JP2013214417A - Circuit connection material, circuit connection material structure and manufacturing method of circuit connection material structure - Google Patents

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克彦 富坂
Masanori Fujii
正規 藤井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a circuit connection material which can maintain excellent electrical connection between circuit members being connected, even when interconnecting the circuit members with low pressure.SOLUTION: A circuit connection material 50a is interposed between a first circuit member 30 having a first circuit electrode 32 and a second circuit member 40 having a second circuit electrode 42, and connects the first circuit electrode and second circuit electrode electrically by compression. At least one of the first circuit member and second circuit member is an IC chip, and the compression load is 50 MPa or less for the electrode area of the IC chip. The circuit connection material contains conductive particles 10A and an adhesive component 20a, the conductive particle has a metal layer on the surface of a plastic particle, the outermost layer of the metal layer is palladium, and the compression modulus of the conductive particle during 30% compression deformation of the particle diameter is 100-500 kgf/mm.

Description

本発明は、回路接続材料、回路部材接続構造体及び回路部材接続構造体の製造方法に関する。   The present invention relates to a circuit connection material, a circuit member connection structure, and a method for manufacturing a circuit member connection structure.

液晶表示ディスプレイ用ガラスパネルに液晶駆動用ICを実装する方法として、CHIP−ON−GLASS実装(以下、「COG実装」という。)やCHIP−ON−FLEX実装(以下、「COF実装」という。)が広く用いられている。COG実装は、液晶駆動用ICを直接ガラスパネル上に接合する方法である。一方、COF実装は、金属配線を有するフレキシブルテープに液晶駆動用ICを接合し、これとガラスパネルとを接合する方法である。   As a method of mounting a liquid crystal driving IC on a glass panel for a liquid crystal display, CHIP-ON-GLASS mounting (hereinafter referred to as “COG mounting”) or CHIP-ON-FLEX mounting (hereinafter referred to as “COF mounting”). Is widely used. COG mounting is a method in which a liquid crystal driving IC is directly bonded onto a glass panel. On the other hand, COF mounting is a method in which a liquid crystal driving IC is joined to a flexible tape having metal wiring, and this is joined to a glass panel.

上記のCOG実装及びCOF実装においては、回路接続材料として異方導電性を有する接着剤組成物を用いることが一般的である。この接着剤組成物は、接着剤成分中に導電粒子を分散させたものである。このような接着剤組成物を用いた回路接続材料としては、例えば、特許文献1に記載の接着フィルム等が挙げられる。   In the above COG mounting and COF mounting, it is common to use an adhesive composition having anisotropic conductivity as a circuit connecting material. In this adhesive composition, conductive particles are dispersed in an adhesive component. Examples of the circuit connecting material using such an adhesive composition include an adhesive film described in Patent Document 1.

国際公開第08/056773号パンフレットInternational Publication No. 08/056773 Pamphlet

ところで、近年、液晶表示の高精細化に伴い、回路部材に形成される回路電極の高密度化が進展している。このため、回路電極の更なる微細化、すなわち多電極化や狭ピッチ化等の高精細化が進む傾向にあり、高精細液晶モジュールにおける高い接続信頼性が要求されている。   By the way, in recent years, with the high definition of liquid crystal displays, the density of circuit electrodes formed on circuit members has been increased. For this reason, circuit electrodes tend to be further miniaturized, that is, high definition such as multiple electrodes and narrow pitches, and high connection reliability in high definition liquid crystal modules is required.

一方で、回路電極の多電極化により、回路部材中における回路電極の総面積は増大傾向にあることから、回路部材同士の接続時に回路電極にかかる圧力が分散されるため、低圧力接続における高い接続信頼性が要求される傾向にある。   On the other hand, since the total area of the circuit electrodes in the circuit members tends to increase due to the increase in the number of circuit electrodes, the pressure applied to the circuit electrodes is dispersed when the circuit members are connected to each other. Connection reliability tends to be required.

更に、近年の液晶モジュールの薄型化に伴い、液晶駆動用ICやガラスパネルの薄肉化が進行していることから、回路部材同士の接続時にかかる圧力により、回路部材自体が破壊されることを防止するために、低圧力接続が要求される傾向にある。   In addition, with the recent thinning of liquid crystal modules, liquid crystal driving ICs and glass panels are becoming thinner, preventing the circuit members themselves from being damaged by the pressure applied when connecting circuit members. Therefore, a low pressure connection tends to be required.

しかしながら、上記従来の回路接続材料においては、低圧力接続に際して、回路電極と回路接続用接着剤組成物中の導電粒子との接触が不十分になる、回路部材同士の接続時に相対峙する回路電極間に絶縁性の接着剤成分が残存し易くなる等の現象が発生し、その結果、回路間の接続抵抗が上昇し接続不良を起こすといった問題があった。   However, in the above conventional circuit connection material, the contact between the circuit electrode and the conductive particles in the adhesive composition for circuit connection is insufficient at the time of low-pressure connection, and the circuit electrodes are opposed to each other when the circuit members are connected to each other. There is a problem that an insulating adhesive component easily remains in between, resulting in an increase in connection resistance between the circuits and a connection failure.

そこで、本発明は、回路部材間を低圧力で接続する場合においても、接続される回路部材間での電気的な接続性及び電気特性の長期信頼性を良好に保つことのできる回路接続材料を提供することを目的とする。また、本発明は、上記の回路接続材料を用いて回路部材が接続された回路部材接続構造体及び当該回路部材接続構造体の製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a circuit connection material that can maintain good electrical connectivity and long-term reliability of electrical characteristics between connected circuit members even when the circuit members are connected at a low pressure. The purpose is to provide. Moreover, an object of this invention is to provide the circuit member connection structure to which the circuit member was connected using said circuit connection material, and the manufacturing method of the said circuit member connection structure.

本発明は、第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材との間に介在させ、加圧により第一の回路電極と第二の回路電極とを電気的に接続するための回路接続材料であって、第一の回路部材及び第二の回路部材のうち少なくとも一方がICチップであり、加圧における荷重がICチップの電極面積に対して50MPa以下であり、回路接続材料が導電粒子及び接着剤成分を含有し、上記導電粒子がプラスチック粒子の表面に金属層を有し、該金属層の最外層がパラジウムであり、上記導電粒子における粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率が100〜500kgf/mmである回路接続材料を提供する。ここで、上記加圧における荷重はICチップのチップ面積に対して10MPa以下であってもよい。 The present invention interposes between a first circuit member having a first circuit electrode and a second circuit member having a second circuit electrode, and pressurizes the first circuit electrode and the second circuit electrode. A circuit connection material for electrically connecting to each other, wherein at least one of the first circuit member and the second circuit member is an IC chip, and the load in pressurization is relative to the electrode area of the IC chip 50 MPa or less, the circuit connecting material contains conductive particles and an adhesive component, the conductive particles have a metal layer on the surface of the plastic particles, the outermost layer of the metal layer is palladium, and the particles in the conductive particles Provided is a circuit connecting material having a compressive elastic modulus of 100 to 500 kgf / mm 2 at 30% diameter compression deformation. Here, the load in the pressurization may be 10 MPa or less with respect to the chip area of the IC chip.

なお、上記加圧における荷重は、ICチップの電極面積に応じて以下の計算式から算出される加圧力である。
加圧力=(ICチップの電極面積)×(目標圧力)
本発明においては、上記目標圧力が50MPa以下である。
In addition, the load in the said pressurization is the applied pressure computed from the following formulas according to the electrode area of an IC chip.
Applied pressure = (IC chip electrode area) x (Target pressure)
In the present invention, the target pressure is 50 MPa or less.

本発明はまた、第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材との間に介在させ、加圧により第一の回路電極と第二の回路電極とを電気的に接続するための回路接続材料であって、第一の回路部材及び第二の回路部材のうち少なくとも一方がICチップであり、加圧における荷重がICチップのチップ面積に対して10MPa以下であり、回路接続材料が導電粒子及び接着剤成分を含有し、導電粒子がプラスチック粒子の表面に金属層を有し、該金属層の最外層がパラジウムであり、上記導電粒子における粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率が100〜500kgf/mmである回路接続材料を提供する。 The present invention also interposes between a first circuit member having a first circuit electrode and a second circuit member having a second circuit electrode and pressurizing the first circuit electrode and the second circuit. A circuit connection material for electrically connecting an electrode, wherein at least one of the first circuit member and the second circuit member is an IC chip, and the load in pressurization is relative to the chip area of the IC chip. 10 MPa or less, the circuit connection material contains conductive particles and an adhesive component, the conductive particles have a metal layer on the surface of the plastic particles, and the outermost layer of the metal layer is palladium, and the particles in the conductive particles Provided is a circuit connecting material having a compressive elastic modulus of 100 to 500 kgf / mm 2 at 30% diameter compression deformation.

本発明の回路接続材料は、上記構成を有することにより、回路部材間を低圧力で接続する場合においても、接続される回路部材間での電気的な接続性及び電気特性の長期信頼性を良好に保つことができる。本発明の回路接続材料によりこのような効果が奏される理由は必ずしも明らかではないが、本発明者らはこの理由を下記1)、2)のように推測している。ただし理由はこれに限定されるものではない。   The circuit connection material of the present invention has the above-described configuration, so that even when the circuit members are connected at a low pressure, the electrical connection between the circuit members to be connected and the long-term reliability of the electrical characteristics are good. Can be kept in. The reason why such an effect is achieved by the circuit connection material of the present invention is not necessarily clear, but the present inventors presume this reason as 1) and 2) below. However, the reason is not limited to this.

1)本発明の回路接続材料は、プラスチック粒子の表面に金属層を有し、該金属層の最外層がパラジウムである導電粒子を含有する。そして、導電粒子の最外層であるパラジウム(Pd)はAu等の他の導電性材料と比較してより硬いものであるため、導電粒子の最外層が回路電極に対してより食い込み易くなり、導電粒子と回路電極との接触面積を増加させることができ、これによって、低圧力で接続した場合であっても、より良好な電気的接続及び電気特性の長期信頼性を得ることが可能となる。   1) The circuit connection material of the present invention contains conductive particles having a metal layer on the surface of plastic particles, and the outermost layer of the metal layer being palladium. Since palladium (Pd), which is the outermost layer of the conductive particles, is harder than other conductive materials such as Au, the outermost layer of the conductive particles is more likely to bite into the circuit electrode, and the conductive The contact area between the particles and the circuit electrode can be increased, which makes it possible to obtain better electrical connection and long-term reliability of electrical characteristics even when connected at a low pressure.

2)本発明の回路接続材料における上記導電粒子は、粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率が100〜500kgf/mmのものである。このような導電粒子は、回路電極に対して導電粒子の最外層が食い込みやすいため十分な電気的接続を得ることができる。これに加え、このような導電粒子は、接続の際に十分に扁平形状に変形されるため、温度の変動などに伴い回路電極間の間隔が広くなったとしても、当該導電粒子が回路電極間隔の拡大に十分追従することができ、結果的に長期接続信頼性を確保することができる。 2) The conductive particles in the circuit connecting material of the present invention have a compressive elastic modulus of 100 to 500 kgf / mm 2 at 30% compression deformation of the particle diameter. Since such an electrically conductive particle is likely to bite into the outermost layer of the electrically conductive particle with respect to the circuit electrode, sufficient electrical connection can be obtained. In addition, since such conductive particles are deformed into a sufficiently flat shape at the time of connection, even if the distance between the circuit electrodes becomes wide due to temperature fluctuations, the conductive particles are spaced from each other. As a result, long-term connection reliability can be ensured.

また、本発明の回路接続材料によれば、微細な、且つ多数の接続端子を有する回路部材を用いたCOG実装やCOF実装を行う場合であっても、接続される回路部材間での電気的な接続性が良好に保つことができ、且つ薄型化した回路部材が接続時にかかる圧力により破壊されることを防止できる。   In addition, according to the circuit connection material of the present invention, even when COG mounting or COF mounting using a fine circuit member having a large number of connection terminals is performed, electrical connection between the circuit members to be connected is performed. It is possible to maintain good connectivity and prevent the thinned circuit member from being broken by the pressure applied at the time of connection.

本発明の回路接続材料は、回路接続材料中の接着剤成分としてフィルム形成材、エポキシ樹脂及び潜在性硬化剤を含有することが好ましい。   The circuit connection material of the present invention preferably contains a film forming material, an epoxy resin, and a latent curing agent as an adhesive component in the circuit connection material.

このような回路接続材料によれば、回路部材間を低圧力で接続した場合における、電気的な接続性及び電気特性の長期信頼性がより向上する。   According to such a circuit connection material, electrical connectivity and long-term reliability of electrical characteristics when circuit members are connected at a low pressure are further improved.

本発明はまた、少なくとも一方がICチップである第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材とを、第一の回路電極と第二の回路電極とを対向して配置し、対向配置した第一の回路電極と第二の回路電極との間に、上記回路接続材料を介在させ、ICチップの電極面積に対して50MPa以下の荷重となる条件で加圧して、第一の回路電極と第二の回路電極とを電気的に接続させてなる回路部材接続構造体を提供する。   The present invention also includes a first circuit member having a first circuit electrode, at least one of which is an IC chip, and a second circuit member having a second circuit electrode, the first circuit electrode and the second circuit member. Electrodes are arranged opposite to each other, and the circuit connection material is interposed between the first circuit electrode and the second circuit electrode arranged opposite to each other, and the load is 50 MPa or less with respect to the electrode area of the IC chip. There is provided a circuit member connection structure in which pressure is applied under conditions to electrically connect a first circuit electrode and a second circuit electrode.

このような回路部材接続構造体は、上記回路接続材料を用いているため、電気的接続性及び長期の接続信頼性に優れる。   Since such a circuit member connection structure uses the circuit connection material, it is excellent in electrical connectivity and long-term connection reliability.

本発明の回路部材接続構造体においては、第一の回路電極と第二の回路電極のうち少なくとも一方が、金、銀、錫、白金族の金属、アルミニウム、チタン、モリブデン、クロム、インジウム−錫酸化物(ITO)及びインジウム−亜鉛酸化物(IZO)からなる群より選ばれる少なくとも1種からなる回路電極を有することが好ましい。   In the circuit member connection structure of the present invention, at least one of the first circuit electrode and the second circuit electrode is gold, silver, tin, a platinum group metal, aluminum, titanium, molybdenum, chromium, indium-tin. It is preferable to have at least one circuit electrode selected from the group consisting of oxide (ITO) and indium-zinc oxide (IZO).

このような回路部材接続構造体によれば、電気的接続性及び長期の接続信頼性がより向上する。   According to such a circuit member connection structure, electrical connectivity and long-term connection reliability are further improved.

本発明の回路部材接続構造体においては、第一の回路部材及び第二の回路部材のうち少なくとも一方が、窒化シリコン、シリコーン化合物及びポリイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種でコーティング又は付着処理されていることが好ましい。   In the circuit member connection structure of the present invention, at least one of the first circuit member and the second circuit member is coated or adhered with at least one selected from the group consisting of silicon nitride, silicone compounds, and polyimide resins. It is preferable that

このような回路部材接続構造体によれば、電気的接続性及び長期の接続信頼性がより向上する。   According to such a circuit member connection structure, electrical connectivity and long-term connection reliability are further improved.

