TW201341072A - 超音波洗淨裝置及其電力控制方法 - Google Patents

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Abstract

[課題]提供一種可更加提高電力管理之可靠性的超音波洗淨裝置。[解決手段]超音波洗淨裝置係具備有：被洗淨物(11)、洗淨液(12)、超音波振動子(13)、振盪器(14)、電源部(16)、及電力計(15)，振盪器(14)係具有：振盪部(17)；以藉由振盪部(17)所被振盪的第1電力成為設定電力值的方式進行控制且輸出至超音波振動子的控制部(18)；檢測藉由控制部(18)而被輸出至超音波振動子(13)的第2電力的檢測部(19)；及運算部(20)，運算部(20)係具有導出將第1檢測電力值藉由補正值α進行補正後的第1補正電力值，且導出將藉由電力計(15)所被測定到的測定電力值藉由補正值β進行補正後的第2補正電力值，若第1補正電力值由第2補正電力值偏移一定值以上時，係將以第1補正電力值成為第2補正電力值的方式將補正值α進行修正後的修正補正值α’記錄在記錄部(21)的功能。

Description

超音波洗淨裝置及其電力控制方法
本發明係關於對被洗淨物進行超音波洗淨的超音波洗淨裝置及其電力控制方法等。
習知的超音波洗淨裝置係具有：對洗淨被洗淨物的洗淨液供予超音波的超音波振動子、振盪器及電源部，該振盪器係具有：振盪部、檢測部、及運算部。在超音波振動子電性連接有振盪器，在振盪器電性連接有電源部。藉由該振盪部所被振盪的電力被輸出至超音波振動子。該所被輸出的電力係藉由檢測部予以檢測，藉由運算部來比較該所被檢測到的電力值是否與設定電力值(亦即作為被施加至超音波振動子的電力所適合的電力值)不相一致。接著，被輸出至超音波振動子的電力值與設定電力值不相一致時，以成為設定電力值的方式所控制的電力係被輸出至超音波振動子(參照例如專利文獻1)。
在將被實際施加至超音波振動子的電力設為設定電力值時，必須藉由檢測部來正確檢測被施加至超音波振動子的電力。該檢測部係當在工廠等製造超音波洗淨裝置時，藉由電力校正器來進行調整，藉此可正確檢測電力值。
在如上所述習知之超音波洗淨裝置中，係藉由檢測部來檢測被施加至超音波振動子的電力值，將該電力值與設定電力值相比較，以被施加至超音波振動子的電力值成為 設定電力值的方式進行控制。藉此，即使被施加至超音波振動子的電力依環境條件(例如洗淨液的溫度、品質、種類或被洗淨物的種類)等而改變，亦可使該電力值配合設定電力值，結果，可抑制超音波洗淨效率降低。
但是，在振盪器內部的檢測部並非設為作為電力計所被構成的機器，因此藉由該檢測部所為之電力管理變得較為簡易。此外，若在超音波洗淨裝置中替換超音波振動子時，亦考慮藉由檢測部所被檢測的電力值由正確的值偏移的情形。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2000-49619號公報
本發明之一態樣係以提供可更加提高電力管理可靠性的超音波洗淨裝置及其電力控制方法為課題。
本發明之一態樣係一種超音波洗淨裝置，其特徵為：具備有：洗淨液，其係洗淨被洗淨物；超音波振動子，其係對前述洗淨液供予超音波；振盪器，其係與前述超音波振動子作電性連接；及電力計，其係測定被施加至前述超 音波振動子的電力，前述振盪器係具有：振盪部；控制部，其係以藉由前述振盪部所被振盪的第1電力成為設定電力值的方式進行控制且輸出至前述超音波振動子；檢測部，其檢測藉由前述控制部而被輸出至前述超音波振動子的第2電力；記錄部，其係記錄第1補正值及第2補正值；及運算部，其係與前述檢測部、前述控制部、前述記錄部及前述電力計各個作電性連接，前述運算部係具有導出將藉由前述檢測部所被檢測到的第1檢測電力值藉由前述第1補正值進行補正後的第1補正電力值，且導出將藉由前述電力計所被測定到的測定電力值藉由前述第2補正值進行補正後的第2補正電力值，將前述第2補正電力值與前述第1補正電力值相比較，若前述第1補正電力值由前述第2補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第1補正電力值成為前述第2補正電力值的方式將前述第1補正值進行修正後的第1修正補正值記錄在前述記錄部的功能。
本發明之一態樣係一種超音波洗淨裝置，其係具有第1超音波洗淨裝置、第2超音波洗淨裝置、及電力計的超音波洗淨裝置，其特徵為：前述第1超音波洗淨裝置係具有：第1洗淨液，其係洗淨第1被洗淨物；第1超音波振動子，其係對前述第1洗淨液供予超音波；及第1振盪器，其係與前述第1超音波振動子作電性連接，前述第2超音波洗淨裝置係具有：第2洗淨液，其係洗淨第2被洗淨物；第2超音波振動子，其係對前述第2洗淨液供予超 音波；及第2振盪器，其係與前述第2超音波振動子作電性連接，前述電力計係將被施加至前述第1超音波振動子的電力或被施加至前述第2超音波振動子的電力進行測定者，前述第1超音波振動子及前述第2超音波振動子係透過第1開關而與前述電力計作電性連接，前述第1振盪器及前述第2振盪器係透過第2開關而與前述電力計作電性連接，前述第1振盪器係具有：第1振盪部；第1控制部，其係以藉由前述第1振盪部所被振盪的第1電力成為第1設定電力值的方式進行控制且輸出至前述第1超音波振動子；第1檢測部，其係檢測藉由前述第1控制部而被輸出至前述第1超音波振動子的第2電力；第1記錄部，其係記錄第1補正值及第2補正值；及第1運算部，其係與前述第1檢測部、前述第1控制部、前述第1記錄部及前述電力計各個作電性連接，透過前述第2開關而與前述電力計作電性連接，前述第1運算部係具有導出將藉由前述第1檢測部所被檢測到的第1檢測電力值藉由前述第1補正值進行補正後的第1補正電力值，且導出將藉由前述電力計所被測定到的第1測定電力值藉由前述第2補正值進行補正後的第2補正電力值，將前述第2補正電力值與前述第1補正電力值相比較，若前述第1補正電力值由前述第2補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第1補正電力值成為前述第2補正電力值的方式將前述第1補正值修正後的第1修正補正值記錄在前述第1記錄部的功能，前述第2振盪器係具有：第2振盪部；第2控制部，其係 