JP5228042B2 - 物体の表面を光学検査するための方法および装置 - Google Patents
物体の表面を光学検査するための方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5228042B2 JP5228042B2 JP2010515423A JP2010515423A JP5228042B2 JP 5228042 B2 JP5228042 B2 JP 5228042B2 JP 2010515423 A JP2010515423 A JP 2010515423A JP 2010515423 A JP2010515423 A JP 2010515423A JP 5228042 B2 JP5228042 B2 JP 5228042B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- stripe
- spatial
- stripe pattern
- different
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2518—Projection by scanning of the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N2021/1765—Method using an image detector and processing of image signal
- G01N2021/177—Detector of the video camera type
- G01N2021/1772—Array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N2021/1765—Method using an image detector and processing of image signal
- G01N2021/177—Detector of the video camera type
- G01N2021/1772—Array detector
- G01N2021/1774—Line array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8845—Multiple wavelengths of illumination or detection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
空間的な第1周期で空間的な第1強度分布を構成する多数の明るい領域および暗い領域を有するパターンを準備するステップ、
表面を有する物体を、パターンの第1強度分布が表面に映り込むようパターンに対して位置決めするステップ、
第1強度分布を表面に対して規定した変位距離にわたり相対変位させるステップであって、表面が変位距離にわたり第1強度分布に対して複数の異なる位置をとるようにするステップ、
異なる位置における、第1強度分布が映り込んだ表面を示す複数の画像を撮影するステップ、および、
表面の特性を画像から決定するステップ、を有する方法に関する。
空間的な第1周期で空間的な第1強度分布を構成する多数の明るい領域および暗い領域を有するパターン、
表面を有する物体を、パターンの第1強度分布が表面に映り込むようにパターンに対して位置決めするための搬器、
第1強度分布を、表面に対して規定した変位距離にわたり相対変位させ、表面に変位距離にわたり第1強度分布に対して複数の異なる位置をとらせるための制御ユニット、
異なる位置における、第1強度分布が映り込んだ表面を示す複数の画像を撮影するための、少なくとも1個の撮像ユニット、および、
表面の特性を画像から決定するための評価ユニット、
を備える装置に関する。
続いて、ni・si < v
ということも有効であるべきである。そうでなければ、変位距離74にわたり、一周期分の移動が成され得ないからである。この条件は、つまり、表面を距離74にわたり変位する際に、表面が全てのストライプパターンを横切り、各パターンに関して、整数の、かつ好適には個別の周期の数値で繰り返されることを意味する。
Claims (11)
- 物体(16)の表面(17)を光学検査する方法であって、以下のステップ、即ち、
空間的な第1周期(36)で空間的な第1強度分布を構成する多数の明るい領域(30,32)および暗い領域(31,33)を有するパターン(29)を準備するステップ、
前記表面(17)を有する前記物体(16)を、前記第1強度分布(34)が前記表面(17)に映り込むように前記パターン(29)に対して位置決めするステップ、
前記第1強度分布(34)を前記表面(17)に対して規定した変位距離(74)にわたり相対変位させるステップであって、前記表面(17)に変位距離(74)にわたり前記第1強度分布(34)に対して複数の異なる位置(P0,P1,P2,P3)をとるようにするステップ、
異なる位置(P0,P1,P2,P3)における、前記第1強度分布(34)が映り込んだ前記表面(17)を示す複数の画像を撮影するステップ、および、
前記表面(17)の特性を画像から決定するステップ、
を有し、
前記パターン(29)は、前記表面(17)に同時に映り込む、少なくとも2つの異なるストライプパターン(26,28)の重なり合いを含み、前記第1ストライプパターン(26)は、前記空間的な第1周期(36;36a)で前記空間的な第1強度分布(34;34a)を構成し、前記他のストライプパターン(28)は、他の空間的な周期(36b
)の他の空間的な強度分布(34b)を構成し、且つ、前記第1ストライプパターン(26)は、第1ストライプ(30,31)を有し、また、前記少なくとも1つの他のストライプパターン(28)は、他のストライプ(32,33)を有し、前記第1ストライプ(30,31)および前記他のストライプ(32,33)を互いに交差させるように構成し、また、前記少なくとも2つの異なるストライプパターン(26,28)は、前記表面(17)の特性を決定する前に、フィルタ処理により分離し、前記表面(17)の特性を、前記第1ストライプパターン(26)および/または前記他のストライプパターン(28)から決定するようにした、該方法において、
前記変位距離にわたり変位する前記表面(17)上において、前記第1ストライプパターンおよび前記他のストライプパターン(26,28)は、それぞれに対応する個別の整数である周期の数値で繰り返されており、この整数は有効空間的周波数を表すものであり、且つ、
前記少なくとも2つのストライプパターン(26,28)を前記フィルタ処理により分離するにあたって、前記有効空間的周波数に基づいて、前記ストライプパターン(26,28)を分離するようにした
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、前記規定した変位距離(74)における前記異なる位置(P0,P1,P2,P3)は、相対距離(60)毎に分布し、この相対距離(60)は、利用する全ての強度分布(34)の最小の空間的周期(36)を2で割ったよりも小さいものとしたことを特徴とする方法。
- 請求項1または2記載の方法において、前記表面(17)を有する前記物体(16)を静止させ、前記強度分布(34)の前記パターン(29)を、前記表面(17)に対し変化させることを特徴とする方法。
- 請求項1または2記載の方法において、前記強度分布(34)の前記パターン(29)を静止させ、前記表面(17)を有する前記物体(16)を前記パターン(29)に対して移動させることを特徴とする方法。