本発明はまた、少なくとも一方がICチップである第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材とを、第一の回路電極と第二の回路電極とを対向して配置し、対向配置した第一の回路電極と第二の回路電極との間に、上記回路接続材料を介在させ、ICチップの電極面積に対して50MPa以下の荷重となる条件で加圧して、第一の回路電極と第二の回路電極とを電気的に接続させる工程を備える回路部材接続構造体の製造方法を提供する。   The present invention also includes a first circuit member having a first circuit electrode, at least one of which is an IC chip, and a second circuit member having a second circuit electrode, the first circuit electrode and the second circuit member. Electrodes are arranged opposite to each other, and the circuit connection material is interposed between the first circuit electrode and the second circuit electrode arranged opposite to each other, and the load is 50 MPa or less with respect to the electrode area of the IC chip. A method of manufacturing a circuit member connection structure including a step of applying pressure under conditions to electrically connect a first circuit electrode and a second circuit electrode is provided.

このような製造方法によれば、良好な電気的接続性及び長期の接続信頼性を有する回路部材接続構造体を製造することができる。   According to such a manufacturing method, it is possible to manufacture a circuit member connection structure having good electrical connectivity and long-term connection reliability.

本発明によれば、回路部材間を低圧力で接続する場合においても、接続される回路部材間での電気的な接続性及び電気特性の長期信頼性を良好に保つことのできる回路接続材料を提供することができる。また、このような回路接続材料によれば、微細な、且つ多数の接続端子を有する回路部材を用いたCOG実装やCOF実装を行う場合であっても、接続される回路部材間での電気的な接続性が良好に保つことができ、且つ薄型化した回路部材が接続時にかかる圧力により破壊されることを防止できる。また、本発明によれば、上記の回路接続材料を用いて回路部材が接続された回路部材接続構造体及び当該回路部材接続構造体の製造方法が提供される。   According to the present invention, there is provided a circuit connection material capable of maintaining good electrical connectivity and long-term reliability of electrical characteristics between connected circuit members even when the circuit members are connected at a low pressure. Can be provided. Further, according to such a circuit connecting material, even when COG mounting or COF mounting using a fine circuit member having a large number of connection terminals is performed, electrical connection between the circuit members to be connected is performed. It is possible to maintain good connectivity and prevent the thinned circuit member from being broken by the pressure applied at the time of connection. Moreover, according to this invention, the circuit member connection structure to which the circuit member was connected using said circuit connection material, and the manufacturing method of the said circuit member connection structure are provided.

本発明に係る回路部材接続構造体の一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Embodiment of the circuit member connection structure which concerns on this invention. 本発明に係る導電粒子の一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Embodiment of the electroconductive particle which concerns on this invention. 本発明に係る導電粒子の一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Embodiment of the electroconductive particle which concerns on this invention. 本実施形態に係る回路接続材料がフィルム状の支持体上に設けられている状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state in which the circuit connection material which concerns on this embodiment is provided on the film-form support body. 本発明に係る回路部材の接続方法の一実施形態を概略断面図により示す工程図である。It is process drawing which shows one Embodiment of the connection method of the circuit member which concerns on this invention with a schematic sectional drawing. 支持体に支持された二層構造の回路接続材料を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the circuit connection material of the two-layer structure supported by the support body. ICチップの電極の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the electrode of an IC chip.

以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付すこととし、重複する説明は省略する場合がある。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図示の便宜上、図面の寸法比率は説明のものと必ずしも一致しない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiments. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions may be omitted. Further, the positional relationship such as up, down, left and right is based on the positional relationship shown in the drawings unless otherwise specified. Furthermore, for convenience of illustration, the dimensional ratios in the drawings do not necessarily match those described.

本実施形態に係る回路接続材料は、第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材との間に介在させ、加圧により第一の回路電極と第二の回路電極とを電気的に接続するための回路接続用異方性導電性接着剤として用いられるものである。なお、ここで、第一の回路部材及び第二の回路部材のうち少なくとも一方はICチップであり、上記加圧における荷重は、ICチップの電極面積に対して50MPa以下及び/又はICチップのチップ面積に対して10MPa以下である。さらに、本実施形態に係る回路接続材料は、導電粒子及び接着剤成分を含有し、上記導電粒子がプラスチック粒子の表面に金属層を有し、該金属層の最外層がパラジウムであり、上記導電粒子における粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率が100〜500kgf/mmであるものである。 The circuit connection material according to the present embodiment is interposed between a first circuit member having a first circuit electrode and a second circuit member having a second circuit electrode, and the first circuit electrode is applied by pressurization. Is used as an anisotropic conductive adhesive for circuit connection for electrically connecting the second circuit electrode and the second circuit electrode. Here, at least one of the first circuit member and the second circuit member is an IC chip, and the load in the pressing is 50 MPa or less with respect to the electrode area of the IC chip and / or the chip of the IC chip. It is 10 MPa or less with respect to an area. Furthermore, the circuit connection material according to the present embodiment contains conductive particles and an adhesive component, the conductive particles have a metal layer on the surface of the plastic particles, the outermost layer of the metal layer is palladium, and the conductive material The compression elastic modulus at the time of 30% compression deformation of the particle diameter of the particles is 100 to 500 kgf / mm 2 .

このような回路接続材料によれば、回路部材間を低圧力で接続する場合においても、接続される回路部材間での電気的な接続性及び電気特性の長期信頼性を良好に保つことができる。また、このような回路接続材料によれば、微細な、且つ多数の接続端子を有する回路部材を用いたCOG実装やCOF実装を行う場合であっても、接続される回路部材間での電気的な接続性が良好に保つことができ、且つ薄型化した回路部材が接続時にかかる圧力により破壊されることを防止できる。   According to such a circuit connection material, even when the circuit members are connected at a low pressure, the electrical connectivity between the circuit members to be connected and the long-term reliability of the electrical characteristics can be maintained well. . Further, according to such a circuit connecting material, even when COG mounting or COF mounting using a fine circuit member having a large number of connection terminals is performed, electrical connection between the circuit members to be connected is performed. It is possible to maintain good connectivity and prevent the thinned circuit member from being broken by the pressure applied at the time of connection.

なお、ここで、導電粒子の粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率は、以下のようにして測定される。導電粒子を、微小圧縮試験機(例えば、株式会社フィッシャーインスツルメンツ製H−100微小硬度計)を用いて、直径50μmのダイアモンド製円柱の平滑圧子端面で、圧縮速度2.6mN/秒、最大試験荷重10gの条件下で圧縮する。このときの荷重値(N)及び圧縮変位(mm)を測定する。   Here, the compression elastic modulus at 30% compression deformation of the particle diameter of the conductive particles is measured as follows. Using a micro compression tester (for example, H-100 micro hardness tester manufactured by Fischer Instruments Co., Ltd.), the conductive particles were applied to a smooth indenter end face of a diamond cylinder having a diameter of 50 μm, a compression speed of 2.6 mN / sec, and a maximum test load. Compress under conditions of 10 g. The load value (N) and compression displacement (mm) at this time are measured.

得られた測定値から、導電粒子の粒子直径の30%圧縮弾性率を下記式により求める。K値(N/mm)=(3/21/2)・F・S−3/2・R−1/2
F:導電粒子が30%圧縮変形したときの荷重値(N)
S:導電粒子が30%圧縮変形したときの圧縮変位(mm)
R:導電粒子の半径(mm)
From the measured value obtained, the 30% compression elastic modulus of the particle diameter of the conductive particles is obtained by the following formula. K value (N / mm 2 ) = (3/2 1/2 ) · F · S −3 / 2 · R −1/2
F: Load value when conductive particles are 30% compressively deformed (N)
S: Compression displacement (mm) when conductive particles are 30% compressed and deformed
R: radius of conductive particles (mm)

導電粒子の粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率は、150〜400kgf/mmであることが好ましい。導電粒子の圧縮弾性率は、例えば、プラスチック粒子の合成に使用されるモノマーの種類やその配合量を変更することにより調整することができる The compression modulus at the time of 30% compression deformation of the particle diameter of the conductive particles is preferably 150 to 400 kgf / mm 2 . The compression elastic modulus of the conductive particles can be adjusted, for example, by changing the type of monomer used for the synthesis of the plastic particles and the amount of the monomer.

また、本実施形態に係る回路部材接続構造体は、第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材とを、第一の回路電極と前記第二の回路電極とを対向して配置し、対向配置した第一の回路電極と第二の回路電極との間に、上記回路接続材料を介在させ、加圧して、第一の回路電極と第二の回路電極とを電気的に接続させてなるものである。なお、ここで、第一の回路部材及び第二の回路部材のうち少なくとも一方はICチップであり、上記加圧における荷重はICチップの電極面積に対して50MPa以下及び/又はICチップのチップ面積に対して10MPa以下である。このような回路部材接続構造体は、上記回路接続材料を用いているため、電気的接続性及び長期の接続信頼性に優れる。   The circuit member connection structure according to the present embodiment includes a first circuit member having a first circuit electrode and a second circuit member having a second circuit electrode, the first circuit electrode and the first circuit electrode. Two circuit electrodes are arranged to face each other, the circuit connection material is interposed between the first circuit electrode and the second circuit electrode arranged to face each other, and the first circuit electrode and the second circuit electrode are pressed. The second circuit electrode is electrically connected. Here, at least one of the first circuit member and the second circuit member is an IC chip, and the load in the pressurization is 50 MPa or less with respect to the electrode area of the IC chip and / or the chip area of the IC chip. Is 10 MPa or less. Since such a circuit member connection structure uses the circuit connection material, it is excellent in electrical connectivity and long-term connection reliability.

図1は、本発明に係る回路部材接続構造体の一実施形態を示す模式断面図である。図1に示す回路部材接続構造体100は、相互に対向する第一の回路部材30と第二の回路部材40とを備えており、第一の回路部材30と第二の回路部材40との間には、これらを接続する接続部50aが設けられている。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a circuit member connection structure according to the present invention. The circuit member connection structure 100 shown in FIG. 1 includes a first circuit member 30 and a second circuit member 40 that face each other, and the circuit member connection structure 100 includes a first circuit member 30 and a second circuit member 40. A connecting portion 50a for connecting them is provided between them.

第一の回路部材30は、回路基板(第一の回路基板)31と、回路基板31の主面31a上に形成される接続端子(第一の接続端子)32とを備えている。第二の回路部材40は、回路基板(第二の回路基板)41と、回路基板41上の主面41a上に形成される接続端子(第二の接続端子)42とを備えている。   The first circuit member 30 includes a circuit board (first circuit board) 31 and connection terminals (first connection terminals) 32 formed on the main surface 31 a of the circuit board 31. The second circuit member 40 includes a circuit board (second circuit board) 41 and connection terminals (second connection terminals) 42 formed on the main surface 41 a on the circuit board 41.

第一の回路部材30及び第二の回路部材40の具体例としては、例えば、ICチップ(半導体チップ)、抵抗体チップ、コンデンサチップ等のチップ部品、テープキャリアパッケージ(TCP)、フレキシブル回路基板(FPC)、プリント配線板、ガラス基板が挙げられる。これらの回路部材には、通常、一つ又は複数(好ましくは多数)の接続端子(回路電極)が設けられている。接続される回路部材の組合せとしては、第一の回路部材30及び第二の回路部材40の少なくとも一方がICチップである以外は特に制限されず、ICチップとチップ搭載基板、ICチップとガラス基板、ICチップとフレキシブルテープ、等の組合せが挙げられる。   Specific examples of the first circuit member 30 and the second circuit member 40 include, for example, chip components such as IC chips (semiconductor chips), resistor chips, capacitor chips, tape carrier packages (TCP), flexible circuit boards ( FPC), a printed wiring board, and a glass substrate. These circuit members are usually provided with one or more (preferably many) connection terminals (circuit electrodes). The combination of circuit members to be connected is not particularly limited, except that at least one of the first circuit member 30 and the second circuit member 40 is an IC chip. The IC chip and the chip mounting substrate, and the IC chip and the glass substrate. And a combination of an IC chip and a flexible tape.

主面31a及び/又は主面41aには、絶縁層が設けられていてもよい。絶縁層を構成する材料は、絶縁性を有する材料であれば特に制限はなく、有機絶縁性物質、二酸化珪素、窒化珪素(窒化シリコン)等が挙げられる。また、主面31a及び/又は主面41aは、窒化シリコン、シリコーン化合物及びポリイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種でコーティング又は付着処理されていることが好ましい。このような回路部材は、本実施形態に係る回路接続材料により、一層良好な接着強度で接着される。   An insulating layer may be provided on the main surface 31a and / or the main surface 41a. The material constituting the insulating layer is not particularly limited as long as it is an insulating material, and examples thereof include organic insulating substances, silicon dioxide, silicon nitride (silicon nitride), and the like. Moreover, it is preferable that the main surface 31a and / or the main surface 41a are coated or attached with at least one selected from the group consisting of silicon nitride, a silicone compound, and a polyimide resin. Such a circuit member is bonded with a better adhesive strength by the circuit connection material according to the present embodiment.

回路基板31及び回路部材41aの材質は、特に制限されず、有機絶縁性物質、ガラス、シリコン等が挙げられる。   The material of the circuit board 31 and the circuit member 41a is not particularly limited, and examples thereof include an organic insulating material, glass, and silicon.

接続端子32及び接続端子42は、回路電極を有するものである。そして、接続端子32及び接続端子42の少なくとも一方が、金、銀、錫、白金族の金属、アルミニウム、チタン、モリブデン、クロム、インジウム−錫酸化物(ITO)及びインジウム−亜鉛酸化物(IZO)からなる群より選ばれる少なくとも1種からなる回路電極を有することが好ましい。また、各接続端子32、接続端子42の表面が、金、銀、錫、白金族の金属、アルミニウム、チタン、モリブデン、クロム、インジウム−錫酸化物(ITO)及びインジウム−亜鉛酸化物(IZO)からなる群より選ばれる少なくとも1種で構成されていてもよい。ここで、回路電極の材質は、すべての回路電極において同一であってもよく、異なっていてもよい。また、接続端子の表面の材質は、すべての接続端子において同一であってもよく、異なっていてもよい。   The connection terminal 32 and the connection terminal 42 have circuit electrodes. At least one of the connection terminal 32 and the connection terminal 42 is gold, silver, tin, platinum group metal, aluminum, titanium, molybdenum, chromium, indium-tin oxide (ITO), and indium-zinc oxide (IZO). It is preferable to have at least one circuit electrode selected from the group consisting of: The surface of each connection terminal 32 and connection terminal 42 is gold, silver, tin, platinum group metal, aluminum, titanium, molybdenum, chromium, indium-tin oxide (ITO), and indium-zinc oxide (IZO). It may be composed of at least one selected from the group consisting of Here, the material of the circuit electrode may be the same or different in all the circuit electrodes. Moreover, the material of the surface of a connection terminal may be the same in all the connection terminals, and may differ.

接続端子32及び接続端子42は、互いに対向する面が、平坦であることが好ましい。ここで、「接続端子の表面が平坦」とは、表面の凹凸が十分に小さいことをいい、表面の凹凸が20nm以下であることが好ましい。   It is preferable that the connection terminal 32 and the connection terminal 42 have flat surfaces facing each other. Here, “the surface of the connection terminal is flat” means that the surface unevenness is sufficiently small, and the surface unevenness is preferably 20 nm or less.

接続部50aは、回路接続材料に含まれる接着剤成分の硬化物20aと、導電粒子10Aとを備えている。そして、回路部材接続構造体100においては、対抗する接続端子32と接続端子42とが、導電粒子10Aを介して電気的に接続されている。すなわち、導電粒子10Aが、接続端子32及び接続端子42の双方に直接接触している。   The connection part 50a includes a cured product 20a of an adhesive component contained in the circuit connection material and conductive particles 10A. And in the circuit member connection structure 100, the connecting terminal 32 and the connecting terminal 42 which oppose are electrically connected via 10 A of electrically-conductive particles. That is, the conductive particles 10 </ b> A are in direct contact with both the connection terminal 32 and the connection terminal 42.

