JP5226141B1 - 超音波洗浄装置及びその電力制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電力管理の信頼性をより高めることができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置は、被洗浄物１１、洗浄液１２、超音波振動子１３、発振器１４、電源部１６及び電力計１５を具備し、発振器１４は、発振部１７と、発振部１７によって発振された第１の電力が設定電力値になるように制御して超音波振動子へ出力する制御部１８と、制御部１８によって超音波振動子１３へ出力されている第２の電力を検出する検出部１９と、演算部２０を有し、演算部２０は、第１の検出電力値を補正値αによって補正した第１の補正電力値を導出し、電力計１５によって測定された測定電力値を補正値βによって補正した第２の補正電力値を導出し、第１の補正電力値が第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第１の補正電力値が第２の補正電力値になるように補正値αを修正した修正補正値α'を記録部２１に記録する機能を有する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、被洗浄物に超音波洗浄を行う超音波洗浄装置及びその電力制御方法等に関する。

従来の超音波洗浄装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波を与える超音波振動子、発振器及び電源部を有しており、この発振器は発振部、検出部及び演算部を有している。超音波振動子には発振器が電気的に接続されており、発振器には電源部が電気的に接続されている。この発振部によって発振された電力が超音波振動子へ出力されるようになっている。この出力されている電力は検出部によって検出され、この検出された電力値が設定電力値（即ち超音波振動子に印加される電力として適した電力値）と外れているかが演算部によって比較される。そして、超音波振動子へ出力される電力値が設定電力値と外れている場合は、設定電力値になるように制御した電力が超音波振動子へ出力される（例えば特許文献１参照）。

超音波振動子に実際に印加される電力を設定電力値にするには、超音波振動子に印加される電力を検出部によって正確に検出する必要がある。この検出部は、工場等で超音波洗浄装置を製造した際に電力校正器によって調整されることで、電力値を正確に検出できるようにしている。

上記のように従来の超音波洗浄装置では、超音波振動子に印加される電力値を検出部によって検出し、その電力値と設定電力値を比較し、超音波振動子に印加される電力値が設定電力値になるように制御する。これにより、環境条件（例えば洗浄液の温度、質、種類や被洗浄物の種類）等によって超音波振動子に印加される電力が変化しても、その電力値を設定電力値に合わせることができ、その結果、超音波洗浄の効率低下を抑制することができる。

しかしながら、発振器内部の検出部には、電力計として構成された機器が設けられているわけではないため、その検出部による電力管理は簡易的なものになる。また、超音波洗浄装置において超音波振動子を交換した場合は、検出部によって検出される電力値が正確な値からずれる場合も考えられる。

特開２０００−４９６１９号公報

本発明の一態様は、電力管理の信頼性をより高めることができる超音波洗浄装置及びその電力制御方法を提供することを課題とする。

本発明の一態様は、被洗浄物を洗浄する洗浄液と、前記洗浄液に超音波を与える超音波振動子と、前記超音波振動子に電気的に接続された発振器と、前記超音波振動子に印加されている電力を測定する電力計と、を具備し、前記発振器は、発振部と、前記発振部によって発振された第１の電力が設定電力値になるように制御して前記超音波振動子へ出力する制御部と、前記制御部によって前記超音波振動子へ出力されている第２の電力を検出する検出部と、第１の補正値及び第２の補正値を記録する記録部と、前記検出部、前記制御部、前記記録部及び前記電力計それぞれに電気的に接続された演算部と、を有し、前記演算部は、前記検出部によって検出された第１の検出電力値を前記第１の補正値によって補正した第１の補正電力値を導出し、前記電力計によって測定された測定電力値を前記第２の補正値によって補正した第２の補正電力値を導出し、前記第２の補正電力値を前記第１の補正電力値と比較し、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値になるように前記第１の補正値を修正した第１の修正補正値を前記記録部に記録する機能を有することを特徴とする超音波洗浄装置である。

本発明の一態様は、第１の超音波洗浄装置、第２の超音波洗浄装置及び電力計を有する超音波洗浄装置であって、前記第１の超音波洗浄装置は、第１の被洗浄物を洗浄する第１の洗浄液と、前記第１の洗浄液に超音波を与える第１の超音波振動子と、前記第１の超音波振動子に電気的に接続された第１の発振器と、を有し、前記第２の超音波洗浄装置は、第２の被洗浄物を洗浄する第２の洗浄液と、前記第２の洗浄液に超音波を与える第２の超音波振動子と、前記第２の超音波振動子に電気的に接続された第２の発振器と、を有し、前記電力計は、前記第１の超音波振動子に印加されている電力または前記第２の超音波振動子に印加されている電力を測定するものであり、前記第１の超音波振動子及び前記第２の超音波振動子は第１のスイッチを介して前記電力計に電気的に接続されており、前記第１の発振器及び前記第２の発振器は第２のスイッチを介して前記電力計に電気的に接続されており、前記第１の発振器は、第１の発振部と、前記第１の発振部によって発振された第１の電力が第１の設定電力値になるように制御して前記第１の超音波振動子へ出力する第１の制御部と、前記第１の制御部によって前記第１の超音波振動子へ出力されている第２の電力を検出する第１の検出部と、第１の補正値及び第２の補正値を記録する第１の記録部と、前記第１の検出部、前記第１の制御部、前記第１の記録部及び前記電力計それぞれに電気的に接続され、前記電力計に前記第２のスイッチを介して電気的に接続された第１の演算部と、を有し、前記第１の演算部は、前記第１の検出部によって検出された第１の検出電力値を前記第１の補正値によって補正した第１の補正電力値を導出し、前記電力計によって測定された第１の測定電力値を前記第２の補正値によって補正した第２の補正電力値を導出し、前記第２の補正電力値を前記第１の補正電力値と比較し、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値になるように前記第１の補正値を修正した第１の修正補正値を前記記録部に記録する機能を有し、前記第２の発振器は、第２の発振部と、前記第２の発振部によって発振された第３の電力が第２の設定電力値になるように制御して前記第２の超音波振動子へ出力する第２の制御部と、前記第２の制御部によって前記第２の超音波振動子へ出力されている第４の電力を検出する第２の検出部と、第３の補正値及び第４の補正値を記録する第２の記録部と、前記第２の検出部、前記第２の制御部、前記第２の記録部及び前記電力計それぞれに電気的に接続され、前記電力計に前記第２のスイッチを介して電気的に接続された第２の演算部と、を有し、前記第２の演算部は、前記第２の検出部によって検出された第３の検出電力値を前記第３の補正値によって補正した第４の補正電力値を導出し、前記電力計によって測定された第２の測定電力値を前記第４の補正値によって補正した第５の補正電力値を導出し、前記第５の補正電力値を前記第４の補正電力値と比較し、前記第４の補正電力値が前記第５の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第４の補正電力値が前記第５の補正電力値になるように前記第３の補正値を修正した第２の修正補正値を前記記録部に記録する機能を有することを特徴とする超音波洗浄装置である。

