JP5199777B2 - Cutting equipment - Google Patents
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Description
本発明は、切削ブレードを有する切削装置に関するものである。 The present invention relates to a cutting apparatus having a cutting blade.
半導体ウェーハ等の切削に用いる切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを有する切削手段とを備えている。切削ブレードには、基台(ハブ)と切刃とが一体となり切刃が基台によって支持されたタイプのハブブレードと、切刃のみからなり基台を有しないワッシャータイプブレードとがある。 A cutting apparatus used for cutting a semiconductor wafer or the like includes a chuck table that holds a workpiece and a cutting means that has a rotatable cutting blade that cuts the workpiece held on the chuck table. There are two types of cutting blades: a hub blade in which a base (hub) and a cutting blade are integrated and supported by the base, and a washer type blade that has only a cutting blade and does not have a base.
切削ブレードとしてハブブレードが使用される場合は、切削手段を構成する回転軸に固定フランジが装着され、固定フランジに形成された装着軸にハブブレードが装着され、装着軸の端部に形成された雄螺子に固定ナットが螺合して締結されることにより、切削ブレードが固定フランジとナットとによって挟持されて固定される(例えば特許文献1参照)。 When a hub blade is used as a cutting blade, a fixed flange is mounted on the rotating shaft constituting the cutting means, and the hub blade is mounted on the mounting shaft formed on the fixed flange, and is formed at the end of the mounting shaft. When the fixing nut is screwed and fastened to the male screw, the cutting blade is sandwiched and fixed between the fixing flange and the nut (see, for example, Patent Document 1).
一方、切削ブレードとしてワッシャータイプブレードが使用される場合は、切削手段の回転軸に固定フランジが装着され、固定フランジに形成された装着軸にワッシャータイプブレードが装着され、装着軸に着脱フランジが挿入されてから、装着軸の端部に形成された雄螺子に固定ナットが螺合することにより、切削ブレードが固定フランジと着脱フランジとによって挟持されて固定される(例えば特許文献2参照)。 On the other hand, when a washer type blade is used as the cutting blade, a fixed flange is mounted on the rotating shaft of the cutting means, a washer type blade is mounted on the mounting shaft formed on the fixed flange, and a detachable flange is inserted into the mounting shaft. After that, when the fixing nut is screwed onto the male screw formed at the end of the mounting shaft, the cutting blade is sandwiched and fixed between the fixing flange and the detachable flange (see, for example, Patent Document 2).
しかし、切刃は、その厚さが30μm前後と薄く形成されているため、特許文献1に記載されているようなハブブレードにおいては、切刃が折れたり割れたりするのを防止するために、基台からの切刃の突出量は、0.5〜1.5mmと比較的小さくなっている。したがって、このように構成される切刃は、厚さが0.1〜0.5mm程度のウェーハを切断するには十分であるものの、切刃が摩耗して突出量が減少すると切断に使用することができなくなるため、廃棄しなければならず、寿命が短くなるという問題がある。 However, since the cutting blade is formed as thin as about 30 μm, in the hub blade as described in Patent Document 1, in order to prevent the cutting blade from breaking or cracking, The protruding amount of the cutting blade from the base is relatively small, 0.5 to 1.5 mm. Therefore, although the cutting blade configured in this manner is sufficient for cutting a wafer having a thickness of about 0.1 to 0.5 mm, it is used for cutting when the cutting blade is worn and the protrusion amount is reduced. Since it cannot be used, it has to be discarded, resulting in a short life.
また、特許文献2に記載されているように切刃のみからなり基台を有しないワッシャータイプブレードも、切刃が2つのフランジによって挟持され2つのフランジの外周側に切刃が突出した構成となっているため、切刃が摩耗すると、ワッシャータイプブレードを交換しなければならない。そして、ワッシャータイプブレードは基台に支持されていないため、切刃を持った状態で交換しなければならず、損傷しやすいという問題がある。
In addition, as described in
そこで、本発明が解決しようとする課題は、切削ブレードの切刃が摩耗しても、より長く使用することを可能にすると共に、切刃を損傷させないことである。 Therefore, the problem to be solved by the present invention is to enable longer use even when the cutting blade of the cutting blade is worn, and not to damage the cutting blade.