このため、接続端子32と接続端子42との間の接続抵抗が十分に低減され、接続端子32と接続端子42との間の良好な電気的接続が可能となる。他方、硬化物20aは電気絶縁性を有するものであり、隣り合う接続端子同士は、絶縁性が確保される。従って、接続端子32及び接続端子42の間の電流の流れを円滑にすることができ、回路の持つ機能を十分に発揮することができる。   For this reason, the connection resistance between the connection terminal 32 and the connection terminal 42 is sufficiently reduced, and a good electrical connection between the connection terminal 32 and the connection terminal 42 becomes possible. On the other hand, the hardened | cured material 20a has electrical insulation, and insulation is ensured between adjacent connection terminals. Therefore, the flow of current between the connection terminal 32 and the connection terminal 42 can be made smooth, and the functions of the circuit can be fully exhibited.

次に、本実施形態における導電粒子について詳細に説明する。   Next, the conductive particles in the present embodiment will be described in detail.

図2は、本発明に係る導電粒子の一実施形態を示す模式断面図である。導電粒子10は、中心部分を構成する核体(プラスチック粒子)1aと、当該核体1aの表面上に形成された導電層(金属層)1bとから構成されている。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of conductive particles according to the present invention. The conductive particles 10 are composed of a core (plastic particle) 1a constituting a central portion and a conductive layer (metal layer) 1b formed on the surface of the core 1a.

核体1a、すなわちプラスチック粒子を構成する材質は、加熱及び/又は加圧によって変形するものが好ましい。核体1aが変形するものであると、導電粒子10が接続端子32及び接続端子42によって押圧された場合、接続端子との接触面積が増加する。また、接続端子32及び接続端子42の表面の凹凸を吸収することができる。したがって、接続端子間の接続信頼性が向上する。   The core 1a, that is, the material constituting the plastic particles is preferably one that is deformed by heating and / or pressurization. If the core 1a is deformed, when the conductive particles 10 are pressed by the connection terminal 32 and the connection terminal 42, the contact area with the connection terminal increases. Further, irregularities on the surfaces of the connection terminal 32 and the connection terminal 42 can be absorbed. Therefore, the connection reliability between the connection terminals is improved.

核体1aを構成する材質としては、例えば、ポリスチレン、ポリジビニルベンゼン、ポリアクリル酸エステル、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ベンゾグアナミン樹脂が挙げられる。また、これらを主成分とする材質に対して、架橋材、硬化剤及び老化防止剤等の各種添加剤を添加したものを用いてもよい。   Examples of the material constituting the core 1a include polystyrene, polydivinylbenzene, polyacrylic ester, epoxy resin, phenol resin, and benzoguanamine resin. Moreover, you may use what added various additives, such as a crosslinking material, a hardening | curing agent, and anti-aging agent, with respect to the material which has these as a main component.

また、以下のモノマーから1種又は2種以上を重合させて得られる重合体を用いることができる。ジメチロール−トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、1,3−アダマンタンジオールジ(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、2−メチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート、2−エチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ−1−アダマンチル(メタ)アクリレート、ポリテトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、エチレングリコール(メタ)アクリレート、トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、ペンタフルオロプロピル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、2−メチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート、2−エチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート又は3−ヒドロキシ−1−アダマンチル(メタ)アクリレート等のアクリルモノマー;トリシクロデカンビニルエーテル又はトリシクロデカンモノメチルビニルエーテル等のビニルエーテル化合物。本明細書において、(メタ)アクリレートとは、メタクリレート又はアクリレートを意味する。   Moreover, the polymer obtained by superposing | polymerizing 1 type (s) or 2 or more types from the following monomers can be used. Dimethylol-tricyclodecane di (meth) acrylate, 1,3-adamantanediol di (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, 2-methyl- 2-adamantyl (meth) acrylate, 2-ethyl-2-adamantyl (meth) acrylate, 3-hydroxy-1-adamantyl (meth) acrylate, polytetramethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate , Tetramethylol methane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acryl , Butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, ethylene glycol (meth) acrylate, trifluoroethyl (meth) acrylate, pentafluoropropyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) Acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, 2-methyl-2-adamantyl (meth) acrylate, 2-ethyl-2-adamantyl (meth) acrylate or 3-hydroxy-1-adamantyl Acrylic monomers such as (meth) acrylate; vinyl ether compounds such as tricyclodecane vinyl ether or tricyclodecane monomethyl vinyl ether; In this specification, (meth) acrylate means methacrylate or acrylate.

なお、核体1aは粒子間で同一又は異なる種類の材質であってもよく、同一粒子に1種の材質を単独で、又は2種以上の材質を混合して用いてもよい。   The core 1a may be made of the same or different material between particles, and one kind of material may be used alone or a mixture of two or more kinds of materials may be used for the same particle.

核体1aの平均粒径は、用途などに応じて適宜設計可能であるが、0.5〜20μmであることが好ましく、1〜10μmであることがより好ましく、2〜5μmであることが更に好ましい。平均粒径が0.5μm未満の核体を用いて導電粒子を作製すると、粒子の二次凝集が発生し、隣接する接続端子間の絶縁性が不十分となる傾向があり、平均粒径が20μmを超える核体を用いて導電粒子を作製すると、その大きさに起因して隣接する接続端子間との絶縁性が不十分となる傾向がある。   The average particle diameter of the core 1a can be appropriately designed according to the use, etc., but is preferably 0.5 to 20 μm, more preferably 1 to 10 μm, and further preferably 2 to 5 μm. preferable. When conductive particles are produced using nuclei having an average particle diameter of less than 0.5 μm, secondary aggregation of the particles occurs, the insulation between adjacent connecting terminals tends to be insufficient, and the average particle diameter is When conductive particles are produced using a nucleus exceeding 20 μm, the insulation between adjacent connection terminals tends to be insufficient due to the size.

導電層1b、すなわち金属層は、核体1aの表面を覆うように設けられる層であり、導電性を有する層である。導電性を十分確保する観点から、導電層1bは、核体1aの全表面を被覆していることが好ましい。   The conductive layer 1b, that is, the metal layer is a layer provided so as to cover the surface of the core 1a, and is a conductive layer. From the viewpoint of ensuring sufficient conductivity, the conductive layer 1b preferably covers the entire surface of the core 1a.

導電層1bの材質としては、例えば、金、銀、白金、ニッケル、銅、パラジウム及びこれらの合金並びに錫を含有するはんだ等の合金が挙げられる。十分なポットライフを得るためには、金、銀、白金、パラジウム又はこれらの合金が好ましく、パラジウム又は金がより好ましい。なお、これらは1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the material of the conductive layer 1b include gold, silver, platinum, nickel, copper, palladium, alloys thereof, and alloys such as solder containing tin. In order to obtain a sufficient pot life, gold, silver, platinum, palladium or an alloy thereof is preferable, and palladium or gold is more preferable. In addition, these can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

導電層1bの厚さは、これに使用する材質や用途などに応じて適宜設計可能であるが、50〜200nmであることが好ましく、80〜150nmであることがより好ましい。厚さが50nm未満であると、接続部分の十分に低い抵抗値が得られなくなる傾向がある。他方、200nmを越える厚さの導電層1bは、製造効率が低下する傾向がある。   The thickness of the conductive layer 1b can be appropriately designed according to the material and application used for this, but is preferably 50 to 200 nm, and more preferably 80 to 150 nm. When the thickness is less than 50 nm, there is a tendency that a sufficiently low resistance value of the connection portion cannot be obtained. On the other hand, the production efficiency of the conductive layer 1b having a thickness exceeding 200 nm tends to decrease.

導電層1bは、一層又は二層以上で構成することができる。いずれの場合においても、これを用いて作製される回路接続材料の保存性、及び低圧力接続における長期接続信頼性の確保の観点から、導電層(金属層)1bの表面層(最外層)はパラジウムで構成されるものとする。導電層1bが、パラジウムからなる一層で構成される場合、接続部分の十分に低い抵抗値を得るためには、その厚さは10〜200nmであることが好ましい。   The conductive layer 1b can be composed of one layer or two or more layers. In any case, the surface layer (outermost layer) of the conductive layer (metal layer) 1b is used from the viewpoint of preserving the circuit connection material produced using this and securing long-term connection reliability in low-pressure connection. It shall be composed of palladium. When the conductive layer 1b is composed of a single layer made of palladium, the thickness is preferably 10 to 200 nm in order to obtain a sufficiently low resistance value at the connection portion.

他方、導電層1bが二層以上で構成される場合、導電層1bの最外層はパラジウムで構成されるが、最外層と核体1aと間の層は、例えば、ニッケル、銅、錫又はこれらの合金を含有する金属層で構成してもよい。この場合、導電層1bの最外層を構成するパラジウムの金属層の厚さは、接着剤組成物の保存性の観点から、30〜200nmであることが好ましい。ニッケル、銅、錫又はこれらの合金は、酸化還元作用で遊離ラジカルを発生することがある。このため、パラジウムからなる最外層の厚さが30nm未満であると、ラジカル重合性を有する接着剤成分と併用した場合、遊離ラジカルの影響を十分に防止することが困難となる傾向がある。   On the other hand, when the conductive layer 1b is composed of two or more layers, the outermost layer of the conductive layer 1b is composed of palladium. The layer between the outermost layer and the core 1a is, for example, nickel, copper, tin, or these You may comprise by the metal layer containing these alloys. In this case, the thickness of the palladium metal layer constituting the outermost layer of the conductive layer 1b is preferably 30 to 200 nm from the viewpoint of storage stability of the adhesive composition. Nickel, copper, tin, or an alloy thereof may generate free radicals by redox action. For this reason, when the thickness of the outermost layer made of palladium is less than 30 nm, when used together with an adhesive component having radical polymerizability, it tends to be difficult to sufficiently prevent the influence of free radicals.

導電層1bを核体1a表面上に形成する方法としては、無電解めっき処理や物理的なコーティング処理が挙げられる。導電層1bの形成の容易性の観点から、金属からなる導電層1bを無電解めっき処理によって核体1aの表面上に形成することが好ましい。   Examples of the method for forming the conductive layer 1b on the surface of the core 1a include electroless plating treatment and physical coating treatment. From the viewpoint of easy formation of the conductive layer 1b, the conductive layer 1b made of metal is preferably formed on the surface of the core 1a by electroless plating.

図3は、本発明に係る導電粒子の一実施形態を示す模式断面図である。導電粒子10Aは、中心部分を構成する核体(基材粒子)1aと、当該核体1aの表面上に設けられた導電層1bと、当該導電層1b上の表面上に設けられた複数の絶縁性粒子2Aとから構成されている。このような導電粒子によれば、隣接する接続端子間の絶縁性をさらに高めることができる。以下、核体1aと導電層1bからなる中心粒子を核粒子1という。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of conductive particles according to the present invention. The conductive particles 10A include a core (base particle) 1a constituting a central portion, a conductive layer 1b provided on the surface of the core 1a, and a plurality of layers provided on the surface on the conductive layer 1b. Insulating particles 2A. According to such a conductive particle, the insulation between adjacent connection terminals can be further enhanced. Hereinafter, the central particle composed of the core 1a and the conductive layer 1b is referred to as a core particle 1.

絶縁性粒子2Aは、有機高分子化合物によって構成されている。有機高分子化合物としては、ラジカル重合性物質の重合物からなるものが好ましい。この場合、絶縁性粒子2Aが導電粒子10Aの核粒子1の表面に付着しやすくなり、隣接する接続端子間の絶縁性を更に向上できる。絶縁性粒子2Aの製造方法としては、シード重合法などが挙げられる。   The insulating particles 2A are made of an organic polymer compound. As the organic polymer compound, those composed of a polymer of a radical polymerizable substance are preferable. In this case, the insulating particles 2A can easily adhere to the surface of the core particles 1 of the conductive particles 10A, and the insulation between the adjacent connection terminals can be further improved. Examples of the method for producing the insulating particles 2A include a seed polymerization method.

ラジカル重合性物質は、ラジカルにより重合する官能基を有する物質であり、このようなラジカル重合性物質としては、(メタ)アクリレート化合物、マレイミド化合物等が挙げられる。ラジカル重合性物質はモノマー又はオリゴマーの状態で用いてもよく、また、モノマーとオリゴマーを併用することも可能である。   The radically polymerizable substance is a substance having a functional group that is polymerized by radicals, and examples of such a radically polymerizable substance include (meth) acrylate compounds and maleimide compounds. The radically polymerizable substance may be used in the state of a monomer or an oligomer, and the monomer and the oligomer can be used in combination.

(メタ)アクリレート化合物の具体例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジ(メタ)アクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシメトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート、トリス((メタ)アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、ウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Specific examples of the (meth) acrylate compound include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate, 2-hydroxy-1,3-di (meth) acryloxypropane, 2,2-bis [4-((meth) acryloxymethoxy) Phenyl] propane, 2,2-bis [4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, dicyclopentenyl (meth) acrylate, tricyclodecanyl (meth) acrylate, tris ((meth) acryloyloxy Echi ) Isocyanurate, urethane (meth) acrylate.

これらは単独で又は2種以上を混合して用いることができる。また、必要によりハイドロキノン、メチルエーテルハイドロキノン類等の重合禁止剤を用いてもよい。また、耐熱性を向上させる点からは、(メタ)アクリレート化合物がジシクロペンテニル基、トリシクロデカニル基及びトリアジン環からなる群より選ばれる少なくとも1つの置換基を有することが好ましい。   These can be used alone or in admixture of two or more. Further, if necessary, a polymerization inhibitor such as hydroquinone or methyl ether hydroquinone may be used. Moreover, it is preferable that a (meth) acrylate compound has at least 1 substituent selected from the group which consists of a dicyclopentenyl group, a tricyclodecanyl group, and a triazine ring from the point which improves heat resistance.

マレイミド化合物は、分子中にマレイミド基を少なくとも2個以上含有するものであり、このようなマレイミド化合物としては、例えば、1−メチル−2,4−ビスマレイミドベンゼン、N,N’−m−フェニレンビスマレイミド、N,N’−p−フェニレンビスマレイミド、N,N’−m−トルイレンビスマレイミド、N,N’−4,4−ビフェニレンビスマレイミド、N,N’−4,4−(3,3’−ジメチルビフェニレン)ビスマレイミド、N,N’−4,4−(3,3’−ジメチルジフェニルメタン)ビスマレイミド、N,N’−4,4−(3,3’−ジエチルジフェニルメタン)ビスマレイミド、N,N’−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’−4,4−ジフェニルプロパンビスマレイミド、N,N’−3,3’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、N,N’−4,4−ジフェニルエーテルビスマレイミド、2,2−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(3−s−ブチル−4,8−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)プロパン、1,1−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)デカン、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス(1−(4−マレイミドフェノキシ)−2−シクロヘキシルベンゼン、2,2−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン等を挙げることができる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用できる。   The maleimide compound contains at least two maleimide groups in the molecule, and examples of such maleimide compounds include 1-methyl-2,4-bismaleimidebenzene, N, N′-m-phenylene. Bismaleimide, N, N′-p-phenylenebismaleimide, N, N′-m-toluylene bismaleimide, N, N′-4,4-biphenylenebismaleimide, N, N′-4,4- (3 , 3′-dimethylbiphenylene) bismaleimide, N, N′-4,4- (3,3′-dimethyldiphenylmethane) bismaleimide, N, N′-4,4- (3,3′-diethyldiphenylmethane) bis Maleimide, N, N′-4,4-diphenylmethane bismaleimide, N, N′-4,4-diphenylpropane bismaleimide, N, N′-3,3 ′ Diphenylsulfone bismaleimide, N, N′-4,4-diphenyl ether bismaleimide, 2,2-bis (4- (4-maleimidophenoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (3-s-butyl-4, 8- (4-maleimidophenoxy) phenyl) propane, 1,1-bis (4- (4-maleimidophenoxy) phenyl) decane, 4,4′-cyclohexylidene-bis (1- (4-maleimidophenoxy)- Examples include 2-cyclohexylbenzene, 2,2-bis (4- (4-maleimidophenoxy) phenyl) hexafluoropropane, etc. These can be used alone or in admixture of two or more.

加熱加圧により回路部材同士を接続する場合には、絶縁性粒子2Aを構成する有機高分子化合物の軟化点は、回路部材同士の接続時の加熱温度以上であることが好ましい。軟化点が接続時の加熱温度未満であると、接続時に絶縁性粒子2Aが過度に変形することに起因して、良好な電気的接続が得られなくなる傾向がある。   When circuit members are connected by heating and pressing, the softening point of the organic polymer compound that constitutes the insulating particles 2A is preferably equal to or higher than the heating temperature when the circuit members are connected. When the softening point is lower than the heating temperature at the time of connection, the insulating particles 2A are excessively deformed at the time of connection, so that there is a tendency that good electrical connection cannot be obtained.

絶縁性粒子2Aを構成する有機高分子化合物の架橋度は、5〜20%であることが好ましく、5〜15%であることがより好ましく、8〜13%であることが更に好ましい。架橋度が上記範囲内である有機高分子化合物は、範囲外の有機高分子化合物と比較し、接続信頼性と絶縁性の両方が優れるという特性を有している。したがって、架橋度が5%未満であると、隣り合う電極回路間の絶縁性が不十分となる傾向がある。他方、架橋度が20%を越えると、接続部分の十分に低い初期抵抗値及び抵抗値の経時的な上昇の抑制の両方を達成することが困難となる傾向がある。   The degree of crosslinking of the organic polymer compound that constitutes the insulating particles 2A is preferably 5 to 20%, more preferably 5 to 15%, and still more preferably 8 to 13%. An organic polymer compound having a crosslinking degree within the above range has a characteristic that both connection reliability and insulation are excellent as compared with an organic polymer compound outside the range. Therefore, if the degree of crosslinking is less than 5%, the insulation between adjacent electrode circuits tends to be insufficient. On the other hand, when the degree of cross-linking exceeds 20%, it tends to be difficult to achieve both a sufficiently low initial resistance value of the connecting portion and suppression of a rise in resistance value over time.

有機高分子化合物の架橋度は、架橋性モノマーと非架橋性モノマーの組成比によって調整することができる。本発明でいう架橋度は、架橋性モノマーと非架橋性モノマーの組成比(仕込み質量比)による理論計算値を意味する。すなわち、有機高分子化合物を合成するに際して配合する架橋性モノマーの仕込み質量を架橋性及び非架橋性のモノマーの合計仕込み質量比で除して算出される値である。   The degree of crosslinking of the organic polymer compound can be adjusted by the composition ratio of the crosslinkable monomer and the non-crosslinkable monomer. The degree of crosslinking as used in the present invention means a theoretical calculated value based on the composition ratio (charged mass ratio) of the crosslinkable monomer and the non-crosslinkable monomer. That is, it is a value calculated by dividing the charged mass of the crosslinkable monomer blended in synthesizing the organic polymer compound by the total charged mass ratio of the crosslinkable and non-crosslinkable monomers.

絶縁性粒子2Aを構成する有機高分子化合物のゲル分率は、90%以上であることが好ましく、95%以上がより好ましい。ゲル分率が90%未満であると、導電粒子10Aを接着剤成分中に分散させて接着剤組成物を作製した場合、接着剤成分の絶縁抵抗が経時的に低下する傾向がある。   The gel fraction of the organic polymer compound constituting the insulating particles 2A is preferably 90% or more, and more preferably 95% or more. When the gel fraction is less than 90%, when the adhesive composition is prepared by dispersing the conductive particles 10A in the adhesive component, the insulation resistance of the adhesive component tends to decrease with time.

ここでいうゲル分率とは、有機高分子化合物の溶剤に対する耐性を示す指標であり、その測定方法を以下に説明する。ゲル分率を測定すべき有機高分子化合物(被測定試料)の質量(質量A)を測定する。被測定試料を容器内に収容し、これに溶剤を入れる。温度23℃において、被測定試料を溶剤に24時間撹拌浸漬する。その後、溶剤を揮発させるなどして除去し、攪拌浸漬後の被測定試料の質量(質量B)を測定する。ゲル分率(%)は、(質量B/質量A×100)の式によって算出される値である。   Here, the gel fraction is an index indicating the resistance of the organic polymer compound to the solvent, and the measurement method will be described below. The mass (mass A) of the organic polymer compound (sample to be measured) whose gel fraction is to be measured is measured. A sample to be measured is placed in a container, and a solvent is put in it. At a temperature of 23 ° C., the sample to be measured is immersed in a solvent for 24 hours with stirring. Thereafter, the solvent is removed by volatilization or the like, and the mass (mass B) of the sample to be measured after stirring and immersion is measured. The gel fraction (%) is a value calculated by the equation (mass B / mass A × 100).

ゲル分率の測定に使用する溶剤は、トルエンである。なお、接着剤組成物の溶液の調製には、一般に、トルエン、キシレン、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、テトラヒドロフランが使用される。これらの中から1種を単独で、又は2種以上混合して使用することができる。   The solvent used for measuring the gel fraction is toluene. In general, toluene, xylene, ethyl acetate, butyl acetate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and tetrahydrofuran are used for the preparation of the adhesive composition solution. One of these can be used alone or in admixture of two or more.

絶縁性粒子2Aの平均粒径は、用途などに応じて適宜設計可能であるが、50〜500nmであることが好ましく、100〜450nmであることがより好ましく、200〜400nmであることが更に好ましい。平均粒径が50nm未満であると、隣り合う回路間の絶縁性が不十分となる傾向があり、他方、500nmを越えると、接続部分の十分に低い初期抵抗値及び抵抗値の経時的な上昇の抑制の両方を達成することが困難となる傾向がある。   The average particle diameter of the insulating particles 2A can be appropriately designed according to the use, etc., but is preferably 50 to 500 nm, more preferably 100 to 450 nm, and further preferably 200 to 400 nm. . If the average particle size is less than 50 nm, the insulation between adjacent circuits tends to be insufficient. On the other hand, if the average particle size exceeds 500 nm, the sufficiently low initial resistance value and the resistance value of the connection portion increase with time. It tends to be difficult to achieve both suppression.

絶縁性粒子2Aは、下記式(1)で定義される被覆率が20〜60%となるように核粒子1の表面上に形成される。被覆率は、35〜45%であることが好ましく、38〜42%であることがより好ましい。被覆率が20%未満であると、隣り合う接続端子間の絶縁性が不十分となり、他方、60%を越えると、接続部分の十分に低い初期抵抗値及び抵抗値の経時的な上昇の抑制の両方を達成することが困難となる。なお、核粒子1を被覆している複数の絶縁性粒子2Aは、核粒子1の表面上において、十分分散していることが好ましい。   The insulating particles 2A are formed on the surface of the core particle 1 so that the coverage defined by the following formula (1) is 20 to 60%. The coverage is preferably 35 to 45%, and more preferably 38 to 42%. If the coverage is less than 20%, insulation between adjacent connection terminals becomes insufficient. On the other hand, if the coverage exceeds 60%, sufficiently low initial resistance value and suppression of increase in resistance value with time are suppressed. It will be difficult to achieve both. The plurality of insulating particles 2 </ b> A covering the core particle 1 are preferably sufficiently dispersed on the surface of the core particle 1.

Figure 2013214417
Figure 2013214417

ここでいう被覆率は、示差走査電子顕微鏡(倍率8000倍)による観察によって得られる、下記の測定値に基づくものである。すなわち、被覆率は、核粒子及び絶縁性粒子のそれぞれの粒径、並びに1個の核粒子に付着している絶縁性粒子の個数に基づき、算出される値である。任意に選択した粒子50個について上記のようにして測定し、その平均値を算出する。   The coverage here is based on the following measured values obtained by observation with a differential scanning electron microscope (magnification 8000 times). That is, the coverage is a value calculated based on the particle sizes of the core particles and the insulating particles and the number of insulating particles attached to one core particle. Measurement is performed as described above for 50 arbitrarily selected particles, and the average value is calculated.

核粒子1の粒径は、以下のようにして測定される。すなわち、1個の核粒子を任意に選択し、これを示差走査電子顕微鏡で観察してその最大径及び最小径を測定する。この最大径及び最小径の積の平方根をその粒子の粒径とする。任意に選択した核粒子50個について上記のようにして粒径を測定し、その平均値を核粒子1の粒径(D)とする。絶縁性粒子2Aの粒径についても、これと同様にして任意の絶縁性粒子50個についてその粒径を測定し、その平均値を絶縁性粒子2Aの粒径(D)とする。 The particle diameter of the core particle 1 is measured as follows. That is, one core particle is arbitrarily selected, and this is observed with a differential scanning electron microscope, and its maximum diameter and minimum diameter are measured. The square root of the product of the maximum diameter and the minimum diameter is defined as the particle diameter of the particle. The particle size of 50 arbitrarily selected core particles is measured as described above, and the average value is defined as the particle size (D 1 ) of the core particle 1. As for the particle diameter of the insulating particles 2A, the particle diameters of 50 arbitrary insulating particles are measured in the same manner, and the average value is defined as the particle diameter (D 2 ) of the insulating particles 2A.

1個の導電粒子が備える絶縁性粒子の個数は、以下のようにして測定される。すなわち、複数の絶縁性粒子2Aで表面の一部が被覆された導電粒子1個を任意に選択する。そして、これを示差走査電子顕微鏡で撮像し、観察し得る核粒子表面上に付着している絶縁性粒子の数をカウントする。これにより得られたカウント数を2倍にすることで1個の核粒子に付着している絶縁性粒子の数を算出する。任意に選択した導電粒子50個について上記のようにして絶縁性粒子の数を測定し、その平均値を1個の導電粒子が備える絶縁性粒子の個数とする。   The number of insulating particles included in one conductive particle is measured as follows. That is, one conductive particle whose surface is partially covered with a plurality of insulating particles 2A is arbitrarily selected. And this is imaged with a differential scanning electron microscope, and the number of the insulating particles adhering on the core particle surface which can be observed is counted. The number of insulating particles adhering to one core particle is calculated by doubling the obtained count number. The number of insulating particles is measured as described above for 50 arbitrarily selected conductive particles, and the average value is defined as the number of insulating particles included in one conductive particle.

式(1)の核粒子の全表面積は、上記Dを直径とする球の表面積を意味する。一方、核粒子表面の絶縁被覆体で覆われている部分の面積は、上記Dを直径とする円の面積の値に1個の導電粒子が備える絶縁性粒子の個数を乗ずることによって得られる値を意味する。 The total surface area of the core particle of the formula (1) means the surface area of a sphere having the diameter D 1 described above. On the other hand, the area of a portion covered with an insulating coating of core particles the surface is obtained by multiplying the number of insulating particles on the value of the area of a circle the D 2 diameter provided in one of the conductive particles Mean value.

絶縁性粒子2Aの平均粒径Dと核粒子1の平均粒径Dの比率(D/D)は、1/40〜1/6であることが好ましく、1/20〜1/8であることがより好ましい。D/Dが1/40未満であると、隣り合う回路間の絶縁性が不十分となる傾向がある。他方、1/6を越えると、接続部分の十分に低い初期抵抗値及び抵抗値の経時的な上昇の抑制の両方を達成することが困難となる傾向がある。 The average particle diameter D 2 and the ratio of the average particle diameter D 1 of the nucleus particles 1 of the insulating particles 2A (D 2 / D 1) is preferably 1 / 40-1 / 6, 1/20 to 1 / 8 is more preferable. If D 2 / D 1 is less than 1/40, the insulation between adjacent circuits tends to be insufficient. On the other hand, if it exceeds 1/6, it tends to be difficult to achieve both the sufficiently low initial resistance value of the connection portion and the suppression of the increase in resistance value over time.

なお、核粒子1の表面上に形成する絶縁被覆体は、絶縁性粒子2Aのように球状のものに限定されない。絶縁被覆体は、絶縁性粒子2Aと同様の材質からなる絶縁性層であってもよい。例えば、図3に示す導電粒子10Bは、核粒子1の表面上に部分的に設けられた絶縁性層2Bを備えている。   The insulating covering formed on the surface of the core particle 1 is not limited to a spherical one like the insulating particle 2A. The insulating covering may be an insulating layer made of the same material as the insulating particles 2A. For example, the conductive particle 10 </ b> B shown in FIG. 3 includes an insulating layer 2 </ b> B partially provided on the surface of the core particle 1.

絶縁性層2Bは、上記式(1)で定義される被覆率が20〜60%となるように核粒子1の表面上に形成される。本発明の効果を一層確実に得る観点から、被覆率は、35〜45%であることが好ましく、38〜42%であることがより好ましい。被覆率が20%未満であると、隣り合う接続端子間の絶縁性が不十分となり、他方、60%を越えると、接続部分の十分に低い初期抵抗値及び抵抗値の経時的な上昇の抑制の両方を達成することが困難となる。なお、核粒子1を被覆している絶縁性層2Bの各被覆領域は、核粒子1の表面上において、十分分散していることが好ましい。各被覆領域は、それぞれ孤立していてもよく、連続していてもよい。   The insulating layer 2B is formed on the surface of the core particle 1 so that the coverage defined by the above formula (1) is 20 to 60%. From the viewpoint of more reliably obtaining the effects of the present invention, the coverage is preferably 35 to 45%, and more preferably 38 to 42%. If the coverage is less than 20%, insulation between adjacent connection terminals becomes insufficient. On the other hand, if the coverage exceeds 60%, sufficiently low initial resistance value and suppression of increase in resistance value with time are suppressed. It will be difficult to achieve both. In addition, it is preferable that each covering region of the insulating layer 2 </ b> B covering the core particle 1 is sufficiently dispersed on the surface of the core particle 1. Each covering region may be isolated or may be continuous.

絶縁性層2Bの厚さTと核粒子1の平均粒径Dの比率(T/D)は、1/40〜1/6であることが好ましく、1/20〜1/8であることがより好ましい。T/Dが1/40未満であると、隣り合う回路間の絶縁性が不十分となる傾向がある。他方、1/6を越えると、接続部分の十分に低い初期抵抗値及び抵抗値の経時的な上昇の抑制の両方を達成することが困難となる傾向がある。 The ratio (T 2 / D 1 ) between the thickness T 2 of the insulating layer 2B and the average particle diameter D 1 of the core particles 1 is preferably 1/40 to 1/6, and 1/20 to 1/8. It is more preferable that If T 2 / D 1 is less than 1/40, the insulation between adjacent circuits tends to be insufficient. On the other hand, if it exceeds 1/6, it tends to be difficult to achieve both the sufficiently low initial resistance value of the connection portion and the suppression of the increase in resistance value over time.