本発明の一態様は、超音波洗浄装置の電力制御方法において、前記超音波洗浄装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液と、前記洗浄液に超音波を与える超音波振動子と、前記超音波振動子に電気的に接続された発振器と、前記発振器及び前記超音波振動子に電気的に接続された電力計と、を有し、前記発振器は、発振部と、前記発振部に電気的に接続された制御部と、前記制御部に電気的に接続された検出部と、前記検出部及び前記制御部それぞれに電気的に接続された演算部と、前記演算部に電気的に接続された記録部と、を有し、前記電力制御方法は、前記発振部によって発振された第１の電力が設定電力値になるように前記制御部によって制御して前記超音波振動子へ出力し、前記超音波振動子へ出力した第２の電力を前記検出部によって検出し、前記検出部によって検出した第１の検出電力値を前記記録部に記録された第１の補正値によって補正することにより第１の補正電力値を前記演算部によって導出し、前記超音波振動子へ出力した前記第２の電力を前記電力計によって測定し、前記電力計によって測定した第１の測定電力値を前記記録部に記録された第２の補正値によって補正することにより第２の補正電力値を前記演算部によって導出し、前記演算部によって前記第２の補正電力値を前記第１の補正電力値と比較し、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値になるように前記第１の補正値を修正した第１の修正補正値を前記記録部に記録することを特徴とする超音波洗浄装置の電力制御方法である。

本発明の一態様によれば、電力管理の信頼性をより高めることができる超音波洗浄装置及びその電力制御方法を提供できる。

本発明の一態様に係る超音波洗浄装置の構成を示す概略図である。 本発明の一態様に係る超音波洗浄装置の電力制御方法を説明するための概略図である。 本発明の一態様に係る超音波洗浄装置の構成を示す概略図である。

以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の一態様に係る超音波洗浄装置の構成を示す概略図である。
超音波洗浄装置は、被洗浄物１１を洗浄する洗浄液１２と、この洗浄液１２が入れられた洗浄槽１０と、洗浄液１２に超音波を与える超音波振動子（負荷）１３と、この超音波振動子１３に電気的に接続された発振器１４と、この発振器１４に電気的に接続された電源部１６と、超音波振動子１３に印加されている電力を測定する電力計１５と、この電力計１５に電気的に接続された電源９を有している。なお、被洗浄物１１は、半導体ウェーハ、コンパクトディスク、ガラス基板、フラットパネルディスプレイ、薄肉ディスク又は基板などであってもよい。

電力計１５は、校正されたものであることが好ましく、例えば過去１年以内に校正されたものであることがより好ましい。また、電力計１５は、超音波洗浄装置から容易に取り付け、取り外しが行えるようになっているとよい。

電力計１５のアナログ出力端子は発振器１４のアナログ入力端子に電気的に接続されている。発振器１４は、発振部１７、制御部１８、検出部１９、演算部２０及び記録部２１を有している。電力計１５は演算部２０に電気的に接続されている。

演算部２０は、制御部１８、検出部１９及び記録部２１に電気的に接続されている。検出部１９は制御部１８に電気的に接続されており、制御部１８は発振部１７に電気的に接続されている。

発振部１７によって発振された発振信号（第１の電力）が制御部１８に供給され、第１の電力が設定電力値になるように制御部１８によって制御され、その制御された制御信号（第２の電力）が超音波振動子１３へ出力される。ここでの設定電力値は、超音波振動子１３に印加される電力として適した電力値を意味し、この適した電力値は、個々の超音波振動子、洗浄液の温度、質、種類や被洗浄物の種類などによって異なる。

検出部１９は、制御部１８によって超音波振動子１３へ出力されている第２の電力を検出する。この検出した第１の検出電力値に対応する信号Ａは検出部１９から演算部２０へ入力される。

演算部２０は、検出部１９によって検出した第１の検出電力値を補正値αによって補正し、第１の補正電力値を導出する。この第１の補正電力値は、信号Ａと補正値αの演算（積）によって導出され、超音波振動子１３へ実際に出力されている電力値に相当する。
補正値αは、工場等で超音波洗浄装置を製造した際に電力校正器によって調整され、正確な電力値を発振器内部で演算できるようにした値であり、記録部２１に記録されている。

演算部２０は、第１の補正電力値を設定電力値と比較し、第１の補正電力値が設定電力値から一定値以上外れているという比較結果を得た場合は、この比較結果を制御部１８に出力する。なお、一定値は０を含んでもよい。

制御部１８は、発振部１７によって発振された発振信号の電力値が設定電圧値になるように上記の比較結果を利用しながら制御して超音波振動子１３へ出力する。これにより、超音波振動子１３へ供給される信号の電力値が設定電力値により近づけることができる。

図１の超音波洗浄装置には、超音波振動子１３へ供給される信号の電力値をさらに設定電力値に近づける機能がある。
電力計１５は、制御部１８によって超音波振動子１３へ出力されている第２の電力を測定する。この測定した測定電力値に対応する信号Ｂ（電圧）は電力計１５から演算部２０へ入力される。

演算部２０は、電力計１５によって測定した測定電力値を補正値βによって補正し、第２の補正電力値を導出する。この第２の補正電力値は、信号Ｂと補正値βの演算（積）によって導出され、超音波振動子１３へ実際に出力されている電力値に相当する。ただし、電力計１５は検出部１９に比べて電力測定の信頼性が高いため、電力計１５によって測定された電力値は、検出部１９によって検出された電力値に比べて正確である。なお、補正値βは、記録部２１に記録されている。

