JP2013110516A - 振動子検査方法、および振動子検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象の振動子の周波数に対するインピーダンスを測定して、主振動及びスプリアスのインピーダンスを得る(第1工程)。第1工程で得た主振動及びスプリアスのインピーダンスを基に、主振動及びスプリアスのリアクタンスと抵抗とを求める(第2工程)。第2工程で求めた主振動のリアクタンスに対する抵抗と、スプリアスのリアクタンスに対する抵抗とを比較し、前記検査対象の振動子が接続され得る発振回路の負荷容量範囲に対応するリアクタンスにおいて主振動の抵抗よりも小さい抵抗を示すスプリアスが存在する場合に、スプリアスで発振すると判定する(第3工程)。
【選択図】図1
Description
本発明の実施の形態1に係る振動子検査装置10は、図1に示すように、検査対象の水晶振動子1の周波数に対するインピーダンス(周波数インピーダンス特性と称す。)を測定するための測定器2(本発明でいう第1測定部)と、この測定器2での測定結果を取得し、水晶振動子1がスプリアスで発振するか否かを判別する演算装置(PC)5と、演算装置5での判別結果を表示するための表示装置8と、演算装置5に各種情報を入力するための入力装置9とを備えている。
1/(2π*f0*CL1)≦X≦1/(2π*f0*CL2)
例えば、水晶振動子1の周波数が621.95MHzで、この水晶振動子1が接続される水晶発振回路3の負荷容量の範囲が1〜12pFである場合、インピーダンスチャートには、図5、図7、及び図9に示すように、少なくともリアクタンスXの範囲20〜250Ωにおける抵抗Rを表示するようにする。
本発明の実施の形態2に係る振動子検査装置20は、図10に示すように、検査対象の水晶振動子1の周波数インピーダンスを測定するための測定器2(本発明でいう第2測定部)と、前記測定器2での測定結果を取得し、水晶振動子1がスプリアスで発振するか否かを判別する演算装置(PC)6と、演算装置6での判別結果を表示するための表示装置8と、演算装置6に各種情報を入力するための入力装置9とを備えている。さらに、振動子検査装置20は、測定器2と接続された負荷容量治具4と、演算装置6から出力されたデジタル信号をアナログ電圧に変換して負荷容量治具4に入力するD/Aコンバータ7を備えている。
11 水晶振動片
12 ベース
13 蓋
14、15 励振電極
16 導電性バンプ
17 接合材
2 測定器(第1測定部、第2測定部)
3 水晶発振回路
31 発振回路部
32 周波数制御回路部
4 負荷容量治具
5 演算装置
51 条件設定部
52 測定命令部
53 取得部(第1取得部)
54 演算部(第1演算部)
55 判定部(第1判定部)
6 演算装置
61 条件設定部
62 負荷容量設定部
63 測定命令部
64 取得部(第2取得部)
65 判定部(第2判定部)
7 D/Aコンバータ
8 表示装置
9 入力装置
10 振動子検査装置
20 振動子検査装置
Q1 発振用トランジスタ
C1〜D5 コンデンサ
R1〜R5 抵抗
L1〜L3 コイル
D1、D2 バリキャップダイオード
DS バリキャップダイオード(負荷容量)
Claims (5)
- スプリアスで発振する振動子を判別する振動子検査方法であって、
検査対象の振動子の周波数に対するインピーダンスを測定して、主振動及びスプリアスのインピーダンスを得る第1工程と、
前記第1工程で得た主振動及びスプリアスのインピーダンスを基に、主振動及びスプリアスのリアクタンスと抵抗とを求める第2工程と、
前記第2工程で求めた主振動のリアクタンスに対する抵抗と、スプリアスのリアクタンスに対する抵抗とを比較し、前記検査対象の振動子が接続され得る発振回路の負荷容量範囲に対応するリアクタンスにおいて主振動の抵抗よりも小さい抵抗を示すスプリアスが存在する場合に、スプリアスで発振すると判定する第3工程と
を有することを特徴とする振動子検査方法。 - 請求項1に記載の振動子検査方法であって、
前記第3工程においてスプリアスで発振しないと判定した振動子を再検査する第4工程を更に有しており、
前記第4工程は、再検査対象の前記振動子に直列に負荷容量を接続した状態で、前記振動子の周波数に対するインピーダンスの測定を行う測定工程を有し、
前記測定工程では、前記負荷容量を可変させ、可変させた前記負荷容量毎に、前記インピーダンスの測定を行い、
少なくとも1回の前記インピーダンスの測定の結果が、主振動よりもインピーダンスの絶対値が小さいスプリアスの存在を示す場合に、スプリアスで発振すると判定する
