JP5211971B2 - 温度センサ - Google Patents
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Description
また、上記カバーは、一般的に、例えばSUS310S等の高クロム・高ニッケル系の耐熱ステンレス鋼よりなる(特許文献1)。
上記カバーはAlを含有するNi合金からなり、
上記カバーの内面にはアルミナの膜が形成されていることを特徴とする温度センサにある(請求項1)。
そして、上記Alを含有するNi合金は、Ni:58〜63質量%、Cr:21〜25質量%、Al:1〜2質量%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物よりなることが好ましい(請求項2)。
この場合には、上述の耐熱性及び耐酸化性の効果を特に良好に発揮することができる。
また、上記Ni合金は、ニッケルと十分なクロムを含有しているため、多くの腐食性媒体と高温環境に対して優れた耐食性を示す。また、アルミニウム添加により耐酸化性を更に向上することができる。
また、上記成分の含有量が上述の範囲を外れる場合には、上記特性を得難くなるおそれがある。
上記ガラス封止素子は、上記サーミスタ素子を上記電極線の一部と共にガラスによって封止することにより、振動によってサーミスタ素子と電極線との接合部が断線することや、サーミスタ素子の抵抗値特性の変化を抑制できるものである。
この場合には、特に、フィラーの崩壊を抑制することができ、耐振性を向上させることができる。
感温体として円柱型素子や、直方体型素子等、先端部が平面形状の素子を用いる場合には、端面で押して侵入させるため、気泡が上部に抜け難く気泡が残留するという問題や、面で押すことにより先端側においてフィラー密度が高くなるという問題がある。このように、フィラーが不均一となると、硬度バラツキが生じ、フィラーの崩壊に繋がり、信頼性が悪化することが考えられる。
本発明の温度センサは、高温域においても、耐熱性、耐振性を有することができる。そのため、950℃以上の使用環境においても、長期に亘り好適に用いることができる。
本例は、本発明の実施例にかかる温度センサについて、図1を用いて説明する。
本例における温度センサ1は、感温体2と該感温体2を覆うように先端側に配設されたカバー3との間にアルミナを主成分とするフィラー4を充填してなる。上記カバー3はAlを含有するNi合金からなる。
以下、これを詳説する。
また、Ni:60.5質量%、Cr:23.0質量%、Al:1.4質量%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物よりなるNi合金からなるカバー3を用意した。
また、フィラー4として、アルミナを主成分とするフィラー4を用意した。
なお、上述した各部の材料は一例であって、本発明はこれに限られるものではない。
上記カバー3は、シースピン5の先端部の外周に対して、全周溶接されている。
また、シースピン5、信号線51は、ステンレス鋼またはNi基耐熱合金からなる。
本例は、図2に示すように、上記実施例1の温度センサ1の感温体2を、先端部が曲面形状を呈するガラス封止素子202に変更した温度センサ202を作製した例である。その他は、上記実施例1と同様にして行った。
上記感温体202は、上記サーミスタ素子21を上記電極線22の一部と共に第1ガラス層23及び第2ガラス層24によって封止した楕円体の感温体である。
なお、上述した各部の材料は一例であって、本発明はこれに限られるものではない。
更に、第2ガラスペーストに、第1ガラス層23によって覆われた接合体をディップして、第1ガラス層23の上に所定量の第2ガラスペーストを付着させる。これを、乾燥後1200℃にて熱処理することで焼付けを行い、第2ガラス層24を形成し、感温体202を得た。
本例では、本発明の比較例として、上記実施例2のカバー3を、SUS310Sよりなるカバーに変更した温度センサを作製した。その他は実施例2と同様にして行った。
本例は、上記実施例2において作製した温度センサ102と、上記比較例1において作製した温度センサについて、耐久調査、及びFEM解析による電極線への熱応力計算を行った。
耐久調査は、温度センサを加熱し、1000℃において2分間保持した後、温度センサを冷却し、室温で2分保持するという工程を1サイクルとして、この冷熱サイクルを3000サイクル行う試験を実施し、その後のカバーの変形、及びカバーの酸化を観察することにより行った。