演算部２０は、第２の補正電力値を検出部１９及び演算部２０によって求められた第１の補正電力値と比較し、第１の補正電力値が第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第１の補正電力値が第２の補正電力値になるように補正値αを修正した修正補正値α'を記録部に記録する。修正補正値α'は、補正値αに比べてより正確な補正値である。修正補正値α'は、例えば第１の補正電力値と第２の補正電力値が等しくなるように補正値αを修正したものである。なお、一定値は０を含んでもよい。

演算部２０は、検出部１９によって検出した第１の検出電力値を補正値αによって補正し、第１の補正電力値を導出する。信号Ａと補正値αの演算（積）によって導出され、超音波振動子１３へ実際に出力されている電力値に相当する。

演算部２０は、制御部１８によって超音波振動子１３へ出力されている第２の電力を検出部１９によって検出し、この検出した第２の検出電力値に対応する信号Ａが検出部１９から演算部２０へ入力され、この入力された信号Ａと修正補正値α'の演算（積）によって第３の補正電力値を導出し、この第３の補正電力値を設定電力値と比較し、第３の補正電力値が設定電力値から一定値以上外れているという比較結果を得た場合は、この比較結果を制御部１８に出力する。なお、一定値は０を含んでもよい。

制御部１８は、発振部１７によって発振された発振信号の電力値が設定電圧値になるように上記の比較結果を利用しながら制御して超音波振動子１３へ出力する。これにより、超音波振動子１３へ供給される信号の電力値を設定電力値にさらに近づけることができる。

上記のように電力計１５を用いて修正補正値α'を導出する作業は、自動的に行われるとよく、所定期間毎に行うとよい。所定期間を極端に短くすることにより、ほぼリアルタイムでより正確に設定電力値に近づけることができる。また、電力計１５として校正された校正器を使用することにより、より正確な電力値で超音波振動子１３へ出力することができる。

また、超音波洗浄装置において超音波振動子１３を交換した場合に、検出部１９によって検出される電力値が正確な値からずれたとしても、上記のように電力計１５を用いて修正補正値α'を導出し、この修正補正値α'を記録部２１に記録することにより、検出部１９によって検出される電力値をより正確な値とすることができる。

次に、超音波洗浄装置の電力制御方法について図１を参照しつつ詳細に説明する。この電力制御は、以下の(1)〜(10)の順に行われる。
(1)発振部１７によって発振された第１の電力が設定電力値になるように制御部１８によって制御して超音波振動子１３へ出力する。
(2)制御部１８によって制御して超音波振動子１３へ出力した第２の電力を検出部１９によって検出する。
(3)検出部１９によって検出した第１の検出電力値に対応する信号Ａを記録部２１に記録された補正値αによって下記式（ａ）のように補正することにより第１の補正電力値ＰＡを演算部２０によって導出する。
（ａ）ＰＡ＝Ａ×α
(4)制御部１８によって制御して超音波振動子１３へ出力した第２の電力を電力計１５によって測定する。
(5) 超音波振動子１３へ出力した第２の電力を電力計１５によって測定し、第１の測定電力値が得られ、この第１の測定電力値に対応する信号Ｂが演算部２０に入力され、信号Ｂを記録部２１に記録された補正値βによって下記式（ｂ）のように補正することにより第２の補正電力値ＰＢを演算部２０によって導出する。
（ｂ）ＰＢ＝Ｂ×β
(6)演算部２０によって第２の補正電力値ＰＢを第１の補正電力値ＰＡと比較し、第１の補正電力値ＰＡが第２の補正電力値ＰＢから一定値以上外れている場合は、下記式（ｃ）のように第１の補正電力値ＰＡが第２の補正電力値ＰＢになるように補正値αを自動修正した修正補正値α'を記録部２１に自動的に記録する。なお、一定値は０を含んでもよい。
（ｃ）自動調整アルゴリズム ＰＢ＝ＰＡ＝Ａ×α'

(7)修正補正値α'を記録部２１に記録した後に、発振部１７によって発振された第３の電力が設定電力値になるように制御部１８によって制御して超音波振動子１３へ出力する。
(8)制御部１８から超音波振動子１３へ出力した第４の電力を検出部１９によって検出し、この検出部１９によって検出した第２の検出電力値を修正補正値α'によって補正することにより第３の補正電力値を演算部２０によって導出する。
(9)演算部２０によって第３の補正電力値を設定電力値と比較し、第３の補正電力値が設定電力値から一定値以上外れているという比較結果を得た場合は、この比較結果を１８制御部に出力する。
(10)発振部１７によって発振された第５の電力が設定電力値になるように制御部１８によって上記の比較結果を利用しながら制御して超音波振動子１３へ出力する。なお、一定値は０を含んでもよい。

（第２の実施形態）
図２は、本発明の一態様に係る超音波洗浄装置の電力制御方法を説明するための概略図である。
この超音波洗浄装置は、第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３及び電力計１５を有している。

第１の超音波洗浄装置３１は、第１の被洗浄物（被洗浄物１）１１ａを洗浄する第１の洗浄液１２ａと、第１の洗浄液１２ａに超音波を与える第１の超音波振動子（負荷１）１３ａと、第１の超音波振動子１３ａに電気的に接続された第１の発振器（発振器１）１４ａを有する。第１の発振器１４ａは図１に示す発振器１４と同様の構成を有している。

第２の超音波洗浄装置３２は、第２の被洗浄物（被洗浄物２）１１ｂを洗浄する第２の洗浄液１２ｂと、第２の洗浄液１２ｂに超音波を与える第２の超音波振動子（負荷２）１３ｂと、第２の超音波振動子１３ｂに電気的に接続された第２の発振器（発振器２）１４ｂを有する。第２の発振器１４ｂは図１に示す発振器１４と同様の構成を有している。

第３の超音波洗浄装置３３は、第３の被洗浄物（被洗浄物３）１１ｃを洗浄する第３の洗浄液１２ｃと、第３の洗浄液１２ｃに超音波を与える第３の超音波振動子（負荷３）１３ｃと、第３の超音波振動子１３ｃに電気的に接続された第３の発振器（発振器３）１４ｃを有する。第３の発振器１４ｃは図１に示す発振器１４と同様の構成を有している。

電力計１５は、図１に示す電力計１５と同様の構成を有し、且つ第１の超音波振動子１３ａ及び第１の発振器１４ａそれぞれとの電気的接続についても図１と同様である。また、第２の超音波振動子１３ｂ及び第２の発振器１４ｂそれぞれと電力計１５の電気的接続についても図１と同様であり、第３の超音波振動子１３ｃ及び第３の発振器１４ｃそれぞれと電力計１５の電気的接続についても図１と同様である。

第１乃至第３の超音波洗浄装置３１〜３３に対して電力計１５が一つあればよく、第１乃至第３の超音波洗浄装置３１〜３３それぞれにおいて電力計１５を容易に取り付け、取り外しできるようになっている。

次に、上記の超音波洗浄装置の電力制御方法について説明する。この電力制御は、以下の(1)〜(14)の順に行われる。
(1)第１の超音波振動子１３ａ及び第１の発振器１４ａそれぞれと電力計１５を電気的に接続させ、図１に示す発振器１４と同様の方法により、第１の電力が第１の設定電力値になるように制御部１８によって制御して第１の超音波振動子１３ａへ出力する。
(2)第１の超音波振動子１３ａへ出力した第２の電力を、図１に示す発振器１４と同様の方法により、検出部１９によって検出し、この検出した第１の検出電力値を記録部２１に記録された補正値αによって補正することにより第１の補正電力値を演算部２０によって導出する。
(3)第１の超音波振動子１３ａへ出力した第２の電力を、図１に示す発振器１４と同様の方法により、電力計１５によって測定し、その測定した第１の測定電力値を記録部２１に記録された補正値βによって補正することにより第２の補正電力値を演算部２０によって導出する。
(4) 図１に示す発振器１４と同様の方法により、演算部２０によって第２の補正電力値を第１の補正電力値と比較し、第１の補正電力値が第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第１の補正電力値が第２の補正電力値になるように第１の補正値を修正した修正補正値α'を記録部２１に記録する。

(5)第１の超音波洗浄装置３１から電力計１５を取り外し、この電力計１５を第２の超音波洗浄装置３２の第２の超音波振動子１３ｂ及び第２の発振器１４ｂそれぞれと電気的に接続させる。
(6) 図１に示す発振器１４と同様の方法により、発振部１７によって発振された第３の電力が第２の設定電力値になるように制御部１８によって制御して第２の超音波振動子１３ｂへ出力する。
(7)第２の超音波振動子１３ｂへ出力した第４の電力を、図１に示す発振器１４と同様の方法により、検出部１９によって検出し、この検出した第２の検出電力値を記録部２１に記録された補正値αによって補正することにより第３の補正電力値を演算部２０によって導出する。
(8)第２の超音波振動子１３ｂへ出力した第４の電力を、図１に示す発振器１４と同様の方法により、電力計１５によって測定し、その測定した第２の測定電力値を記録部２１に記録された補正値βによって補正することにより第４の補正電力値を演算部２０によって導出する。
(9) 図１に示す発振器１４と同様の方法により、演算部２０によって第４の補正電力値を第３の補正電力値と比較し、第３の補正電力値が第４の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第３の補正電力値が第４の補正電力値になるように第３の補正値を修正した修正補正値α'を記録部２１に記録する。

(10)第２の超音波洗浄装置３２から電力計１５を取り外し、この電力計１５を第３の超音波洗浄装置３３の第３の超音波振動子１３ｃ及び第３の発振器１４ｃそれぞれと電気的に接続させる。
(11) 図１に示す発振器１４と同様の方法により、発振部１７によって発振された第５の電力が第３の設定電力値になるように制御部１８によって制御して第３の超音波振動子１３ｃへ出力する。
(12)第３の超音波振動子１３ｃへ出力した第６の電力を、図１に示す発振器１４と同様の方法により、検出部１９によって検出し、この検出した第３の検出電力値を記録部２１に記録された補正値αによって補正することにより第５の補正電力値を演算部２０によって導出する。
(13)第３の超音波振動子１３ｃへ出力した第６の電力を、図１に示す発振器１４と同様の方法により、電力計１５によって測定し、その測定した第３の測定電力値を記録部２１に記録された補正値βによって補正することにより第６の補正電力値を演算部２０によって導出する。
(14) 図１に示す発振器１４と同様の方法により、演算部２０によって第６の補正電力値を第５の補正電力値と比較し、第５の補正電力値が第６の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第５の補正電力値が第６の補正電力値になるように第５の補正値を修正した修正補正値α'を記録部２１に記録する。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

また、本実施形態によれば、一つの電力計１５を付け替える作業により、一つの電力計１５によって第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３それぞれの電力制御を行うことができる。その結果、第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３の電力制御を同一基準で自動調整することができる。

なお、本実施形態では、第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３を有する超音波洗浄装置の電力制御方法に本発明の一態様を適用しているが、２つまたは４つ以上の超音波洗浄装置を有する超音波洗浄装置の電力制御方法に本発明の一態様を適用することも可能である。

また、上記の電力制御を行う前に、電力計１５を校正しておくことが好ましく、例えば過去１年以内に電力計１５を校正することが好ましい。

（第３の実施形態）
図３は、本発明の一態様に係る超音波洗浄装置の構成を示す概略図である。
この超音波洗浄装置は、第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３及び自動切換電力計３４を有している。この自動切換電力計３４は、電力計１５、第１のスイッチ３５及び第２のスイッチ３６を有している。電力計１５は、図１に示す電力計１５と同様の構成を有する。

第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３それぞれは、図２に示す第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３それぞれと同様の構成を有する。つまり、第１〜第３の被洗浄物１１ａ〜１１ｃ、第１〜第３の洗浄液１２ａ〜１２ｃ、第１〜第３の超音波振動子１３ａ〜１３ｃ、第１〜第３の発振器１４ａ〜１４ｃは、図２に示すものと同様である。

電力計１５は、第１の超音波振動子（負荷１）１３ａに印加されている電力、第２の超音波振動子（負荷２）１３ｂに印加されている電力、または第３の超音波振動子（負荷３）１３ｃを測定するものである。

第１〜第３の超音波振動子１３ａ〜１３ｃは第１のスイッチ３５を介して電力計１５に電気的に接続されている。第１〜第３の発振器（発振器１、発振器２、発振器３）１４ａ〜１４ｃは第２のスイッチ３６を介して電力計１５に電気的に接続されている。