- 請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の方法において、前記第1ストライプパターン(26)および前記他のストライプパターン(28)は、互いに相対的に静止するものとしたことを特徴とする方法。
- 請求項1〜5のうち、いずれか一項記載の方法において、前記第1ストライプ(30,31)および前記他のストライプ(32,33)は、それら自体の空間的周期(36a、b)が同一であり、また、前記変位距離(74)に対して互いに異なる角度で傾斜するために変位方向においては相互に異なる空間的周期で出現するものとしたことを特徴とする方法。
- 請求項1〜6のうち、いずれか一項記載の方法において、前記パターンは、明るさが最大の領域(66)および明るさが最低の他の領域(68)を有し、前記最大の明るさおよび最低の明るさは前記パターンの強度振幅(70)を規定し、各ストライプパターン(26,28)は、ストライプパターン振幅(72)を有し、全てのストライプパターン(2
6,28)における前記ストライプパターン振幅(72)の総和は、前記パターン(29)の前記強度振幅(70)と等しいものとしたことを特徴とする方法。 - 請求項1〜7のうち、いずれか一項記載の方法において、前記ストライプパターン(26,28)の強度は、それぞれ、空間的に広範囲にわたり連続的に変化することを特徴とする方法。
- 請求項1〜8のうち、いずれか一項記載の方法において、前記少なくとも2つの異なるストライプパターン(26,28)は、異なるスペクトルから構成することを特徴とする方法。
- 物体(16)の表面(17)を光学検査する装置であって、
空間的な第1周期(36)で空間的な第1強度分布(34)を構成する多数の明るい領域(30,32)および暗い領域(31,33)を有するパターン(29)、
前記表面(17)を有する前記物体(16)を、前記第1強度分布(34)が前記表面(17)に映り込むように前記パターン(29)に対して位置決めするための載台搬器(20)、
前記第1強度分布(34)を、前記表面(17)に対して規定した変位距離(74)にわたり相対変位させ、前記表面(17)に変位距離(74)にわたり、前記第1強度分布(34)に対して複数の異なる位置(P0,P1,P2,P3)をとらせるための制御ユニット(52)、
異なる位置(P0,P1,P2,P3)における、前記第1強度分布(34)が映り込んだ前記表面(17)を示す複数の画像を撮影するための、少なくとも1個の撮像ユニット(42,44,46,48)、および、
前記表面(17)の特性を画像から決定するための評価ユニット(52)、
を備え、
前記パターン(29)は、前記表面(17)に同時に映り込む、少なくとも2つの異なるストライプパターン(26,28)の重なり合いを含み、前記第1ストライプパターン(26)は、前記空間的な第1周期(36;36a)で前記空間的な第1強度分布(34;34a)を構成し、前記他のストライプパターン(28)は、他の空間的な周期(36b
)の他の空間的な強度分布(34b)を構成し、且つ、前記第1ストライプパターン(26)は、第1ストライプ(30,31)を有し、また、前記少なくとも1つの他のストライプパターン(28)は、他のストライプ(32,33)を有し、前記第1ストライプ(30,31)および前記他のストライプ(32,33)を互いに交差させるように構成し、また、前記少なくとも2つの異なるストライプパターン(26,28)は、前記表面(17)の特性を決定する前に、フィルタ処理により分離するフィルタ(51;56)を設け、さらに、前記評価ユニット(52)は、前記表面(17)の特性を、前記第1ストライプパターン(26)および/または前記他のストライプパターン(28)から決定するように構成した、該装置において、
前記変位距離(74)にわたり変位する前記表面(17)上において、前記第1ストライプパターンおよび前記他のストライプパターン(26,28)は、それぞれに対応する個別の整数である周期の数値で繰り返されており、この整数は有効空間的周波数を表すものであり、且つ
前記少なくとも2つのストライプパターン(26,28)を前記フィルタ処理により分離するにあたって、前記有効空間的周波数に基づいて、前記フィルタ(56)が前記ストライプパターン(26,28)を分離するようにした
ことを特徴とする装置。 - データ記憶媒体に格納したプログラムコードであって、前記プログラムコードをコンピュータで実行すると、請求項1〜9のうち、いずれか一項項記載の方法を実行するよう構成した該プログラムコードを有するコンピュータプログラム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007034689A DE102007034689B4 (de) | 2007-07-12 | 2007-07-12 | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102007034689.3 | 2007-07-12 | ||
PCT/EP2008/005683 WO2009007130A1 (de) | 2007-07-12 | 2008-07-11 | Verfahren und vorrichtung zum optischen inspizieren einer oberfläche an einem gegenstand |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010532871A JP2010532871A (ja) | 2010-10-14 |
JP5228042B2 true JP5228042B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=39769174
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010515423A Expired - Fee Related JP5228042B2 (ja) | 2007-07-12 | 2008-07-11 | 物体の表面を光学検査するための方法および装置 |
JP2010515422A Pending JP2010532870A (ja) | 2007-07-12 | 2008-07-11 | 物体の表面の光学的な検査方法および検査装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010515422A Pending JP2010532870A (ja) | 2007-07-12 | 2008-07-11 | 物体の表面の光学的な検査方法および検査装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (2) | EP2167947B1 (ja) |
JP (2) | JP5228042B2 (ja) |
AT (2) | ATE492797T1 (ja) |
DE (3) | DE102007034689B4 (ja) |
