JP5223197B2 - パターン測定方法及び、フォトマスクの検査方法 - Google Patents
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Description
一方、特許文献3では、測定パターンの同一寸法の複数の領域がそれぞれ一対の同開口率の前記周辺パターンに挟まれ、前記複数の領域のうち前記測定パターンの一の領域を挟む前記周辺パターンの開口率と前記測定パターンの他の領域を挟む前記周辺パターンの開口率とが異なるマスクが開示されている。しかし、これは、SEMのチャージを見極めるものであって、フォトマスク形成用の補正とは異なる。
また、本発明の別の課題は、このパターン測定方法を用いるフォトマスクの検査方法を提供することにある。
本発明は、電子線描画装置でフォトマスクに形成したパターンを測定するパターン測定方法に関する。図1は、本発明の実施形態に適用する電子線描画装置の構成を示す概略図である。図1に示すように、電子線描画装置(EB描画装置)20は、電子ビーム源211、集束レンズ212、偏向レンズ213等を備える画像形成部21と電子ビーム216をコンピュータ等で制御する制御部22とから主に構成されている。画像形成部21は、内部にサンプル214を載置する試料台215を有し、真空ポンプ等に接続されていて、画像形成部21全体を減圧雰囲気にすることができる。
図2は、フォトマスクを製造する工程を示す概略図である。
図2に示すように、フォトマスク30として、電子ビームに対して透明なガラス基板31の表面に金属から成る遮光膜32を形成したフォトレジスト33を用いた(図2(1))。なお、本発明は、このような構成のフォトマスク30に限定するものではない。
そして、遮光膜32の上に、例えばネガ型の電子ビーム用フォトレジスト33を塗布してある。このフォトマスク30をEB描画装置20内の試料台215上に載置し、描画用パターンデータに基づき、フォトレジスト33に対して電子ビーム216でパターンを描画する(図2(2))。
フォトレジスト33の黒く塗りつぶした部分が、電子ビーム216にて描画された部分である。次いで、フォトレジスト33を現像して、未露光部分を除去した後(図2(3))、パターニングされたフォトレジスト33をエッチング用マスクとして、より具体的には遮光膜32をエッチングする(図2(4))。こうして、フォトマスク30を形成することができる(図2(5))。
また、このフォトマスク30の製造工程にネガ型レジストを用いた場合の工程を示しているが、ポジ型レジストを用いるようにしてもよい。
占有率変更領域12のパターンは、L/Sパターン(ライン・アンド・スペースパタン)を使用して評価を行った。占有率変更領域12として40μmの領域に、10%の占有率の場合は400nmのパターンを4μmピッチで形成し、占有率20%の場合は800nmのパターンを4μmピッチに配置し、占有率を0〜100%まで10%毎に11種類作成した。もちろん、占有率100%はベタ画像となる。
この占有率変更領域12における寸法管理パターン10の周囲の大きさは、40μmに限定するものではない。電子ビーム216の条件や使用するフォトレジスト33、遮光膜32の材質などにより、測定対象パターン13に影響する範囲は変化する。したがって、EB電子線描画装置20の能力と使用する材料の組み合わせにより、近接効果が生ずる範囲にすればよい。また、占有率を変えるパターンも、図3に示すL/Sパターンに限定するものではなく、四角のドットであっても良い。
また、この測定対象パターン13を含むパターン領域11は、その時に検討する回路パターンの内容に応じて、変えることができる。このようなパターン領域11にすることで、占有率変更領域12の占有率を変える影響が最も生じやすい寸法管理パターン10にすることができる。
EB描画装置20の電子ビームの形成条件を、近接効果補正として露光時間を変調するパラメータを5種類A〜Eとした。また、理論的に0%のパターンに適用されるドーズ量を、16/18/20μC/cm3の3種類で評価を実施した。