第１の発振器１４ａの演算部２０は、第１の発振器１４ａの検出部１９、制御部１８及び記録部２１それぞれに電気的に接続され、且つ電力計１５に第２のスイッチ３６を介して電気的に接続されている。

第１の発振器１４ａの演算部２０は、検出部１９によって検出された第１の検出電力値を補正値αによって補正した第１の補正電力値を導出し、電力計１５によって測定された第１の測定電力値を補正値βによって補正した第２の補正電力値を導出し、第２の補正電力値を第１の補正電力値と比較し、第１の補正電力値が第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第１の補正電力値が第２の補正電力値になるように補正値αを修正した修正補正値α'を記録部２１に記録する機能を有する。

なお、第１の発振器１４ａの検出部１９によって検出された第１の検出電力値に対応する信号Ａは演算部２０に入力され、第１の補正電力値は、信号Ａと補正値αの演算（積）によって導出される。
また、電力計１５によって測定された第１の測定電力値に対応する信号Ｂは演算部２０に入力され、第２の補正電力値は、信号Ｂと補正値βの演算（積）によって導出される。
また、修正補正値α'は、第１の補正電力値と第２の補正電力値が等しくなるように補正値αを修正したものである。

第２の発振器１４ｂの演算部２０は、第２の発振器１４ｂの検出部１９、制御部１８及び記録部２１それぞれに電気的に接続され、且つ電力計１５に第２のスイッチ３６を介して電気的に接続されている。

第２の発振器１４ｂの演算部２０は、検出部１９によって検出された第３の検出電力値を補正値αによって補正した第４の補正電力値を導出し、電力計１５によって測定された第２の測定電力値を補正値βによって補正した第５の補正電力値を導出し、第５の補正電力値を第４の補正電力値と比較し、第４の補正電力値が第５の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第４の補正電力値が第５の補正電力値になるように補正値αを修正した修正補正値α'を記録部２１に記録する機能を有する。

なお、第２の発振器１４ｂの検出部１９によって検出された第３の検出電力値に対応する信号Ａは演算部２０に入力され、第４の補正電力値は、信号Ａと補正値αの演算（積）によって導出される。
また、電力計１５によって測定された第２の測定電力値に対応する信号Ｂは演算部２０に入力され、第５の補正電力値は、信号Ｂと補正値βの演算（積）によって導出される。
また、修正補正値α'は、第４の補正電力値と第５の補正電力値が等しくなるように補正値αを修正したものである。

第３の発振器１４ｃの演算部２０は、第３の発振器１４ｃの検出部１９、制御部１８及び記録部２１それぞれに電気的に接続され、且つ電力計１５に第２のスイッチ３６を介して電気的に接続されている。

第３の発振器１４ｃの演算部２０は、検出部１９によって検出された第５の検出電力値を補正値αによって補正した第７の補正電力値を導出し、電力計１５によって測定された第３の測定電力値を補正値βによって補正した第８の補正電力値を導出し、第８の補正電力値を第７の補正電力値と比較し、第７の補正電力値が第８の補正電力値から一定値以上外れている場合は、第７の補正電力値が第８の補正電力値になるように補正値αを修正した修正補正値α'を記録部２１に記録する機能を有する。

なお、第３の発振器１４ｃの検出部１９によって検出された第５の検出電力値に対応する信号Ａは演算部２０に入力され、第７の補正電力値は、信号Ａと補正値αの演算（積）によって導出される。
また、電力計１５によって測定された第３の測定電力値に対応する信号Ｂは演算部２０に入力され、第８の補正電力値は、信号Ｂと補正値βの演算（積）によって導出される。
また、修正補正値α'は、第７の補正電力値と第８の補正電力値が等しくなるように補正値αを修正したものである。

第１の発振器１４ａの演算部２０は、第１の発振器１４ａの検出部１９によって検出された第２の検出電力値を修正補正値α'によって補正した第３の補正電力値を導出し、第３の補正電力値を第１の設定電力値と比較し、第３の補正電力値が第１の設定電力値から一定値以上外れているという第１の比較結果を得た場合は、第１の比較結果を制御部１８に出力する機能を有する。なお、第１の発振器１４ａの検出部１９によって検出された第２の検出電力値に対応する信号Ａが演算部２０に入力され、第３の補正電力値は、信号Ａと修正補正値α'の演算（積）によって導出される。

第１の発振器１４ａの制御部１８は、第１の発振器１４ａの発振部１７によって発振された第１の電力が第１の設定電圧値になるように第１の比較結果を利用しながら制御して前記第１の超音波振動子１３ａへ出力するものである。

第２の発振器１４ｂの演算部２０は、第２の発振器１４ｂの検出部１９によって検出された第４の検出電力値を修正補正値α'によって補正した第６の補正電力値を導出し、第６の補正電力値を第２の設定電力値と比較し、第６の補正電力値が第２の設定電力値から一定値以上外れているという第２の比較結果を得た場合は、第２の比較結果を制御部１８に出力する機能を有する。なお、第２の発振器１４ｂの検出部１９によって検出された第４の検出電力値に対応する信号Ａは演算部２０に入力され、第６の補正電力値は、信号Ａと修正補正値α'の演算（積）によって導出される。

第２の発振器１４ｂの制御部１８は、第２の発振器１４ｂの発振部１７によって発振された第３の電力が第２の設定電圧値になるように第２の比較結果を利用しながら制御して第２の超音波振動子１３ｂへ出力するものである。

第３の発振器１４ｃの演算部２０は、第３の発振器１４ｃの検出部１９によって検出された第６の検出電力値を修正補正値α'によって補正した第９の補正電力値を導出し、第９の補正電力値を第３の設定電力値と比較し、第９の補正電力値が第３の設定電力値から一定値以上外れているという第３の比較結果を得た場合は、第３の比較結果を制御部１８に出力する機能を有する。なお、第３の発振器１４ｃの検出部１９によって検出された第６の検出電力値に対応する信号Ａは演算部２０に入力され、第９の補正電力値は、信号Ａと修正補正値α'の演算（積）によって導出される。

第３の発振器１４ｃの制御部１８は、第３の発振器１４ｃの発振部１７によって発振された第３の電力が第３の設定電圧値になるように第３の比較結果を利用しながら制御して第３の超音波振動子１３ｃへ出力するものである。