以藉由前述第2振盪部所被振盪的第3電力成為第2設定電力值的方式進行控制且輸出至前述第2超音波振動子；第2檢測部，其係檢測藉由前述第2控制部而被輸出至前述第2超音波振動子的第4電力；第2記錄部，其係記錄第3補正值及第4補正值；及第2運算部，其係與前述第2檢測部、前述第2控制部、前述第2記錄部及前述電力計各個作電性連接，透過前述第2開關而與前述電力計作電性連接，前述第2運算部係具有導出將藉由前述第2檢測部所被檢測到的第3檢測電力值藉由前述第3補正值進行補正後的第4補正電力值，且導出將藉由前述電力計所被測定到的第2測定電力值藉由前述第4補正值進行補正後的第5補正電力值，將前述第5補正電力值與前述第4補正電力值相比較，若前述第4補正電力值由前述第5補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第4補正電力值成為前述第5補正電力值的方式將前述第3補正值進行修正後的第2修正補正值記錄在前述第2記錄部的功能。
本發明之一態樣係一種超音波洗淨裝置之電力控制方法，其特徵為：前述超音波洗淨裝置係具有：洗淨液，其係洗淨被洗淨物；超音波振動子，其係對前述洗淨液供予超音波；振盪器，其係與前述超音波振動子作電性連接；及電力計，其係與前述振盪器及前述超音波振動子作電性連接，前述振盪器係具有：振盪部；控制部，其係與前述振盪部作電性連接；檢測部，其係與前述控制部作電性連接；運算部，其係與前述檢測部及前述控制部各個作電性 連接；及記錄部，其係與前述運算部作電性連接，前述電力控制方法係以藉由前述振盪部所被振盪的第1電力成為設定電力值的方式藉由前述控制部進行控制且輸出至前述超音波振動子，將輸出至前述超音波振動子的第2電力藉由前述檢測部進行檢測，將藉由前述檢測部所檢測到的第1檢測電力值藉由被記錄在前述記錄部的第1補正值進行補正，藉此藉由前述運算部來導出第1補正電力值，將輸出至前述超音波振動子的前述第2電力藉由前述電力計進行測定，將藉由前述電力計所測定到的第1測定電力值藉由被記錄在前述記錄部的第2補正值進行補正，藉此藉由前述運算部來導出第2補正電力值，藉由前述運算部，將前述第2補正電力值與前述第1補正電力值相比較，若前述第1補正電力值由前述第2補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第1補正電力值成為前述第2補正電力值的方式將前述第1補正值進行修正後的第1修正補正值記錄在前述記錄部。
藉由本發明之一態樣，可提供可更加提高電力管理可靠性的超音波洗淨裝置及其電力控制方法。
以下係使用圖示，詳加說明本發明之實施形態。但是，本發明並非限定於以下說明，在未脫離本發明之主旨 及其範圍的情形下，可將其形態及詳細內容作各種變更，此若為所屬領域熟習該項技術者，即可輕易理解。因此，本發明並非限定於以下所示實施形態的記載內容而予以解釋。
(第1實施形態)
圖1係顯示本發明之一態樣之超音波洗淨裝置之構成的概略圖。
超音波洗淨裝置係具有：洗淨被洗淨物11的洗淨液12；置入有該洗淨液12的洗淨槽10；對洗淨液12供予超音波的超音波振動子(負荷)13；與該超音波振動子13作電性連接的振盪器14；與該振盪器14作電性連接的電源部16；測定被施加至超音波振動子13的電力的電力計15；及與該電力計15作電性連接的電源9。其中，被洗淨物11亦可為半導體晶圓、光碟、玻璃基板、平面顯示器、薄壁碟片或基板等。
電力計15較佳為經校正者，更佳為例如過去1年以內經校正者。此外，電力計15若可進行由超音波洗淨裝置容易安裝、卸除即可。
電力計15的類比輸出端子係與振盪器14的類比輸入端子作電性連接。振盪器14係具有：振盪部17、控制部18、檢測部19、運算部20、及記錄部21。電力計15係與運算部20作電性連接。
運算部20係與控制部18、檢測部19、及記錄部21 作電性連接。檢測部19係與控制部18作電性連接，控制部18係與振盪部17作電性連接。
藉由振盪部17所被振盪的振盪訊號(第1電力)被供給至控制部18，以第1電力成為設定電力值的方式，藉由控制部18予以控制，該所被控制的控制訊號(第2電力)被輸出至超音波振動子13。在此的設定電力值意指適於作為被施加至超音波振動子13的電力的電力值，該適合的電力值係依各個超音波振動子、洗淨液的溫度、品質、種類或被洗淨物的種類等而異。
檢測部19係檢測藉由控制部18而被輸出至超音波振動子13的第2電力。與該所檢測到的第1檢測電力值相對應的訊號A係由檢測部19被輸入至運算部20。
運算部20係藉由補正值α來補正藉由檢測部19所檢測到的第1檢測電力值，而導出第1補正電力值。該第1補正電力值係藉由訊號A與補正值α的運算(積)來導出，相當於實際被輸出至超音波振動子13的電力值。
補正值係當在工廠等製造超音波洗淨裝置時，藉由電力校正器予以調整，可在振盪器內部運算正確的電力值的值，且被記錄在記錄部21。
運算部20係將第1補正電力值與設定電力值相比較，若獲得第1補正電力值由設定電力值偏移一定值以上的比較結果時，將該比較結果輸出至控制部18。其中，一定值亦可包含0。
控制部18係以藉由振盪部17所被振盪的振盪訊號的 電力值成為設定電壓值的方式，一面利用上述比較結果，一面控制且輸出至超音波振動子13。藉此，被供給至超音波振動子13的訊號的電力值可更為接近設定電力值。
在圖1的超音波洗淨裝置係具有使被供給至超音波振動子13的訊號的電力值更加接近設定電力值的功能。
電力計15係測定藉由控制部18而被輸出至超音波振動子13的第2電力。與該所測定到的測定電力值相對應的訊號B(電壓)係由電力計15被輸入至運算部20。