図3より、温度センサ102のカバー3は、上記試験を行っても変形が起きていないことが分かる。そのため、上記フィラー4、上記電極線22、上記感温素子21、ガラス層23、24への熱応力を低減することができる。
SEM、EDX分析は、日本電子株式会社製分析走査電子顕微鏡を用いて行った。
図7より、SUS310Sよりなるカバー91は、熱膨張により変形し、カバー91の変形に伴って電極線94が断線していることが確認できる。
FEM解析によって、温度を25℃から1000℃に加熱した場合、温度を1000℃から25℃に冷却した場合を想定して、電極線への熱応力を計算した。図11に、FEM解析の結果を示す。図11は、横軸に温度(℃)、縦軸に主応力(MPa)をとった。図11(a)は、温度を25℃から1000℃に加熱した場合、図11(b)は、温度を1000℃から25℃に冷却した場合の結果を示す。図11において、曲線Xは温度センサ102の結果を示し、曲線Yは温度センサ9の結果を示す。
なお、本例では、実施例1において作製した温度センサ1についての耐久調査は行っていないが、上記温度センサ2と同様の結果を示す。
本例では、実施例1及び実施例2においてカバーとして用いたNi合金(合金1)、比較例1においてカバーとして用いたSUS310S(合金2)、また、Ni:54.0%(質量%、以下同様)、Cr:22.0%、Mo:9.0%、Co:12.5%、Al:1.0%を含有し、残部が不可避的不純物よりなる合金(合金3)、Ni:32.5%、Cr:21.0%、Fe:46.0%、C:0.04%を含有し、残部が不可避的不純物よりなる合金(合金4)、及びNi:76.0%、Cr:15.5%、Fe:8.0%を含有し、残部が不可避的不純物よりなる合金(合金5)について、耐酸化性の評価を行った。
結果を図12に示す。図12は、横軸にサイクル数、縦軸に重量変化(mg/cm2)をとった。図12において、曲線Oは合金1、曲線Pは合金2、曲線Qは合金3、曲線Rは合金4、曲線Sは合金5の結果を示す。
本例では、上記実施例1及び上記実施例2においてカバーとして用いたNi合金、及び比較例1においてカバーとして用いたSUS310Sについて、エリクセン試験値を測定し、押出し成形性の評価を行った。
図14より、上記Ni合金と上記SUS310Sとは、同程度のエリクセン試験値であり、生産において悪影響を与えないことが分かる。
上記実施例1及び上記実施例2において作製した温度センサについて、フィラーを観察、及びフィラーのビッカース硬度の測定を行った。
図15(a)は、上記実施例1において作製した温度センサ1の断面を示す図面代用写真であり、図15(b)は、上記実施例2において作製した温度センサ102の断面を示す図面代用写真である。
ビッカース硬度は、AKASHI製ビッカース硬度計にて荷重200gにより測定した。結果を図16に示す。図16は、縦軸にビッカース硬度(Hv)をとった。図16において、点A〜点Hは、図1及び図2におけるA点〜H点におけるビッカース硬さを示す。
図16より、温度センサ2は、温度センサ1と比較して、フィラーの硬度バラツキが小さいことが分かる。
2 感温体
3 カバー
4 フィラー
Claims (4)
- 感温体と該感温体を覆うように先端側に配設されたカバーとの間にアルミナを主成分とするフィラーを充填してなる温度センサであって、
上記カバーはAlを含有するNi合金からなり、
上記カバーの内面にはアルミナの膜が形成されていることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1において、上記Alを含有するNi合金は、Ni:58〜63質量%、Cr:21〜25質量%、Al:1〜2質量%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物よりなることを特徴とする温度センサ。
- 請求項1又は2において、上記感温体は、先端部が曲面形状を呈するガラス封止素子であることを特徴とする温度センサ
- 請求項1〜3のいずれか1項において、上記温度センサは、950℃以上の使用環境において使用されることを特徴とする温度センサ。
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