次に、上記の超音波洗浄装置の電力制御方法について説明するが、第２の実施形態の(1)〜(14)の順に行われる電力制御方法と異なる部分についてのみ説明する。

(1) 第１の超音波洗浄装置３１の第１の超音波振動子１３ａ及び第１の発振器１４ａそれぞれと電力計１５を電気的に接続するように第１及び第２のスイッチ３５，３６を切り替える。言い換えると、第１のスイッチ３５によって第１の超音波振動子１３ａと電力計１５を電気的に接続させ、且つ第２のスイッチ３６によって電力計１５と第１の発振器１４ａを電気的に接続させる。
(5)第２の超音波洗浄装置３２の第２の超音波振動子１３ｂ及び第２の発振器１４ｂそれぞれと電力計１５を電気的に接続するように第１及び第２のスイッチ３５，３６を切り替える。言い換えると、第１のスイッチ３５によって第２の超音波振動子１３ｂと電力計１５を電気的に接続させ、且つ第２のスイッチ３６によって電力計１５と第２の発振器１４ｂを電気的に接続させる。
(10)第３の超音波洗浄装置３３の第３の超音波振動子１３ｃ及び第３の発振器１４ｃそれぞれと電力計１５を電気的に接続するように第１及び第２のスイッチ３５，３６を切り替える。言い換えると、第１のスイッチ３５によって第３の超音波振動子１３ｃと電力計１５を電気的に接続させ、且つ第２のスイッチ３６によって電力計１５と第３の発振器１４ｃを電気的に接続させる。

本実施形態によれば、第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。

また、本実施の形態では、電力計１５との接続を第１の超音波洗浄装置３１から第３の超音波洗浄装置３３の順に自動的に切り替えることができる。

なお、本実施形態では、第１〜第３の超音波洗浄装置３１〜３３を有する超音波洗浄装置に本発明の一態様を適用しているが、２つまたは４つ以上の超音波洗浄装置を有する超音波洗浄装置に本発明の一態様を適用することも可能である。

また、上記の電力制御を行う前に、電力計１５を校正しておくことが好ましく、例えば過去１年以内に電力計１５を校正することが好ましい。

９…電源
１０…洗浄槽
１１…被処理物
１１ａ…第１の被処理物（被処理物１）
１１ｂ…第２の被処理物（被処理物２）
１１ｃ…第３の被処理物（被処理物３）
１２…洗浄液
１２ａ…第１の洗浄液
１２ｂ…第２の洗浄液
１２ｃ…第３の洗浄液
１３…負荷（超音波振動子）
１３ａ…負荷１（第１の超音波振動子）
１３ｂ…負荷２（第２の超音波振動子）
１３ｃ…負荷３（第３の超音波振動子）
１４…発振器
１４ａ…発振器１（第１の発振器）
１４ｂ…発振器２（第２の発振器）
１４ｃ…発振器３（第３の発振器）
１５…電力計
１６…電源部
１７…発振部
１８…制御部
１９…検出部
２０…演算部
２１…記録部
３１…第１の超音波洗浄装置
３２…第２の超音波洗浄装置
３３…第３の超音波洗浄装置
３４…自動切換電力計
３５…第１のスイッチ
３６…第２のスイッチ

Claims (12)

1. 被洗浄物を洗浄する洗浄液と、
   前記洗浄液に超音波を与える超音波振動子と、
   前記超音波振動子に電気的に接続された発振器と、
   前記超音波振動子に印加されている電力を測定する電力計と、
   を具備し、
   前記発振器は、
   発振部と、
   前記発振部によって発振された第１の電力が設定電力値になるように制御して前記超音波振動子へ出力する制御部と、
   前記制御部によって前記超音波振動子へ出力されている第２の電力を検出する検出部と、
   第１の補正値及び第２の補正値を記録する記録部と、
   前記検出部、前記制御部、前記記録部及び前記電力計それぞれに電気的に接続された演算部と、を有し、
   前記演算部は、前記検出部によって検出された第１の検出電力値を前記第１の補正値によって補正した第１の補正電力値を導出し、前記電力計によって測定された測定電力値を前記第２の補正値によって補正した第２の補正電力値を導出し、前記第２の補正電力値を前記第１の補正電力値と比較し、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値になるように前記第１の補正値を修正した第１の修正補正値を前記記録部に記録する機能を有することを特徴とする超音波洗浄装置。
2. 請求項１において、
   前記演算部は、前記検出部によって検出された第２の検出電力値を前記第１の修正補正値によって補正した第３の補正電力値を導出し、前記第３の補正電力値を前記設定電力値と比較し、前記第３の補正電力値が前記設定電力値から一定値以上外れているという比較結果を得た場合は前記比較結果を前記制御部に出力する機能を有し、
   前記制御部は、前記発振部によって発振された前記第１の電力が前記設定電圧値になるように前記比較結果を利用しながら制御して前記超音波振動子へ出力することを特徴とする超音波洗浄装置。
3. 請求項２において、
   前記検出部によって検出された前記第１の検出電力値に対応する第１の信号が前記演算部に入力され、前記第１の補正電力値は、前記第１の信号と前記第１の補正値の演算によって導出され、
   前記電力計によって測定された前記測定電力値に対応する第２の信号が前記演算部に入力され、前記第２の補正電力値は、前記第２の信号と前記第２の補正値の演算によって導出され、
   前記第１の修正補正値は、前記第１の補正電力値と前記第２の補正電力値が等しくなるように前記第１の補正値を修正したものであり、
   前記検出部によって検出された前記第２の検出電力値に対応する第３の信号が前記演算部に入力され、前記第３の補正電力値は、前記第３の信号と前記第１の修正補正値の演算によって導出されることを特徴とする超音波洗浄装置。
4. 第１の超音波洗浄装置、第２の超音波洗浄装置及び電力計を有する超音波洗浄装置であって、
   前記第１の超音波洗浄装置は、
   第１の被洗浄物を洗浄する第１の洗浄液と、
   前記第１の洗浄液に超音波を与える第１の超音波振動子と、
   前記第１の超音波振動子に電気的に接続された第１の発振器と、を有し、
   前記第２の超音波洗浄装置は、
   第２の被洗浄物を洗浄する第２の洗浄液と、
   前記第２の洗浄液に超音波を与える第２の超音波振動子と、
   前記第２の超音波振動子に電気的に接続された第２の発振器と、を有し、
   前記電力計は、前記第１の超音波振動子に印加されている電力または前記第２の超音波振動子に印加されている電力を測定するものであり、
   前記第１の超音波振動子及び前記第２の超音波振動子は第１のスイッチを介して前記電力計に電気的に接続されており、
   前記第１の発振器及び前記第２の発振器は第２のスイッチを介して前記電力計に電気的に接続されており、
   前記第１の発振器は、
   第１の発振部と、
   前記第１の発振部によって発振された第１の電力が第１の設定電力値になるように制御して前記第１の超音波振動子へ出力する第１の制御部と、
   前記第１の制御部によって前記第１の超音波振動子へ出力されている第２の電力を検出する第１の検出部と、
   第１の補正値及び第２の補正値を記録する第１の記録部と、
   前記第１の検出部、前記第１の制御部及び前記第１の記録部それぞれに電気的に接続され、前記電力計に前記第２のスイッチを介して電気的に接続された第１の演算部と、を有し、
   前記第１の演算部は、前記第１の検出部によって検出された第１の検出電力値を前記第１の補正値によって補正した第１の補正電力値を導出し、前記電力計によって測定された第１の測定電力値を前記第２の補正値によって補正した第２の補正電力値を導出し、前記第２の補正電力値を前記第１の補正電力値と比較し、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値になるように前記第１の補正値を修正した第１の修正補正値を前記第１の記録部に記録する機能を有し、
   前記第２の発振器は、
   第２の発振部と、
   前記第２の発振部によって発振された第３の電力が第２の設定電力値になるように制御して前記第２の超音波振動子へ出力する第２の制御部と、
   前記第２の制御部によって前記第２の超音波振動子へ出力されている第４の電力を検出する第２の検出部と、
   第３の補正値及び第４の補正値を記録する第２の記録部と、
   前記第２の検出部、前記第２の制御部及び前記第２の記録部それぞれに電気的に接続され、前記電力計に前記第２のスイッチを介して電気的に接続された第２の演算部と、を有し、
   前記第２の演算部は、前記第２の検出部によって検出された第３の検出電力値を前記第３の補正値によって補正した第４の補正電力値を導出し、前記電力計によって測定された第２の測定電力値を前記第４の補正値によって補正した第５の補正電力値を導出し、前記第５の補正電力値を前記第４の補正電力値と比較し、前記第４の補正電力値が前記第５の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第４の補正電力値が前記第５の補正電力値になるように前記第３の補正値を修正した第２の修正補正値を前記第２の記録部に記録する機能を有することを特徴とする超音波洗浄装置。
5. 請求項４において、
   前記第１の演算部は、前記第１の検出部によって検出された第２の検出電力値を前記第１の修正補正値によって補正した第３の補正電力値を導出し、前記第３の補正電力値を前記第１の設定電力値と比較し、前記第３の補正電力値が前記第１の設定電力値から一定値以上外れているという第１の比較結果を得た場合は前記第１の比較結果を前記第１の制御部に出力する機能を有し、
   前記第１の制御部は、前記第１の発振部によって発振された前記第１の電力が前記第１の設定電圧値になるように前記第１の比較結果を利用しながら制御して前記第１の超音波振動子へ出力するものであり、
   前記第２の演算部は、前記第２の検出部によって検出された第４の検出電力値を前記第２の修正補正値によって補正した第６の補正電力値を導出し、前記第６の補正電力値を前記第２の設定電力値と比較し、前記第６の補正電力値が前記第２の設定電力値から一定値以上外れているという第２の比較結果を得た場合は前記第２の比較結果を前記第２の制御部に出力する機能を有し、
   前記第２の制御部は、前記第２の発振部によって発振された前記第３の電力が前記第２の設定電圧値になるように前記第２の比較結果を利用しながら制御して前記第２の超音波振動子へ出力するものであることを特徴とする超音波洗浄装置。
6. 請求項５において、
   前記第１の検出部によって検出された前記第１の検出電力値に対応する第１の信号が前記第１の演算部に入力され、前記第１の補正電力値は、前記第１の信号と前記第１の補正値の演算によって導出され、
   前記電力計によって測定された前記第１の測定電力値に対応する第２の信号が前記第１の演算部に入力され、前記第２の補正電力値は、前記第２の信号と前記第２の補正値の演算によって導出され、
   前記第１の修正補正値は、前記第１の補正電力値と前記第２の補正電力値が等しくなるように前記第１の補正値を修正したものであり、
   前記第１の検出部によって検出された前記第２の検出電力値に対応する第３の信号が前記第１の演算部に入力され、前記第３の補正電力値は、前記第３の信号と前記第１の修正補正値の演算によって導出され、
   前記第２の検出部によって検出された前記第３の検出電力値に対応する第４の信号が前記第２の演算部に入力され、前記第４の補正電力値は、前記第４の信号と前記第３の補正値の演算によって導出され、