運算部20係藉由補正值β來補正藉由電力計15所測定到的測定電力值，且導出第2補正電力值。該第2補正電力值係藉由訊號B與補正值β的運算(積)予以導出，相當於實際被輸出至超音波振動子13的電力值。但是，電力計15與檢測部19相比，電力測定的可靠性較高，因此藉由電力計15所測定到的電力值，與藉由檢測部19所檢測出的電力值相比，較為正確。其中，補正值β係被記錄在記錄部21。
運算部20係將第2補正電力值與藉由檢測部19及運算部20所求出的第1補正電力值相比較，若第1補正電力值由第2補正電力值偏移一定值以上時，將以第1補正電力值成為第2補正電力值的方式修正補正值α後的修正補正值α’記錄在記錄部。修正補正值α’與補正值α相比，為更為正確的補正值。修正補正值α’係以例如第1補正電力值與第2補正電力值相等的方式修正補正值α者。其中，一定值亦可包含0。
運算部20係藉由補正值α來補正藉由檢測部19所檢測到的第1檢測電力值，且導出第1補正電力值。相當於藉由訊號A與補正值α的運算(積)予以導出，且實際被輸出至超音波振動子13的電力值。
運算部20係藉由檢測部19來檢測藉由控制部18而被輸出至超音波振動子13的第2電力，與該檢測到的第2檢測電力值相對應的訊號A由檢測部19被輸入至運算部20，藉由該所被輸入的訊號A與修正補正值α’的運算(積)來導出第3補正電力值，將該第3補正電力值與設定電力值相比較，若獲得第3補正電力值由設定電力值偏移一定值以上的比較結果時，係將該比較結果輸出至控制部18。其中，一定值亦可包含0。
控制部18係以藉由振盪部17所被振盪的振盪訊號的電力值成為設定電壓值的方式，一面利用上述比較結果一面控制且輸出至超音波振動子13。藉此，可使被供給至超音波振動子13的訊號的電力值更為接近設定電力值。
如上所述使用電力計15來導出修正補正值α’的作業若自動進行即可，且若每隔預定期間進行即可。藉由極端縮短預定期間，可幾乎即時且更為正確地接近設定電力值。此外，藉由使用作為電力計15所被校正的校正器，可以更為正確的電力值輸出至超音波振動子13。
此外，若在超音波洗淨裝置中替換超音波振動子13時，即使藉由檢測部19所被檢測的電力值由正確的值偏移，如上所述藉由使用電力計15來導出修正補正值α’， 且將該修正補正值α’記錄在記錄部21，可使藉由檢測部19所檢測到的電力值成為更為正確的值。
接著，一面參照圖1，一面詳加說明超音波洗淨裝置之電力控制方法。該電力控制係依以下(1)~(10)的順序進行。
(1)以藉由振盪部17所被振盪的第1電力成為設定電力值的方式藉由控制部18進行控制且輸出至超音波振動子13。
(2)藉由檢測部19來檢測藉由控制部18進行控制而輸出至超音波振動子13的第2電力。
(3)將與藉由檢測部19所檢測到的第1檢測電力值相對應的訊號A，藉由被記錄在記錄部21的補正值α如下述式(a)所示進行補正，藉此藉由運算部20來導出第1補正電力值PA。
(a)PA=A×α
(4)藉由電力計15來測定藉由控制部18進行控制而輸出至超音波振動子13的第2電力。
(5)藉由電力計15來測定輸出至超音波振動子13的第2電力，獲得第1測定電力值，與該第1測定電力值相對應的訊號B被輸入至運算部20，藉由被記錄在記錄部21的補正值β，如下述式(b)所示補正訊號B，藉由運算部20來導出第2補正電力值PB。
(b)PB=B×β
(6)藉由運算部20，將第2補正電力值PB與第1 補正電力值PA相比較，若第1補正電力值PA由第2補正電力值PB偏移一定值以上時，如下述式(c)所示，將以第1補正電力值PA成為第2補正電力值PB的方式自動修正補正值α後的修正補正值α’自動記錄在記錄部21。其中，一定值亦可包含0。
(c)自動調整演算法PB=PA=A×α’
(7)在將修正補正值α’記錄在記錄部21之後，以藉由振盪部17所被振盪的第3電力成為設定電力值的方式，藉由控制部18進行控制且輸出至超音波振動子13。
(8)藉由檢測部19來檢測由控制部18輸出至超音波振動子13的第4電力，藉由修正補正值α’來補正藉由該檢測部19所檢測到的第2檢測電力值，藉由運算部20來導出第3補正電力值。
(9)藉由運算部20將第3補正電力值與設定電力值相比較，若獲得第3補正電力值由設定電力值偏移一定值以上的比較結果時，將該比較結果輸出至18控制部。
(10)以藉由振盪部17所被振盪的第5電力成為設定電力值的方式，藉由控制部18，一面利用上述比較結果一面控制且輸出至超音波振動子13。其中，一定值亦可包含0。
(第2實施形態)
圖2係用以說明本發明之一態樣之超音波洗淨裝置之電力控制方法的概略圖。
該超音波洗淨裝置係具有第1~第3超音波洗淨裝置31~33、及電力計15。
第1超音波洗淨裝置31係具有：洗淨第1被洗淨物(被洗淨物1)11a的第1洗淨液12a；對第1洗淨液12a供予超音波的第1超音波振動子(負荷1)13a；及與第1超音波振動子13a作電性連接的第1振盪器(振盪器1)14a。第1振盪器14a係具有與圖1所示之振盪器14相同的構成。
第2超音波洗淨裝置32係具有：洗淨第2被洗淨物(被洗淨物2)11b的第2洗淨液12b；對第2洗淨液12b供予超音波的第2超音波振動子(負荷2)13b；及與第2超音波振動子13b作電性連接的第2振盪器(振盪器2)14b。第2振盪器14b係具有與圖1所示之振盪器14相同的構成。
第3超音波洗淨裝置33係具有：洗淨第3被洗淨物(被洗淨物3)11c的第3洗淨液12c；對第3洗淨液12c供予超音波的第3超音波振動子(負荷3)13c；及與第3超音波振動子13c作電性連接的第3振盪器(振盪器3)14c。第3振盪器14c係具有與圖1所示之振盪器14相同的構成。
電力計15係具有與圖1所示之電力計15相同的構成，而且與第1超音波振動子13a及第1振盪器14a各個的電性連接，亦與圖1相同。此外，關於第2超音波振動子13b及第2振盪器14b各個與電力計15的電性連接， 亦與圖1相同，關於第3超音波振動子13c及第3振盪器14c各個與電力計15的電性連接，亦與圖1相同。