第一の発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備えた切削装置に関し、切削手段は、回転軸と、回転軸に配設される固定フランジと、固定フランジから軸心方向に突出し先端部に雄螺子が形成された装着軸と、装着軸を貫通させる貫通孔を有する切削ブレードと、切削ブレードを該固定フランジとで挟持する着脱フランジと、装着軸に形成された雄螺子に螺合して着脱フランジを装着軸に固定する固定ナットとから構成され、切削ブレードは、貫通孔を有する把持部と、把持部の外周側に形成された切刃とから構成され、固定フランジ及び着脱フランジとで切刃を挟持して固定フランジ及び着脱フランジの外周から切刃を突出させ、固定フランジ及び着脱フランジを外径の異なるものに交換することにより、固定フランジ及び着脱フランジの外周側からの該切刃の突出量を調整可能としている。着脱フランジには、前記切削ブレードに対面する側に、該切削ブレードの把持部を収容する収容凹部が形成されている。 The first invention relates to a cutting apparatus comprising at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means having a rotatable cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table. A rotating shaft, a fixed flange disposed on the rotating shaft, a mounting shaft projecting axially from the fixed flange and having a male screw formed at a tip, a cutting blade having a through-hole penetrating the mounting shaft, and cutting The cutting blade is configured to include a detachable flange that holds the blade between the fixing flange and a fixing nut that is screwed into a male screw formed on the mounting shaft to fix the detachable flange to the mounting shaft. And a cutting blade formed on the outer peripheral side of the gripping portion. The cutting blade is sandwiched between the fixed flange and the detachable flange, and the cutting blade is inserted from the outer periphery of the fixed flange and the detachable flange. Issued thereby, by exchanging fixed flange and removable flange outer diameters different, thereby enabling adjusting the projecting amount of the cutting edge from the outer peripheral side of the fixed flange and removable flange. The detachable flange is formed with an accommodating recess for accommodating a gripping portion of the cutting blade on the side facing the cutting blade.
第二の発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備えた切削装置であって、切削手段は、回転軸と、回転軸に配設される固定フランジと、固定フランジから軸心方向に突出し先端部に雄螺子が形成された装着軸と、装着軸を貫通させる貫通孔を有する切削ブレードと、切削ブレードを固定フランジとで挟持する着脱フランジと、装着軸に形成された雄螺子に螺合して着脱フランジを装着軸に固定する固定ナットとから構成され、切削ブレードは、貫通孔を有する把持部と、把持部の外周側に形成された切刃とから構成され、固定フランジ及び着脱フランジとで切刃を挟持して固定フランジ及び着脱フランジの外周から切刃を突出させた切削装置の使用方法に関し、切刃の摩耗に対応して固定フランジ及び着脱フランジを装着軸から取り外し、取り外した固定フランジ及び着脱フランジよりも小径の固定フランジ及び着脱フランジを装着軸に装着して切刃が摩耗した切削ブレードを挟持し、切削ブレードの切刃の突出量を大きくする。 A second invention is a cutting apparatus comprising at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means having a rotatable cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table. Includes a rotating shaft, a fixed flange disposed on the rotating shaft, a mounting shaft that protrudes axially from the fixed flange and has a male screw formed at the tip, and a cutting blade having a through hole that passes through the mounting shaft. The cutting blade is composed of a detachable flange that clamps the cutting blade with a fixed flange, and a fixing nut that is screwed into a male screw formed on the mounting shaft to fix the detachable flange to the mounting shaft, and the cutting blade has a through hole It consists of a gripping part and a cutting blade formed on the outer peripheral side of the gripping part. The cutting blade is sandwiched between the fixed flange and the detachable flange, and the cutting blade is moved from the outer periphery of the fixed flange and the detachable flange. Regarding the method of using the cutting machine that has been taken out, the fixed flange and the detachable flange are removed from the mounting shaft in response to the wear of the cutting blade, and the fixed flange and the detachable flange that are smaller in diameter than the removed fixed flange and the detachable flange are mounted on the mounting shaft. Then, the cutting blade with the worn cutting blade is clamped to increase the protruding amount of the cutting blade.
本発明では、切削ブレードの切刃が固定フランジと着脱フランジとで挟持されて固定フランジ及び着脱フランジの外周から切刃が突出し、切刃が切削により摩耗して突出量が十分でなくなると、前記固定フランジ及び着脱フランジを小径の固定フランジと小径の着脱フランジに交換することによって摩耗した切刃を突出させて十分な突出量を確保することができるため、切削ブレードの寿命を長くすることができる。また、固定フランジ及び着脱フランジを交換することで、切削対象のウェーハの厚さに対応して切刃の突出量を確保することができる。更に、切削ブレードは把持部を備えているため、固定フランジに対する着脱の操作性が増し、切刃が損傷しにくい。 In the present invention, when the cutting blade of the cutting blade is sandwiched between the fixed flange and the detachable flange, the cutting blade protrudes from the outer periphery of the fixed flange and the detachable flange, the cutting blade is worn by cutting, and the protrusion amount becomes insufficient. By replacing the fixed flange and the detachable flange with a small-diameter fixed flange and a small-diameter detachable flange, the worn cutting blade can be protruded to ensure a sufficient amount of protrusion, thereby extending the life of the cutting blade. . In addition, by exchanging the fixed flange and the detachable flange, it is possible to ensure the protruding amount of the cutting blade corresponding to the thickness of the wafer to be cut. Furthermore, since the cutting blade has a gripping portion, the operability of attaching / detaching to / from the fixed flange is increased, and the cutting blade is hardly damaged.
図1に示す切削装置1は、チャックテーブル2に保持されたウェーハを切削手段3によって切削する装置である。切削装置1の前部には、切削対象のウェーハを収容するウェーハカセット4aが載置される領域であるカセット載置領域4を備えている。そして、カセット載置領域4の後部側には、ウェーハカセット4aからのウェーハの搬出及びウェーハカセット4aへのウェーハの搬入を行う搬出入手段5が配設されている。
A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus for cutting a wafer held on a chuck table 2 by a
カセット載置領域4と搬出入手段5との間には、ウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域5aが設けられている。そして、仮置き領域5aの近傍には、仮置き領域5aとチャックテーブル2との間でウェーハを搬送する第一の搬送手段6aが配設されている。
Between the cassette placement region 4 and the carry-in / out means 5, a
チャックテーブル2はX軸方向に移動可能となっており、チャックテーブル2の移動経路の上方には、チャックテーブル2に保持されたウェーハを撮像し切削すべき領域を検出するアライメント手段7が配設されている。アライメント手段7は、チャックテーブル2に保持されたウェーハの表面を撮像する撮像手段70を備えている。そして、アライメント手段7のX軸方向の延長上には、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能な切削手段3が配設されている。
The chuck table 2 is movable in the X-axis direction. Above the movement path of the chuck table 2, an alignment unit 7 that images a wafer held on the chuck table 2 and detects an area to be cut is disposed. Has been. The alignment unit 7 includes an
チャックテーブル2の位置の近傍には、切削後のウェーハを洗浄する洗浄手段8が配設されており、その上方には、チャックテーブル2と洗浄手段8との間でウェーハを搬送する第二の搬送手段6bが配設されている。 In the vicinity of the position of the chuck table 2, a cleaning means 8 for cleaning the wafer after cutting is disposed, and a second portion for conveying the wafer between the chuck table 2 and the cleaning means 8 is disposed above the cleaning means 8. Conveying means 6b is provided.
図2に示すように、切削手段3は、回転可能な切削ブレード30を有しており、切削ブレード30は、ブレードカバー31によって上方及び側方から覆われている。
As shown in FIG. 2, the cutting means 3 has a
図3に示すように、ブレードカバー31は、ハウジング32bに固定された固定カバー310と、固定カバー310に対して着脱可能な着脱カバー311とから構成される。固定カバー310及び着脱カバー311の下部には、切削水ノズル310a、311aがそれぞれ配設されており、切削水ノズル310a及び切削水ノズル311aは、切削ブレード30のY軸方向の前方及び後方に位置するように構成されている。また、固定カバーの上部には、切削ブレードの磨耗等を検出するためのブレード検出手段312が固定される。着脱カバー311及びブレード検出手段312は、それぞれボルト311b、312bによって固定カバー310に固定される。
As shown in FIG. 3, the
図4に示すように、切削手段3は、回転軸32aと、回転軸32aを回転可能に支持するハウジング32bと、Y軸方向の軸心を有し先端部に雄螺子320が形成され切削ブレード30が装着され回転軸32aに連結された装着軸32と、装着軸32を貫通させる貫通孔330を有し装着軸32を介して回転軸32aに装着される固定フランジ33と、装着軸32を貫通させる貫通孔340を有し固定フランジ33の次に装着軸32に装着される切削ブレード30と、装着軸32を貫通させる貫通孔340を有し切削ブレード30の次に装着軸32に装着される着脱フランジ34と、装着軸32の雄螺子320に螺合する固定ナット35とを備えている。固定フランジ33と着脱フランジ34は、外径が等しく形成されている。
As shown in FIG. 4, the cutting means 3 includes a
図4に示すように、切削ブレード30は、リング形状の切刃300と、切刃300の中心部に固定された把持部301とから構成される。切刃300は把持部301の外周側に形成され、厚さが30μm前後である。一方、把持部301には貫通孔301aが形成されている。把持部301が装着軸32の軸心方向に突出していることに対応して、図5に示すように、着脱フランジ34の裏側、すなわち切削ブレード30に対面する側には、把持部301を収容できる収容凹部341が形成されている。従来のハブブレードを構成する基台とは異なり、把持部301は、その外径が切刃の外径より大幅に小さく形成されている。
As shown in FIG. 4, the
切削ブレード30を製造する際には、例えばダイヤモンド砥粒が混入した電解液中に切刃300の所望の外径と外径が等しい基台及び電解金属を浸漬し、電解液に混入したダイヤモンド砥粒を沈降させて基台上に堆積させると共に、堆積したダイヤモンド砥粒を溶けた電解金属によって固定して切刃を形成する。そして、基台の外周側をエッチング除去して把持部301を残し、図4に示した形状の切削ブレード30が形成される。また、ボンド剤を用いて切刃300に把持部301を接着してもよい。
When manufacturing the
図6に示すように、装着軸32に固定フランジ33が装着された状態では、固定フランジ33から装着軸32が軸心方向に突出した状態となる。そして、その突出した部分に切削ブレード30及び着脱フランジ34が挿入され、固定ナット35が雄螺子320に螺着されることにより、切削ブレード30が固定フランジ33と着脱フランジ34とによって挟持される。そうすると、固定フランジ33及び着脱フランジ34の外周面を基準として切刃300が突出量Pだけ外周側に突出する。
As shown in FIG. 6, when the
次に、切削手段3を備えた図1に示す切削装置1を用いてウェーハWを切削してデバイスに分割する場合について説明する。図1に示す切削対象のウェーハWには、分割予定ライン(ストリート)によって区画されて表面にデバイスが形成されており、ウェーハWの裏面がテープTに貼着され、テープTの外周部にリング状のフレームFが貼着されることにより、ウェーハWがテープTを介してフレームFに支持された状態で、ウェーハカセット4aに収容される。そして、搬出入手段5によってフレームFに支持されたウェーハWが仮置き領域5aに搬出された後、第一の搬送手段6aによってチャックテーブル2に搬送される。
Next, the case where the wafer W is cut and divided into devices by using the cutting apparatus 1 shown in FIG. The wafer W to be cut shown in FIG. 1 is partitioned by a predetermined division line (street) and a device is formed on the surface. The back surface of the wafer W is attached to the tape T, and a ring is attached to the outer periphery of the tape T. By sticking the frame F, the wafer W is accommodated in the
次に、チャックテーブル2がX軸方向に移動することによりウェーハWが撮像手段70の下方に位置合わせされ、切削すべき分割予定ラインが検出されて切削ブレード30とのY軸方向の位置合わせがなされる。そして、チャックテーブル2が更に同方向に移動すると共に、切削ブレード30が高速回転しながら切削手段3が下降することにより、切刃300がウェーハWに切り込み、検出されたストリートが切削される。更に、ストリート間隔ずつ切削手段3をY軸方向に割り出し送りしながら、順次ストリートを切削すると、同方向のすべてのストリートが切削される。そして更にチャックテーブル2を90度回転させてから同様の切削を行うと、すべてのストリートが縦横に切削され、個々のデバイスに分割される。
Next, as the chuck table 2 moves in the X-axis direction, the wafer W is aligned below the image pickup means 70, a division line to be cut is detected, and alignment with the
このようにして切削を行うと、図4に示した切削ブレード30の切刃300が摩耗してその外径が小さくなるため、図6に示すように、固定フランジ33及び着脱フランジ34から外周側に突出する突出量Pの値が小さくなり、突出量PがウェーハWの厚さより小さくなると、ウェーハWを完全切断できなくなる。そこで、この場合は、切削ブレード30は取り替えずに、図4に示した固定フランジ33及び着脱フランジ34に替えて、図7に示すように、取り外した固定フランジ33及び着脱フランジ34よりも外径の小さい小径の固定フランジ36及び小径の着脱フランジ37を用いる。小径の固定フランジ36及び小径の着脱フランジ37には、装着軸320を貫通させる貫通孔360、370がそれぞれ形成されている。
When cutting is performed in this manner, the
具体的には、図4に示した固定ナット34を装着軸32から取り外してから、着脱フランジ34、切削ブレード30及び固定フランジ33を装着軸32から取り外した後、図7に示すように、小径の固定フランジ36、使用により切刃300が摩耗した切削ブレード30及び小径の着脱フランジ37を装着軸32に装着し、固定ナット35を雄螺子320に螺着して切削ブレード30を固定する。このとき、切削ブレード30の把持部301は、図8に示すように、着脱フランジ370に形成された収容部371に収容される。切削ブレード30の着脱は、把持部301を把持して行うことで、切刃300が損傷するのを防止することができる。
Specifically, after removing the fixing
こうして切削ブレード30が小径の固定フランジ36と小径の着脱フランジ37とによって挟持されると、図8に示すように、切刃300の突出量P1がウェーハの切断に十分な値となる。なお、図8においては、取り外した固定フランジ33及び着脱フランジ34を2点鎖線で描いている。
When the
図4〜6に示した切削手段3に代えて、図9に示す切削手段9を使用することもできる。切削手段9は、回転軸32aと、回転軸32aを回転可能に支持するハウジング32bとを備えている。回転軸32aには固定フランジ90が装着され固定されている。この固定フランジ90は、回転軸32aの軸心に対して垂直な方向に起立する壁部900と壁部900から軸心方向に突出した装着軸901とが一体成形されており、装着軸901の先端部には雄螺子902が形成されている。
Instead of the cutting means 3 shown in FIGS. 4 to 6, the cutting means 9 shown in FIG. 9 can be used. The cutting means 9 includes a
装着軸901には、切刃300と把持部301とからなる切削ブレード30が装着される。そして、着脱フランジ91が装着軸901に装着され、雄螺子902に締込みナット92が締結されることにより、切削ブレード30が固定フランジ90の壁部900と着脱フランジ91とによって挟持される。更に、雄螺子902に固定ナット93が螺着されることにより、固定フランジ90、切削ブレード30及び着脱フランジ91が回転軸32aに固定される。
A
図9に示した切削手段9においても、切削により固定フランジ90及び着脱フランジ91からの切刃301の突出量P2がウェーハを切断するのに十分でなくなった場合は、固定フランジ90及び着脱フランジ91を、外径が小さいタイプの小径の固定フランジ及び小径の着脱フランジに交換する。そうすると、切削ブレード30を交換することなく、再びウェーハを切断することが可能となる。
Also in the cutting means 9 shown in FIG. 9, when the cutting amount P2 of the
1:切削装置
2:チャックテーブル
3:切削手段
30:切削ブレード
300:切刃 301:把持部
31:ブレードカバー
310:固定カバー 310a:切削水ノズル
311:着脱カバー 311a:切削水ノズル 311b:ボルト
312:ブレード検出手段 312b:ボルト
32a:回転軸 32b:ハウジング
32:装着軸 320:雄螺子
33:固定フランジ 330貫通孔
34:着脱フランジ 340:貫通孔 341:収容凹部
35:固定ナット
36:小径の固定フランジ 360:貫通孔
37:小径の着脱フランジ 370:貫通孔
4:カセット載置領域 4a:ウェーハカセット
5:搬出入手段 5a:仮置き領域
6a:第一の搬送手段 6b:第二の搬送手段
7:アライメント手段 70:撮像手段
8:洗浄手段
9:切削手段
90:固定フランジ 900:壁部 901:装着軸 902:雄螺子
91:着脱フランジ 92:締込みナット 93:固定ナット
1: Cutting device 2: Chuck table 3: Cutting means 30: Cutting blade 300: Cutting blade 301: Holding part 31: Blade cover 310: Fixed
Claims (3)
該切削手段は、回転軸と、該回転軸に配設される固定フランジと、該固定フランジから軸心方向に突出し先端部に雄螺子が形成された装着軸と、該装着軸を貫通させる貫通孔を有する切削ブレードと、該切削ブレードを該固定フランジとで挟持する着脱フランジと、該装着軸に形成された雄螺子に螺合して該着脱フランジを該装着軸に固定する固定ナットとから構成され、
該切削ブレードは、該貫通孔を有する把持部と、該把持部の外周側に形成された切刃とから構成され、
該固定フランジ及び該着脱フランジとで該切刃を挟持して該固定フランジ及び該着脱フランジの外周から該切刃を突出させ、該固定フランジ及び該着脱フランジを外径の異なるものに交換することにより、該固定フランジ及び該着脱フランジの外周側からの該切刃の突出量を調整可能とした
切削装置。 A cutting apparatus comprising at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means having a rotatable cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table,
The cutting means includes a rotating shaft, a fixed flange disposed on the rotating shaft, a mounting shaft that protrudes axially from the fixed flange and has a male screw formed at a tip, and a through-penetrating through the mounting shaft. A cutting blade having a hole, a detachable flange that clamps the cutting blade with the fixing flange, and a fixing nut that is screwed into a male screw formed on the mounting shaft and fixes the detachable flange to the mounting shaft. Configured,
The cutting blade is composed of a grip portion having the through hole and a cutting blade formed on the outer peripheral side of the grip portion,
The cutting blade is sandwiched between the fixing flange and the detachable flange, the cutting blade protrudes from the outer periphery of the fixing flange and the detachable flange, and the fixed flange and the detachable flange are exchanged to ones having different outer diameters. The cutting device which enabled adjustment of the protrusion amount of this cutting blade from the outer peripheral side of this fixed flange and this attachment / detachment flange.
該切削手段は、回転軸と、該回転軸に配設される固定フランジと、該固定フランジから軸心方向に突出し先端部に雄螺子が形成された装着軸と、該装着軸を貫通させる貫通孔を有する切削ブレードと、該切削ブレードを該固定フランジとで挟持する着脱フランジと、該装着軸に形成された雄螺子に螺合して該着脱フランジを該装着軸に固定する固定ナットとから構成され、
該切削ブレードは、該貫通孔を有する把持部と、該把持部の外周側に形成された切刃とから構成され、該固定フランジ及び該着脱フランジとで該切刃を挟持して該固定フランジ及び該着脱フランジの外周から該切刃を突出させた切削装置の使用方法であって、
該切刃の摩耗に対応して該固定フランジ及び該着脱フランジを該装着軸から取り外し、取り外した該固定フランジ及び該着脱フランジよりも小径の固定フランジ及び着脱フランジを該装着軸に装着して該切刃が摩耗した切削ブレードを挟持し、該切削ブレードの切刃の突出量を大きくする
切削装置の使用方法。 A cutting apparatus comprising at least a chuck table for holding a workpiece and a cutting means having a rotatable cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table,
The cutting means includes a rotating shaft, a fixed flange disposed on the rotating shaft, a mounting shaft that protrudes axially from the fixed flange and has a male screw formed at a tip, and a through-penetrating through the mounting shaft. A cutting blade having a hole, a detachable flange that clamps the cutting blade with the fixing flange, and a fixing nut that is screwed into a male screw formed on the mounting shaft and fixes the detachable flange to the mounting shaft. Configured,
The cutting blade includes a grip portion having the through-hole and a cutting blade formed on the outer peripheral side of the grip portion, and the fixing blade is sandwiched between the fixing flange and the detachable flange. And a method of using the cutting device in which the cutting blade protrudes from the outer periphery of the detachable flange,
The fixing flange and the detachable flange are removed from the mounting shaft in response to the wear of the cutting blade, and the fixed flange and the detachable flange having a smaller diameter than the removed fixing flange and the detachable flange are mounted on the mounting shaft. A method of using a cutting device that sandwiches a cutting blade with worn cutting blades and increases a protruding amount of the cutting blade.
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