   前記電力計によって測定された前記第２の測定電力値に対応する第５の信号が前記第２の演算部に入力され、前記第５の補正電力値は、前記第５の信号と前記第４の補正値の演算によって導出され、
   前記第２の修正補正値は、前記第４の補正電力値と前記第５の補正電力値が等しくなるように前記第３の補正値を修正したものであり、
   前記第２の検出部によって検出された前記第４の検出電力値に対応する第６の信号が前記第２の演算部に入力され、前記第６の補正電力値は、前記第６の信号と前記第２の修正補正値の演算によって導出されたものであることを特徴とする超音波洗浄装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項において、
   前記電力計は校正されたものであることを特徴とする超音波洗浄装置。
8. 超音波洗浄装置の電力制御方法において、
   前記超音波洗浄装置は、
   被洗浄物を洗浄する洗浄液と、
   前記洗浄液に超音波を与える超音波振動子と、
   前記超音波振動子に電気的に接続された発振器と、
   前記発振器及び前記超音波振動子に電気的に接続された電力計と、を有し、
   前記発振器は、
   発振部と、
   前記発振部に電気的に接続された制御部と、
   前記制御部に電気的に接続された検出部と、
   前記検出部及び前記制御部それぞれに電気的に接続された演算部と、
   前記演算部に電気的に接続された記録部と、を有し、
   前記電力制御方法は、
   前記発振部によって発振された第１の電力が設定電力値になるように前記制御部によって制御して前記超音波振動子へ出力し、
   前記超音波振動子へ出力した第２の電力を前記検出部によって検出し、
   前記検出部によって検出した第１の検出電力値を前記記録部に記録された第１の補正値によって補正することにより第１の補正電力値を前記演算部によって導出し、
   前記超音波振動子へ出力した前記第２の電力を前記電力計によって測定し、
   前記電力計によって測定した第１の測定電力値を前記記録部に記録された第２の補正値によって補正することにより第２の補正電力値を前記演算部によって導出し、
   前記演算部によって前記第２の補正電力値を前記第１の補正電力値と比較し、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値になるように前記第１の補正値を修正した第１の修正補正値を前記記録部に記録することを特徴とする超音波洗浄装置の電力制御方法。
9. 請求項８において、
   前記第１の修正補正値を前記記録部に記録した後に、
   前記発振部によって発振された第３の電力が前記設定電力値になるように前記制御部によって制御して前記超音波振動子へ出力し、
   前記超音波振動子へ出力した第４の電力を前記検出部によって検出し、
   前記検出部によって検出した第２の検出電力値を前記第１の修正補正値によって補正することにより第３の補正電力値を前記演算部によって導出し、
   前記演算部によって前記第３の補正電力値を前記設定電力値と比較し、前記第３の補正電力値が前記設定電力値から一定値以上外れているという比較結果を得た場合は前記比較結果を前記制御部に出力し、
   前記発振部によって発振された第５の電力が前記設定電力値になるように前記制御部によって前記比較結果を利用しながら制御して前記超音波振動子へ出力することを特徴とする超音波洗浄装置の電力制御方法。
10. 超音波洗浄装置の電力制御方法において、
    前記超音波洗浄装置は、第１の超音波洗浄装置、第２の超音波洗浄装置及び電力計を有し、
    前記第１の超音波洗浄装置は、
    第１の被洗浄物を洗浄する第１の洗浄液と、
    前記第１の洗浄液に超音波を与える第１の超音波振動子と、
    前記第１の超音波振動子に電気的に接続された第１の発振器と、を有し、
    前記第１の発振器は、
    第１の発振部と、
    前記第１の発振部に電気的に接続された第１の制御部と、
    前記第１の制御部に電気的に接続された第１の検出部と、
    前記第１の検出部及び前記第１の制御部それぞれに電気的に接続された第１の演算部と、
    前記第１の演算部に電気的に接続された第１の記録部と、を有し、
    前記第２の超音波洗浄装置は、
    第２の被洗浄物を洗浄する第２の洗浄液と、
    前記第２の洗浄液に超音波を与える第２の超音波振動子と、
    前記第２の超音波振動子に電気的に接続された第２の発振器と、を有し、
    前記第２の発振器は、
    第２の発振部と、
    前記第２の発振部に電気的に接続された第２の制御部と、
    前記第２の制御部に電気的に接続された第２の検出部と、
    前記第２の検出部及び前記第２の制御部それぞれに電気的に接続された第２の演算部と、
    前記第２の演算部に電気的に接続された第２の記録部と、を有し、
    前記電力制御方法は、
    前記第１の超音波振動子及び前記第１の発振器それぞれと前記電力計を電気的に接続させ、
    前記第１の発振部によって発振された第１の電力が第１の設定電力値になるように前記第１の制御部によって制御して前記第１の超音波振動子へ出力し、
    前記第１の超音波振動子へ出力した第２の電力を前記第１の検出部によって検出し、
    前記第１の検出部によって検出した第１の検出電力値を前記第１の記録部に記録された第１の補正値によって補正することにより第１の補正電力値を前記第１の演算部によって導出し、
    前記第１の超音波振動子へ出力した前記第２の電力を前記電力計によって測定し、
    前記電力計によって測定した第１の測定電力値を前記第１の記録部に記録された第２の補正値によって補正することにより第２の補正電力値を前記第１の演算部によって導出し、
    前記第１の演算部によって前記第２の補正電力値を前記第１の補正電力値と比較し、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第１の補正電力値が前記第２の補正電力値になるように前記第１の補正値を修正した第１の修正補正値を前記第１の記録部に記録し、
    前記第２の超音波振動子及び前記第２の発振器それぞれと前記電力計を電気的に接続させ、
    前記第２の発振部によって発振された第３の電力が第２の設定電力値になるように前記第２の制御部によって制御して前記第２の超音波振動子へ出力し、
    前記第２の超音波振動子へ出力した第４の電力を前記第２の検出部によって検出し、
    前記第２の検出部によって検出した第２の検出電力値を前記第２の記録部に記録された第３の補正値によって補正することにより第３の補正電力値を前記第２の演算部によって導出し、
    前記第２の超音波振動子へ出力した前記第４の電力を前記電力計によって測定し、
    前記電力計によって測定した第２の測定電力値を前記第２の記録部に記録された第４の補正値によって補正することにより第４の補正電力値を前記第２の演算部によって導出し、
    前記第２の演算部によって前記第４の補正電力値を前記第３の補正電力値と比較し、前記第３の補正電力値が前記第４の補正電力値から一定値以上外れている場合は、前記第３の補正電力値が前記第４の補正電力値になるように前記第３の補正値を修正した第２の修正補正値を前記第２の記録部に記録することを特徴とする超音波洗浄装置の電力制御方法。
11. 請求項１０において、
    前記第１の超音波振動子及び前記第１の発振器それぞれと前記電力計を電気的に接続させることは、第１のスイッチによって前記第１の超音波振動子と前記電力計を電気的に接続させ、且つ第２のスイッチによって前記電力計と前記第１の発振器を電気的に接続させることであり、
    前記第２の超音波振動子及び前記第２の発振器それぞれと前記電力計を電気的に接続させることは、前記第１のスイッチによって前記第２の超音波振動子と前記電力計を電気的に接続させ、且つ前記第２のスイッチによって前記電力計と前記第２の発振器を電気的に接続させることを特徴とする超音波洗浄装置の電力制御方法。
12. 請求項８乃至１１のいずれか一項において、
    前記電力制御を行う前に、前記電力計を校正することを特徴とする超音波洗浄装置の電力制御方法。

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