對第1至第3超音波洗淨裝置31~33，若有一個電力計15即可，在第1至第3超音波洗淨裝置31~33各個中，可容易安裝、卸除電力計15。
接著，說明上述超音波洗淨裝置之電力控制方法。該電力控制係依以下(1)~(14)的順序進行。
(1)使第1超音波振動子13a及第1振盪器14a各個與電力計15作電性連接，藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，以第1電力成為第1設定電力值的方式，藉由控制部18進行控制且輸出至第1超音波振動子13a。
(2)將輸出至第1超音波振動子13a的第2電力，藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由檢測部19進行檢測，將該所檢測到的第1檢測電力值，藉由被記錄在記錄部21的補正值α進行補正，藉此藉由運算部20來導出第1補正電力值。
(3)將輸出至第1超音波振動子13a的第2電力，藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由電力計15進行測定，將該所測定到的第1測定電力值，藉由被記錄在記錄部21的補正值β進行補正，藉此藉由運算部20來導出第2補正電力值。
(4)藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由運算部20而將第2補正電力值與第1補正電力值相比較，若第1補正電力值由第2補正電力值偏移一定值以上 時，將以第1補正電力值成為第2補正電力值的方式將第1補正值修正後的修正補正值α’記錄在記錄部21。
(5)由第1超音波洗淨裝置31卸除電力計15，將該電力計15與第2超音波洗淨裝置32的第2超音波振動子13b及第2振盪器14b各個作電性連接。
(6)藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，以藉由振盪部17所被振盪的第3電力成為第2設定電力值的方式，藉由控制部18進行控制且輸出至第2超音波振動子13b。
(7)將輸出至第2超音波振動子13b的第4電力，藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由檢測部19進行檢測，將該所檢測出的第2檢測電力值，藉由被記錄在記錄部21的補正值α進行補正，藉此藉由運算部20來導出第3補正電力值。
(8)將輸出至第2超音波振動子13b的第4電力，藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由電力計15進行測定，將該所測定到的第2測定電力值，藉由被記錄在記錄部21的補正值β進行補正，藉此藉由運算部20來導出第4補正電力值。
(9)藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由運算部20而將第4補正電力值與第3補正電力值相比較，若第3補正電力值由第4補正電力值偏移一定值以上時，將以第3補正電力值成為第4補正電力值的方式修正第3補正值後的修正補正值α’記錄在記錄部21。
(10)由第2超音波洗淨裝置32卸下電力計15，使該電力計15與第3超音波洗淨裝置33的第3超音波振動子13c及第3振盪器14c各個作電性連接。
(11)藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，以藉由振盪部17所被振盪的第5電力成為第3設定電力值的方式藉由控制部18進行控制且輸出至第3超音波振動子13c。
(12)將輸出至第3超音波振動子13c的第6電力，藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由檢測部19進行檢測，將該所檢測到的第3檢測電力值藉由被記錄在記錄部21的補正值α進行補正，藉此藉由運算部20來導出第5補正電力值。
(13)將輸出至第3超音波振動子13c的第6電力，藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由電力計15進行測定，將該所測定到的第3測定電力值藉由被記錄在記錄部21的補正值β進行補正，藉此藉由運算部20來導出第6補正電力值。
(14)藉由與圖1所示之振盪器14相同的方法，藉由運算部20而將第6補正電力值與第5補正電力值相比較，若第5補正電力值由第6補正電力值偏移一定值以上時，將以第5補正電力值成為第6補正電力值的方式修正第5補正值後的修正補正值α’記錄在記錄部21。
藉由本實施形態，可得與第1實施形態相同的效果。
此外，藉由本實施形態，可藉由更換一個電力計15 的作業，藉由一個電力計15來進行第1~第3超音波洗淨裝置31~33各個的電力控制。結果，可將第1~第3超音波洗淨裝置31~33的電力控制以同一基準自動調整。
其中，在本實施形態中，係在具有第1~第3超音波洗淨裝置31~33的超音波洗淨裝置的電力控制方法適用本發明之一態樣，但是亦可在具有2個或4個以上的超音波洗淨裝置的超音波洗淨裝置的電力控制方法適用本發明之一態樣。
此外，在進行上述電力控制之前，較佳為先校正電力計15，以例如過去1年以內校正電力計15為佳。
(第3實施形態)
圖3係顯示本發明之一態樣之超音波洗淨裝置之構成的概略圖。
該超音波洗淨裝置係具有：第1~第3超音波洗淨裝置31~33、及自動切換電力計34。該自動切換電力計34係具有：電力計15、第1開關35、及第2開關36。電力計15係具有與圖1所示之電力計15相同的構成。
第1~第3超音波洗淨裝置31~33各個係具有與圖2所示之第1~第3超音波洗淨裝置31~33各個相同的構成。亦即，第1~第3被洗淨物11a~11c、第1~第3洗淨液12a~12c、第1~第3超音波振動子13a~13c、第1~第3振盪器14a~14c係與圖2所示者相同。