絶縁被覆体が絶縁性層2Bにより構成される場合の被覆率は、以下の手順により算出することができる。すなわち、任意に選択した導電粒子50個を示差走査電子顕微鏡でそれぞれ撮像し、観察し得る核粒子表面上に付着している絶縁性層の面積の測定値を相加平均することにより得ることができる。また、絶縁性層2Bの厚さTについても、任意に選択した導電粒子50個を示差走査電子顕微鏡でそれぞれ撮像し、各導電粒子の表面上の絶縁性層2Bの厚さの測定値を相加平均することにより得ることができる。 The coverage in the case where the insulating covering is constituted by the insulating layer 2B can be calculated by the following procedure. That is, 50 arbitrarily selected conductive particles can be respectively imaged with a differential scanning electron microscope, and obtained by arithmetically averaging the measured values of the area of the insulating layer adhering on the surface of the core particles that can be observed. it can. Further, the thickness T 2 of the insulating layer 2B also conductive particles 50 arbitrarily selected captured respectively by a differential scanning electron microscope, the measurement of the thickness of the insulating layer 2B on the surface of each conductive particle It can be obtained by arithmetic averaging.

核粒子1の表面に絶縁被覆体(絶縁性粒子2Aもしくは絶縁性層2B)を形成する方法としては、公知の手法を使用することができ、有機溶媒や分散剤による化学変化を利用した湿式方式及び機械エネルギーによる物理化学的変化を利用した乾式方式が挙げられる。例えば、噴霧法、高速撹拌法、スプレードライヤー法などが挙げられる。   As a method of forming an insulating coating (insulating particle 2A or insulating layer 2B) on the surface of the core particle 1, a known method can be used, and a wet method using a chemical change by an organic solvent or a dispersant. And a dry method using a physicochemical change caused by mechanical energy. For example, a spraying method, a high-speed stirring method, a spray dryer method and the like can be mentioned.

上述の効果を一層確実に得るためには、粒径が十分に均一化されている複数の絶縁性粒子2Aを核粒子1の表面上に設け、これにより絶縁被覆体を構成することが好ましい。また、溶媒や分散剤の完全除去が困難な湿式方式よりも溶媒を使用しない乾式方式を採用することが好ましい。   In order to obtain the above-described effect more reliably, it is preferable to provide a plurality of insulating particles 2A having a sufficiently uniform particle diameter on the surface of the core particle 1, thereby forming an insulating coating. Moreover, it is preferable to employ a dry method that does not use a solvent, rather than a wet method in which it is difficult to completely remove the solvent and the dispersant.

乾式方式で核粒子1の表面上に絶縁被覆体を形成できる装置としては、例えば、メカノミル(商品名、株式会社徳寿工作所製)、ハイブリダイザー(株式会社奈良機械製作所製、商品名:NHSシリーズ)などが挙げられる。このうち、絶縁被覆体を核粒子1の表面上に形成する際に核粒子1の表面を好適な状態に改質することができることから、ハイブリダイザーを用いることが好ましい。この装置によれば粒子レベルでの精密な被覆を行うことができ、粒径が十分に均一化された絶縁性粒子2Aを核粒子1の表面上に形成することができる。   As an apparatus that can form an insulating coating on the surface of the core particle 1 by a dry method, for example, Mechanomill (trade name, manufactured by Tokuju Kogakusho Co., Ltd.), Hybridizer (manufactured by Nara Machinery Co., Ltd., trade name: NHS series) ) And the like. Among these, it is preferable to use a hybridizer because the surface of the core particle 1 can be modified into a suitable state when the insulating coating is formed on the surface of the core particle 1. According to this apparatus, precise coating at the particle level can be performed, and the insulating particles 2A having a sufficiently uniform particle size can be formed on the surface of the core particle 1.

絶縁被覆体の形状の制御は、例えば、被覆処理の条件を調整することにより行うことができる。被覆処理の条件は、例えば、温度、回転速度である。また、絶縁性粒子2Aの粒径もしくは絶縁性層2Bの厚さは、被覆処理の条件や当該処理に供する核粒子1と有機高分子化合物(絶縁被覆体の材質)との配合比率を調整することにより行うことができる。   The shape of the insulating cover can be controlled, for example, by adjusting the conditions of the covering process. The conditions for the coating treatment are, for example, temperature and rotation speed. Moreover, the particle diameter of the insulating particles 2A or the thickness of the insulating layer 2B adjusts the conditions of the coating process and the blending ratio of the core particles 1 to be subjected to the process and the organic polymer compound (material of the insulating coating). Can be done.

被覆処理(乾式方式)の温度は、30〜90℃であることが好ましく、50〜70℃であることがより好ましい。また、被覆処理(乾式方式)の回転速度は、6000〜20000/分であることが好ましく、10000〜17000/分であることがより好ましい。   The temperature of the coating treatment (dry method) is preferably 30 to 90 ° C, and more preferably 50 to 70 ° C. Moreover, it is preferable that the rotational speed of a coating process (dry system) is 6000-20000 / min, and it is more preferable that it is 10000-17000 / min.

上記導電粒子10は、回路接続材料50中の樹脂成分100体積部に対して、0.1〜30体積部含有させることが好ましく、0.1〜10体積部含有させることがより好ましい。これによれば、過剰な導電粒子による隣接回路の短絡をより高度に防止することができる。なお、上記「樹脂成分」とは、回路接続材料50中、導電粒子10以外の接着剤成分20のことをいい、具体的には後述するフィルム形成材、エポキシ樹脂、潜在性硬化剤等のことをいう。   The conductive particles 10 are preferably contained in an amount of 0.1 to 30 parts by volume, more preferably 0.1 to 10 parts by volume with respect to 100 parts by volume of the resin component in the circuit connecting material 50. According to this, the short circuit of the adjacent circuit due to excessive conductive particles can be prevented to a higher degree. The “resin component” refers to the adhesive component 20 other than the conductive particles 10 in the circuit connection material 50, and specifically, a film forming material, an epoxy resin, a latent curing agent, and the like described later. Say.

次に、回路接続材料50における接着剤成分20について詳細に説明する。回路接続材料50の構成要素である接着剤成分20は、接着性を有するものである。当該接着剤成分20は、熱硬化又は光硬化により硬化するものが好ましい。接着剤成分20は、フィルム形成材、エポキシ樹脂及び潜在性硬化剤を含有することが好ましい。これによれば、本発明による上述の効果をより確実に奏することができる。   Next, the adhesive component 20 in the circuit connection material 50 will be described in detail. The adhesive component 20 which is a constituent element of the circuit connection material 50 has adhesiveness. The adhesive component 20 is preferably cured by heat curing or photocuring. The adhesive component 20 preferably contains a film forming material, an epoxy resin, and a latent curing agent. According to this, the above-mentioned effect by this invention can be show | played more reliably.

フィルム形成材とは、液状物を固形化し、構成組成物をフィルム形状とした場合に、そのフィルムの取扱いが容易で、容易に裂けたり、割れたり、べたついたりしない機械特性等を付与するものであり、通常の状態(常温常圧)でフィルムとしての取扱いができるものである。フィルム形成材としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルホルマール樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、キシレン樹脂、ポリウレタン樹脂が挙げられる。これらの中でも接着性、相溶性、耐熱性、機械強度に優れることからフェノキシ樹脂が、特に好ましい。   The film-forming material is a material that solidifies a liquid material and forms a constituent composition into a film shape, so that the film is easy to handle and imparts mechanical properties that are not easily torn, cracked, or sticky. Yes, it can be handled as a film in a normal state (normal temperature and normal pressure). Examples of the film forming material include phenoxy resin, polyvinyl formal resin, polystyrene resin, polyvinyl butyral resin, polyester resin, polyamide resin, xylene resin, and polyurethane resin. Among these, a phenoxy resin is particularly preferable because of excellent adhesiveness, compatibility, heat resistance, and mechanical strength.

フェノキシ樹脂は2官能フェノール類とエピハロヒドリンを高分子量まで反応させるか、又は2官能エポキシ樹脂と2官能フェノール類を重付加させることにより得られる樹脂である。フェノキシ樹脂は、例えば2官能フェノール類1モルとエピハロヒドリン0.985〜1.015とをアルカリ金属水酸化物の存在下において非反応性溶媒中で40〜120℃の温度で反応させることにより得ることができる。   The phenoxy resin is a resin obtained by reacting a bifunctional phenol and epihalohydrin to a high molecular weight or by polyaddition of a bifunctional epoxy resin and a bifunctional phenol. The phenoxy resin is obtained, for example, by reacting 1 mol of a bifunctional phenol with 0.985 to 1.015 of an epihalohydrin in a non-reactive solvent at a temperature of 40 to 120 ° C. in the presence of an alkali metal hydroxide. Can do.

また、フェノキシ樹脂としては、樹脂の機械的特性や熱的特性の点からは、特に2官能性エポキシ樹脂と2官能性フェノール類の配合当量比をエポキシ基/フェノール水酸基=1/0.9〜1/1.1とし、アルカリ金属化合物、有機リン系化合物、環状アミン系化合物等の触媒存在下、沸点が120℃以上のアミド系、エーテル系、ケトン系、ラクトン系、アルコール系等の有機溶剤中で反応固形分が50重量部以下で50〜200℃に加熱して重付加反応させて得たものが好ましい。   Moreover, as a phenoxy resin, especially from the point of the mechanical characteristic and thermal characteristic of resin, the mixing | blending equivalent ratio of bifunctional epoxy resin and bifunctional phenols is epoxy group / phenol hydroxyl group = 1 / 0.9- An organic solvent such as an amide, ether, ketone, lactone, or alcohol having a boiling point of 120 ° C. or higher in the presence of a catalyst such as an alkali metal compound, an organic phosphorus compound, or a cyclic amine compound. Among them, the reaction solid content is preferably 50 parts by weight or less and obtained by polyaddition reaction by heating to 50 to 200 ° C.

上記2官能エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニルジグリシジルエーテル、メチル置換ビフェニルジグリシジルエーテル等が挙げられる。2官能フェノール類は、2個のフェノール性水酸基を有するものである。2官能フェノール類としては、例えば、ハイドロキノン類、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAD、ビスフェノールS、ビスフェノールフルオレン、メチル置換ビスフェノールフルオレン、ジヒドロキシビフェニル、メチル置換ジヒドロキシビフェニル等のビスフェノール類等が挙げられる。フェノキシ樹脂は、ラジカル重合性の官能基や、その他の反応性化合物により変性(例えば、エポキシ変性)されていてもよい。フェノキシ樹脂は、単独で用いても、2種類以上を混合して用いてもよい。   Examples of the bifunctional epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, biphenyl diglycidyl ether, and methyl-substituted biphenyl diglycidyl ether. Bifunctional phenols have two phenolic hydroxyl groups. Examples of the bifunctional phenols include hydroquinones, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AD, bisphenol S, bisphenol fluorene, methyl-substituted bisphenol fluorene, bisphenols such as dihydroxybiphenyl and methyl-substituted dihydroxybiphenyl. The phenoxy resin may be modified (for example, epoxy-modified) with a radical polymerizable functional group or other reactive compound. A phenoxy resin may be used independently or may be used in mixture of 2 or more types.

接着剤成分20に含有させる上記エポキシ樹脂としては、エピクロルヒドリンと、ビスフェノールA、ビスフェノールF又はビスフェノールAD等とから誘導されるビスフェノール型エポキシ樹脂、エピクロルヒドリンとフェノールノボラック又はクレゾールノボラックとから誘導されるエポキシノボラック樹脂、ナフタレン環を含む骨格を有するナフタレン系エポキシ樹脂、グリシジルアミン、グリシジルエーテル、ビフェニル、脂環式等の1分子内に2個以上のグリシジル基を有する各種のエポキシ化合物などが挙げられる。これらは1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。これらのエポキシ樹脂は、不純物イオン(Na、Cl等)や、加水分解性塩素等を300ppm以下に低減した高純度品を用いることがエレクトロンマイグレーション防止のために好ましい。 Examples of the epoxy resin contained in the adhesive component 20 include bisphenol-type epoxy resins derived from epichlorohydrin and bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AD, and the like, and epoxy novolac resins derived from epichlorohydrin and phenol novolac or cresol novolac. And various epoxy compounds having two or more glycidyl groups in one molecule, such as naphthalene-based epoxy resins having a skeleton containing a naphthalene ring, glycidylamine, glycidyl ether, biphenyl, alicyclic, and the like. These may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types. For these epoxy resins, it is preferable to use a high-purity product in which impurity ions (Na + , Cl −, etc.), hydrolyzable chlorine and the like are reduced to 300 ppm or less, in order to prevent electron migration.

上記潜在性硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化させることができるものであればよく、このような潜在性硬化剤としては、アニオン重合性の触媒型硬化剤、カチオン重合性の触媒型硬化剤、重付加型の硬化剤等が挙げられる。これらは、単独又は2種以上の混合物として使用できる。これらのうち、速硬化性において優れ、化学当量的な考慮が不要である点からは、アニオン又はカチオン重合性の触媒型硬化剤が好ましい。   The latent curing agent may be any one that can cure an epoxy resin, and as such a latent curing agent, an anionic polymerizable catalytic curing agent, a cationic polymerizable catalytic curing agent, Examples include polyaddition type curing agents. These can be used alone or as a mixture of two or more. Of these, anionic or cationic polymerizable catalyst-type curing agents are preferred because they are excellent in rapid curability and do not require chemical equivalent considerations.

アニオン又はカチオン重合性の触媒型硬化剤としては、イミダゾール系、ヒドラジド系、三フッ化ホウ素−アミン錯体、スルホニウム塩、アミンイミド、ジアミノマレオニトリル、メラミン及びその誘導体、ポリアミンの塩、ジシアンジアミド等が挙げられ、これらの変成物も使用することができる。重付加型の硬化剤としては、ポリアミン類、ポリメルカプタン、ポリフェノール、酸無水物等が挙げられる。   Examples of the anionic or cationic polymerizable catalyst-type curing agent include imidazole, hydrazide, boron trifluoride-amine complex, sulfonium salt, amine imide, diaminomaleonitrile, melamine and derivatives thereof, polyamine salt, dicyandiamide and the like. These modifications can also be used. Examples of the polyaddition type curing agent include polyamines, polymercaptans, polyphenols, and acid anhydrides.

アニオン重合性の触媒型硬化剤として第3級アミン類又はイミダゾール類を配合した場合、エポキシ樹脂は160℃〜200℃程度の温度で数10秒〜数時間程度の加熱により硬化する。このため、可使時間(ポットライフ)が比較的長くなるので好ましい。   When a tertiary amine or imidazole is blended as an anionic polymerizable catalyst-type curing agent, the epoxy resin is cured by heating at a temperature of about 160 ° C. to 200 ° C. for several tens of seconds to several hours. For this reason, the pot life is relatively long, which is preferable.

カチオン重合性の触媒型硬化剤としては、例えば、エネルギー線照射によりエポキシ樹脂を硬化させる感光性オニウム塩(芳香族ジアゾニウム塩、芳香族スルホニウム塩等が主として用いられる)が好ましい。また、加熱によって活性化しエポキシ樹脂を硬化させるものとして、脂肪族スルホニウム塩等がある。この種の硬化剤は、速硬化性という特徴を有することから好ましい。   As the cationic polymerizable catalyst-type curing agent, for example, a photosensitive onium salt (mainly used is an aromatic diazonium salt, an aromatic sulfonium salt, or the like) that cures an epoxy resin by energy ray irradiation. Moreover, there are aliphatic sulfonium salts and the like that are activated by heating to cure the epoxy resin. This type of curing agent is preferable because it has a feature of fast curing.

これらの潜在性硬化剤を、ポリウレタン系又はポリエステル系等の高分子物質、ニッケル、銅等の金属薄膜、ケイ酸カルシウム等の無機物、等で被覆してマイクロカプセル化したものは、可使時間が延長できるため好ましい。   When these latent hardeners are coated with a polymer material such as polyurethane or polyester, a metal thin film such as nickel or copper, an inorganic material such as calcium silicate, etc. This is preferable because it can be extended.

接着剤成分20は、さらに、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸エステル、及び(メタ)アクリル酸ニトリルからなる群より選ばれる少なくとも一種をモノマー成分とした重合体又は共重合体を含んでもよい。ここで、応力緩和に優れることから、グリシジルエーテル基を含有するグリシジル(メタ)アクリレートを含む共重合体系(メタ)アクリルゴムを併用することが好ましい。これら(メタ)アクリルゴムの分子量(重量平均分子量)は、接着剤成分の凝集力を高める点から20万以上が好ましい。   The adhesive component 20 may further include a polymer or copolymer having at least one selected from the group consisting of (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid ester, and (meth) acrylic acid nitrile as a monomer component. Good. Here, since it is excellent in stress relaxation, it is preferable to use together the copolymer type | system | group (meth) acrylic rubber containing the glycidyl (meth) acrylate containing a glycidyl ether group. The molecular weight (weight average molecular weight) of these (meth) acrylic rubbers is preferably 200,000 or more from the viewpoint of increasing the cohesive strength of the adhesive component.

接着剤成分20は、さらに、充填剤、軟化剤、促進剤、老化防止剤、難燃化剤、色素、チキソトロピック剤、カップリング剤、フェノール樹脂、メラミン樹脂、イソシアネート類等を含有することもできる。   The adhesive component 20 may further contain a filler, a softener, an accelerator, an anti-aging agent, a flame retardant, a pigment, a thixotropic agent, a coupling agent, a phenol resin, a melamine resin, isocyanates, and the like. it can.

接着剤成分20に充填剤を含有させる場合、接続信頼性等が向上するので好ましい。充填剤は、その最大径が導電粒子10の粒径未満であれば使用できる。充填剤の配合量は、接着剤成分20の総量100体積部に対して、5〜60体積部の範囲が好ましい。60体積部を超えると信頼性向上の効果が飽和することがあり、5体積部未満では添加の効果が少ない。   In the case where the adhesive component 20 contains a filler, it is preferable because connection reliability and the like are improved. The filler can be used if its maximum diameter is smaller than the particle diameter of the conductive particles 10. The blending amount of the filler is preferably in the range of 5 to 60 parts by volume with respect to 100 parts by volume of the total amount of the adhesive component 20. If it exceeds 60 parts by volume, the effect of improving the reliability may be saturated, and if it is less than 5 parts by volume, the effect of addition is small.

カップリング剤としては、ケチミン、ビニル基、アクリル基、アミノ基、エポキシ基又はイソシアネート基を含有する化合物が、接着性が向上するので好ましい。   As the coupling agent, a compound containing a ketimine, vinyl group, acrylic group, amino group, epoxy group or isocyanate group is preferable because the adhesiveness is improved.

具体的には、アミノ基を有するシランカップリング剤として、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。ケチミンを有するシランカップリング剤として、上記のアミノ基を有するシランカップリング剤に、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン化合物を反応させて得られたものが挙げられる。   Specifically, as the silane coupling agent having an amino group, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane. Examples include ethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, and the like. Examples of the silane coupling agent having ketimine include those obtained by reacting the above silane coupling agent having an amino group with a ketone compound such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone.

接着剤成分20の硬化物は、測定温度40℃、周波数10Hzにおける貯蔵弾性率E’が、0.5〜4.0GPaであることが好ましく、1.0〜3.0GPaであることがより好ましい。このような貯蔵弾性率E’である回路部材接続用接着フィルムの硬化物は、凝集力が高くなり、内部応力が低くなる。そのため、このような回路部材接続用接着フィルムを用いて回路部材が接続された回路部材接続構造体は、回路部材同士が強固に接着され、導通特性にも一層優れる。なお、貯蔵弾性率が0.5GPa未満である場合には、上述の範囲にある場合と比較して、接着フィルムの硬化物中の成分の凝集力が低く、回路部材を接続するときの接続部分の電気抵抗が上昇する傾向にある。また、貯蔵弾性率が4.0GPaを超える場合には、上述の範囲である場合と比較して、接着フィルムの硬化物中の成分の凝集力が高くなる一方で、硬化物自体が脆くなり、じん性が低下する場合がある。その場合、回路部材を接続後に発生する内部応力に起因した回路部材の歪みや、長期環境試験下における回路部材の変形に対して、接着剤の剥離、あるいは破壊が発生して、接続部分の電気抵抗が上昇する傾向にある。   The cured product of the adhesive component 20 preferably has a storage elastic modulus E ′ at a measurement temperature of 40 ° C. and a frequency of 10 Hz of 0.5 to 4.0 GPa, more preferably 1.0 to 3.0 GPa. . The cured product of the circuit member connecting adhesive film having such a storage elastic modulus E ′ has high cohesive force and low internal stress. Therefore, in the circuit member connection structure in which the circuit members are connected using such an adhesive film for connecting circuit members, the circuit members are firmly bonded to each other, and the conduction characteristics are further improved. In addition, when the storage elastic modulus is less than 0.5 GPa, the cohesive force of the components in the cured product of the adhesive film is low as compared with the case where the storage elastic modulus is in the above range, and the connection portion when connecting the circuit members There is a tendency for the electrical resistance of the to increase. In addition, when the storage elastic modulus exceeds 4.0 GPa, the cohesive force of the components in the cured product of the adhesive film is higher than that in the above range, while the cured product itself becomes brittle. Toughness may be reduced. In that case, the peeling or destruction of the adhesive occurs due to the distortion of the circuit member due to the internal stress generated after the connection of the circuit member or the deformation of the circuit member under the long-term environmental test. Resistance tends to increase.

図4は、本実施形態に係る回路接続材料50がフィルム状の支持体60上に設けられている状態を示す断面図である。支持体60としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム)、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリエチレンイソフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリオレフィン系フィルム、ポリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ポリアミドフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、合成ゴム系フィルム、液晶ポリマーフィルム等の各種フィルムを使用することが可能である。上記のフィルムの表面に対し、必要に応じてコロナ放電処理、アンカーコート処理、帯電防止処理などが施された支持体を使用してもよい。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which the circuit connection material 50 according to the present embodiment is provided on a film-like support 60. Examples of the support 60 include a polyethylene terephthalate film (PET film), a polyethylene naphthalate film, a polyethylene isophthalate film, a polybutylene terephthalate film, a polyolefin film, a polyacetate film, a polycarbonate film, a polyphenylene sulfide film, a polyamide film, and ethylene. -Various films such as a vinyl acetate copolymer film, a polyvinyl chloride film, a polyvinylidene chloride film, a synthetic rubber film, and a liquid crystal polymer film can be used. You may use the support body which gave the corona discharge process, the anchor coat process, the antistatic process, etc. with respect to the surface of said film as needed.

回路接続材料50を使用する際に、回路接続材料50から支持体60を容易に剥離できるように、必要に応じて支持体60の表面には剥離処理剤をコーティングして使用してもよい。剥離処理剤として、シリコーン樹脂、シリコーンと有機系樹脂との共重合体、アルキッド樹脂、アミノアルキッド樹脂、長鎖アルキル基を有する樹脂、フルオロアルキル基を有する樹脂、セラック樹脂などの各種剥離処理剤を用いることができる。   When using the circuit connection material 50, the surface of the support 60 may be coated with a release treatment agent as necessary so that the support 60 can be easily peeled from the circuit connection material 50. Various release treatment agents such as silicone resins, copolymers of silicone and organic resins, alkyd resins, amino alkyd resins, resins having long chain alkyl groups, resins having fluoroalkyl groups, shellac resins, etc. Can be used.

支持体60の膜厚は、特に制限されるものではないが、作製された回路接続材料50の保管、使用時の利便性等を考慮して、4〜200μmとすることが好ましく、さらに材料コストや生産性を考慮して、15〜75μmとすることがより好ましい。   The film thickness of the support 60 is not particularly limited, but is preferably 4 to 200 μm in consideration of storage and convenience of use of the produced circuit connection material 50, and further the material cost. In consideration of productivity, the thickness is more preferably 15 to 75 μm.

[回路部材の接続方法]
図5は、本発明に係る回路部材の接続方法の一実施形態を概略断面図により示す工程図である。本実施形態では、回路接続材料を熱硬化させて接続構造を製造する。
[Circuit member connection method]
FIG. 5 is a process diagram showing an embodiment of a circuit member connection method according to the present invention in a schematic sectional view. In this embodiment, the connection structure is manufactured by thermosetting the circuit connection material.

先ず、上述した第1の回路部材30と、回路接続材料50を用意する。回路接続材料50の厚さは、5〜50μmであることが好ましい。回路接続材料50の厚さが5μm未満であると、回路部材30,40間に回路接続材料50が充填不足となる傾向がある。他方、50μmを超えると、接続端子32,42間の導通の確保が困難となる傾向がある。   First, the first circuit member 30 and the circuit connection material 50 described above are prepared. The thickness of the circuit connection material 50 is preferably 5 to 50 μm. If the thickness of the circuit connection material 50 is less than 5 μm, the circuit connection material 50 tends to be insufficiently filled between the circuit members 30 and 40. On the other hand, if it exceeds 50 μm, it tends to be difficult to ensure conduction between the connection terminals 32 and 42.

次に、回路接続材料50を第1の回路部材30の接続端子32が形成されている面上に載せる。   Next, the circuit connection material 50 is placed on the surface of the first circuit member 30 where the connection terminals 32 are formed.

そして、回路接続材料を、図5(a)の矢印A及びB方向に加圧し、回路接続材料50を第1の回路部材30に仮接続する(図5(b))。このときの圧力は回路部材に損傷を与えない範囲であれば特に制限されないが、一般的には0.1〜30.0MPaとすることが好ましい。また、加熱しながら加圧してもよく、加熱温度は回路接続材料50が実質的に硬化しない温度とする。加熱温度は一般的には50〜190℃にするのが好ましい。これらの加熱及び加圧は0.5〜120秒間の範囲で行うことが好ましい。   Then, the circuit connection material is pressurized in the directions of arrows A and B in FIG. 5A to temporarily connect the circuit connection material 50 to the first circuit member 30 (FIG. 5B). Although the pressure at this time will not be restrict | limited especially if it is a range which does not damage a circuit member, Generally it is preferable to set it as 0.1-30.0 MPa. Moreover, you may pressurize, heating, and let heating temperature be the temperature which the circuit connection material 50 does not harden | cure substantially. In general, the heating temperature is preferably 50 to 190 ° C. These heating and pressurization are preferably performed in the range of 0.5 to 120 seconds.

ここで、回路接続材料50は、単層構造であってもよく、複数の層が積層された多層構造であってもよい。多層構造の回路接続材料は、接着剤成分及び導電粒子の種類あるいはこれらの含有量が異なる層を複数積層することによって製造することができる。例えば、回路接続材料は、導電粒子を含有する導電粒子含有層と、この導電粒子含有層の一面上に設けられた導電粒子を含有しない導電粒子非含有層とを備えるものであってもよい。   Here, the circuit connection material 50 may have a single-layer structure or a multilayer structure in which a plurality of layers are stacked. A circuit connection material having a multilayer structure can be produced by laminating a plurality of layers having different types of adhesive components and conductive particles or different contents thereof. For example, the circuit connection material may include a conductive particle-containing layer containing conductive particles and a conductive particle-free layer that does not contain conductive particles provided on one surface of the conductive particle-containing layer.

図6は、支持体に支持された二層構造の回路接続材料を示す模式断面図である。回路接続材料70は、導電粒子を含有する導電粒子含有層70a及び導電粒子を含有しない導電粒子非含有層70bから構成されている。回路接続材料70の両最外面上には、それぞれ支持体60a,60bが設けられている。回路接続材料70は、支持体60aの一方の面上に導電粒子含有層70aを形成し、他方、支持体60bの一方の面上に導電粒子非含有層70bを形成し、これらを従来公知のラミネータなどを使用して貼り合わせることで作製することができる。回路接続材料70の使用に際しては、適宜支持体60a,60bを剥離する。   FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a circuit connecting material having a two-layer structure supported by a support. The circuit connection material 70 includes a conductive particle containing layer 70a containing conductive particles and a conductive particle non-containing layer 70b containing no conductive particles. Support bodies 60a and 60b are provided on both outermost surfaces of the circuit connection material 70, respectively. In the circuit connecting material 70, the conductive particle-containing layer 70a is formed on one surface of the support 60a, and the conductive particle-free layer 70b is formed on one surface of the support 60b. It can be manufactured by laminating using a laminator or the like. When using the circuit connecting material 70, the supports 60a and 60b are appropriately peeled off.

回路接続材料70によれば、ICチップをCOG実装又はCOF実装によって基板上に接続する場合に、ICチップの金属バンプと基板との間に捉えられる導電粒子の個数が十分に多くなることから、電気的な接続性が良好となる。   According to the circuit connection material 70, when the IC chip is connected to the substrate by COG mounting or COF mounting, the number of conductive particles captured between the metal bumps of the IC chip and the substrate is sufficiently large. Good electrical connectivity.

図5(a)に示すように、一方の接続端子42の断面積が他方のそれと比較して小さい場合(例えば、ITO電極に断面積が小さいICチップの金バンプを接続する場合)、接続端子32に導電粒子非含有層70bが当接するように回路接続材料70を配置することが好ましい。このように回路接続材料70を配置すると、第1の回路部材30の接続端子32の近傍に導電粒子10が配置される。このため、接続端子42が接着剤成分20内に挿入されるに伴い接着剤成分が流動したとしても、導電粒子10は隣接している接続端子32によって移動が制限される。したがって、接続端子32,42間に捕捉される導電粒子の数を十分に多くすることができる。   As shown in FIG. 5A, when the cross-sectional area of one connection terminal 42 is smaller than that of the other (for example, when a gold bump of an IC chip having a small cross-sectional area is connected to the ITO electrode), the connection terminal It is preferable to arrange the circuit connection material 70 so that the conductive particle non-containing layer 70 b comes into contact with the layer 32. When the circuit connection material 70 is arranged in this way, the conductive particles 10 are arranged in the vicinity of the connection terminals 32 of the first circuit member 30. For this reason, even if the adhesive component flows as the connection terminal 42 is inserted into the adhesive component 20, the movement of the conductive particles 10 is restricted by the adjacent connection terminal 32. Therefore, the number of conductive particles captured between the connection terminals 32 and 42 can be sufficiently increased.

次いで、図5(c)に示すように、第二の回路部材40を、接続端子42を第一の回路部材30の側に向けるようにして回路接続材料50上に載せる。そして、回路接続材料50を加熱しながら、図5(c)の矢印A及びB方向に全体を加圧する。これにより回路接続材料50が硬化し、接着部50aが形成され、図1に示すような回路部材接続構造体100を得ることができる。   Next, as shown in FIG. 5C, the second circuit member 40 is placed on the circuit connection material 50 so that the connection terminal 42 faces the first circuit member 30. Then, while heating the circuit connecting material 50, the whole is pressurized in the directions of arrows A and B in FIG. As a result, the circuit connecting material 50 is cured, and the bonding portion 50a is formed, so that the circuit member connecting structure 100 as shown in FIG. 1 can be obtained.

