平方向」とは、試料ホルダベース２２の主面（表面）に平行な方向である。又、第１の試料ホルダ３の試料収納部２４及び第２の試料ホルダ４の試料収納部１６の大きさは一例であり、これに限定されない。更に、第１の試料ホルダ３の試料収納部２４及び第２の試料ホルダ４の試料収納部１６の試料ホルダベース２２上における固定位置も、図３（ａ）に示した試料ホルダベース２２が備えるスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８の中からそれぞれ選択可能である。

図８及び図９には、本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ本体の種類を例示している。なお、一般的に試料ホルダ本体の材料としては真鍮やＡｌ合金が使用される。

図８（ａ）及び図８（ｂ）は、試料ホルダ本体４１の構造を例示を示している。試料ホルダ本体４１は、試料収納部４１１と、試料収納部４１１の底部に設けられたホルダ固定用凸部４１２とを備える。試料収納部４１１は、例えば、外径ｌ_１１が２６ｍｍ、高さｈ_１１が２３ｍｍ、深さｈ_１２が２０ｍｍで、試料固定用ネジ穴８１ａ，８１ｂ，…８１ｈ（一部図示省略）を有する。

図９（ａ）及び図９（ｂ）は、試料ホルダ本体４２の構造を例示している。試料ホルダ本体４２は、試料収納部４２１と、試料収納部４２１の底部に設けられたホルダ固定用凸部４２２とを備える。試料収納部４２１は、外径ｌ_１１及び高さｈ_１１が、図８に示した試料収納部４１１と等しく、深さｈ_１３が例えば１３ｍｍで、試料固定用ネジ穴８２ａ，８２ｂ，…８２ｈ（一部図示省略）を有する。試料ホルダ本体４２は、更に、円形底部４２４と、円形底部４２４と一体となっている高さ調節雄ネジ４２５とを備えている。高さ調節雄ネジ４２５は試料収納部４２１及びホルダ固定用凸部４２２を貫通する雌ネジと螺嵌しており、円形底部４２４を回転させることによって、深さｈ_１３を調整することができる。また、調整した深さｈ_１３は固定ネジ２７５を高さ調節雄ネジ４２５に押接することによって固定することができる。なお、図８及び図９で示した試料ホルダ本体４１，４２の大きさは一例であり、これに限定されない。図８及び図９に示した試料ホルダ本体４１，４２と同じ構造で且つ様々な大きさの試料ホルダを用いることが可能である。

図１０〜図１５には、本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体における、各種試料ホルダ本体の試料ホルダベース２２上への設置例をそれぞれ示している。図１０に示すように、第２の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体に用いる試料ホルダベース２２は上面に、複数（３×３個）のスペーサ取付用凹部ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８を有し、スペーサ取付用凹部ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８のそれぞれには、試料ホルダベース２２の上面に垂直方向が回転軸の方向となる雌ネジが設けられている。このため、図６に示したスペーサ固定手段としての雄ネジ（固定ネジ）１９が、それぞれスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８に挿入され、ネジ止めにより複数のホルダ高さ調整冶具（１８，１９，２１）がスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１２，…ｍ_２８に固定される。そして、各々のホルダ高さ調整冶具（１８，１９，２１）に試料ホルダ本体８１，８２，…８９が固定されるので、複数の試料ホルダ本体８１，８２，…８９の固定が容易である。

即ち、３×３、４×４等のマトリクス状に複数の試料ホルダ本体８１，８２，…８９を試料ホルダベース２２の上面に配置する場合であっても、ホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）を用いることにより、マトリクスの中央部には工具スペースが確保されるので、特別な試料ホルダを用意する必要がなくなる。試料ホルダ本体８１〜８９は、例えば、図９に示した試料収納部４２１を備え、直径２５ｍｍの大きさの試料を収納できる。従来の試料ホルダベース２２は、図２３に示したサブベース１４１の中央の試料ホルダ取付用穴ｒ_１５には、図２０に示した試料ホルダ固定用穴１８３ａ，１８３ｂを備えた特別な試料ホルダ本体（１８１，１８２）を用意して固定しなければならなかった。しかし、本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体によれば、図１０に示すように、試料ホルダベース２２の中央に位置する試料ホルダ本体８５は、図４や図５に示したスペーサ１３、１８等を介して、雄ネジであるスペーサ固定手段（固定ネジ）１４，１９等によってスペーサ取付用凹部ｍ_１９に任意の方向に固定できるため、固定用ネジ穴に挿入される押しネジを回転させるための工具スペースが確保できる。このため、図２０に示したような、試料ホルダ固定用穴１８３ａ，１８３ｂを有する特別な試料ホルダを用意する必要なく、試料ホルダベース２２に固定されている他の試料ホルダ本体８１等と同じ形状のものをそのまま用いることができる。

