JP5218746B2 - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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- 荷電粒子ビームをTFT基板上で二次元的に走査して走査画像を形成し、当該走査画像によりTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置であって、
前記試料を支持するとともに二次元方向に移動するステージと、
当該ステージを駆動制御するステージ制御部と、
荷電粒子ビームの走査を制御するとビーム走査制御部と、
TFT基板への検査信号の印加を制御する検査信号制御部と、
走査画像を取得してアレイ検査を行う信号処理部とを備え、
前記ステージ制御部およびビーム走査制御部は、
前記荷電粒子ビームのX方向のビーム走査と、前記ステージの前記X方向と直交するY方向のステージ送りとによる二次元走査を一パスとして、TFT基板をビーム走査方向に複数のパスで分割して二次元走査し、前記各パスにおいて、ステージのY方向のステージ送りを切り替えることによって、同一のパスを往路と復路とで往復して走査し、
前記検査信号制御部は、
前記往路と前記復路の各走査における一検査信号当たりのTFTの電位チャージ時間を異ならせて印加し、
前記信号処理部は、長時間の電位チャージによる走査画像と、短時間の電位チャージによる走査画像とを形成することを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記検査信号制御部は、
前記各パスの前記往路又は前記復路の何れか一方の二次元走査において、最初に一回のみ検査信号を印加してTFTに電位をチャージすることにより、一検査信号当たりのTFTの電位チャージ時間を長くすることを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記短時間の電位チャージによる走査画像形成において、
前記ビーム走査制御部および前記検査信号制御部は、各パスをステージ送り方向に分割して複数フレームとし、各フレームを一走査領域として複数回の検査信号を印加してTFTに電位をチャージすることにより、一検査信号当たりのTFTの電位チャージ時間を短くし、
前記処理信号部は、一走査領域で得られる複数の検出信号を重畳して走査画像を形成することを特徴とする、請求項1又は2に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記検査信号制御部は、
前記各パスの前記往路又は前記復路の何れか一方の二次元走査において、前記請求項3に記載の短時間の電位チャージにおけるフレーム数よりも少ない所定回数の検査信号を所定間隔で印加してTFTに電位をチャージすることにより、一検査信号当たりのTFTの電位チャージ時間を長くすることを特徴とする、TFTアレイ検査装置。
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