ことを特徴とする振動子検査方法。 - スプリアスで発振する振動子を判別する振動子検査方法であって、
検査対象の振動子に直列に負荷容量を接続した状態で、前記振動子の周波数に対するインピーダンスの測定を行う測定工程を有し、
前記測定工程では、前記負荷容量を可変させ、可変させた前記負荷容量毎に、前記インピーダンスの測定を行い
少なくとも1回の前記インピーダンスの測定の結果が、主振動よりもインピーダンスの絶対値が小さいスプリアスの存在を示す場合に、スプリアスで発振すると判定する
ことを特徴とする振動子検査方法。 - スプリアスで発振する振動子を判別する振動子検査装置であって、
検査対象の振動子の周波数に対するインピーダンスの測定を行う第1測定部と、
前記第1測定部での前記インピーダンスの測定の結果を取得して、主振動及びスプリアスのインピーダンスを得る第1取得部と、
前記第1取得部で得た主振動及びスプリアスのインピーダンスを基に、主振動及びスプリアスのリアクタンスと抵抗とを求める第1演算部と、
前記第1演算部で求めた主振動のリアクタンスに対する抵抗と、スプリアスのリアクタンスに対する抵抗とを比較し、前記検査対象の振動子が接続され得る発振回路の負荷容量範囲に対応するリアクタンスにおいて主振動の抵抗よりも小さい抵抗を示すスプリアスが存在する場合に、スプリアスで発振すると判定する第1判定部と
を有することを特徴とする振動子検査装置。 - スプリアスで発振する振動子を判別する振動子検査装置であって、
検査対象の振動子に直列に負荷容量を接続した状態での前記振動子の周波数に対するインピーダンスの測定を行う第2測定部と、
前記第2測定部での前記インピーダンスの測定の結果を取得する第2取得部と、
前記第2取得部で取得した前記インピーダンスの測定の結果に基づいて、スプリアスで発振するか否かを判定する第2判定部とを有しており、
前記第2取得部は、前記負荷容量を可変させ、可変させた前記負荷容量毎に前記第2測定部で実施された前記インピーダンスの測定の結果を全て取得し、
前記第2判定部は、前記第2取得部が取得した少なくとも1回の前記インピーダンスの測定の結果が、主振動よりもインピーダンスの絶対値が小さいスプリアスの存在を示す場合に、スプリアスで発振すると判定する
ことを特徴とする振動子検査装置。
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JP2011252912A JP5803602B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | 振動子検査方法、および振動子検査装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2016144048A (ja) * | 2015-02-02 | 2016-08-08 | 富士通株式会社 | 水晶振動子の検査方法 |
JP2016146551A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 富士通株式会社 | 水晶振動子 |
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JP2010085288A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電振動子の検査方法 |
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2011
- 2011-11-18 JP JP2011252912A patent/JP5803602B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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Title |
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JPN7015001026; 'AgilentE5100Aネットワークアナライザの水晶振動子測定機能と測定方法' アプリケーション・ノート E5100A-2 [平成 27 年 4月 9 日検索], 20030501, pp.1-12, [online] * |
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