WO (2) | WO2009007129A1 (ja) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007034689B4 (de) * | 2007-07-12 | 2009-06-10 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102008038256A1 (de) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102008064562A1 (de) | 2008-12-29 | 2010-07-08 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise glänzenden Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102009010988B4 (de) | 2009-02-19 | 2010-11-04 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102009017464B4 (de) | 2009-04-03 | 2011-02-17 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102009017465B4 (de) | 2009-04-03 | 2011-02-17 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102009038965A1 (de) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
US11399153B2 (en) | 2009-08-26 | 2022-07-26 | Teladoc Health, Inc. | Portable telepresence apparatus |
US11154981B2 (en) | 2010-02-04 | 2021-10-26 | Teladoc Health, Inc. | Robot user interface for telepresence robot system |
JP5728699B2 (ja) * | 2010-03-01 | 2015-06-03 | 学校法人福岡工業大学 | 表面検査装置、表面検査方法および表面検査プログラム |
JP5488154B2 (ja) * | 2010-04-15 | 2014-05-14 | 富士通株式会社 | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 |
FR2960059B1 (fr) * | 2010-05-11 | 2012-12-28 | Visuol Technologies | Installation de controle de la qualite d'une surface d'un objet |
JP6099115B2 (ja) * | 2011-10-26 | 2017-03-22 | 学校法人福岡工業大学 | 三次元表面検査装置および三次元表面検査方法 |
CN104583713B (zh) * | 2012-06-29 | 2019-04-19 | Inb视觉股份公司 | 使优选是结构化的物体表面成像的方法及用于成像的装置 |
DE102012018981A1 (de) * | 2012-09-27 | 2014-05-28 | Wenker Gmbh & Co. Kg | Einrichtung für die optische Überprüfung der Oberflächen von Bauteilen |
EP2799810A1 (de) * | 2013-04-30 | 2014-11-05 | Aimess Services GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum simultanen dreidimensionalen Vermessen von Oberflächen mit mehreren Wellenlängen |
FR3018621B1 (fr) * | 2014-03-12 | 2017-07-21 | Vit | Procede de determination d'images tridimensionnelles d'un objet |
DE102014106238A1 (de) * | 2014-05-05 | 2015-11-19 | Isra Vision Ag | Verfahren und Sensor zur Bestimmung der Oberfläche eines Objekts mittels Deflektometrie |
DE102015107518A1 (de) * | 2015-05-13 | 2016-11-17 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von optischen Eigenschaften |
DE102015108389A1 (de) | 2015-05-27 | 2016-12-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Beleuchtungssteuerung beim Einsatz von optischen Messgeräten |
US10261028B2 (en) * | 2016-02-10 | 2019-04-16 | Carl Zeiss Industrial Metrology, Llc | Device for optically inspecting a surface of a sample |
DE102016106374A1 (de) | 2016-04-07 | 2017-10-12 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Messgerät und Verfahren zur Beleuchtungssteuerung für ein Messgerät |
DE202016105450U1 (de) * | 2016-08-24 | 2016-11-07 | INSISTO GmbH | Vorrichtung zur Inspektion von zumindest der Außenseiten von Kraftfahrzeugen |
DE102017210558B3 (de) * | 2017-06-22 | 2018-11-08 | PDR-Team GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von Karosserieschäden |
US10875592B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-12-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Automobile manufacturing plant and method |
CN109342320A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-02-15 | 深源恒际科技有限公司 | 汽车外观损伤检测识别硬件系统 |
FR3101420A1 (fr) | 2019-09-30 | 2021-04-02 | Saint-Gobain Glass France | Méthode d’évaluation de la qualité optique d’une zone délimitée d’un vitrage |
DE102019129474A1 (de) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zur Unterstützung einer visuellen Prüfung von Bauteilen |