このときの加熱温度は、回路接続材料50が硬化可能な温度とする。加熱温度は、60〜180℃が好ましく、70〜170℃がより好ましく、80〜160℃が更に好ましい。加熱温度が60℃未満であると硬化速度が遅くなる傾向があり、180℃を超えると望まない副反応が進行し易い傾向がある。加熱時間は、0.1〜180秒が好ましく、0.5〜180秒がより好ましく、1〜180秒が更に好ましい。   The heating temperature at this time is a temperature at which the circuit connecting material 50 can be cured. The heating temperature is preferably 60 to 180 ° C, more preferably 70 to 170 ° C, and still more preferably 80 to 160 ° C. If the heating temperature is less than 60 ° C, the curing rate tends to be slow, and if it exceeds 180 ° C, unwanted side reactions tend to proceed. The heating time is preferably 0.1 to 180 seconds, more preferably 0.5 to 180 seconds, and still more preferably 1 to 180 seconds.

また、このときの加圧荷重は、ICチップの電極面積に対して50MPa以下である。このような圧力で加圧すると、回路部材の破壊等が防止される。加圧荷重は、ICチップの電極面積に対して15〜40MPaであることが好ましく、20〜35MPaであることがより好ましい。   Further, the pressure load at this time is 50 MPa or less with respect to the electrode area of the IC chip. When pressure is applied at such a pressure, destruction of the circuit member and the like are prevented. The pressure load is preferably 15 to 40 MPa and more preferably 20 to 35 MPa with respect to the electrode area of the IC chip.

なお、ここでは、加熱加圧により接続する工程について説明したが、接続の条件は、使用する用途、接着剤組成物、回路部材によって適宜選択することができる。例えば、回路接続材料50の接着剤成分として、光によって硬化するものを使用した場合には、回路接続材料50に対して活性光線やエネルギー線を適宜照射すればよい。活性光線としては、紫外線、可視光、赤外線等が挙げられる。エネルギー線としては、電子線、エックス線、γ線、マイクロ波等が挙げられる。   In addition, although the process of connecting by heating and pressing was described here, the connection conditions can be appropriately selected depending on the application to be used, the adhesive composition, and the circuit member. For example, when an adhesive component of the circuit connection material 50 is used that is cured by light, the circuit connection material 50 may be appropriately irradiated with actinic rays or energy rays. Examples of the active light include ultraviolet light, visible light, and infrared light. Examples of energy rays include electron beams, X-rays, γ rays, and microwaves.

上述した接続時の荷重は、ICチップの電極面積に応じて以下の計算式から算出される加圧力である。
加圧力=(ICチップの電極面積)×(目標圧力)
上記目標圧力は、50MPa以下であり、15〜40MPaであることが好ましく、20〜35MPaであることがより好ましい
The load at the time of connection described above is a pressing force calculated from the following formula according to the electrode area of the IC chip.
Applied pressure = (IC chip electrode area) x (Target pressure)
The target pressure is 50 MPa or less, preferably 15 to 40 MPa, more preferably 20 to 35 MPa.

図7は、ICチップの電極の一例を示す平面図である。図7に示されるICチップ90は、チップ本体82と、千鳥配列された電極80とを有する。この場合のICチップの電極面積は、各電極80の面積を合計することにより求められる。   FIG. 7 is a plan view showing an example of an electrode of an IC chip. The IC chip 90 shown in FIG. 7 includes a chip body 82 and electrodes 80 arranged in a staggered manner. In this case, the electrode area of the IC chip is obtained by summing the areas of the electrodes 80.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment. The present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.

以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention more concretely, this invention is not limited to these Examples.

(実施例1)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)及び9,9’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンから合成したフェノキシ樹脂50gを、質量比50:50のトルエン(沸点110.6℃、SP値8.90)及び酢酸エチル(沸点77.1℃、SP値9.10)の混合溶剤に溶解して、固形分40質量%の溶液を調製した。この溶液に、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(エポキシ当量:185、ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)を、固形分質量比でフェノキシ樹脂:ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂が50:50となるように配合した。この配合液に、導電粒子を樹脂成分の総体積(フェノキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂の総体積)に対して15体積%配合して分散し、さらに潜在性硬化剤として芳香族スルホニウム塩を5.0g添加して、接着剤組成物含有液1を調製した。なお、なお、導電粒子としては、粒径3.0μmのプラスチック粒子(テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジビニルベンゼン及びスチレンモノマーの混合比を変えて、重合開始剤としてベンゾイルパーオキサイドを用いて懸濁重合し、分級することによって得られた粒径3.0μmの核体)に無電解ニッケルめっき及び最外層にパラジウムめっきをした粒子No.1を用い、芳香族スルホニウム塩としては、三新化学工業株式会社製、商品名「サンエイドSI−60」を用いた。
Example 1
50 g of phenoxy resin synthesized from bisphenol A type epoxy resin (trade name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and 9,9′-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene was used in toluene with a mass ratio of 50:50. (Boiling point 110.6 ° C., SP value 8.90) and ethyl acetate (boiling point 77.1 ° C., SP value 9.10) were dissolved in a mixed solvent to prepare a solution having a solid content of 40% by mass. In this solution, bisphenol A type liquid epoxy resin (epoxy equivalent: 185, product name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) is mixed with a phenoxy resin: bisphenol A type liquid epoxy resin in a mass ratio of 50: It was blended to be 50. In this compounded liquid, conductive particles are mixed and dispersed at 15% by volume with respect to the total volume of the resin component (total volume of the phenoxy resin and the bisphenol A type epoxy resin), and further, an aromatic sulfonium salt is added as a latent curing agent. 0.0g was added and the adhesive composition containing liquid 1 was prepared. The conductive particles are plastic particles having a particle size of 3.0 μm (suspension polymerization using benzoyl peroxide as a polymerization initiator by changing the mixing ratio of tetramethylolmethanetetraacrylate, divinylbenzene and styrene monomer). Particles having a particle size of 3.0 μm obtained by classification) electroless nickel plating and outermost layer palladium plating. No. 1 was used, and the trade name “Sun-Aid SI-60” manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd. was used as the aromatic sulfonium salt.

ここで、上記導電粒子No.1を株式会社フィッシャーインスツルメンツ製H−100微小硬度計を用いて圧縮弾性率を測定した結果、当該粒子の粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率は400kgf/mmであった。 Here, the conductive particle No. 1 was measured using a H-100 microhardness meter manufactured by Fischer Instruments Co., Ltd. As a result, the compression elastic modulus at 30% compression deformation of the particle diameter of the particles was 400 kgf / mm 2 .

得られた接着剤組成物含有液1を、片面を表面処理した厚み50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(ここで用いたPETフィルムを、以下、「PETフィルム1」という)に、塗工装置(株式会社康井精機社製、「精密塗工機」)を用いて塗布した後、70℃5分で熱風乾燥し、PETフィルム1に支持された厚みが6μmの樹脂フィルム1を得た。   The obtained adhesive composition-containing liquid 1 was applied to a 50 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) film (hereinafter, referred to as “PET film 1” hereinafter) having a surface treated on one side. After coating using a “precision coating machine” manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd., it was dried with hot air at 70 ° C. for 5 minutes to obtain a resin film 1 having a thickness of 6 μm supported by the PET film 1.

次に、ビスフェノールF型フェノキシ樹脂(東都化成株式会社製、商品名「FX−316」)60gを、質量比50:50のトルエン(沸点110.6℃、SP値8.90)及び酢酸エチル(沸点77.1℃、SP値9.10)の混合溶剤に溶解して、固形分60質量%の溶液を調製した。この溶液に、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(エポキシ当量:185、ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)を、固形分質量比でビスフェノールF型フェノキシ樹脂:ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂が60:40となるように配合した。この配合液に、さらに潜在性硬化剤として芳香族スルホニウム塩を4.8g添加して接着剤組成物含有液2を調製した。なお、芳香族スルホニウム塩としては、三新化学工業株式会社製、商品名「サンエイドSI−60」を用いた。   Next, 60 g of bisphenol F-type phenoxy resin (product name “FX-316”, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) was added to toluene (boiling point 110.6 ° C., SP value 8.90) having a mass ratio of 50:50 and ethyl acetate ( It was dissolved in a mixed solvent having a boiling point of 77.1 ° C. and an SP value of 9.10) to prepare a solution having a solid content of 60% by mass. In this solution, bisphenol A type liquid epoxy resin (epoxy equivalent: 185, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade name “YL-980”) is mixed with bisphenol F type phenoxy resin: bisphenol A type liquid epoxy resin in a solid mass ratio. Was 60:40. To this blended liquid, 4.8 g of aromatic sulfonium salt was further added as a latent curing agent to prepare an adhesive composition-containing liquid 2. In addition, as an aromatic sulfonium salt, the product name "Sun-Aid SI-60" by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd. was used.

得られた接着剤組成物含有液2を、片面を表面処理した厚み50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(ここで用いたPETフィルムを、以下、「PETフィルム2」という)に、塗工装置(株式会社康井精機社製、「精密塗工機」)を用いて塗布した後、70℃5分で熱風乾燥し、PETフィルム2に支持された厚みが14μmの樹脂フィルム2を得た。   The obtained adhesive composition-containing liquid 2 was applied to a 50 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) film (the PET film used here is hereinafter referred to as “PET film 2”) having a surface treated on one side. After application using a “precision coating machine” manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd., it was dried with hot air at 70 ° C. for 5 minutes to obtain a resin film 2 having a thickness of 14 μm supported by the PET film 2.

そして、樹脂フィルム1と樹脂フィルム2とを、ラミネータ(株式会社MCK社製、「ラミネータ」)を用いて張り合わせ、図6に示すような2層構造(導電粒子含有層と導電粒子非含有層)を有する回路部材接続用接着フィルムを得た。   Then, the resin film 1 and the resin film 2 are bonded to each other using a laminator (manufactured by MCK Co., Ltd., “Laminator”), and a two-layer structure (a conductive particle-containing layer and a conductive particle-free layer) as shown in FIG. An adhesive film for connecting circuit members was obtained.

(実施例2)
樹脂フィルム1を下記樹脂フィルム3に替えた以外は、実施例1と同様にして、回路部材接続用接着フィルムを得た。
(Example 2)
An adhesive film for connecting circuit members was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin film 1 was replaced with the resin film 3 described below.

(樹脂フィルム3の製造)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)及び9,9’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンから合成したフェノキシ樹脂50gを、質量比50:50のトルエン(沸点110.6℃、SP値8.90)及び酢酸エチル(沸点77.1℃、SP値9.10)の混合溶剤に溶解して、固形分40質量%の溶液を調製した。この溶液に、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(エポキシ当量:185、ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)を、固形分質量比でフェノキシ樹脂:ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂が50:50となるように配合した。この配合液に、導電粒子を樹脂成分の総体積(フェノキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂の総体積)に対して15体積%配合して分散し、さらに潜在性硬化剤として芳香族スルホニウム塩を5.0g添加して、接着剤組成物含有液3を調製した。なお、なお、導電粒子としては、粒径3.0μmのプラスチック粒子(テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジビニルベンゼン及びスチレンモノマーの混合比を変えて、重合開始剤としてベンゾイルパーオキサイドを用いて懸濁重合し、分級することによって得られた粒径3.0μmの核体)に無電解ニッケルめっき及び最外層にパラジウムめっきをした粒子No.2を用い、芳香族スルホニウム塩としては、三新化学工業株式会社製、商品名「サンエイドSI−60」を用いた。
(Manufacture of resin film 3)
50 g of phenoxy resin synthesized from bisphenol A type epoxy resin (trade name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and 9,9′-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene was used in toluene with a mass ratio of 50:50. (Boiling point 110.6 ° C., SP value 8.90) and ethyl acetate (boiling point 77.1 ° C., SP value 9.10) were dissolved in a mixed solvent to prepare a solution having a solid content of 40% by mass. In this solution, bisphenol A type liquid epoxy resin (epoxy equivalent: 185, product name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) is mixed with a phenoxy resin: bisphenol A type liquid epoxy resin in a mass ratio of 50: It was blended to be 50. In this compounded liquid, conductive particles are mixed and dispersed at 15% by volume with respect to the total volume of the resin component (total volume of the phenoxy resin and the bisphenol A type epoxy resin), and further, an aromatic sulfonium salt is added as a latent curing agent. 0.0 g was added to prepare an adhesive composition-containing liquid 3. The conductive particles are plastic particles having a particle size of 3.0 μm (suspension polymerization using benzoyl peroxide as a polymerization initiator by changing the mixing ratio of tetramethylolmethanetetraacrylate, divinylbenzene and styrene monomer). Particles having a particle size of 3.0 μm obtained by classification) electroless nickel plating and outermost layer palladium plating. 2 was used as the aromatic sulfonium salt, trade name “Sun-Aid SI-60” manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.

ここで、上記導電粒子No.2を株式会社フィッシャーインスツルメンツ製H−100微小硬度計を用いて圧縮弾性率を測定した結果、当該粒子の粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率は200kgf/mmであった。 Here, the conductive particle No. 2 was measured using a H-100 microhardness meter manufactured by Fischer Instruments Co., Ltd. As a result, the compression modulus at 30% compression deformation of the particle diameter of the particles was 200 kgf / mm 2 .

得られた接着剤組成物含有液3を、PETフィルム1に、塗工装置(株式会社康井精機社製、「精密塗工機」)を用いて塗布した後、70℃5分で熱風乾燥し、PETフィルム1に支持された厚みが6μmの樹脂フィルム3を得た。   The obtained adhesive composition-containing liquid 3 was applied to the PET film 1 using a coating apparatus (manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd., “Precision Coating Machine”), and then dried with hot air at 70 ° C. for 5 minutes. Thus, a resin film 3 having a thickness of 6 μm supported by the PET film 1 was obtained.

(比較例1)
樹脂フィルム1を下記樹脂フィルム4に替えた以外は、実施例1と同様にして、回路部材接続用接着フィルムを得た。
(Comparative Example 1)
An adhesive film for connecting circuit members was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin film 1 was replaced with the resin film 4 described below.

(樹脂フィルム4の製造)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)及び9,9’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンから合成したフェノキシ樹脂50gを、質量比50:50のトルエン(沸点110.6℃、SP値8.90)及び酢酸エチル(沸点77.1℃、SP値9.10)の混合溶剤に溶解して、固形分40質量%の溶液を調製した。この溶液に、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(エポキシ当量:185、ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)を、固形分質量比でフェノキシ樹脂:ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂が50:50となるように配合した。この配合液に、導電粒子を樹脂成分の総体積(フェノキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂の総体積)に対して15体積%配合して分散し、さらに潜在性硬化剤として芳香族スルホニウム塩を5.0g添加して、接着剤組成物含有液4を調製した。なお、なお、導電粒子としては、粒径3.0μmのプラスチック粒子(テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジビニルベンゼン及びスチレンモノマーの混合比を変えて、重合開始剤としてベンゾイルパーオキサイドを用いて懸濁重合し、分級することによって得られた粒径3.0μmの核体)に無電解ニッケルめっき及び最外層に金めっきをした粒子No.3を用い、芳香族スルホニウム塩としては、三新化学工業株式会社製、商品名「サンエイドSI−60」を用いた。
(Manufacture of resin film 4)
50 g of phenoxy resin synthesized from bisphenol A type epoxy resin (trade name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and 9,9′-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene was used in toluene with a mass ratio of 50:50. (Boiling point 110.6 ° C., SP value 8.90) and ethyl acetate (boiling point 77.1 ° C., SP value 9.10) were dissolved in a mixed solvent to prepare a solution having a solid content of 40% by mass. In this solution, bisphenol A type liquid epoxy resin (epoxy equivalent: 185, product name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) is mixed with a phenoxy resin: bisphenol A type liquid epoxy resin in a mass ratio of 50: It was blended to be 50. In this compounded liquid, conductive particles are mixed and dispersed at 15% by volume with respect to the total volume of the resin component (total volume of the phenoxy resin and the bisphenol A type epoxy resin), and further, an aromatic sulfonium salt is added as a latent curing agent. 0.0g was added and the adhesive composition containing liquid 4 was prepared. The conductive particles are plastic particles having a particle size of 3.0 μm (suspension polymerization using benzoyl peroxide as a polymerization initiator by changing the mixing ratio of tetramethylolmethanetetraacrylate, divinylbenzene and styrene monomer). Particles having a particle size of 3.0 μm obtained by classification) electroless nickel plating and outermost layer gold plating. 3 was used as the aromatic sulfonium salt, trade name “Sun-Aid SI-60” manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.