電力計15係測定被施加至第1超音波振動子(負荷 1)13a的電力、被施加至第2超音波振動子(負荷2)13b的電力、或第3超音波振動子(負荷3)13c者。
第1~第3超音波振動子13a~13c係透過第1開關35而與電力計15作電性連接。第1~第3振盪器(振盪器1、振盪器2、振盪器3)14a~14c係透過第2開關36而與電力計15作電性連接。
第1振盪器14a的運算部20係與第1振盪器14a的檢測部19、控制部18及記錄部21各個作電性連接，而且透過第2開關36而與電力計15作電性連接。
第1振盪器14a的運算部20係具有導出將藉由檢測部19所被檢測到的第1檢測電力值藉由補正值α進行補正後的第1補正電力值，且導出將藉由電力計15所被測定到的第1測定電力值藉由補正值β進行補正後的第2補正電力值，將第2補正電力值與第1補正電力值相比較，若第1補正電力值由第2補正電力值偏移一定值以上時，將以第1補正電力值成為第2補正電力值的方式修正補正值α後的修正補正值α’記錄在記錄部21的功能。
其中，與藉由第1振盪器14a的檢測部19所被檢測到的第1檢測電力值相對應的訊號A係被輸入至運算部20，第1補正電力值係藉由訊號A與補正值α的運算(積)予以導出。
此外，與藉由電力計15所被測定到的第1測定電力值相對應的訊號B係被輸入至運算部20，第2補正電力值係藉由訊號B與補正值β的運算(積)予以導出。
此外，修正補正值α’係以第1補正電力值與第2補正電力值相等的方式將補正值α進行修正者。
第2振盪器14b的運算部20係與第2振盪器14b的檢測部19、控制部18及記錄部21各個作電性連接，而且透過第2開關36而與電力計15作電性連接。
第2振盪器14b的運算部20係具有導出將藉由檢測部19所被檢測到的第3檢測電力值藉由補正值α進行補正後的第4補正電力值，且導出將藉由電力計15所被測定到的第2測定電力值藉由補正值β進行補正後的第5補正電力值，將第5補正電力值與第4補正電力值相比較，若第4補正電力值由第5補正電力值偏移一定值以上時，將以第4補正電力值成為第5補正電力值的方式將補正值α修正後的修正補正值α’記錄在記錄部21的功能。
其中，與藉由第2振盪器14b的檢測部19所被檢測到的第3檢測電力值相對應的訊號A係被輸入至運算部20，第4補正電力值係藉由訊號A與補正值α的運算(積)予以導出。
此外，與藉由電力計15所被測定到的第2測定電力值相對應的訊號B係被輸入至運算部20，第5補正電力值係藉由訊號B與補正值β的運算(積)予以導出。
此外，修正補正值α’係以第4補正電力值與第5補正電力值相等的方式將補正值α修正者。
第3振盪器14c的運算部20係與第3振盪器14c的檢測部19、控制部18及記錄部21各個作電性連接，而且 透過第2開關36而與電力計15作電性連接。
第3振盪器14c的運算部20係具有導出將藉由檢測部19所被檢測到的第5檢測電力值藉由補正值α進行補正後的第7補正電力值，且導出將藉由電力計15所被測定到的第3測定電力值藉由補正值β進行補正後的第8補正電力值，將第8補正電力值與第7補正電力值相比較，若第7補正電力值由第8補正電力值偏移一定值以上時，將以第7補正電力值成為第8補正電力值的方式將補正值α修正後的修正補正值α’記錄在記錄部21的功能。
其中，與藉由第3振盪器14c的檢測部19所被檢測出的第5檢測電力值相對應的訊號A係被輸入至運算部20，第7補正電力值係藉由訊號A與補正值α的運算(積)予以導出。
此外，與藉由電力計15所被測定到的第3測定電力值相對應的訊號B係被輸入至運算部20，第8補正電力值係藉由訊號B與補正值β的運算(積)予以導出。
此外，修正補正值α’係以第7補正電力值與第8補正電力值相等的方式修正補正值α者。
第1振盪器14a的運算部20係具有導出將藉由第1振盪器14a的檢測部19所被檢測到的第2檢測電力值藉由修正補正值α’進行補正後的第3補正電力值，將第3補正電力值與第1設定電力值相比較，若獲得第3補正電力值由第1設定電力值偏移一定值以上的第1比較結果時，係將第1比較結果輸出至控制部18的功能。其中， 與藉由第1振盪器14a的檢測部19所被檢測到的第2檢測電力值相對應的訊號A被輸入至運算部20，第3補正電力值係藉由訊號A與修正補正值α’的運算(積)予以導出。
第1振盪器14a的控制部18係以藉由第1振盪器14a的振盪部17所被振盪的第1電力成為第1設定電壓值的方式，一面利用第1比較結果一面控制而輸出至前述第1超音波振動子13a者。
第2振盪器14b的運算部20係具有導出將藉由第2振盪器14b的檢測部19所被檢測到的第4檢測電力值藉由修正補正值α’進行補正後的第6補正電力值，將第6補正電力值與第2設定電力值相比較，若獲得第6補正電力值由第2設定電力值偏移一定值以上的第2比較結果時，將第2比較結果輸出至控制部18的功能。其中，與藉由第2振盪器14b的檢測部19所被檢測到的第4檢測電力值相對應的訊號A係被輸入至運算部20，第6補正電力值係藉由訊號A與修正補正值α’的運算(積)予以導出。
第2振盪器14b的控制部18係以藉由第2振盪器14b的振盪部17所被振盪的第3電力成為第2設定電壓值的方式，一面利用第2比較結果一面控制而輸出至第2超音波振動子13b者。
第3振盪器14c的運算部20係具有導出將藉由第3振盪器14c的檢測部19所被檢測到的第6檢測電力值藉 由修正補正值α’進行補正後的第9補正電力值，將第9補正電力值與第3設定電力值相比較，若獲得第9補正電力值由第3設定電力值偏移一定值以上的第3比較結果時，將第3比較結果輸出至控制部18的功能。其中，與藉由第3振盪器14c的檢測部19所被檢測到的第6檢測電力值相對應的訊號A係被輸入至運算部20，第9補正電力值係藉由訊號A與修正補正值α’的運算(積)予以導出。