LU101861B1 (en) | 2020-06-17 | 2021-12-17 | Virelux Inspection Systems Sarl | Dynamic illumination inspection tunnel |
KR102528974B1 (ko) * | 2021-01-29 | 2023-05-08 | 케이앤피로지스 주식회사 | Pdi 검사 장치 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3712513A1 (de) * | 1987-04-13 | 1988-11-03 | Roth Electric Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur erkennung von oberflaechenfehlern |
JPH0850103A (ja) * | 1994-08-06 | 1996-02-20 | Mazda Motor Corp | 塗装表面検査装置 |
JPH08184567A (ja) | 1994-10-05 | 1996-07-16 | Musco Corp | 鏡面反射性又は半鏡面反射性表面を点検するための装置及び方法 |
JP2976869B2 (ja) | 1995-12-28 | 1999-11-10 | 日産自動車株式会社 | 表面欠陥検査装置 |
JPH1010054A (ja) * | 1996-06-26 | 1998-01-16 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JP3271549B2 (ja) * | 1997-05-20 | 2002-04-02 | 日産自動車株式会社 | 表面検査装置 |
DE19730885A1 (de) * | 1997-07-18 | 1999-01-21 | Audi Ag | Verfahren zur automatischen Erkennung von Oberflächenfehlern an Rohkarosserien und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
JP3503130B2 (ja) * | 1997-08-25 | 2004-03-02 | 日産自動車株式会社 | 表面検査装置 |
DE19821059C2 (de) | 1998-05-11 | 2002-09-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten |
JP2000136917A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Moritex Corp | 成形品の表面観察方法及びこれに用いる照明装置 |
JP2000292135A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Minolta Co Ltd | 3次元情報入力カメラ |
US6100990A (en) | 1999-06-14 | 2000-08-08 | Ford Motor Company | Method and apparatus for determining reflective optical quality using gray-scale patterns |
JP3757694B2 (ja) * | 1999-08-25 | 2006-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 表面欠陥検査方法 |
JP2001245323A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Minolta Co Ltd | 3次元入力方法および装置 |
DE10110994B4 (de) * | 2000-03-09 | 2012-11-29 | Isra Vision Systems Ag | Vorrichtung zur Bildabtastung eines Objektes |
JP2001349716A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Sumitomo Chem Co Ltd | 表面凹凸検査方法および装置 |
FI20001568A (fi) * | 2000-06-30 | 2001-12-31 | Thermo Radiometrie Oy | Pinnan muotojen määrittäminen |
DE10108221A1 (de) * | 2001-02-21 | 2002-09-12 | Charalambos Tassakos | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Erfassung eines Objekts |
JP3519698B2 (ja) * | 2001-04-20 | 2004-04-19 | 照明 與語 | 3次元形状測定方法 |
JP3500430B2 (ja) * | 2001-10-12 | 2004-02-23 | 和歌山大学長 | 単色矩形波格子を用いる形状計測方法及び形状計測装置 |
JP2003121115A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-23 | Nikke Kikai Seisakusho:Kk | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP3536097B2 (ja) * | 2002-03-04 | 2004-06-07 | 和歌山大学長 | 周波数変調格子による格子投影形状計測方法及び装置 |
DE10317078B4 (de) | 2003-04-11 | 2013-03-28 | Karlsruher Institut für Technologie, Institut für Mess- und Regelungstechnik | Verfahren und Vorrichtung zur Analyse reflektierender Oberflächen |
JP4011561B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2007-11-21 | シーケーディ株式会社 | 三次元計測装置 |
DE102004033526A1 (de) * | 2004-07-08 | 2006-02-02 | Universität Karlsruhe (TH) Institut für Mess- und Regelungstechnik | Verfahren und Vorrichtung zur Analyse zumindest partiell reflektierender Oberflächen |
JP4429184B2 (ja) * | 2005-02-02 | 2010-03-10 | Necエンジニアリング株式会社 | 三次元形状計測システム及び計測方法 |
DE102007034689B4 (de) * | 2007-07-12 | 2009-06-10 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
-
2007