図１１に示すように、第２の実施の形態に係る試料ホルダ組み立て体に用いる試料ホルダベース２２は、複数（５個）のスペーサ取付用凹部ｍ_１１，ｍ_１３，ｍ_１９，ｍ_２６，ｍ_２８を上面に有し、スペーサ取付用凹部ｍ_１１，ｍ_１３，ｍ_１９，ｍ_２６，ｍ_２８のそれぞれには、試料ホルダベース２２の上面に垂直方向が回転軸の方向となる雌ネジが設けられている。このため、図６に示したスペーサ固定手段としての雄ネジ（固定ネジ）１９がそれぞれスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１３，ｍ_１９，ｍ_２６，ｍ_２８に挿入され、ネジ止めにより複数のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）がスペーサ取付用ネジ穴（スペーサ取付用凹部）ｍ_１１，ｍ_１３，ｍ_１９，ｍ_２６，ｍ_２８に固定され、各々のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）に試料ホルダ本体９１，９２，…９５が固定されるので、試料ホルダ本体９１，９２，…９５の固定が容易である。即ち、マトリクス状に複数の試料ホルダ本体９１，９２，…９５を試料ホルダベース２２の上面に配置する場合であっても、ホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）を用いることにより、マトリクスの中央部には工具スペースが確保されるので、特別な試料ホルダを用意する必要がなくなる。

又、図１２は、試料ホルダベース２２の雌ネジが設けられているスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_１５，ｍ_１９，ｍ_２４，ｍ_２５に、図６に示したスペーサ固定手段としての雄ネジ（固定ネジ）１９がそれぞれ挿入され、ネジ止めにより複数のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）がスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_１５，ｍ_１９，ｍ_２４，ｍ_２５に固定され、各々のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）に試料ホルダ本体１０１，１０２，…１０５が固定されている。試料ホルダ本体９１〜９５及び試料ホルダ本体１０１〜１０５は、それぞれ、直径３２ｍｍの大きさの試料を収納できる。図２４に示すように、サブベース１４１では、直径３２ｍｍの大きさの試料を収納できる試料ホルダ本体２２１，２２２等は、サブベース１４１上に４つしか固定することができない。しかし、図１１に示すように、第２の実施の形態に係る試料ホルダベース２２上には、図２４に示す試料ホルダ本体２２１，２２４等と同じ大きさの５つの試料ホルダ本体９１〜９５を固定することができる。更に、図１２に示すように、図１１とは異なるパターンで、試料ホルダベース２２のスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_１５，ｍ_１９，ｍ_２４，ｍ_２５に、試料ホルダ本体９１〜９５と同じ大きさの試料ホルダ本体１０１〜１０５を、図６に示したホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）を介してそれぞれ固定することができる。

図１３は、試料ホルダベース２２のスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_１５，ｍ_２４，ｍ_２５に、図６に示したスペーサ固定手段としての雄ネジ（固定ネジ）１９がそれぞれ挿入され、ネジ止めにより複数のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）がスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_１５，ｍ_２４，ｍ_２５に固定され、各々のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）に試料ホルダ本体１１１，１１２，１１３，１１４が固定されている。試料ホルダ本体１１１〜１１４は、それぞれ、直径３８ｍｍの大きさの試料を収納できる。図２５に示したように、従来は直径が３２ｍｍを超える大きさの試料を収納する試料ホルダ本体２３３や２３４を固定するためには、専用の試料ホルダベース２２を用いなければならなかった。しかし、図１３に示すように、第２の実施の形態に係る試料ホルダベース２２においては、直径が３８ｍｍの大きさの試料を収納可能な試料ホルダ本体１１１〜１１４も固定することができる。

