JP5208460B2 - 光回路装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光回路装置の概略構成を模式的に示した平面図である。
次に、本発明の第2の実施形態に係る光回路装置について説明する。なお、基本的な構成及び基本的な製造方法は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項については詳細な説明は省略する。
次に、本発明の第3の実施形態に係る光回路装置について説明する。なお、基本的な構成及び基本的な製造方法は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項については詳細な説明は省略する。
次に、本発明の第4の実施形態に係る光回路装置について説明する。なお、基本的な構成及び基本的な製造方法は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項については詳細な説明は省略する。
次に、本発明の第5の実施形態について説明する。本実施形態は、第1〜第4の実施形態で示した光回路装置チップと、MISトランジスタ等が集積された半導体集積回路装置チップとで構成された光/電気混載装置に関するものである。
14…能動部 15…第2のクラッド層
16…フォトレジストパターン 17…電極部
18…電気配線 19…パッシベーション膜
21…第3のクラッド層 22…マスク材料パターン 23…開口
31…第3のクラッド層 32…フォトマスク 33…遮光部
41…第3のクラッド層 42…フォトマスク 43…透光部
51…第3のクラッド層
101…能動光学素子 102…スポットサイズ変換器
103…光導波路
201…能動光学素子の形成領域
202…スポットサイズ変換器の形成領域
300…光回路装置チップ 310…半導体集積回路装置チップ
311…半導体基板 312…トランジスタ 313…電気配線
320…バンプ 321…バンプ台
Claims (4)
- 基板と、
前記基板上に形成された第1のクラッド層と、
前記第1のクラッド層上に形成されたコア部と、
前記第1のクラッド層上に前記コア部の第1の部分を介して形成された能動部と、前記能動部上に形成された電極部とを含む能動光学素子と、
前記第1のクラッド層上に形成され、前記コア部の少なくとも第2の部分を覆い且つ前記能動部を囲む第2のクラッド層と、
前記第2のクラッド層上に形成され、前記能動光学素子の電極部に接続された電気配線と、
前記第2のクラッド層上で且つ前記コア部の第2の部分の上方に形成された第3のクラッド層と、
を備え、
前記コア部の第2の部分、前記第1のクラッド層、前記第2のクラッド層及び前記第3のクラッド層によって、光のスポットサイズを変換するスポットサイズ変換器が構成され、
前記第2のクラッド層の上面と前記能動部の上面とは同一平面内に位置しており、
前記電気配線及び前記電極部は、前記第2のクラッド層の上面及び前記能動部の上面に両者をまたいでフォトリソグラフィによって同時に形成されたものである
ことを特徴とする光回路装置。 - 前記第3のクラッド層の屈折率は前記第2のクラッド層の屈折率よりも低い
ことを特徴とする請求項1に記載の光回路装置。 - 前記第3のクラッド層は、厚さ方向に屈折率分布を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の光回路装置。 - 前記第2のクラッド層の表面は平坦化されている
ことを特徴とする請求項1に記載の光回路装置。
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