JP5228869B2 - Adhesive film for circuit connection and method for recognizing mark for position identification of circuit member - Google Patents
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Description
本発明は、回路接続用接着フィルム、及び回路部材の位置識別用のマークを認識する方法に関する。 The present invention relates to an adhesive film for circuit connection and a method for recognizing a mark for position identification of a circuit member.
近年、電子部品の小型化、薄型化、高性能化が進んでおり、それと共に経済的な高密度実装技術の開発が活発に行われている。高密度実装に使用される電子部品と微細回路電極との接続は、従来のハンダやゴムコネクターでは対応が困難であることから、分解能に優れた異方導電性の接着剤又はそのフィルムが多用されるようになってきた。例えば、液晶ディスプレイ(Liquid Cristal Display)のガラスとTAB(Tape Automated Bonding)またはFPC(Flexible Print Circuit)との微細電極同士を接続するのに際し、導電粒子を所定量含有した接着剤である異方導電性接着フィルムを対向させた電極間に挟み、その状態で加圧することによって、両者の電極同士が電気的に接続されると共に、両者が接着固定される。このとき、隣接して形成された電極同士の絶縁は維持される。 In recent years, electronic components have been reduced in size, thickness, and performance, and economic high-density mounting technology has been actively developed. The connection between electronic components used for high-density mounting and fine circuit electrodes is difficult with conventional solders and rubber connectors, so anisotropic conductive adhesives or films with excellent resolution are often used. It has come to be. For example, an anisotropic conductive material which is an adhesive containing a predetermined amount of conductive particles when connecting a liquid crystal display (Liquid Crystal Display) glass and a fine electrode of TAB (Tape Automated Bonding) or FPC (Flexible Print Circuit). By sandwiching the adhesive adhesive film between the opposed electrodes and applying pressure in this state, both electrodes are electrically connected to each other, and both are bonded and fixed. At this time, insulation between adjacent electrodes is maintained.
微細化した回路の接続に対応するために、例えば、導電粒子の粒径を隣接電極間の絶縁部分の幅よりも小さくすることで隣接電極間の絶縁を確保する。さらに、導電粒子の含有量を導電粒子同士が接触しない程度とし、かつ導電粒子を電極上に確実に存在させることにより、接続部分における導通を得る。 In order to cope with the connection of miniaturized circuits, for example, the insulation between adjacent electrodes is ensured by making the particle size of the conductive particles smaller than the width of the insulating portion between the adjacent electrodes. Furthermore, the conduction | electrical_connection in a connection part is obtained by making content of an electroconductive particle into the grade which does not contact electroconductive particles, and making an electroconductive particle exist reliably on an electrode.
ところで近年、特に配線板と半導体ウエハとの実装においては、接着フィルム自体に導電粒子等の電気接続体を設けることなく、電極と電極が互いに接触することで電気的な接続を得る場合がある。この場合は電気絶縁性の回路接続用接着剤が用いられる。
回路接続用接着剤を用いた回路接続の際、接続される回路部材の位置合わせのために、回路部材に設けられた位置識別用のマークが用いられることがある。この場合、回路部材に貼り付けられた接着剤層を透過する可視光線等の電磁波により位置識別用のマークが認識される。実装の高密度化及び工数簡略化のためには、位置識別用のマークも覆うように接着剤層を回路部材に貼り付けることが望ましい。そのためには、接着剤層を透過した電磁波によってマークを高い精度で認識する必要がある。 At the time of circuit connection using the circuit connection adhesive, a position identification mark provided on the circuit member may be used for alignment of the circuit member to be connected. In this case, the position identification mark is recognized by an electromagnetic wave such as visible light that passes through the adhesive layer attached to the circuit member. In order to increase the mounting density and simplify the number of steps, it is desirable to attach an adhesive layer to the circuit member so as to cover the mark for position identification. For that purpose, it is necessary to recognize the mark with high accuracy by the electromagnetic wave transmitted through the adhesive layer.
しかし、従来、接着剤層を透過した電磁波によっては位置識別用のマークを必ずしも十分には認識することができず、回路部材の位置合わせを正確に行うことが困難な場合があった。 However, conventionally, the position identifying mark cannot always be sufficiently recognized by the electromagnetic wave transmitted through the adhesive layer, and it may be difficult to accurately align the circuit members.
そこで、本発明は、回路部材に貼り付けられた接着剤層を透過した電磁波によって、回路部材の位置識別用のマークを十分に認識することを可能にする回路接続用接着フィルムを提供することを目的とする。また、本発明は、回路部材の位置識別用のマークを高い精度で認識することを可能にする方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention provides an adhesive film for circuit connection that makes it possible to sufficiently recognize a mark for position identification of a circuit member by electromagnetic waves transmitted through an adhesive layer attached to the circuit member. Objective. Another object of the present invention is to provide a method that makes it possible to recognize a position identification mark of a circuit member with high accuracy.
本発明は、フィルム状の支持体と、該支持体の主面に接して設けられた絶縁性の接着剤層とを備える回路接続用接着フィルムに関する。本発明に係る接着フィルムを構成する支持体の接着剤層側の主面の中心線平均粗さRaは0.3μm以下である。 The present invention relates to an adhesive film for circuit connection comprising a film-like support and an insulating adhesive layer provided in contact with the main surface of the support. The center line average roughness Ra of the main surface on the adhesive layer side of the support constituting the adhesive film according to the present invention is 0.3 μm or less.