図１４は、試料ホルダベース２２のスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_１７，ｍ_２２，ｍ_２５に、図６に示したスペーサ固定手段としての雄ネジ（固定ネジ）１９がそれぞれ挿入され、ネジ止めにより複数のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）がスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_１７，ｍ_２２，ｍ_２５に、固定され、各々のホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）に試料ホルダ本体１２１，１２２，１２３，１２４が固定されている。試料ホルダ本体１２１，１２４と、試料ホルダ本体１２２と、試料ホルダ本体１２３は、それぞれ大きさが異なる。ここで、例えば、試料ホルダ本体１２１，１２４は直径３２ｍｍの試料を、試料ホルダ本体１２２は直径４０ｍｍの試料を、試料ホルダ本体１２３は直径４２ｍｍの試料をそれぞれ収納することができる。又、図１５は、試料ホルダベース２２のスペーサ取付用凹部ｍ_１３とスペーサ取付用凹部ｍ_２１に、大きさの異なる試料ホルダ本体１３２と試料ホルダ本体１３１が、図６に示したホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）を介してそれぞれ固定されている。ここで、試料ホルダ本体１３２は、例えば、図９に示した試料収納部４２１を備え、直径２５ｍｍの試料を収納できる。又、試料ホルダ本体１３１は直径７０ｍｍの試料を収納することができる。なお、試料ホルダベース２２上に固定する試料ホルダ本体の種類及び固定位置は図１０〜図１５で示したものに限定されない。

上記のように、本発明の第２の実施の形態に係る試料ホルダベース２２によれば、大きさの異なる第１の試料ホルダ３の試料収納部２４及び第２の試料ホルダ４の試料収納部１６であっても、ホルダ高さ調整治具（１８，１９，２１）をそれぞれ介すことによって試料ホルダベース２２上における試料ホルダの固定位置を容易に変更することができるため、第１の試料ホルダ本体（２４，３７）及び第２の試料ホルダ本体（１６，３６）等の大きさの異なる複数の試料ホルダを一つの試料ホルダベース２２上に同時に固定することが可能となる。

（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１及び第２の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

例えば、図３（ａ）で示した試料ホルダベース２２におけるスペーサを取り付ける穴（スペーサ取付用凹部）の数及び位置は、これに限定されない。試料ホルダ本体やスペーサと同様に、必要に応じて変更が可能である。

本発明の試料ホルダベース２２としては、ＥＰＭＡや電子顕微鏡等の種々の表面分析装置に適用可能である。

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

１〜４…試料ホルダ
１Ｓ，２Ｓ…ホルダ高さ調整治具
１１，１６，２４，１６１，１７１，１８１，１９１，２０１，４１１，４２１…試料収納部
４１，４２，８１〜８９，９１〜９５，１０１〜１０５，１１１〜１１４，１２１〜１２４，１３１，１３２，２１１〜２１９，２２１〜２２４，２３３，２３４…試料ホルダ本体
１２，１７，２５，２９１，２９３，４２４…円形底部
１３，１８…スペーサ
１４，１９，７２，７３，２７５，２８６，２８７…固定ネジ
１５，２１…押しネジ
２２…試料ホルダベース
２３，１４４，２３２…取っ手
２６，２７…固定用ネジ穴
２９ａ〜２９ｄ，３１ａ〜３１ｄ，３２ａ〜３２ｄ，８１ａ〜８１ｈ，８２ａ〜８２ｈ，１０３ａ〜１０３ｈ，１０４ａ〜１０４ｈ，１０５ａ〜１０５ｈ，１０６ａ〜１０６ｈ，１０７ａ〜１０７ｈ…試料固定用ネジ穴
３５，３６，３７，１６２，１７２，１８２，２９２，２９４，４１２，４２２…ホルダ固定用凸部
４１ａ〜４１ｈ，７１ｃ，７１ｄ，９１ａ，９１ｂ，…試料ホルダ固定用ネジ穴
１８３ａ，１８３ｂ…試料ホルダ固定用穴
５１ａ〜５１ｄ，６１ａ〜６１ｄ…支柱
１４１，２３１…サブベース
１４２，２３５…ベース
１５１…分析可能領域
１５２…使用可能領域
４２５…高さ調節雄ネジ
３０１〜３０４…試料
ｍ_１１〜ｍ_２８…スペーサ取付用凹部
ｑ_１１〜ｑ_１４…試料ホルダ専用取付用穴
ｒ_１１〜ｒ_１９…試料ホルダ取付用穴

Claims (10)

1. 上面に複数のスペーサ取付用凹部を配列した試料ホルダベースと、前記複数のスペーサ取付用凹部を介して前記試料ホルダベースにそれぞれ固定される複数の試料ホルダとを備える試料ホルダ組み立て体であって、前記複数の試料ホルダのそれぞれが、試料搭載空間をなす試料収納部、該試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部とを有する試料ホルダ本体と、
   前記試料収納部の底部と前記試料ホルダベースの上面との間の距離を調整する高さを有し、前記ホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有するスペーサ、該スペーサの上部において前記ホルダ固定用凸部を前記スペーサに固定するホルダ固定手段、前記スペーサの下部において前記スペーサを前記スペーサ取付用凹部のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段を有するホルダ高さ調整治具
   とを備えることを特徴とする試料ホルダ組み立て体。
2. 前記試料収納部の高さが互いに異なる複数の前記試料ホルダ本体が、それぞれ適合するホルダ高さ調整治具を用いて、前記試料収納部の上面の高さが同一となるように、前記試料ホルダベースに固定されていることを特徴とする請求項１に記載の試料ホルダ組み立て体。
3. 前記複数のスペーサ取付用凹部には雌ネジが設けられ、前記スペーサ固定手段は、前記スペーサに対して回転自在に設けられた雄ネジであることを特徴とする請求項１又は２に記載の試料ホルダ組み立て体。
4. 前記試料収納部の形状及び大きさの少なくとも一方が互いに異なる複数の前記試料ホルダ本体が、それぞれ適合するホルダ高さ調整治具を用いて、前記試料収納部の上面の高さが同一となるように、前記試料ホルダベースに固定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の試料ホルダ組み立て体。
5. 上面に複数のスペーサ取付用凹部を配列した試料ホルダベースに、前記複数のスペーサ取付用凹部を介して固定される複数の試料ホルダのセットであって、前記複数の試料ホルダのそれぞれが、
   試料搭載空間をなす試料収納部、該試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部とを有する試料ホルダ本体と、
   前記試料収納部の底部と前記試料ホルダベースの上面との間の距離を調整する高さを有し、前記ホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有するスペーサ、該スペーサの上部において前記ホルダ固定用凸部を前記スペーサに固定するホルダ固定手段、前記スペーサの下部において前記スペーサを前記スペーサ取付用凹部のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段を有するホルダ高さ調整治具
   とを備え、前記試料収納部の高さが互いに異なる複数の前記試料ホルダ本体と、複数の前記試料ホルダ本体にそれぞれ適合するホルダ高さ調整治具とが一対をなし、前記試料収納部の上面の高さが同一となるように選定されていることを特徴とする複数の試料ホルダのセット。
6. 前記複数のスペーサ取付用凹部には雌ネジが設けられ、前記スペーサ固定手段は、前記スペーサに対して回転自在に設けられた雄ネジであることを特徴とする請求項５に記載の複数の試料ホルダのセット。
7. 上面に複数のスペーサ取付用凹部を配列した試料ホルダベースに、試料収納部の高さが互いに異なる複数の試料ホルダ本体を、前記試料収納部の上面の高さが同一となるように固定するためのホルダ高さ調整治具であって、
   前記試料ホルダ本体が有する前記試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有し、前記試料収納部の底部と前記試料ホルダベースの上面との間の距離を調整する高さを有するスペーサと、
   該スペーサの上部において前記ホルダ固定用凸部を前記スペーサに固定するホルダ固定手段と、
   前記スペーサの下部において前記スペーサを前記スペーサ取付用凹部のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段
   とを有することを特徴とするホルダ高さ調整治具。
8. 前記複数のスペーサ取付用凹部には雌ネジが設けられ、前記スペーサ固定手段は、前記スペーサに対して回転自在に設けられた雄ネジであることを特徴とする請求項７に記載のホルダ高さ調整治具。
9. 試料ホルダ本体が備える試料収納部の底部に設けられたホルダ固定用凸部を収納する凹部を上部に有するスペーサをそれぞれ介して、前記試料収納部の高さが互いに異なる複数の前記試料ホルダ本体を、前記試料収納部の上面の高さが同一となるように固定するための試料ホルダベースであって、
   前記スペーサのそれぞれの下部に設けられたスペーサ固定手段を挿入するためのスペーサ取付用凹部を複数個、上面に配列したことを特徴とする試料ホルダベース。
10. 前記複数のスペーサ取付用凹部には、前記試料ホルダベースの上面に垂直方向が回転軸の方向となる雌ネジが設けられ、雄ネジである前記スペーサ固定手段がそれぞれ挿入され、前記試料ホルダ本体が固定されることを特徴とする請求項９に記載の試料ホルダベース。

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