第3振盪器14c的控制部18係以藉由第3振盪器14c的振盪部17所被振盪的第3電力成為第3設定電壓值的方式，一面利用第3比較結果一面控制而輸出至第3超音波振動子13c者。
接著，說明上述超音波洗淨裝置之電力控制方法，但是僅針對與依第2實施形態之(1)~(14)的順序進行的電力控制方法不同的部分進行說明。
(1)以將第1超音波洗淨裝置31的第1超音波振動子13a及第1振盪器14a各個與電力計15作電性連接的方式切換第1及第2開關35、36。換言之，藉由第1開關35而使第1超音波振動子13a與電力計15作電性連接，而且藉由第2開關36而使電力計15與第1振盪器14a作電性連接。
(5)以將第2超音波洗淨裝置32的第2超音波振動子13b及第2振盪器14b各個與電力計15作電性連接的方式切換第1及第2開關35、36。換言之，藉由第1開關 35而使第2超音波振動子13b與電力計15作電性連接，而且藉由第2開關36而使電力計15與第2振盪器14b作電性連接。
(10)以將第3超音波洗淨裝置33的第3超音波振動子13c及第3振盪器14c各個與電力計15作電性連接的方式切換第1及第2開關35、36。換言之，藉由第1開關35而使第3超音波振動子13c與電力計15作電性連接，而且藉由第2開關36而使電力計15與第3振盪器14c作電性連接。
藉由本實施形態，可得與第2實施形態相同的效果。
此外，在本實施形態中，可將與電力計15的連接，以第1超音波洗淨裝置31至第3超音波洗淨裝置33的順序自動切換。
其中，在本實施形態中，係在具有第1~第3超音波洗淨裝置31~33的超音波洗淨裝置適用本發明之一態樣，但是亦可在具有2個或4個以上的超音波洗淨裝置的超音波洗淨裝置適用本發明之一態樣。
此外，在進行上述電力控制之前，較佳為先校正電力計15，以例如過去1年以內校正電力計15為佳。
9‧‧‧電源
10‧‧‧洗淨槽
11‧‧‧被處理物
11a‧‧‧第1被處理物(被處理物1)
11b‧‧‧第2被處理物(被處理物2)
11c‧‧‧第3被處理物(被處理物3)
12‧‧‧洗淨液
12a‧‧‧第1洗淨液
12b‧‧‧第2洗淨液
12c‧‧‧第3洗淨液
13‧‧‧負荷(超音波振動子)
13a‧‧‧負荷1(第1超音波振動子)
13b‧‧‧負荷2(第2超音波振動子)
13c‧‧‧負荷3(第3超音波振動子)
14‧‧‧振盪器
14a‧‧‧振盪器1(第1振盪器)
14b‧‧‧振盪器2(第2振盪器)
14c‧‧‧振盪器3(第3振盪器)
15‧‧‧電力計
16‧‧‧電源部
17‧‧‧振盪部
18‧‧‧控制部
19‧‧‧檢測部
20‧‧‧運算部
21‧‧‧記錄部
31‧‧‧第1超音波洗淨裝置
32‧‧‧第2超音波洗淨裝置
33‧‧‧第3超音波洗淨裝置
34‧‧‧自動切換電力計
35‧‧‧第1開關
36‧‧‧第2開關
圖1係顯示本發明之一態樣之超音波洗淨裝置之構成的概略圖。
圖2係用以說明本發明之一態樣之超音波洗淨裝置之 電力控制方法的概略圖。
圖3係顯示本發明之一態樣之超音波洗淨裝置之構成的概略圖。
9‧‧‧電源
10‧‧‧洗淨槽
11‧‧‧被處理物
12‧‧‧洗淨液
13‧‧‧負荷(超音波振動子)
14‧‧‧振盪器
15‧‧‧電力計
16‧‧‧電源部
17‧‧‧振盪部
18‧‧‧控制部
19‧‧‧檢測部
20‧‧‧運算部
21‧‧‧記錄部

Claims (12)

  1. 一種超音波洗淨裝置，其特徵為：具備有：洗淨液，其係洗淨被洗淨物；超音波振動子，其係對前述洗淨液供予超音波；振盪器，其係與前述超音波振動子作電性連接；及電力計，其係測定被施加至前述超音波振動子的電力，前述振盪器係具有：振盪部；控制部，其係以藉由前述振盪部所被振盪的第1電力成為設定電力值的方式進行控制且輸出至前述超音波振動子；檢測部，其檢測藉由前述控制部而被輸出至前述超音波振動子的第2電力；記錄部，其係記錄第1補正值及第2補正值；及運算部，其係與前述檢測部、前述控制部、前述記錄部及前述電力計各個作電性連接，前述運算部係具有導出將藉由前述檢測部所被檢測到的第1檢測電力值藉由前述第1補正值進行補正後的第1補正電力值，且導出將藉由前述電力計所被測定到的測定電力值藉由前述第2補正值進行補正後的第2補正電力值，將前述第2補正電力值與前述第1補正電力值相比較，若前述第1補正電力值由前述第2補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第1補正電力值成為前述第2補正 電力值的方式將前述第1補正值進行修正後的第1修正補正值記錄在前述記錄部的功能。
  2. 如申請專利範圍第1項之超音波洗淨裝置，其中，前述運算部係具有導出將藉由前述檢測部所被檢測到的第2檢測電力值藉由前述第1修正補正值進行補正後的第3補正電力值，將前述第3補正電力值與前述設定電力值相比較，若獲得前述第3補正電力值由前述設定電力值偏移一定值以上的比較結果時，將前述比較結果輸出至前述控制部的功能，前述控制部係以藉由前述振盪部所被振盪的前述第1電力成為前述設定電壓值的方式，一面利用前述比較結果一面控制且輸出至前述超音波振動子。
  3. 如申請專利範圍第2項之超音波洗淨裝置，其中，與藉由前述檢測部所被檢測到的前述第1檢測電力值相對應的第1訊號被輸入至前述運算部，前述第1補正電力值係藉由前述第1訊號與前述第1補正值的運算予以導出，與藉由前述電力計所被測定到的前述測定電力值相對應的第2訊號被輸入至前述運算部，前述第2補正電力值係藉由前述第2訊號與前述第2補正值的運算予以導出，前述第1修正補正值係以前述第1補正電力值與前述第2補正電力值相等的方式，將前述第1補正值進行修正者，與藉由前述檢測部所被檢測到的前述第2檢測電力值相對應的第3訊號被輸入至前述運算部，前述第3補正電 力值係藉由前述第3訊號與前述第1修正補正值的運算予以導出。
  4. 一種超音波洗淨裝置，其係具有第1超音波洗淨裝置、第2超音波洗淨裝置、及電力計的超音波洗淨裝置，其特徵為：前述第1超音波洗淨裝置係具有：第1洗淨液，其係洗淨第1被洗淨物；第1超音波振動子，其係對前述第1洗淨液供予超音波；及第1振盪器，其係與前述第1超音波振動子作電性連接，前述第2超音波洗淨裝置係具有：第2洗淨液，其係洗淨第2被洗淨物；第2超音波振動子，其係對前述第2洗淨液供予超音波；及第2振盪器，其係與前述第2超音波振動子作電性連接，前述電力計係將被施加至前述第1超音波振動子的電力或被施加至前述第2超音波振動子的電力進行測定者，前述第1超音波振動子及前述第2超音波振動子係透過第1開關而與前述電力計作電性連接，前述第1振盪器及前述第2振盪器係透過第2開關而與前述電力計作電性連接，前述第1振盪器係具有： 第1振盪部；第1控制部，其係以藉由前述第1振盪部所被振盪的第1電力成為第1設定電力值的方式進行控制且輸出至前述第1超音波振動子；第1檢測部，其係檢測藉由前述第1控制部而被輸出至前述第1超音波振動子的第2電力；第1記錄部，其係記錄第1補正值及第2補正值；及第1運算部，其係與前述第1檢測部、前述第1控制部及前述第1記錄部各個作電性連接，透過前述第2開關而與前述電力計作電性連接，前述第1運算部係具有導出將藉由前述第1檢測部所被檢測到的第1檢測電力值藉由前述第1補正值進行補正後的第1補正電力值，且導出將藉由前述電力計所被測定到的第1測定電力值藉由前述第2補正值進行補正後的第2補正電力值，將前述第2補正電力值與前述第1補正電力值相比較，若前述第1補正電力值由前述第2補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第1補正電力值成為前述第2補正電力值的方式將前述第1補正值修正後的第1修正補正值記錄在前述第1記錄部的功能，前述第2振盪器係具有：第2振盪部；第2控制部，其係以藉由前述第2振盪部所被振盪的第3電力成為第2設定電力值的方式進行控制且輸出至前述第2超音波振動子； 第2檢測部，其係檢測藉由前述第2控制部而被輸出至前述第2超音波振動子的第4電力；第2記錄部，其係記錄第3補正值及第4補正值；及第2運算部，其係與前述第2檢測部、前述第2控制部及前述第2記錄部各個作電性連接，透過前述第2開關而與前述電力計作電性連接，前述第2運算部係具有導出將藉由前述第2檢測部所被檢測到的第3檢測電力值藉由前述第3補正值進行補正後的第4補正電力值，且導出將藉由前述電力計所被測定到的第2測定電力值藉由前述第4補正值進行補正後的第5補正電力值，將前述第5補正電力值與前述第4補正電力值相比較，若前述第4補正電力值由前述第5補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第4補正電力值成為前述第5補正電力值的方式將前述第3補正值進行修正後的第2修正補正值記錄在前述第2記錄部的功能。
  5. 如申請專利範圍第4項之超音波洗淨裝置，其中，前述第1運算部係具有導出將藉由前述第1檢測部所被檢測到的第2檢測電力值藉由前述第1修正補正值進行補正後的第3補正電力值，將前述第3補正電力值與前述第1設定電力值相比較，若獲得前述第3補正電力值由前述第1設定電力值偏移一定值以上的第1比較結果時，將前述第1比較結果輸出至前述第1控制部的功能，前述第1控制部係以藉由前述第1振盪部所被振盪的前述第1電力成為前述第1設定電壓值的方式一面利用前 述第1比較結果一面控制且輸出至前述第1超音波振動子者，前述第2運算部係具有導出將藉由前述第2檢測部所被檢測到的第4檢測電力值藉由前述第2修正補正值進行補正後的第6補正電力值，將前述第6補正電力值與前述第2設定電力值相比較，若獲得前述第6補正電力值由前述第2設定電力值偏移一定值以上的第2比較結果時，將前述第2比較結果輸出至前述第2控制部的功能，前述第2控制部係以藉由前述第2振盪部所被振盪的前述第3電力成為前述第2設定電壓值的方式，一面利用前述第2比較結果一面進行控制且輸出至前述第2超音波振動子者。
  6. 如申請專利範圍第5項之超音波洗淨裝置，其中，與藉由前述第1檢測部所被檢測到的前述第1檢測電力值相對應的第1訊號被輸入至前述第1運算部，前述第1補正電力值係藉由前述第1訊號與前述第1補正值的運算予以導出，與藉由前述電力計所被測定到的前述第1測定電力值相對應的第2訊號被輸入至前述第1運算部，前述第2補正電力值係藉由前述第2訊號與前述第2補正值的運算予以導出，前述第1修正補正值係以前述第1補正電力值與前述第2補正電力值相等的方式將前述第1補正值進行修正者， 與藉由前述第1檢測部所被檢測到的前述第2檢測電力值相對應的第3訊號被輸入至前述第1運算部，前述第3補正電力值係藉由前述第3訊號與前述第1修正補正值的運算予以導出，與藉由前述第2檢測部所被檢測到的前述第3檢測電力值相對應的第4訊號被輸入至前述第2運算部，前述第4補正電力值係藉由前述第4訊號與前述第3補正值的運算予以導出，與藉由前述電力計所被測定到的前述第2測定電力值相對應的第5訊號被輸入至前述第2運算部，前述第5補正電力值係藉由前述第5訊號與前述第4補正值的運算予以導出，前述第2修正補正值係以前述第4補正電力值與前述第5補正電力值相等的方式將前述第3補正值進行修正者，與藉由前述第2檢測部所被檢測到的前述第4檢測電力值相對應的第6訊號被輸入至前述第2運算部，前述第6補正電力值係藉由前述第6訊號與前述第2修正補正值的運算予以導出者。
  7. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項之超音波洗淨裝置，其中，前述電力計係經校正者。
  8. 一種超音波洗淨裝置之電力控制方法，其特徵為：前述超音波洗淨裝置係具有：洗淨液，其係洗淨被洗淨物； 超音波振動子，其係對前述洗淨液供予超音波；振盪器，其係與前述超音波振動子作電性連接；及電力計，其係與前述振盪器及前述超音波振動子作電性連接，前述振盪器係具有：振盪部；控制部，其係與前述振盪部作電性連接；檢測部，其係與前述控制部作電性連接；運算部，其係與前述檢測部及前述控制部各個作電性連接；及記錄部，其係與前述運算部作電性連接，前述電力控制方法係以藉由前述振盪部所被振盪的第1電力成為設定電力值的方式藉由前述控制部進行控制且輸出至前述超音波振動子，將輸出至前述超音波振動子的第2電力藉由前述檢測部進行檢測，將藉由前述檢測部所檢測到的第1檢測電力值藉由被記錄在前述記錄部的第1補正值進行補正，藉此藉由前述運算部來導出第1補正電力值，將輸出至前述超音波振動子的前述第2電力藉由前述電力計進行測定，將藉由前述電力計所測定到的第1測定電力值藉由被記錄在前述記錄部的第2補正值進行補正，藉此藉由前述運算部來導出第2補正電力值， 藉由前述運算部，將前述第2補正電力值與前述第1補正電力值相比較，若前述第1補正電力值由前述第2補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第1補正電力值成為前述第2補正電力值的方式將前述第1補正值進行修正後的第1修正補正值記錄在前述記錄部。
  9. 如申請專利範圍第8項之超音波洗淨裝置之電力控制方法，其中，在將前述第1修正補正值記錄在前述記錄部之後，以藉由前述振盪部所被振盪的第3電力成為前述設定電力值的方式，藉由前述控制部進行控制且輸出至前述超音波振動子，將輸出至前述超音波振動子的第4電力藉由前述檢測部進行檢測，將藉由前述檢測部所檢測到的第2檢測電力值藉由前述第1修正補正值進行補正，藉此藉由前述運算部來導出第3補正電力值，藉由前述運算部，將前述第3補正電力值與前述設定電力值相比較，若獲得前述第3補正電力值由前述設定電力值偏移一定值以上的比較結果時，係將前述比較結果輸出至前述控制部，以藉由前述振盪部所被振盪的第5電力成為前述設定電力值的方式，藉由前述控制部一面利用前述比較結果一面進行控制且輸出至前述超音波振動子。
  10. 一種超音波洗淨裝置之電力控制方法，其特徵 為：前述超音波洗淨裝置係具有：第1超音波洗淨裝置、第2超音波洗淨裝置、及電力計，前述第1超音波洗淨裝置係具有：第1洗淨液，其係洗淨第1被洗淨物；第1超音波振動子，其係對前述第1洗淨液供予超音波；及第1振盪器，其係與前述第1超音波振動子作電性連接，前述第1振盪器係具有：第1振盪部；第1控制部，其係與前述第1振盪部作電性連接；第1檢測部，其係與前述第1控制部作電性連接；第1運算部，其係與前述第1檢測部及前述第1控制部各個作電性連接；及第1記錄部，其係與前述第1運算部作電性連接，前述第2超音波洗淨裝置係具有：第2洗淨液，其係洗淨第2被洗淨物；第2超音波振動子，其係對前述第2洗淨液供予超音波；及第2振盪器，其係與前述第2超音波振動子作電性連接，前述第2振盪器係具有：第2振盪部； 第2控制部，其係與前述第2振盪部作電性連接；第2檢測部，其係與前述第2控制部作電性連接；第2運算部，其係與前述第2檢測部及前述第2控制部各個作電性連接；及第2記錄部，其係與前述第2運算部作電性連接，前述電力控制方法係使前述第1超音波振動子及前述第1振盪器各個與前述電力計作電性連接，以藉由前述第1振盪部所被振盪的第1電力成為第1設定電力值的方式，藉由前述第1控制部進行控制且輸出至前述第1超音波振動子，將輸出至前述第1超音波振動子的第2電力藉由前述第1檢測部進行檢測，將藉由前述第1檢測部所檢測到的第1檢測電力值藉由被記錄在前述第1記錄部的第1補正值進行補正，藉此藉由前述第1運算部來導出第1補正電力值，將輸出至前述第1超音波振動子的前述第2電力藉由前述電力計進行測定，將藉由前述電力計所測定到的第1測定電力值藉由被記錄在前述第1記錄部的第2補正值進行補正，藉此藉由前述第1運算部來導出第2補正電力值，藉由前述第1運算部，將前述第2補正電力值與前述第1補正電力值相比較，若前述第1補正電力值由前述第2補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第1補正電力值成為前述第2補正電力值的方式將前述第1補正值進行 修正後的第1修正補正值記錄在前述第1記錄部，使前述第2超音波振動子及前述第2振盪器各個與前述電力計作電性連接，以藉由前述第2振盪部所被振盪的第3電力成為第2設定電力值的方式藉由前述第2控制部進行控制且輸出至前述第2超音波振動子，將輸出至前述第2超音波振動子的第4電力藉由前述第2檢測部進行檢測，將藉由前述第2檢測部所檢測到的第2檢測電力值藉由被記錄在前述第2記錄部的第3補正值進行補正，藉此藉由前述第2運算部來導出第3補正電力值，將輸出至前述第2超音波振動子的前述第4電力藉由前述電力計進行測定，將藉由前述電力計所測定到的第2測定電力值藉由被記錄在前述第2記錄部的第4補正值進行補正，藉此藉由前述第2運算部來導出第4補正電力值，藉由前述第2運算部，將前述第4補正電力值與前述第3補正電力值相比較，若前述第3補正電力值由前述第4補正電力值偏移一定值以上時，將以前述第3補正電力值成為前述第4補正電力值的方式將前述第3補正值進行修正後的第2修正補正值記錄在前述第2記錄部。
  11. 如申請專利範圍第10項之超音波洗淨裝置之電力控制方法，其中，使前述第1超音波振動子及前述第1振盪器各個與前述電力計作電性連接係藉由第1開關而使前 述第1超音波振動子與前述電力計作電性連接，而且藉由第2開關而使前述電力計與前述第1振盪器作電性連接，使前述第2超音波振動子及前述第2振盪器各個與前述電力計作電性連接係藉由前述第1開關而使前述第2超音波振動子與前述電力計作電性連接，而且藉由前述第2開關而使前述電力計與前述第2振盪器作電性連接。
  12. 如申請專利範圍第8項至第11項中任一項之超音波洗淨裝置之電力控制方法，其中，在進行前述電力控制之前，校正前述電力計。
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