ここで、上記導電粒子No.3を株式会社フィッシャーインスツルメンツ製H−100微小硬度計を用いて圧縮弾性率を測定した結果、当該粒子の粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率は400kgf/mmであった。 Here, the conductive particle No. 3 was measured using a H-100 microhardness meter manufactured by Fisher Instruments Co., Ltd. As a result, the compression elastic modulus at 30% compression deformation of the particle diameter of the particles was 400 kgf / mm 2 .

得られた接着剤組成物含有液4を、PETフィルム1に、塗工装置(株式会社康井精機社製、「精密塗工機」)を用いて塗布した後、70℃5分で熱風乾燥し、PETフィルム1に支持された厚みが6μmの樹脂フィルム4を得た。   The obtained adhesive composition-containing liquid 4 was applied to the PET film 1 using a coating apparatus (manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd., “Precision Coating Machine”), and then dried with hot air at 70 ° C. for 5 minutes. Thus, a resin film 4 having a thickness of 6 μm supported by the PET film 1 was obtained.

(比較例2)
樹脂フィルム1を下記樹脂フィルム5に替えた以外は、実施例1と同様にして、回路部材接続用接着フィルムを得た。
(Comparative Example 2)
An adhesive film for connecting circuit members was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin film 1 was replaced with the resin film 5 described below.

(樹脂フィルム5の製造)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)及び9,9’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンから合成したフェノキシ樹脂50gを、質量比50:50のトルエン(沸点110.6℃、SP値8.90)及び酢酸エチル(沸点77.1℃、SP値9.10)の混合溶剤に溶解して、固形分40質量%の溶液を調製した。この溶液に、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(エポキシ当量:185、ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名「YL−980」)を、固形分質量比でフェノキシ樹脂:ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂が50:50となるように配合した。この配合液に、導電粒子を樹脂成分の総体積(フェノキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂の総体積)に対して15体積%配合して分散し、さらに潜在性硬化剤として芳香族スルホニウム塩を5.0g添加して、接着剤組成物含有液5を調製した。なお、なお、導電粒子としては、粒径3.0μmのプラスチック粒子(テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジビニルベンゼン及びスチレンモノマーの混合比を変えて、重合開始剤としてベンゾイルパーオキサイドを用いて懸濁重合し、分級することによって得られた粒径3.0μmの核体)に無電解ニッケルめっき及び最外層にパラジウムめっきをした粒子No.4を用い、芳香族スルホニウム塩としては、三新化学工業株式会社製、商品名「サンエイドSI−60」を用いた。
(Manufacture of resin film 5)
50 g of phenoxy resin synthesized from bisphenol A type epoxy resin (trade name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and 9,9′-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene was used in toluene with a mass ratio of 50:50. (Boiling point 110.6 ° C., SP value 8.90) and ethyl acetate (boiling point 77.1 ° C., SP value 9.10) were dissolved in a mixed solvent to prepare a solution having a solid content of 40% by mass. In this solution, bisphenol A type liquid epoxy resin (epoxy equivalent: 185, product name “YL-980”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) is mixed with a phenoxy resin: bisphenol A type liquid epoxy resin in a mass ratio of 50: It was blended to be 50. In this compounded liquid, conductive particles are mixed and dispersed at 15% by volume with respect to the total volume of the resin component (total volume of the phenoxy resin and the bisphenol A type epoxy resin), and further, an aromatic sulfonium salt is added as a latent curing agent. 0.0g was added and the adhesive composition containing liquid 5 was prepared. The conductive particles are plastic particles having a particle size of 3.0 μm (suspension polymerization using benzoyl peroxide as a polymerization initiator by changing the mixing ratio of tetramethylolmethanetetraacrylate, divinylbenzene and styrene monomer). Particles having a particle size of 3.0 μm obtained by classification) electroless nickel plating and outermost layer palladium plating. 4 was used as the aromatic sulfonium salt, “San-Aid SI-60” manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.

ここで、上記導電粒子No.4を株式会社フィッシャーインスツルメンツ製H−100微小硬度計を用いて圧縮弾性率を測定した結果、当該粒子の粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率は650kgf/mmであった。 Here, the conductive particle No. 4 was measured using a H-100 microhardness meter manufactured by Fischer Instruments Co., Ltd. As a result, the compression modulus at 30% compression deformation of the particle diameter of the particles was 650 kgf / mm 2 .

得られた接着剤組成物含有液5を、PETフィルム1に、塗工装置(株式会社康井精機社製、「精密塗工機」)を用いて塗布した後、70℃5分で熱風乾燥し、PETフィルム1に支持された厚みが6μmの樹脂フィルム5を得た。   The obtained adhesive composition-containing liquid 5 was applied to the PET film 1 using a coating apparatus (manufactured by Yasui Seiki Co., Ltd., “Precision Coating Machine”), and then dried with hot air at 70 ° C. for 5 minutes. Thus, a resin film 5 having a thickness of 6 μm supported by the PET film 1 was obtained.

得られた実施例1〜2、比較例1〜2の回路部材接続用接着フィルムを用いて、圧着装置(東レエンジニアリング株式会社製、商品名:FC−1200)を用いて回路部材の接続構造を作製した。詳細には、まず、回路部材接続用接着フィルムの導電粒子含有層側のPETフィルムを剥離除去して、導電粒子含有層の表面を露出した。次に、厚み0.5mmのガラス上にITO膜を蒸着により形成してITO基板(表面抵抗<20Ω/□)を得た。次いで、ITO膜の表面に回路部材接続用接着フィルムの導電粒子含有層の表面を向かい合わせて接触させながら、70℃、0.5MPa、2秒間の条件でそれらの積層方向に加熱加圧して、ITO基板に回路部材接続用接着フィルムを仮固定した。その後、回路部材接続用接着フィルムからもう一方のPETフィルムを剥離除去した。次に、バンプ面積15μm×100μm、ピッチ30μm、高さ15μmの2列(千鳥配列)の金バンプを設けたICチップを回路部材接続用接着フィルム上に載置した。ICチップを載置した接着フィルムを石英ガラス及び加圧ヘッドで挟み、低圧力実装条件及び標準条件の条件で加熱加圧することにより、ITO基板とICチップとを接続して回路部材接続構造体を作製した。低圧力実装条件及び標準条件の具体的条件を以下に示す。   Using the obtained adhesive films for connecting circuit members of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, the connection structure of the circuit members using a crimping apparatus (trade name: FC-1200, manufactured by Toray Engineering Co., Ltd.) Produced. Specifically, first, the PET film on the conductive particle-containing layer side of the circuit member connecting adhesive film was peeled off to expose the surface of the conductive particle-containing layer. Next, an ITO film was formed by vapor deposition on a glass having a thickness of 0.5 mm to obtain an ITO substrate (surface resistance <20Ω / □). Next, while pressing the surface of the conductive film-containing layer of the circuit member connecting adhesive film face-to-face with the surface of the ITO film, heating and pressurizing in the laminating direction under conditions of 70 ° C., 0.5 MPa, 2 seconds, An adhesive film for connecting circuit members was temporarily fixed to the ITO substrate. Thereafter, the other PET film was peeled off from the circuit member connecting adhesive film. Next, an IC chip provided with two rows (staggered arrangement) of gold bumps having a bump area of 15 μm × 100 μm, a pitch of 30 μm, and a height of 15 μm was placed on the adhesive film for connecting circuit members. An adhesive film on which an IC chip is placed is sandwiched between quartz glass and a pressure head, and heated and pressed under the conditions of low pressure mounting conditions and standard conditions, thereby connecting the ITO substrate and the IC chip to form a circuit member connection structure. Produced. Specific conditions of low pressure mounting conditions and standard conditions are shown below.

[低圧力実装条件]
加熱温度:170℃
加圧圧力:ICチップの電極面積に対して30MPa
加熱加圧時間:5秒間
[Low pressure mounting conditions]
Heating temperature: 170 ° C
Pressurized pressure: 30 MPa relative to the electrode area of the IC chip
Heating and pressing time: 5 seconds

[標準条件]
加熱温度:170℃
加圧圧力:ICチップの電極面積に対して80MPa
加熱加圧時間:5秒間
[Standard conditions]
Heating temperature: 170 ° C
Pressurized pressure: 80 MPa relative to the electrode area of the IC chip
Heating and pressing time: 5 seconds

<接続抵抗の測定>
上述の回路部材接続構造体について、その接続部の電気抵抗値を、初期と、高温高湿槽(85℃85%RH環境下)中に500時間保持した後とにおいて、4端子測定法を用い抵抗測定機(株式会社アドバンテスト製、商品名:デジタルマルチメータ)を用いて測定した。その結果は表1に示すとおりであった。
<Measurement of connection resistance>
About the above-mentioned circuit member connection structure, the electric resistance value of the connection part is initially used, and after being held for 500 hours in a high-temperature and high-humidity tank (85 ° C. and 85% RH environment), a four-terminal measurement method is used Measurement was performed using a resistance measuring machine (trade name: Digital Multimeter, manufactured by Advantest Corporation). The results are shown in Table 1.

Figure 2013214417
Figure 2013214417

以上より、実施例1及び2の回路接続材料は、回路部材間を低圧力で接続する場合においても、接続される回路部材間での電気的な接続性及び電気特性の長期信頼性を良好に保つことのできることを確認した。   From the above, the circuit connection materials of Examples 1 and 2 have good electrical connectivity and long-term reliability of electrical characteristics between the connected circuit members even when the circuit members are connected at a low pressure. I confirmed that I could keep it.

1…核粒子、1a…核体(プラスチック粒子)、1b…導電層(金属層)、2A…絶縁性粒子(絶縁被覆体)、2B…絶縁性層(絶縁被覆体)、10,10A,10B…導電粒子、20…接着剤成分、30…第1の回路部材、40…第2の回路部材、31,41…回路基板、32,42…接続端子、50,70…回路接続材料(回路部材接続用接着フィルム)、60,60a,60b…支持体、100…接続構造体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Nuclear particle, 1a ... Nuclear body (plastic particle), 1b ... Conductive layer (metal layer), 2A ... Insulating particle (insulating coating body), 2B ... Insulating layer (insulating coating body) 10, 10A, 10B ... Conductive particles, 20 ... Adhesive component, 30 ... First circuit member, 40 ... Second circuit member, 31, 41 ... Circuit board, 32, 42 ... Connection terminal, 50, 70 ... Circuit connection material (circuit member) Adhesive film for connection), 60, 60a, 60b ... support, 100 ... connection structure.

Claims (6)

第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材との間に介在させ、加圧により前記第一の回路電極と前記第二の回路電極とを電気的に接続するための回路接続材料であって、
前記第一の回路部材及び前記第二の回路部材のうち少なくとも一方がICチップであり、
前記加圧における荷重がICチップの電極面積に対して50MPa以下であり、
前記回路接続材料が導電粒子及び接着剤成分を含有し、
前記導電粒子がプラスチック粒子の表面に金属層を有し、該金属層の最外層がパラジウムであり、
前記導電粒子における粒子直径の30%圧縮変形時の圧縮弾性率が100〜500kgf/mmである、回路接続材料。
The first circuit electrode having the first circuit electrode and the second circuit member having the second circuit electrode are interposed between the first circuit electrode and the second circuit electrode by pressurization. A circuit connection material for electrical connection,
At least one of the first circuit member and the second circuit member is an IC chip,
The load in the pressurization is 50 MPa or less with respect to the electrode area of the IC chip,
The circuit connecting material contains conductive particles and an adhesive component;
The conductive particles have a metal layer on the surface of the plastic particles, and the outermost layer of the metal layer is palladium;
The circuit connection material whose compression elastic modulus at the time of 30% compression deformation of the particle diameter in the said electrically-conductive particle is 100-500 kgf / mm < 2 >.
前記回路接続材料中の接着剤成分としてフィルム形成材、エポキシ樹脂及び潜在性硬化剤を含有する、請求項1に記載の回路接続材料。   The circuit connection material of Claim 1 which contains a film formation material, an epoxy resin, and a latent hardener as an adhesive agent component in the said circuit connection material. 少なくとも一方がICチップである第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材とを、
前記第一の回路電極と前記第二の回路電極とを対向して配置し、
対向配置した前記第一の回路電極と前記第二の回路電極との間に、請求項1又は2に記載の回路接続材料を介在させ、ICチップの電極面積に対して50MPa以下の荷重となる条件で加圧して、前記第一の回路電極と前記第二の回路電極とを電気的に接続させてなる回路部材接続構造体。
A first circuit member having a first circuit electrode and at least one of which is an IC chip, and a second circuit member having a second circuit electrode,
The first circuit electrode and the second circuit electrode are arranged to face each other,
The circuit connection material according to claim 1 or 2 is interposed between the first circuit electrode and the second circuit electrode arranged to face each other, and a load of 50 MPa or less is applied to the electrode area of the IC chip. A circuit member connection structure in which pressure is applied under conditions to electrically connect the first circuit electrode and the second circuit electrode.
前記第一の回路電極と前記第二の回路電極のうち少なくとも一方が、金、銀、錫、白金族の金属、アルミニウム、チタン、モリブデン、クロム、インジウム−錫酸化物(ITO)及びインジウム−亜鉛酸化物(IZO)からなる群より選ばれる少なくとも1種からなる回路電極を有する、請求項3に記載の回路部材接続構造体。   At least one of the first circuit electrode and the second circuit electrode is gold, silver, tin, platinum group metal, aluminum, titanium, molybdenum, chromium, indium-tin oxide (ITO), and indium-zinc The circuit member connection structure according to claim 3, comprising a circuit electrode made of at least one selected from the group consisting of oxides (IZO). 前記第一の回路部材及び前記第二の回路部材のうち少なくとも一方が、窒化シリコン、シリコーン化合物及びポリイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種でコーティング又は付着処理されている、請求項3又は4に記載の回路部材接続構造体。   The at least one of the first circuit member and the second circuit member is coated or adhered with at least one selected from the group consisting of silicon nitride, a silicone compound, and a polyimide resin. The circuit member connection structure according to 1. 少なくとも一方がICチップである第一の回路電極を有する第一の回路部材と第二の回路電極を有する第二の回路部材とを、
前記第一の回路電極と前記第二の回路電極とを対向して配置し、
対向配置した前記第一の回路電極と前記第二の回路電極との間に、請求項1又は2に記載の回路接続材料を介在させ、ICチップの電極面積に対して50MPa以下の荷重となる条件で加圧して、前記第一の回路電極と前記第二の回路電極とを電気的に接続させる工程を備える回路部材接続構造体の製造方法。
A first circuit member having a first circuit electrode and at least one of which is an IC chip, and a second circuit member having a second circuit electrode,
The first circuit electrode and the second circuit electrode are arranged to face each other,
The circuit connection material according to claim 1 or 2 is interposed between the first circuit electrode and the second circuit electrode arranged to face each other, and a load of 50 MPa or less is applied to the electrode area of the IC chip. A method for manufacturing a circuit member connection structure comprising a step of applying pressure under conditions to electrically connect the first circuit electrode and the second circuit electrode.
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