支持体の接着剤層側の主面が、中心線平均粗さRaが上記特定範囲内にあるような高い平滑性を有していることにより、回路部材に貼り付けられた接着剤層を透過した可視光線によって、接着剤層側から回路部材の位置識別用のマークを十分に認識することが可能になった。絶縁性の接着剤層を有する従来の接着フィルムに用いられる支持体の表面は、表面濡れ性向上、及び接着剤層との密着強度向上の観点から、従来、粗化処理が施されていることが多かった。そうすると、支持体の粗化表面に接着剤が追従することから、支持体を剥離したあとの接着剤層の表面が荒れた状態となる。その結果、接着剤層の光透過性が低下して位置識別用のマークの認識が困難になっていたと考えられる。例えば、図3及び4の断面図に示される、支持体2及び接着剤層3を有する従来の回路接続用接着フィルム1のように、支持体2の接着剤層3側の主面2aの表面粗さが大きいと、接着剤層2の光透過性が低く、位置識別用のマークの可視光線等の電磁波による認識が困難であった。
The main surface of the support on the adhesive layer side has high smoothness such that the center line average roughness Ra is within the above specified range, so that the adhesive layer attached to the circuit member is transmitted. Thus, the visible light can sufficiently recognize the position identification mark of the circuit member from the adhesive layer side. The surface of a support used for a conventional adhesive film having an insulating adhesive layer is conventionally subjected to a roughening treatment from the viewpoint of improving surface wettability and adhesion strength with the adhesive layer. There were many. Then, since the adhesive follows the roughened surface of the support, the surface of the adhesive layer after the support is peeled becomes rough. As a result, it is considered that the light transmittance of the adhesive layer was lowered and it was difficult to recognize the mark for position identification. For example, the surface of the
本発明による効果がより顕著に奏されるために、支持体の接着剤層側の主面の十点平均粗さRzは1.5μm以下であることが好ましい。同様の理由から、支持体の接着剤層側の主面の最大高さRyは2.0μm以下であることがより好ましい。 In order to achieve the effects of the present invention more remarkably, the ten-point average roughness Rz of the main surface on the adhesive layer side of the support is preferably 1.5 μm or less. For the same reason, the maximum height Ry of the main surface of the support on the adhesive layer side is more preferably 2.0 μm or less.
さらに、接着剤層の透光率は15%〜100%であることが好ましい。 Furthermore, the light transmittance of the adhesive layer is preferably 15% to 100%.
別の側面において、本発明は、回路部材の位置識別用のマーク(位置識別記号)を認識する方法に関する。本発明に係る方法では、基板と該基板上に設けられた位置識別用のマークとを有する回路部材のマークが設けられた面に、上記本発明に係る回路接続用接着フィルムを、その接着剤層の支持体とは反対側の面が回路部材に接するとともに接着剤層がマークを覆うように貼り付け、貼り付けられた回路接続用接着フィルムから支持体を取り除き、その後、接着剤層を透過した電磁波によってマークを認識する。 In another aspect, the present invention relates to a method for recognizing a position identification mark (position identification symbol) of a circuit member. In the method according to the present invention, the adhesive film for circuit connection according to the present invention is applied to the surface of the circuit member having the substrate and the mark for position identification provided on the substrate. The surface of the layer opposite to the support is in contact with the circuit member, and the adhesive layer is attached so that it covers the mark. Then, the support is removed from the attached adhesive film for circuit connection, and then the adhesive layer is transmitted. The mark is recognized by the electromagnetic wave.
上記本発明に係る方法によれば、回路部材の位置識別用のマークを高い精度で認識することが可能である。 According to the method of the present invention, it is possible to recognize the position identification mark of the circuit member with high accuracy.
本発明によれば、回路部材に貼り付けられた接着剤層を透過させた電磁波によって、接着剤層側から回路部材の位置識別用のマークを十分に認識することが可能である。また、位置識別用のマークの上の位置にも接着剤層を配置できることから、実装の高密度化及び工数簡略化が容易である。その結果、高い工程自由度を持った、位置識別用マークを認識する方法を提供できる。 According to the present invention, it is possible to sufficiently recognize the position identification mark of the circuit member from the adhesive layer side by the electromagnetic wave transmitted through the adhesive layer attached to the circuit member. Further, since the adhesive layer can be arranged at a position above the position identification mark, it is easy to increase the mounting density and simplify the number of steps. As a result, it is possible to provide a method for recognizing a position identification mark having a high degree of process freedom.
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the following embodiments.
本明細書において、「中心線平均粗さRa」、「十点平均表面粗さRz」及び「最大高さRy」は、JIS B0601:1994に準拠して測定される値である。測定は、測定長さ2.8mm、測定速度1mm/s、カットオフ値R+Wで、フィルターとして2CRを用いて行われる。 In this specification, “center line average roughness Ra”, “ten-point average surface roughness Rz”, and “maximum height Ry” are values measured in accordance with JIS B0601: 1994. The measurement is performed using a 2CR as a filter with a measurement length of 2.8 mm, a measurement speed of 1 mm / s, and a cutoff value R + W.
図1は、回路接続用接着フィルムの一実施形態を示す断面図である。図1に示す回路接続用接着フィルム1は、主面2a及び2bを有するフィルム状の支持体2と、支持体2の一方の主面2aに接して設けられた絶縁性の接着剤層3とから構成される。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of an adhesive film for circuit connection. An adhesive film for
支持体2の接着剤層3側の主面2aは、0.3μm以下の中心線平均粗さRaを有する。中心線平均粗さRaが0.3μmを超えると光の乱反射が多くなり、接着剤層3の透光性が十分に高く保てなくなるおそれがある。中心線平均粗さRaの下限は特に限定されないが、中心線平均粗さRaは0.01〜0.3μmであることが好ましい。
The
同様の観点から、主面2aの十点平均表面粗さRzは3μm以下であると好ましい。十点平均表面粗さRzの下限は特に限定されないが、透光性向上等の観点から十点平均表面粗さRzは0.001〜2μmであるとより好ましく、0.01〜1.5μmであるとさらに好ましく、0.01〜1.3μmであることが特に好ましい。
From the same viewpoint, the ten-point average surface roughness Rz of the
さらに、同様の観点から、主面2aの最大高さRyは3μm以下であると好ましい。最大高さRyの下限は特に限定されない。最大高さRyは0.001〜2μmであるとより好ましく、0.01〜1.5μmであるとさらに好ましい。
Furthermore, from the same viewpoint, the maximum height Ry of the
上記範囲のRa、Rz及びRyを有する主面を有する支持体は、通常採用されている方法によって支持体表面を平滑化して得ることができる。 A support having a main surface having Ra, Rz and Ry in the above range can be obtained by smoothing the support surface by a generally employed method.
支持体2の接着剤層3とは反対側の主面(裏面)2bも、主面2aと同様の中心線平均粗さRa、十点平均表面粗さRz及び最大高さRyを有することが好ましい。ただし、主面2bの中心線平均粗さRaは3μmを超えていてもよく、20μm以下程度であっても特に問題ない。主面2bの十点平均表面粗さRzは3μmを超えていてもよく、20μm以下程度であっても特に問題ない。主面2bの最大高さRyは3μmを超えていてもよく、20μm以下程度であっても特に問題ない。
The main surface (back surface) 2b opposite to the adhesive layer 3 of the
接着剤層3の可視光線の透光率は、15%〜100%であることが好ましい。 The visible light transmittance of the adhesive layer 3 is preferably 15% to 100%.
支持体2の厚みは5〜200μmであると好ましく、10〜100μmであるとより好ましく、25〜75μmであるとさらに好ましい。支持体2の厚みが25μmを下回ると支持体の取り扱いが困難になる傾向がある。またこの厚みを厚くすることで得られる効果はあまり多くなく、環境問題への配慮からも150μm以下にとどめておくのがより好ましい。
The thickness of the
支持体2の材質は特に限定されず、電気絶縁用又は電気接続用フィルムの支持体として用いられているものから適宜選択することができる。支持体2の具体例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリオレフィン系フィルム、ポリエチレンイソフタレートフィルム、ポリブチレンテフタレートフィルム、ポリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ポリアミドフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニールフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、合成ゴム系フィルム、液晶ポリマーフィルム、ポリイミドフィルム及び低密度ポリエチレンフィルムが挙げられる。これらの中でも、電気絶縁用フィルムを作製する際の温度における寸法安定性に優れ、かつ材料コストが安価な点からポリエチレンテフタレートフィルムが好ましい。
The material of the
支持体2の主面2aは、接着剤層3との間の密着力を調整するために、剥離処理が施されていてもよい。離型処理は、例えば、支持体2の主面2aに離型処理剤を塗布することによって行われる。離型処理剤としては、シリコーン、シリコーンアルキッド、アミノアルキッド、アルキルアルキッドおよびメラミンが挙げられる。これらは1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いられる。また、支持体2の主面2a及び/又は2bはポリマー等でコーティングされていてもよい。支持体の主面2aに対して離型処理やポリマーコーティング等の表面処理が施されている場合、表面処理を施された後の主面2aが上述のような範囲の中心線平均粗さRa、十点平均表面粗さRz及び最大高さRyを有する。
The
接着剤層3は、絶縁シート等に用いられている熱可塑性材料、又は熱若しくは光により硬化する硬化性材料によって形成される。回路接続後の耐熱性及び耐湿性に優れていることから、硬化性材料が好ましい。硬化性材料の中でもエポキシ系接着剤は短時間硬化が可能で接続作業性がよく、また、分子構造上接着性に優れる等の特徴があることから、好ましく適用できる。一般に、エポキシ系接着剤は、高分子量エポキシ樹脂、固形エポキシ樹脂、液状エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリウレタン、ポリエステル、NBR、及びゴム等を主成分として含有し、これに硬化剤、カップリング剤等の各種変成剤、触媒等の添加剤を添加した硬化性樹脂組成物である。 The adhesive layer 3 is formed of a thermoplastic material used for an insulating sheet or the like, or a curable material that is cured by heat or light. A curable material is preferable because it is excellent in heat resistance and moisture resistance after circuit connection. Among the curable materials, epoxy adhesives can be preferably applied because they can be cured for a short time, have good connection workability, and have excellent adhesion in terms of molecular structure. Generally, an epoxy adhesive contains a high molecular weight epoxy resin, a solid epoxy resin, a liquid epoxy resin, a phenoxy resin, polyurethane, polyester, NBR, rubber, and the like as main components, and a curing agent, a coupling agent, and the like. It is a curable resin composition to which additives such as various modifiers and catalysts are added.
接着剤層3に用いられるエポキシ樹脂としては、例えば、エピクロルヒドリンとビスフェノールA、F又はAD等から誘導されるビスフェノール型エポキシ樹脂、エピクロルヒドリンとフェノールノボラックやクレゾールノボラックから誘導されるエポキシノボラック樹脂、ナフタレン環を含んだ骨格を有するナフタレン系エポキシ樹脂、グリシジルアミン、グリシジルエステル、ビフェニル型エポキシ樹脂及び脂環式エポキシ樹脂から選ばれる、1分子内に2個以上のグリシジル基を有する各種のエポキシ化合物が用いられる。これらは単独にあるいは2種以上を組み合わせて用いることが可能である。これらのエポキシ樹脂は、不純物イオン(Na+、C1−等)及び/又は加水分解性塩素の濃度を300ppm以下に低減した高純度品を用いることがエレクトロンマイグレーション防止のために好ましい。 Examples of the epoxy resin used for the adhesive layer 3 include bisphenol-type epoxy resins derived from epichlorohydrin and bisphenol A, F or AD, epoxy novolac resins derived from epichlorohydrin and phenol novolac or cresol novolac, and naphthalene rings. Various epoxy compounds having two or more glycidyl groups in one molecule selected from naphthalene-based epoxy resins, glycidyl amines, glycidyl esters, biphenyl type epoxy resins, and alicyclic epoxy resins having an included skeleton are used. These can be used alone or in combination of two or more. These epoxy resins, impurity ions (Na +, C1 -, etc.) and / or the concentration of the hydrolyzable chlorine using a high purity product was reduced to 300ppm or less preferred in order to prevent electron migration.
硬化剤は、例えば、イミダゾール系、ヒドラジド系、三フッ化ホウ素−アミン錯体、スルホニウム塩、アミンイミド、ジアミノマレオニトリル、メラミンおよびその誘導体、ポリアミン塩、ジシアンジアミド等、並びにこれらの変性物から選ばれる。これらは単独であるいは2種以上を組み合わせて用いられる。これらはアニオンまたはカチオン重合性の触媒型硬化剤であり、即効性を得やすく、また化学当量的な考慮が少なくてよいことから好ましい。硬化剤としてその他に、ポリアミン類、ポリメルカプタン、ポリフェノール、酸無水物等の重付加型を用いることができる。これらを前記触媒型硬化剤と併用してもよい。 The curing agent is selected from, for example, imidazole series, hydrazide series, boron trifluoride-amine complex, sulfonium salt, amine imide, diaminomaleonitrile, melamine and derivatives thereof, polyamine salt, dicyandiamide, and modified products thereof. These may be used alone or in combination of two or more. These are anionic or cationic polymerizable catalyst-type curing agents, and are preferable because they can easily obtain immediate effects and require less chemical equivalent considerations. In addition, polyaddition types such as polyamines, polymercaptans, polyphenols, and acid anhydrides can be used as the curing agent. You may use these together with the said catalyst type hardening | curing agent.
アニオン重合型の触媒型硬化剤として、第2アミン類又はイミダゾール類をエポキシ樹脂に配合することができる。これらを用いることによりエポキシ樹脂を160℃〜200℃程度の中温で数10秒〜数時間程度の加熱により硬化することが可能であり、また、比較的長い可使時間(ポットライフ)が得られる。カチオン重合型の触媒型硬化剤としては、エネルギー線照射により樹脂を硬化させる感光性オニウム塩、例えば芳香族ジアゾニウム塩、及び芳香族スルホニウム塩が主として用いられる。またエネルギー線照射以外に加熱によって活性化してエポキシ樹脂を硬化させる硬化剤として、脂肪族スルホニウム塩等がある。この種の硬化剤は速硬化性という特徴を有することから好ましい。 As an anionic polymerization type catalyst-type curing agent, secondary amines or imidazoles can be blended in the epoxy resin. By using these, the epoxy resin can be cured by heating at a medium temperature of about 160 ° C. to 200 ° C. for several tens of seconds to several hours, and a relatively long pot life (pot life) can be obtained. . As the cationic polymerization type catalyst-type curing agent, a photosensitive onium salt that cures the resin by energy ray irradiation, such as an aromatic diazonium salt and an aromatic sulfonium salt, is mainly used. In addition to irradiation with energy rays, there are aliphatic sulfonium salts and the like as curing agents that are activated by heating to cure the epoxy resin. This type of curing agent is preferred because it has the property of fast curing.
これらの硬化剤をポリウレタン系、ポリエステル系等の高分子物質や、Ni、Cu等の金属薄膜およびケイ酸カルシウム等の無機物で被覆してマイクロカプセル化したものは、可使時間が延長できるため好ましい。 It is preferable to use these hardeners coated with a polymer material such as polyurethane or polyester, a metal thin film such as Ni or Cu, and an inorganic material such as calcium silicate so that the pot life can be extended. .
接着剤層3は、添加剤として例えば、充填剤、軟化剤、促進剤、老化防止剤、着色剤、難燃剤、誘電材料、チキソトロピック剤、カップリング剤、フェノール樹脂及びメラミン樹脂を含有していてもよい。イソシアネート類等の硬化剤を用いることもできる。 The adhesive layer 3 contains, for example, a filler, a softener, an accelerator, an anti-aging agent, a colorant, a flame retardant, a dielectric material, a thixotropic agent, a coupling agent, a phenol resin, and a melamine resin as additives. May be. Curing agents such as isocyanates can also be used.
回路接続用接着フィルム(回路接続材料)1は、フィルム状であることから取り扱い性に優れる。接着剤層3は、フィルム形成材を含有することが好ましい。フィルム形成材としては、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ゴムなどが挙げられる。 The adhesive film for circuit connection (circuit connection material) 1 is excellent in handleability because it is in the form of a film. The adhesive layer 3 preferably contains a film forming material. Examples of the film forming material include epoxy resin, polyurethane, and rubber.
回路接続材料として高い信頼性を得るために、フィルム形成材としてフェノキシ樹脂を好適に用いることができる。フェノキシ樹脂は、高速液体クロマトグラフィー(HLC)から求められた重量平均分子量が10000以上の高分子量エポキシ樹脂に相当する。エポキシ樹脂と同様に、フェノキシ樹脂にもビスフェノールA型、AD型、AF型等の種類がある。これらはエポキシ樹脂と構造が類似していることからエポキシ樹脂との相溶性がよく、また良好な接着性も得られる。分子量が大きいほど、フィルム形成性が容易に得られ、また接続時の流動性に影響する溶融粘度を広範囲に設定できる。フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、溶融粘度や他の樹脂との相溶性等の点から、好ましくは10000〜80000、より好ましくは20000〜60000である。 In order to obtain high reliability as a circuit connection material, a phenoxy resin can be suitably used as a film forming material. The phenoxy resin corresponds to a high molecular weight epoxy resin having a weight average molecular weight of 10,000 or more determined by high performance liquid chromatography (HLC). Similar to the epoxy resin, there are phenoxy resins such as bisphenol A type, AD type, and AF type. Since these are similar in structure to the epoxy resin, they have good compatibility with the epoxy resin and also provide good adhesion. As the molecular weight increases, film formability can be easily obtained, and the melt viscosity that affects the fluidity during connection can be set in a wide range. The weight average molecular weight of the phenoxy resin is preferably 10,000 to 80,000, more preferably 20000 to 60,000, from the viewpoint of melt viscosity and compatibility with other resins.
フィルム形成材として用いられる樹脂は、水酸基及びカルボキシル基等の極性基を含有することが、エポキシ樹脂との相溶性が向上して均一な外観や特性を有するフィルムが得られる点や、硬化時の反応促進による短時間硬化を得る点から好ましい。 The resin used as the film-forming material contains polar groups such as hydroxyl groups and carboxyl groups, so that compatibility with the epoxy resin is improved and a film having a uniform appearance and characteristics can be obtained. This is preferable from the viewpoint of obtaining a short time curing by promoting the reaction.
フィルム形成材の配合量は、フィルム形成性や硬化反応の促進の点から、接着剤層3全体に対して20〜80質量%であることが好ましい。 It is preferable that the compounding quantity of a film forming material is 20-80 mass% with respect to the whole adhesive bond layer 3 from the point of acceleration | stimulation of film formation property or hardening reaction.
溶融粘度調整等のために、スチレン系樹脂やアクリル樹脂等を接着剤層3が含有してもよい。 In order to adjust the melt viscosity, the adhesive layer 3 may contain a styrene resin or an acrylic resin.
接着剤層3は、隣接電極間の絶縁が十分に維持できる程度の絶縁性が維持され、また、位置識別用のマークの認識を著しく妨げない範囲で、導電粒子を含んでもよい。具体的には、接着剤層3は、Au、Ag、Pt、Ni、Cu、W、Sb、Sn及び半田から選らばれる金属、並びに炭素等の導電性の充填剤(導電粒子)を含有してもよい。充填剤の形状は特に制限なく、球、矩形、三角、星形等であってよい。分解能および分散性面から球形の充填剤が好ましく使用できる。球形の充填剤の直径は好ましくは20μm以下、より好ましくは7μm以下である。直径の下限は好ましくは0.005μm以上、より好ましくは1μm以上である。球形でない充填剤の場合、その断面積の最大幅が20μm以下であることが好ましく、7μm以下であることがより好ましい。 The adhesive layer 3 may include conductive particles as long as the insulating property is maintained so that the insulation between adjacent electrodes can be sufficiently maintained, and the recognition of the mark for position identification is not significantly disturbed. Specifically, the adhesive layer 3 contains a metal selected from Au, Ag, Pt, Ni, Cu, W, Sb, Sn and solder, and a conductive filler (conductive particles) such as carbon. Also good. The shape of the filler is not particularly limited, and may be a sphere, a rectangle, a triangle, a star, or the like. From the viewpoint of resolution and dispersibility, a spherical filler can be preferably used. The diameter of the spherical filler is preferably 20 μm or less, more preferably 7 μm or less. The lower limit of the diameter is preferably 0.005 μm or more, more preferably 1 μm or more. In the case of a non-spherical filler, the maximum width of the cross-sectional area is preferably 20 μm or less, and more preferably 7 μm or less.
接着剤層3は、シリカ、シリコーン、セラミック等の無機物やスチレン、アクリルゴム等有機物等の絶縁性の充填剤を含有してもよい。これらの形状は特に制限なく、球、矩形、三角、星形等であってよい。分解能および分散性面から、球形の充填剤が好ましい。球形の充填剤の直径は好ましくは20μm以下、より好ましくは7μm以下である。直径の下限は好ましくは0.005μm以上、よち好ましくは1μm以上である。球形でない充填剤の場合、その断面積の最大幅が20μm以下であることが好ましく、7μm以下であることがより好ましい。 The adhesive layer 3 may contain an insulating filler such as an inorganic material such as silica, silicone, or ceramic, or an organic material such as styrene or acrylic rubber. These shapes are not particularly limited, and may be a sphere, a rectangle, a triangle, a star, or the like. In view of resolution and dispersibility, spherical fillers are preferred. The diameter of the spherical filler is preferably 20 μm or less, more preferably 7 μm or less. The lower limit of the diameter is preferably 0.005 μm or more, more preferably 1 μm or more. In the case of a non-spherical filler, the maximum width of the cross-sectional area is preferably 20 μm or less, and more preferably 7 μm or less.
接着剤層3は、異なった形状、大きさ及び材質を持つ複数種の充填剤を同時に含有することができる。また、導電性の充填剤と絶縁性の充填剤を併用することもできる。 The adhesive layer 3 can contain a plurality of types of fillers having different shapes, sizes and materials at the same time. Further, a conductive filler and an insulating filler can be used in combination.
回路接続用接着フィルム1は、例えば、接着剤組成物を溶剤に溶解又は分散して液状化し、液状化された接着剤組成物を支持体2の主面2a上に塗布する工程と、塗布された接着剤組成物から溶剤を除去する工程とを備える方法により製造することができる。液状化された接着剤組成物はエマルジョンであってもよい。溶剤の除去は、硬化剤の活性温度以下に加熱することにより行われる。
The
上記溶剤としては、芳香族炭化水素系と含酸素系の混合溶剤が、材料の溶解性を向上させるため好ましい。含酸素系溶剤のSP値は8.1〜10.7の範囲であることが潜在性硬化剤の保護上好ましい。願酸素系溶剤としては酢酸エステルが好ましい。溶剤の沸点は150℃以下が好ましい。沸点が150℃を超すと乾燥に高温を要し、潜在性硬化剤の活性温度に近いことから潜在性の低下を招く傾向がある。また、沸点が低すぎると乾燥時の作業性が低下する傾向がある。このため沸点は60〜150℃がより好ましく、70〜130℃がさらに好ましい。 As the solvent, an aromatic hydrocarbon-based and oxygen-containing mixed solvent is preferable because the solubility of the material is improved. The SP value of the oxygen-containing solvent is preferably in the range of 8.1 to 10.7 in terms of protecting the latent curing agent. Acetic acid ester is preferable as the oxygen-based solvent. The boiling point of the solvent is preferably 150 ° C. or lower. When the boiling point exceeds 150 ° C., a high temperature is required for drying, and there is a tendency for the potential to be lowered because it is close to the activation temperature of the latent curing agent. Moreover, when the boiling point is too low, the workability during drying tends to decrease. For this reason, the boiling point is more preferably 60 to 150 ° C, and further preferably 70 to 130 ° C.
回路接続用接着フィルム(絶縁性接着フィルム)1は、枚葉のシート状だけでなく、巻心に巻かれてロール状またはリール状の状態で保存されることもある。ロール状又はリール状の状態で保存される接着フィルムにおいては、支持体2は主面2aだけでなくその裏側の主面2bも接着剤層3に直接接触する可能性がある。ロール状又はリール状に巻かれた回路接続用接着フィルムを使用のために引き出す際、接着剤層3が支持体の主面2b側に転写されることを防ぐために、接着剤層3と主面2bとの密着力は、接着剤層3と主面2aとの密着力よりも低いことが必要とされる。接着剤層3の支持体2とは反対側に別の保護フィルムを配置することもできる。この場合は、支持体の主面2bの剥離処理が不要になる可能性がある。
The adhesive film for circuit connection (insulating adhesive film) 1 may be stored not only in the form of a single sheet but also in a roll or reel state by being wound around a winding core. In the adhesive film stored in a roll or reel state, the
回路接続用接着フィルムの接着剤層は、図1の実施形態のように単層に限られず、位置識別用のマークの認識を著しく妨げない限り、複数の層から構成されていてもよい。例えば、組成や物性の異なる複数の接着剤層が積層されていてもよい。また、被着体としての回路部材との接着性を考慮して、接続する回路部材それぞれに対して高い接着性を有する2種の接着剤層を積層してもよい。 The adhesive layer of the adhesive film for circuit connection is not limited to a single layer as in the embodiment of FIG. 1, and may be composed of a plurality of layers as long as the recognition of the mark for position identification is not significantly prevented. For example, a plurality of adhesive layers having different compositions and physical properties may be laminated. Further, in consideration of adhesiveness with a circuit member as an adherend, two types of adhesive layers having high adhesiveness with respect to each circuit member to be connected may be laminated.
図2は、回路部材の位置識別用のマークを認識する方法の一実施形態を示す断面図である。図2に示す方法において、基板11と基板11上に設けられた位置識別用のマーク10とを有する回路部材5のマーク10が設けられた面に貼り付けられた回路接続用接着フィルムから支持体2を取り除かれる。回路接続用接着フィルムは、その接着剤層3の支持体2とは反対側の面が回路部材5に接するとともに、接着剤層3がマーク10を覆うように、回路部材5に貼り合わせられる。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an embodiment of a method for recognizing a mark for position identification of a circuit member. In the method shown in FIG. 2, a support is formed from an adhesive film for circuit connection attached to a surface of a circuit member 5 having a
その後、カメラ13を用いながら、接着剤層3を透過した可視光線12によってマーク10を認識する。マーク10の位置情報に基づいて、接続される回路部材が位置合わせされる。このとき、支持体3の表面が上述のような平滑な表面を有していることから、高い精度でマーク10の位置を認識することができる。
Thereafter, the
マーク10の認識は、可視光線の他、紫外線及びX線等の電磁波を利用して行うこともできる。ただし、設備やその導入の簡易性などの観点から可視光線が好ましい。可視光線の光の波長は約1μmであるため、1μm以上の凹凸は顕著に透過性を妨げる可能性がある。
The recognition of the
接続される回路部材としては、能動素子又は受動素子である電子部品、プリント基板、フレキシブル配線板、及びガラス基板が挙げられる。能動素子には半導体チップ、トランジスタ、ダイオ−ド、サイリスタ等がある。受動素子にはコンデンサ、抵抗体及びコイル等がある。フレキシブル配線板は、例えば、ポリイミド又はポリエステルを基材として有する。回路部材としてのガラス基板上には、例えばITOによって回路が形成される。本発明に係る回路接続用接着フィルムは、とりわけ液晶パネルや半導体チップ接着用のフィルム状接着剤として特に有用である。 Examples of circuit members to be connected include electronic components that are active elements or passive elements, printed boards, flexible wiring boards, and glass boards. Active elements include semiconductor chips, transistors, diodes, thyristors, and the like. Passive elements include capacitors, resistors and coils. The flexible wiring board has, for example, polyimide or polyester as a base material. A circuit is formed of, for example, ITO on a glass substrate as a circuit member. The adhesive film for circuit connection according to the present invention is particularly useful as a film adhesive for bonding a liquid crystal panel or a semiconductor chip.
半導体チップ又は基板の電極パッド上には、めっきによって形成されたバンプ、又はワイヤバンプのような突起電極が設けられていてもよい。この突起電極を接続端子として用いることができる。ワイヤバンプは、金ワイヤの先端をトーチ等により溶融させ、金ボールを形成し、このボールを電極パッド上に圧着した後、ワイヤを切断する方法によって形成される。 Protruding electrodes such as bumps formed by plating or wire bumps may be provided on the electrode pads of the semiconductor chip or the substrate. This protruding electrode can be used as a connection terminal. The wire bump is formed by a method in which the tip of a gold wire is melted with a torch or the like to form a gold ball, the ball is pressed onto an electrode pad, and then the wire is cut.
回路部材は接続端子を有している。接続端子は1個でもよいが、通常は多数の接続端子が設けられる。少なくとも1組の回路部材それぞれに設けられた接続端子の少なくとも一部を、位置識別用のマークの位置情報に基づいて位置合わせしながら対向配置し、対向配置した接続端子間に接着剤層を介在させ、その状態で加熱及び加圧して、対向配置された接続端子同士を電気的に接続する。回路部材を加熱及び加圧することにより、対向配置した接続端子同士が直接接触して電気的に接続される。 The circuit member has a connection terminal. Although there may be one connection terminal, usually a large number of connection terminals are provided. At least a part of the connection terminals provided on each of the at least one set of circuit members are arranged to face each other while being aligned based on the position information of the mark for position identification, and an adhesive layer is interposed between the connection terminals arranged to face each other. In this state, heating and pressurization are performed to electrically connect the connection terminals arranged opposite to each other. By heating and pressurizing the circuit member, the connection terminals arranged opposite to each other are in direct contact and are electrically connected.
本発明においては、接着フィルムを半導体ウエハに直接貼り付けることも想定される。この場合、12インチ等のウエハと同じサイズ又はそれよりも大きいサイズに切り出した接着フィルムが、ウエハに積層される。ウエハの上に接着フィルムが積層された状態でダイシングによりウエハを個片化する。これにより、チップ一枚又は基板一枚単位で接着フィルムを積層する場合よりも少ない回数で接着フィルムを積層することが可能となる。この方法は、このように工数を簡略化できるだけでなく、個片化するチップサイズと同じ大きさで接着フィルムを貼り付けることができるため、実装の高密度化の点でも有利である。接着剤層を介して位置識別用のマークを高精度で認識できることから、マークの配置位置を自由に設定できる。
In the present invention, it is also assumed that the adhesive film is directly attached to the semiconductor wafer. In this case, an adhesive film cut into the same size as the wafer such as 12 inches or larger is laminated on the wafer. The wafer is divided into individual pieces by dicing in a state where the adhesive film is laminated on the wafer. Thereby, it becomes possible to laminate | stack an adhesive film in fewer frequency | counts than the case where an adhesive film is laminated | stacked per chip | tip or the board |
以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to these.
(実施例1)
押し出し装置を用いた一般的な手法によりポリエチレンテレフタレートフィルム(以下「PETフィルム」という。)を作製した。得られたPETフィルムの両面に対して、離型処理剤であるシリコーンを用いて離型処理を施した。離型処理後のPETフィルム(厚さ:50μm、主面の中心線平均粗さRa:0.1μm、十点平均表面粗さRz:0.8μm、最大高さRy:1.4μm)を支持体として用いた。
Example 1
A polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as “PET film”) was produced by a general method using an extrusion apparatus. A release treatment was performed on both sides of the obtained PET film using silicone as a release treatment agent. Supports PET film after release treatment (thickness: 50 μm, center line average roughness Ra: 0.1 μm, 10-point average surface roughness Rz: 0.8 μm, maximum height Ry: 1.4 μm) Used as a body.
フェノキシ樹脂(高分子量エポキシ樹脂)と、マイクロカプセル型潜在性硬化剤を含む液状エポキシ樹脂組成物(エポキシ当量185)とを20/80(質量比)で含有する、30質量%の酢酸エチル溶液を調製した。この溶液を混合して固形分を分散して、液状の接着剤組成物を得た。 A 30% by mass ethyl acetate solution containing 20/80 (mass ratio) of a phenoxy resin (high molecular weight epoxy resin) and a liquid epoxy resin composition (epoxy equivalent 185) containing a microcapsule type latent curing agent Prepared. This solution was mixed to disperse the solid content to obtain a liquid adhesive composition.
次に、上述の支持体の主面に塗工装置を用いて上記接着剤組成物を塗布した。その後、塗布された接着剤組成物が硬化しない温度及び時間で塗膜を乾燥することにより接着剤層を形成させて、支持体とその上に形成された絶縁性の接着剤層とから構成される接着フィルムを得た。接着剤層の厚さは25μmであった。 Next, the adhesive composition was applied to the main surface of the support using a coating apparatus. Then, the applied adhesive composition is dried at a temperature and time at which it does not cure to form an adhesive layer, and is composed of a support and an insulating adhesive layer formed thereon. An adhesive film was obtained. The thickness of the adhesive layer was 25 μm.
得られた接着フィルムの接着剤層を、18μmの高さの配線を有する基板に90℃に熱せられたツールを用いて転写させた。転写後、図2のように、接着剤層を通して可視光線のカメラを用いて基板上の位置識別用のマークを認識したところ、99.9%と高い認識率で基板の位置を認識できた。 The adhesive layer of the obtained adhesive film was transferred to a substrate having wiring having a height of 18 μm using a tool heated to 90 ° C. After the transfer, as shown in FIG. 2, when the position identification mark on the substrate was recognized using a visible light camera through the adhesive layer, the position of the substrate could be recognized with a high recognition rate of 99.9%.
(実施例2)
押し出し装置を用いた一般的な手法によりPETフィルムを作製した。得られたPETフィルムの両面に対して、離型処理剤であるシリコーンを用いて離型処理を施した。離型処理後のPETフィルム(厚さ:50μm、主面の中心線平均粗さRa:0.1μm、十点平均表面粗さRz:0.1μm、最大高さRy:1.5μm)を支持体として用い、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。接着剤層の厚さは25μmであった。
(Example 2)
A PET film was prepared by a general method using an extrusion apparatus. A release treatment was performed on both sides of the obtained PET film using silicone as a release treatment agent. Supports PET film after release treatment (thickness: 50 μm, main surface centerline average roughness Ra: 0.1 μm, ten-point average surface roughness Rz: 0.1 μm, maximum height Ry: 1.5 μm) Using as a body, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1. The thickness of the adhesive layer was 25 μm.
得られた接着フィルムの接着剤層を、18μmの高さの配線を有する基板に90℃に熱せられたツールを用いて転写させた。転写後、図2のように、接着剤層を通して可視光線のカメラを用いて基板上の位置識別用のマークを認識したところ、99.9%と高い認識率で基板の位置を認識できた。 The adhesive layer of the obtained adhesive film was transferred to a substrate having wiring having a height of 18 μm using a tool heated to 90 ° C. After the transfer, as shown in FIG. 2, when the position identification mark on the substrate was recognized using a visible light camera through the adhesive layer, the position of the substrate could be recognized with a high recognition rate of 99.9%.
(比較例1)
押し出し装置を用いた一般的な手法によりPETフィルムを作製した。得られたPETフィルムの両面に対して、離型処理剤であるシリコーンを用いて離型処理を施した。離型処理後のPETフィルム(厚さ:50μm、主面の中心線平均粗さRa:0.4μm、十点平均表面粗さRz:3.8μm、最大高さRy:5.4μm)を支持体として用い、実施例1と同様にして接着フィルムを作製した。接着剤層の厚さは25μmであった。
(Comparative Example 1)
A PET film was prepared by a general method using an extrusion apparatus. A release treatment was performed on both sides of the obtained PET film using silicone as a release treatment agent. Supports PET film after release treatment (thickness: 50 μm, center line average roughness Ra: 0.4 μm, ten-point average surface roughness Rz: 3.8 μm, maximum height Ry: 5.4 μm) Using as a body, an adhesive film was produced in the same manner as in Example 1. The thickness of the adhesive layer was 25 μm.
得られた接着フィルムの接着剤層を、18μmの高さの配線を有する基板に90℃に熱せられたツールを用いて転写させた。転写後、図2のように、接着剤層を通して可視光線のカメラを用いて基板上の位置識別用のマークを認識したところ、32%と低い認識率であり、基板の位置をほとんど認識できなかった。 The adhesive layer of the obtained adhesive film was transferred to a substrate having wiring having a height of 18 μm using a tool heated to 90 ° C. After the transfer, as shown in FIG. 2, when the mark for position identification on the substrate was recognized using a visible light camera through the adhesive layer, the recognition rate was as low as 32%, and the position of the substrate could hardly be recognized. It was.
(比較例2)
押し出し装置を用いた一般的な手法によりPETフィルムを作製した。得られたPETフィルムの両面に対して、離型処理剤であるシリコーンを用いて離型処理を施した。離型処理後のPETフィルム(厚さ:50μm、主面の中心線平均粗さRa:1.5μm、十点平均表面粗さRz:11.6μm、最大高さRy:15.1μm)を支持体として用い、実施例1と同様にして絶縁性接着フィルムを作製した。接着剤層の厚さは25μmであった。
(Comparative Example 2)
A PET film was prepared by a general method using an extrusion apparatus. A release treatment was performed on both sides of the obtained PET film using silicone as a release treatment agent. Supports PET film after release treatment (thickness: 50 μm, center line average roughness Ra: 1.5 μm, ten-point average surface roughness Rz: 11.6 μm, maximum height Ry: 15.1 μm) An insulating adhesive film was produced in the same manner as in Example 1 using the product as a body. The thickness of the adhesive layer was 25 μm.
得られた接着フィルムの接着剤層を、18μmの高さの配線を有する基板に90℃に熱せられたツールを用いて転写させた。転写後、図2のように、接着剤層を通して可視光線のカメラを用いて基板上の位置識別用のマークを認識したところ、12%と低い認識率であり、基板の位置をほとんど認識できなかった。 The adhesive layer of the obtained adhesive film was transferred to a substrate having wiring having a height of 18 μm using a tool heated to 90 ° C. After the transfer, as shown in FIG. 2, when the position identifying mark on the substrate was recognized using a visible light camera through the adhesive layer, the recognition rate was as low as 12%, and the position of the substrate could hardly be recognized. It was.
以上の実験結果からも、本発明の接着フィルムによれば、接着剤層を回路部材に転写したときに、可視光線のカメラを用いて接着剤層側から基板の回路部材の位置を十分に認識できることが確認された。 Also from the above experimental results, according to the adhesive film of the present invention, when the adhesive layer is transferred to the circuit member, the position of the circuit member on the substrate is sufficiently recognized from the adhesive layer side using a visible light camera. It was confirmed that it was possible.
1…回路接続用接着フィルム、2…支持体、2a…支持体の主面、2b…支持体の主面、3…接着剤層、5…回路部材、10…位置識別用のマーク、11…基板、12…可視光線、13…カメラ。
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