図4は、フォトマスクの寸法管理パターンの線幅計測を行なった結果を示すグラフである。横軸にパターン占有率変更領域12のパターン占有率、縦軸にフォトマスク30の線幅における設計したパターンからの乖離量(nm)をフォトマスク30の乖離量として示している。図4に示すように、描画する際のドーズ量によって最適な近接効果補正のためのパラメータが異なることが分かる。また、図4の結果より、近接効果が最適でない場合の乖離量は、線形近似可能で1次回帰できる乖離量であることがわかる。即ち、少なくとも2種類以上の占有率変更領域12の占有率が異なるパターンを測定すれば、近接効果が最適か否かを評価することが可能である。
また、占有率変更領域12を40μmとしたのは、近接効果の影響範囲が20μm径以下だと評価したためであり、必ずしも40μmに限定するものではなく近接効果影響範囲を含んでいれば良い。また、今回は測定対象パターン11にL/Sパターンを使用したが、必ずしもこれに限定するものではなく、他のモニターパターンや回路パターンでもかまわない。
図5は、半導体装置を製造する工程を示す概略図である。
図5に示すように、製造したフォトマスク30を用いて、シリコンウェハの半導体基板41に電子回路のパターンを転写する。半導体基板41の上には、層間絶縁層42、その上方に形成されたアルミニウム等の合金から成る金属膜43が順次に形成され、その上にレジスト層44が設けられている(図5(1))。なお、半導体基板上に積層される膜構成は、この構成に限定されるものではない。
この半導体装置40の上に、寸法管理パターン10を有するフォトマスク30に露光光51を照射し、半導体装置40の金属膜43上に形成されたレジスト層44に転写する(図5(2))。
次いで、パターニングされたレジスト層44をエッチング用マスクとしてエッチング処理する。次いで、パターンニングされたレジスト層44を除去する。これにより、フォトマスク30のパターンが忠実に、半導体装置40の表面の金属膜43に転写される(図5(3))。
図6は、フォトマスク30の乖離量と半導体基板上に形成された線幅(CD)との関係を示すグラフである。
図6に示すように、横軸にフォトマスク30に形成された設計パターンからの乖離量、縦軸に半導体装置40で計測したレジスト層44の線幅を示している。図6から明らかなように、フォトマスク30の寸法ターゲットからの乖離量と転写の線幅(CD)には強い相関がある。パターン占有率のフォトマスク30への依存がない条件では、半導体装置40に転写後の線幅は、測定対象パターン11の周囲の占有率変更領域12のパターン占有率に依存せず均一に形成されている。このことから、様々なパターン環境において光近接補正をあわせるためにも、本発明のパターン評価方法が有効であることがわかる。
したがって、本発明のパターン測定方法を用いて製造したフォトマスク30を用いることによって、配線パターン等の半導体装置を精度良く製造することができる。
11 測定対象パターンを含む領域
12 占有率変更領域
13 測定対象のパターン
20 電子(EB)描画装置
21 画像形成部
211 電子銃
212 集束レンズ
213 偏向レンズ
214 試料台
215 サンプル
216 電子ビーム
22 制御部
30 フォトマスク
31 透明基板
32 遮光膜
33 フォトレジスト
40 半導体装置
41 半導体基板
42 層間絶縁膜
43 金属膜
44 レジスト層
51 露光光
Claims (3)
- 電子線描画装置を用いてフォトマスクに形成したパターンを測定するパターン測定方法において、
寸法管理パターンは、
測定対象となるパターンを含むパターン領域と、
前記パターン領域を囲んで形成され、占有率を変化させたパターンを含む占有率変更領域とを含み、
前記測定対象となるパターンは、前記占有率を変化させたパターンの形状とは異なる形状を有し、
前記測定対象となるパターンが同一形状である複数の前記寸法管理パターンを同時にフォトマスクに形成し、
前記占有率変更領域の占有率が異なる前記寸法管理パターンのうち、少なくとも2種類以上の前記測定対象となるパターンを測定する
ことを特徴とするパターン測定方法。 - 請求項1に記載のパターン測定方法において、
前記占有率変更領域の大きさは、前記電子線描画装置で発生する近接効果の波及する範囲を含む
ことを特徴とするパターン測定方法。 - 請求項1又は2に記載のパターン測定方法において、
前記寸法管理パターンは、前記占有率変更領域の占有率を変化させたパターンを2種類以上含む
ことを特徴とするパターン測定方法。
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