- 2007-07-12 DE DE102007034689A patent/DE102007034689B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-11 JP JP2010515423A patent/JP5228042B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-11 DE DE502008002095T patent/DE502008002095D1/de active Active
- 2008-07-11 WO PCT/EP2008/005682 patent/WO2009007129A1/de active Application Filing
- 2008-07-11 AT AT08784721T patent/ATE492797T1/de active
- 2008-07-11 JP JP2010515422A patent/JP2010532870A/ja active Pending
- 2008-07-11 AT AT08784722T patent/ATE492798T1/de active
- 2008-07-11 EP EP08784721A patent/EP2167947B1/de not_active Not-in-force
- 2008-07-11 DE DE502008002094T patent/DE502008002094D1/de active Active
- 2008-07-11 WO PCT/EP2008/005683 patent/WO2009007130A1/de active Application Filing
- 2008-07-11 EP EP08784722A patent/EP2167948B1/de not_active Not-in-force
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE492797T1 (de) | 2011-01-15 |
JP2010532870A (ja) | 2010-10-14 |
EP2167947A1 (de) | 2010-03-31 |
DE102007034689A1 (de) | 2009-01-15 |
DE502008002094D1 (de) | 2011-02-03 |
EP2167948B1 (de) | 2010-12-22 |
WO2009007129A1 (de) | 2009-01-15 |
DE102007034689B4 (de) | 2009-06-10 |
EP2167947B1 (de) | 2010-12-22 |
ATE492798T1 (de) | 2011-01-15 |
DE502008002095D1 (de) | 2011-02-03 |
WO2009007130A1 (de) | 2009-01-15 |
JP2010532871A (ja) | 2010-10-14 |
EP2167948A1 (de) | 2010-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5228042B2 (ja) | 物体の表面を光学検査するための方法および装置 | |
US11105754B2 (en) | Multi-parameter inspection apparatus for monitoring of manufacturing parts | |
US10739272B2 (en) | Inspection system and inspection method | |
KR101773791B1 (ko) | 검사대상 물체의 표면 검사 방법 및 장치 | |
EP1943502B1 (en) | Apparatus and methods for inspecting a composite structure for defects | |
ES2630736B1 (es) | Sistema y método de detección de defectos en superficies especulares o semi-especulares mediante proyección fotogramétrica | |
US20070271064A1 (en) | System and method for identifying a feature of a workpiece | |
JPWO2011064969A1 (ja) | 検査装置、三次元形状測定装置、構造物の製造方法 | |
US20210356408A1 (en) | Multi-Parameter Inspection Apparatus for Monitoring of Manufacturing Parts | |
US10861179B2 (en) | Image inspecting apparatus, image inspecting method and image inspecting program | |
US20170227471A1 (en) | Device for optically inspecting a surface of a sample | |
JP6317892B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
US20140152808A1 (en) | Method and device for the reliable detection of material defects in transparent material | |
KR100478676B1 (ko) | 영상입력에 의한 구조물의 균열 탐지장치 및 방법 | |
JP6908373B2 (ja) | 検査対象物の表面の凹凸を検査する方法及びその表面検査装置 | |
JP7098111B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2017101977A (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
JP2018021873A (ja) | 表面検査装置、及び表面検査方法 | |
RU2812804C1 (ru) | Способ и контрольное устройство для оптического контроля поверхности | |
US20230140278A1 (en) | Method and inspection device for optically inspecting a surface | |
US20220148145A1 (en) | Surface inspection system and method for differentiating particulate contamination from defects on a surface of a specimen | |
US20230419471A1 (en) | Surface inspection system | |
JP2018112470A (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
JP2024035690A (ja) | 計測装置、計測方法、及び物品の製造方法 | |
JP2005061839A (ja) | 表面欠陥検査方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110706 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5228042 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |