JP5225766B2 - 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 - Google Patents
異方導電性接着シート及び微細接続構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5225766B2 JP5225766B2 JP2008165281A JP2008165281A JP5225766B2 JP 5225766 B2 JP5225766 B2 JP 5225766B2 JP 2008165281 A JP2008165281 A JP 2008165281A JP 2008165281 A JP2008165281 A JP 2008165281A JP 5225766 B2 JP5225766 B2 JP 5225766B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- adhesive sheet
- resin
- connection terminal
- conductive particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims description 99
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims description 99
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 311
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 74
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 74
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 37
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 29
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 49
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 32
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 16
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 15
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 14
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 12
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002585 base Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 9
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 8
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 7
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 5
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 5
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 239000002516 radical scavenger Substances 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 3
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- IVJISJACKSSFGE-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;1,3,5-triazine-2,4,6-triamine Chemical compound O=C.NC1=NC(N)=NC(N)=N1 IVJISJACKSSFGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 3
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N alumane;titanium Chemical compound [AlH3].[Ti] UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYFLWBNQFMXCPA-UHFFFAOYSA-N 1-ethyl-2-methylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1C HYFLWBNQFMXCPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEXHLHNCJVXPNU-UHFFFAOYSA-N 2-(trimethoxysilylmethyl)butane-1,4-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CC(CN)CCN HEXHLHNCJVXPNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVACOMKKELLCHJ-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropylurea Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC(N)=O LVACOMKKELLCHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTXXTMOWISPQSJ-UHFFFAOYSA-N 4,4,4-trifluorobutan-2-one Chemical compound CC(=O)CC(F)(F)F BTXXTMOWISPQSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQACOLQNOUYJCE-FYZZASKESA-N Abietic acid Natural products CC(C)C1=CC2=CC[C@]3(C)[C@](C)(CCC[C@@]3(C)C(=O)O)[C@H]2CC1 BQACOLQNOUYJCE-FYZZASKESA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GANNOFFDYMSBSZ-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[Mg] Chemical class [AlH3].[Mg] GANNOFFDYMSBSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WIBOKTQZOPHFAJ-UHFFFAOYSA-N [Zr].[Bi] Chemical class [Zr].[Bi] WIBOKTQZOPHFAJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEEDYJQEMCKDDX-UHFFFAOYSA-N antimony bismuth Chemical class [Sb].[Bi] PEEDYJQEMCKDDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- ZTXONRUJVYXVTJ-UHFFFAOYSA-N chromium copper Chemical compound [Cr][Cu][Cr] ZTXONRUJVYXVTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVGIAPSCKHLYEF-UHFFFAOYSA-N chromium;indium;oxotin Chemical compound [Cr].[In].[Sn]=O KVGIAPSCKHLYEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical group C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical class C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009998 heat setting Methods 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000003094 microcapsule Substances 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 229920006173 natural rubber latex Polymers 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013464 silicone adhesive Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229920006174 synthetic rubber latex Polymers 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1CO1 JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003755 zirconium compounds Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Description
本発明の三は、本発明の一の異方導電性接着シートにより電子回路部品と回路基板とを接続することを特徴とする回路端子の接続構造である。
本発明の四は、本発明の一の異方導電性接着シートにより接続された電子回路部品と回路基板を含むことを特徴とする微細接続構造体である。
導電性粒子としては、貴金属被覆された樹脂粒子、貴金属被覆された金属粒子、金属粒子、貴金属被覆された合金粒子、及び合金粒子の中から選ばれた一種以上を用いることが好ましい。
貴金属被覆された樹脂粒子としては、ポリスチレン、ベンゾグアナミン、ポリメチルメタアクリレート等の球状粒子にニッケル、および金をこの順に被覆したものを用いることが好ましい。
接続するバンプ硬度がビッカース硬度で50Hv未満である場合は、ポリメタアクリレート樹脂等の柔軟な樹脂粒子を用いることが好ましい。また、バンプ硬度が50Hv以上である場合は、ベンゾグアナミン樹脂等の硬質樹脂粒子を用いることが好ましい。
合金粒子としては、例えば、金、銀、銅、ニッケル、錫、亜鉛、ビスマス、インジウム等から選ばれた2種以上からなる合金粒子が好ましい。融点が150℃以上500℃以下の合金粒子を用いる場合は、予め粒子表面にフラックス等を被覆しておくことが好ましい。いわゆるフラックスを用いることにより、表面の酸化物等を取り除くことができ好ましい。フラックスとしては、アビエチン酸等の脂肪酸等を用いることができる。
導電性粒子の平均粒径は2〜8μmであることが好ましく、2〜6μmであることがより好ましく、3〜5μmであることが更に好ましい。絶縁性の観点から8μm以下が好ましく、接続端子等の高さバラツキ等の影響を受けにくく、また、電気的接続性の観点から2μm以上が好ましい。
本発明の異方導電性接着シートは、導電性接着シートの片側表面から厚み方向に沿って導電性粒子の平均粒径の1.5倍以内、より好ましくは1.2倍以内の領域中に第一の層が存在している。
予め絶縁粒子、導電性粒子を含む層を形成し、導電性粒子、絶縁粒子を含まない接着層と積層する方法で作製する場合は、絶縁粒子、導電性粒子を含む層をその表面より、レーザー顕微鏡で観察し、絶縁粒子、導電性粒子それぞれの存在する領域を測定することができる。
第一の樹脂組成物1の溶融粘度は、接続時に絶縁粒子の移動が起こり難いという観点から1,500Pa・s以上であることが好ましく、接続性の観点から20,000Pa・s以下であることが好ましい。
本発明における「近接する導電性粒子」とは次のように定義されるものである。
すなわち、任意の導電性粒子を選定し、該導電性粒子に最も近い6個の導電性粒子を言い、この場合、近接する導電性粒子との平均粒子間隔は以下のようにして求める。
絶縁粒子個数の50%以上が他の絶縁粒子と接触せずに存在していることが好ましく、より好ましくは、70%以上、更に好ましくは90%以上が他の絶縁粒子と接触せずに存在していることが好ましい。基材との密着性の観点及び電気的接続性の観点から50%以上が他の絶縁粒子と接触せずに存在していることが好ましい。
異方導電性接着シートにおいて、該異方導電性接着シートの厚み方向に対して、導電性粒子の存在している位置は、焦点方向の変位を測定できるレーザー顕微鏡により測定することができる。またこのとき同時に、導電性粒子が他の導電性粒子と接触せずに存在している個数を測定することもできる。前記レーザー顕微鏡を用いて焦点方向の変位を測定する場合、その変位測定分解能は0.1μm以下であることが好ましく、0.001μm以下であることが特に好ましい。
該カップリング剤の配合量は硬化剤および硬化性の絶縁性樹脂を合わせた成分100質量部に対して、0.01質量部から1質量部が好ましい。密着性向上の観点から0.01質量部以上が好ましく、信頼性の観点から1質量部以下が好ましい。
イオン捕捉剤の配合量としては、樹脂成分100質量部に対して0.01質量部から3質量部であることが好ましい。配合量が0.01質量部未満の場合は、イオン捕捉効果が不充分であり、電気的接続の観点から3質量部以下が好ましい。
異方導電性接着シートの製造方法としては、予め分散配列した導電性粒子を、その平均粒径より薄く、絶縁粒子を分散した絶縁層および、少なくとも硬化性樹脂、硬化剤を含む接着層に積層することが好ましい。
同時2軸連続延伸装置としては、公知のものを使用することができるが、長辺側をチャック金具で固定し、それらの間隔を縦横同時に延伸することにより連続延伸するテンター型延伸機が好ましい。延伸度を調整する方式としては、スクリュー方式、パンタグラフ方式を用いることが可能だが、調整の精度の観点から、パンタグラフ方式がより好ましい。加熱しながら延伸する場合は、延伸部分の手前に予熱ゾーンを設けて、延伸部分の後方に熱固定ゾーンを設けることが好ましい。
好ましくは、2軸延伸可能なフィルムは長尺のフィルムであり、接着シートも長尺の接着シートである。本願において長尺とは長さが10m以上であることを指す。長尺の接着シートを用いれば連続して接続構造体を生産でき効率がよい。
接着シートは硬化剤及び硬化性の絶縁性樹脂を含んでなる接着層であり、この接着シートは通常は剥離可能なベースフィルム(保持フィルム)上に形成される。このため、得られる異方導電性接着シートは、通常は剥離可能なベースフィルム上に形成される。また、ゴミ等の付着防止のためカバーフィルムを形成することも可能である。
本願明細書では、この異方導電性接着シートとベースフィルム、カバーフィルムとの積層体を異方導電性接着シートと言うことがある。但し、異方導電性接着シートの厚みを規定する数値に関してはベースフィルムの厚みを除いた値をいう。
2軸延伸後のフィルムの膜厚は、転写する接着性シート及び接着性シートのベースフィルムの膜厚を合計した厚みの1/10から1倍であることが好ましく、1/5から1/2であることが特に好ましい。延伸後のフィルムのハンドリング性の観点から、1/10以上であることが好ましく、延伸後の接着性シートへの転写の観点から1倍以下であることが好ましい。
該電子回路部品とそれに対応する回路を有する回路基板とは、本発明の異方導電性接着シートを用いて電気的に接続される。
本発明の微細接続構成体を構成する回路基板の材質は、有機基板でも無機基板でも、差し支えない。有機基板としては、ポリイミドフィルム基板、ポリアミドフィルム基板、ポリエーテルスルホンフィルム基板、エポキシ樹脂をガラスクロスに含浸させたリジッド基板、ビスマレイミド−トリアジン樹脂をガラスクロスに含浸させたリジッド基板等を用いることができる。無機基板としては、シリコン基板、ガラス基板、アルミナ基板、窒化アルミ基板等を用いることができる。
まず、実施例及び比較例で用いた樹脂組成物の溶融粘度の測定方法について述べる。
(溶融粘度測定方法)
E型粘度計(HAAKE社製、RHeoStress600、20mm径のコーン使用)を用いて測定した。
フェノキシ樹脂(ガラス転移温度84℃、数平均分子量9500)90g、絶縁樹脂としてビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(エポキシ当量190、25℃粘度、14000mPa・s)10g、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.25g、メラミンホルムアルデヒド縮合物(略球状微粒子、平均粒径2μm、比重1.5g/cm3)18.9g、からなる組成物に酢酸エチル300gを混合し、絶縁粒子層用ワニスを得た。上記組成物がら絶縁粒子を除いた組成物を厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布し、60℃、15分間送風乾燥し、膜厚18μmのシートを得た。
このシートの180℃溶融粘度を測定したところ、2000Pa・sであった。この溶融粘度が第一の樹脂組成物から導電性粒子、絶縁性粒子を除いた樹脂組成物の粘度に相当する。
この操作を2回繰り返すことにより、隙間無く単層塗布した導電性粒子付着フィルムを得た。この異方導電性接着シート上に前記絶縁粒子層用ワニスを塗布し、70℃、20分間乾燥し、厚さ10μmの絶縁粒子層を形成し、延伸用フィルムを作製した。
走査型電子顕微鏡(日立製作所製、S―4700)を用いて延伸シートCの断面観察したところ、絶縁粒子層の厚みは2.1μmであり、導電性粒子の突出頭頂部は、厚み0.9μmの樹脂で覆われていた。延伸シートの表面より、レーザー顕微鏡を用いて、100μm×100μmの範囲を観察したところ、導電性粒子頭頂部にある絶縁粒子は、0個であった。100μm×100μmの範囲内の絶縁粒子個数は、591個であった。同様にして計測した導電性粒子個数は、128個であり、絶縁粒子数は、導電性粒子数の4.6倍であった。絶縁粒子が他の絶縁粒子と接触せずに存在している割合は、64%であった。
また、異方導電性接着シートの断面を走査型電子顕微鏡観察し、長さ100μmの範囲において、絶縁粒子存在領域を計測した。それら10箇所の平均を求めたところ、2.4μmであった。
絶縁粒子層用ワニスより絶縁粒子を除いたこと以外は、実施例1と同様にして、延伸シートDを得た。延伸シートの樹脂層の厚みは2.2μmであり、導電性粒子の突出頭頂部の厚みは0.8μmの樹脂で覆われていた。また、メラミンホルムアルデヒド縮合物(略球状微粒子、平均粒径2μm、比重1.5g/cm3)を18.8g分散混合する以外は、実施例1と同様にして接着シートEを得た。延伸シートD、接着シートEを用いる以外は、実施例1と同様にして異方導電性接着シートを得た。該異方導電性接着シート断面を走査型電子顕微鏡観察し、を計測したところ、18μmであった。
絶縁粒子層を形成しないこと以外は、実施例1と同様にして延伸シートFを得た。延伸シートF上にメラミンホルムアルデヒド縮合物(略球状微粒子、平均粒径0.35μm、比重1.5g/cm3)を散布し、その後接着シートAを積層し、55℃、0.3MPaの条件でラミネートした。その後、ポリプロピレンフィルムおよび粘着剤を剥離し、異方導電性接着シートを得た。該異方導電性接着シートの裏面よりレーザー顕微鏡観察し、絶縁粒子個数を測定したところ、1651個であった。また、異方導電性接着フィルムの断面を走査型電子顕微鏡観察し、絶縁粒子の存在領域を計測したところ、0.38μmであった。
得られた異方導電性接着シートは、本発明における第二の層に相当するものを欠くシートである。
縦横が1.6mm×15.1mmのシリコン片(厚み0.5mm)全面に酸化膜を形成後、外辺部から40μm内側に横74.5μm、縦120μmのアルミ薄膜(1000A)をそれぞれが0.1μm間隔になるように長辺側に各々175個、短辺側に各々16個形成する。それらアルミ薄膜上に15μm間隔になるように横25μm、縦100μmの金バンプ(厚み15μm)をそれぞれ2個ずつ形成するために、それぞれの金バンプ配置個所の外周部から7.5μm内側に横10μm、縦85μmの開口部を残す以外の部分にポリイミドの保護膜を常法により前記開口部以外の全面に形成する。その後、前記金バンプを形成し、試験チップとする。
厚み0.7mmの無アルカリガラス上に前記アルミ薄膜上の2個の金バンプがそれぞれ接続されるような位置関係にタンタル薄膜(0.8μm)ついでインジウム錫酸化物膜(1400A)の接続パッド(横65μm、縦120μm)を形成する。前記接続パッドを1個おきに5個接続できるようにインジウム錫酸化物薄膜の接続配線を形成し、さらにそれらと対になり、櫛型パターンを形成するように1個おきに5個接続できるようにインジウム錫酸化物薄膜の接続配線を形成する。それぞれの接続配線にインジウム錫酸化物薄膜(1400Å)の引き出し配線を形成し、引き出し配線上にアルミチタン薄膜(チタン1%、3000Å)を形成して、絶縁性評価基板とする。前記絶縁性評価基板上に、前記接続パッドがすべて覆われるように、幅2mm、長さ17mmの異方導電性接着シートを仮張りし、2.5mm幅の圧着ヘッドを用いて、80℃、0.3MPa、3秒間加圧した後、ポリエチレンテレフタレートのベースフィルムを剥離する。そこへ、前記接続パッドと金バンプの位置を隣接バンプ方向に15μmがずれる位置に試験チップを載せ、200℃、10秒間、30kg/cm2加圧圧着し、絶縁抵抗試験基板とする。
以上の結果を表1に示す。表1から明らかなように、本発明の異方導電性接着シートは、非常に優れた絶縁信頼性を示す。
2 絶縁粒子
3 貴金属被覆
4 樹脂粒子
5 絶縁粒子存在領域(第一の層)
6 導電性粒子
7 ベースフィルム
Claims (6)
- 少なくとも導電性粒子、絶縁粒子及び絶縁樹脂を含む第一の樹脂組成物からなる第一の層と、少なくとも硬化剤、硬化性の絶縁樹脂、を含む第二の樹脂組成物からなる第二の層とを含んでなる異方導電性接着シートであって、該第一の層が、片側表面から厚み方向に沿って導電性粒子の平均粒径の1.5倍以内の領域中に存在し、該第一の層の最も薄い部分の厚さが、導電性粒子の平均粒子径より小さく、第一の樹脂組成物の180℃における溶融粘度が、第二の樹脂組成物の180℃における溶融粘度より高く、第一の樹脂組成物の180℃における溶融粘度が、1,500Pa・sから20,000Pa・sの範囲にあり、第二の樹脂組成物の180℃における溶融粘度の30倍〜150倍の範囲にあり、導電性粒子の平均粒径が2〜8μmであり、近接する導電性粒子同士の平均粒子間隔が20μm以下であり、異方導電性接着シートの厚みが該平均粒子間隔の1.5倍以上40μm以下であり、絶縁粒子の平均粒径が導電性粒子の平均粒径の0.1倍以上0.7倍以下であり、絶縁粒子個数の50%以上が他の絶縁粒子と接触せずに存在していることを特徴とする異方導電性接着シート。
- 絶縁粒子個数が導電性粒子個数の2倍から200倍の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の異方導電性接着シート。
- 導電性粒子の90%以上が他の導電性粒子と接触せずに存在していることを特徴とする請求項1又は2に記載の異方導電性接着シート。
- 第一の接続端子を有する第一の回路部材と、第二の接続端子を有する第二の回路部材とを、第一の接続端子と第二の接続端子を対向して配置し、前記対向配置した第一の接続端子と第二の接続端子の間に請求項1〜3のいずれかに記載の異方導電性接着シートを介在させ、加熱加圧して前記対向配置した第一の接続端子と第二の接続端子を電気的に接続させることを特徴とする回路端子の接続方法 。
- 第一の接続端子を有する第一の回路部材と、第二の接続端子を有する第二の回路部材とが、第一の接続端子と第二の接続端子を対向して配置されており、前記対向配置した第一の接続端子と第二の接続端子の間に請求項1〜3のいずれかに記載の異方導電性接着シートが介在されており、前記対向配置した第一の接続端子と第二の接続端子が電気的に接続されている回路端子の接続構造。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の異方導電性接着シートにより接続された電子回路部品と回路基板を含むことを特徴とする微細接続構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008165281A JP5225766B2 (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008165281A JP5225766B2 (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010009804A JP2010009804A (ja) | 2010-01-14 |
JP5225766B2 true JP5225766B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=41590057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008165281A Active JP5225766B2 (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5225766B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5512306B2 (ja) * | 2010-01-29 | 2014-06-04 | 日本化学工業株式会社 | 導電性粒子の製造方法 |
JP2014017364A (ja) * | 2012-07-09 | 2014-01-30 | Panasonic Corp | 部品実装基板の製造システム、および製造方法 |
KR20210082571A (ko) | 2012-08-29 | 2021-07-05 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 이방성 도전 필름 및 그 제조 방법 |
JP2015079586A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | デクセリアルズ株式会社 | 異方性導電フィルム |
WO2017051872A1 (ja) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 積水化学工業株式会社 | 接続構造体の製造方法、導電性粒子、導電フィルム及び接続構造体 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0618082B2 (ja) * | 1985-09-30 | 1994-03-09 | 富士ゼロックス株式会社 | 電気接続用異方導電材料 |
US5240761A (en) * | 1988-08-29 | 1993-08-31 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Electrically conductive adhesive tape |
JP2895872B2 (ja) * | 1989-09-26 | 1999-05-24 | 触媒化成工業株式会社 | 異方導電性材料、異方導電性接着剤およびその異方導電性接着剤を使用した電極間を電気的に接続する方法並びにその方法により形成される電気回路基板 |
JP3165477B2 (ja) * | 1991-09-11 | 2001-05-14 | 昭和電工株式会社 | 回路接続方法 |
JPH0645024A (ja) * | 1992-07-22 | 1994-02-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電性接着フィルム |
JP3103956B2 (ja) * | 1993-06-03 | 2000-10-30 | ソニーケミカル株式会社 | 異方性導電膜 |
JP2003049152A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路接続用接着剤及びそれを用いた接続方法、接続構造体 |
JP4993877B2 (ja) * | 2005-06-03 | 2012-08-08 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 |
JP2007217503A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 異方導電性接着フィルム |
KR101240155B1 (ko) * | 2006-04-27 | 2013-03-11 | 아사히 가세이 일렉트로닉스 가부시끼가이샤 | 도전 입자 배치 시트 및 이방성 도전 필름 |
-
2008
- 2008-06-25 JP JP2008165281A patent/JP5225766B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010009804A (ja) | 2010-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4993880B2 (ja) | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 | |
JP4822322B2 (ja) | 異方導電性接着シートの製造方法 | |
JP4890053B2 (ja) | 微細回路検査用異方導電性フィルム | |
WO2013089199A1 (ja) | 異方導電性フィルム付き半導体チップ、異方導電性フィルム付き半導体ウェハ、及び半導体装置 | |
JP2010199087A (ja) | 異方性導電膜及びその製造方法、並びに、接合体及びその製造方法 | |
JP2011192651A (ja) | 異方性導電フィルム、接続方法及び接続構造体 | |
JP5225766B2 (ja) | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 | |
JP5152815B2 (ja) | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 | |
JP2007224111A (ja) | 異方導電性接着シート及びその製造方法 | |
JP4993877B2 (ja) | 異方導電性接着シート及び微細接続構造体 | |
JP4994653B2 (ja) | 異方導電性接着シート | |
TWI615072B (zh) | 各向異性導電薄膜、其連接方法及其接合體 | |
JP5445558B2 (ja) | 異方導電性接着シート及び接続方法 | |
JP4766943B2 (ja) | 回路接着シートとその製造方法、及び、微細接続構造体とその接続方法 | |
JP4958417B2 (ja) | 導電性粒子転写シート及び接続構造体 | |
JP4925405B2 (ja) | 接続構造体の製造方法 | |
JP2007224112A (ja) | 異方導電性接着シート及びその製造方法 | |
JP5370694B2 (ja) | 接続構造体 | |
JP2008124029A (ja) | 接続部材 | |
JP2014062257A (ja) | 異方導電性接着シート及び接続方法 | |
JP5164257B2 (ja) | 接続構造体の製造方法 | |
JP2013045737A (ja) | 異方導電性フィルム、接続構造体、及び接続構造体の製造方法 | |
JP2008153207A (ja) | リペア性の付与方法及び接続部材 | |
JP2008153206A (ja) | 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造 | |
JP2008112731A (ja) | 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110614 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130313 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5225766 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |