JP2008300555A - Frame unit for dicing - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ダイシング装置に使用されるダイシング用フレームユニットに関するものである。 The present invention relates to a dicing frame unit used in a dicing apparatus.
IC,LSI等の半導体チップが複数のストリートによって区画され表面に形成された半導体ウエーハは、ダイシング装置によって個々の半導体チップに分割される。半導体ウエーハは、ダイシングテープによってウエーハ径より数cm大きい環状フレームの開口部のほぼ中央に固定されてチャックテーブル上に装着され、ダイシングブレードによって分割される。 A semiconductor wafer in which semiconductor chips such as IC and LSI are partitioned by a plurality of streets and formed on the surface is divided into individual semiconductor chips by a dicing apparatus. The semiconductor wafer is fixed to substantially the center of the opening of the annular frame that is several cm larger than the wafer diameter by a dicing tape, mounted on the chuck table, and divided by a dicing blade.
ダイシングブレードは、高速に回転しながらウエーハなどのワークを切削するが、不完全切断(いわゆる、ハーフカット)を長時間続けたり、ストリート上の評価用エレメント(TEGパターン)を切断し続けることで、樹脂等の切削屑がブレード先端に付着し、ブレードが目詰まり、切れ味の低下が発生してしまう。 The dicing blade cuts a workpiece such as a wafer while rotating at a high speed, but continues incomplete cutting (so-called half-cutting) for a long time or continues to cut an evaluation element (TEG pattern) on the street. Cutting scraps such as resin adhere to the tip of the blade, the blade is clogged, and sharpness is reduced.
このような現象に対処するため、従来から、ドレス部材にダイシングブレードでハーフカットすることで目詰まりを解消するドレッシング作業を行うようにしている。ドレッシング作業は、ワークを載置するチャックテーブルに、ワーク同様に、ドレス部材を載置して、数ライン〜数十ライン切り込むことで実施され、自動的に行われる場合もあれば、オペレータによって実施されることもある(例えば、特許文献1参照)。 In order to cope with such a phenomenon, conventionally, dressing work for eliminating clogging is performed by half-cutting the dressing member with a dicing blade. The dressing operation is performed by placing a dressing member on the chuck table on which the workpiece is placed, and cutting several lines to several tens of lines, and may be performed automatically or by an operator. (For example, refer to Patent Document 1).
しかし、特許文献1に示される方法は、ワークに代えてドレス部材をチャックテーブル上に載置させなければならず、ワークの加工途中でドレッシング作業を行う場合、一旦加工を中断してワークに代えてドレス部材を載置し直す必要があり、再度ワークをチャックテーブル上に載置させて加工を再開させる前に、切断する位置を確認する作業(アライメント)が必要となってしまい、煩雑である。 However, in the method disclosed in Patent Document 1, the dressing member must be placed on the chuck table in place of the workpiece. When performing the dressing operation during the machining of the workpiece, the machining is temporarily interrupted and replaced with the workpiece. The dress member needs to be re-installed, and before the work is placed on the chuck table again and the processing is resumed, an operation (alignment) for confirming the cutting position is necessary, which is complicated. .
これに対して、ドレス部材専用のサブチャックテーブルをチャックテーブルに隣接する位置に設けたり、ダイシングテープ上のワークに隣接する位置にドレス部材を貼付して設けたりする方法がある(例えば、特許文献2,3参照)。 On the other hand, there is a method in which a sub chuck table dedicated to a dressing member is provided at a position adjacent to the chuck table, or a dressing member is attached to a position adjacent to a work on a dicing tape (for example, Patent Documents). 2 and 3).
しかしながら、ドレス部材専用のサブチャックテーブルを設ける方法は、ダイシング装置の内部にサブチャックテーブル用のスペースを必要とし、また、ダイシング装置の構造に変更を要し、コストがかかるといった問題点がある。また、ダイシングテープ上のワークに隣接する位置にドレス部材を貼付して設ける方法は、ワークをダイシングテープで固定する度にドレス部材を貼り付ける作業が必要となり、ドレス部材の脱着作業が多くて煩わしい。また、近年では、半導体ウエーハ等のワークは、大径化する傾向にあり、ダイシングテープのほぼ全域をワークが占有してしまい、ワークに隣接する位置にドレス部材を配設できない場合もある。 However, the method of providing the dressing member dedicated sub-chuck table requires a space for the sub-chuck table inside the dicing apparatus, and requires a change in the structure of the dicing apparatus, resulting in high costs. In addition, the method of attaching and attaching the dressing member at a position adjacent to the workpiece on the dicing tape requires an operation of attaching the dressing member every time the workpiece is fixed with the dicing tape, and there are many detaching operations of the dressing member. . In recent years, a workpiece such as a semiconductor wafer tends to have a large diameter, and the workpiece occupies almost the entire area of the dicing tape, and there is a case where a dressing member cannot be disposed at a position adjacent to the workpiece.
このような事情は、ドレス部材に限らず、例えばダイシングブレードの位置修正のためのカーフチェック用部材の場合でも同様である。 Such a situation is not limited to the dress member, and the same applies to, for example, a kerf check member for correcting the position of the dicing blade.
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ダイシング装置側に専用スペースや構造変更を要することなく、かつ、ワークによる制約を受けることなく、ワークを保持したままドレッシング作業等のダイシング用補助作業を実行させることができるダイシング用フレームユニットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and does not require a dedicated space or a structural change on the dicing apparatus side, and is not subject to restrictions by the workpiece, and is used for dicing such as a dressing operation while holding the workpiece. An object of the present invention is to provide a dicing frame unit capable of performing an auxiliary operation.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるダイシング用フレームユニットは、環状フレームの開口部にワークをダイシングテープで保持してダイシング装置のチャックテーブルに装着されるダイシング用フレームユニットであって、前記環状フレーム上の少なくとも一部にダイシング用補助部材を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a dicing frame unit according to the present invention includes a dicing frame that is mounted on a chuck table of a dicing apparatus while holding a work with a dicing tape in an opening of the annular frame. The unit is characterized in that a dicing auxiliary member is provided on at least a part of the annular frame.
また、本発明にかかるダイシング用フレームユニットは、環状フレームの開口部にワークをダイシングテープで保持してダイシング装置のチャックテーブルに装着されるダイシング用フレームユニットであって、前記環状フレームは、一部を切り欠いた切欠部を有し、該切欠部に対応する前記ダイシングテープ上にダイシング用補助部材を備えることを特徴とする。 The dicing frame unit according to the present invention is a dicing frame unit that holds a workpiece in a dicing tape in an opening of an annular frame and is mounted on a chuck table of a dicing apparatus, wherein the annular frame is partially A dicing auxiliary member is provided on the dicing tape corresponding to the notch.
また、本発明にかかるダイシング用フレームユニットは、上記発明において、前記ダイシング用補助部材は、ダイシングブレードをドレッシングするためのドレス部材であることを特徴とする。 The dicing frame unit according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the dicing auxiliary member is a dressing member for dressing a dicing blade.
また、本発明にかかるダイシング用フレームユニットは、上記発明において、前記ダイシング用補助部材は、交換自在に設けられていることを特徴とする。 The dicing frame unit according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the dicing auxiliary member is provided so as to be replaceable.
本発明にかかるダイシング用フレームユニットは、環状フレーム上の少なくとも一部にダイシング用補助部材を備え、または、環状フレームの一部を切り欠いた切欠部に対応するダイシングテープ上にダイシング用補助部材を備えるので、ワークを保持したダイシング用フレームユニットを通常通りチャックテーブルに装着すればよく、ダイシング装置側に専用スペースや構造変更を要することなく、必要時にダイシング用補助部材を用いたダイシング用補助作業を実行させることができ、また、ダイシング用補助部材は、環状フレーム自体または環状フレームの切欠部を利用したダイシングテープ上なる開口部周りの環状領域に配設されており、ワークによる制約を受けないとともに、ダイシング用補助部材を装着したままワークの交換作業を行うこともでき、ダイシング用補助部材の脱着作業回数を減らすことができるという効果を奏する。 The dicing frame unit according to the present invention includes a dicing auxiliary member on at least a part of the annular frame, or a dicing auxiliary member on a dicing tape corresponding to a notch part of the annular frame cut out. Therefore, the dicing frame unit holding the workpiece can be mounted on the chuck table as usual, and dicing auxiliary work using the dicing auxiliary member is performed when necessary without requiring a dedicated space or structural change on the dicing machine side. The dicing auxiliary member is disposed in the annular region around the opening on the dicing tape using the annular frame itself or the cutout portion of the annular frame, and is not restricted by the workpiece. Work replacement work with auxiliary dicing members attached It can also perform an effect that it is possible to reduce the desorption working times of dicing the auxiliary member.
以下、本発明を実施するための最良の形態であるダイシング用フレームユニットについて図面を参照して説明する。 Hereinafter, a dicing frame unit which is the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施の形態のダイシング用フレームユニットを使用するダイシング装置の構成例を示す概略斜視図である。このダイシング装置1は、半導体ウエーハ等のワークを切削するための装置であり、例えばワーク2として半導体ウエーハをダイシングする場合は、ダイシング用フレームユニット3は、ワーク2がダイシングテープ4を介して環状フレーム5と一体となった状態でカセット部11に複数枚収容される。そして、ダイシング装置1は、搬出入手段12、搬送手段13、洗浄手段14、搬送手段15とともに、ダイシング用フレームユニット3と一体となったワーク2を磁気吸着方式で保持するチャックテーブル16と、アライメント用のカメラ17と、チャックテーブル16に保持されたワーク2を切削する切削手段18とを備える。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a configuration example of a dicing apparatus using the dicing frame unit of the present embodiment. The dicing apparatus 1 is an apparatus for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer. For example, when a semiconductor wafer is diced as the
搬出入手段12は、カセット部11に収納されたワーク2(ダイシング用フレームユニット3)を搬送手段13が搬送可能な載置領域に搬出するとともに、ワーク2が切削処理済みのダイシング用フレームユニット3をカセット部11に搬入するものである。搬送手段13は、搬出入手段12によって載置領域に搬出されたワーク2(ダイシング用フレームユニット3)をチャックテーブル16上に搬送するものである。また、洗浄手段14は、ワーク2が切削手段18による処理済みのダイシング用フレームユニット3を洗浄するものである。搬送手段15は、ワーク2が切削手段18による処理済みのダイシング用フレームユニット3をチャックテーブル16上から洗浄手段14へ搬送するものである。
The carry-in / out means 12 carries out the work 2 (dicing frame unit 3) stored in the
また、チャックテーブル16は、図示しない駆動源に連結されて回転可能である。また、チャックテーブル16は、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による送り機構によってX軸方向に移動可能に設けられている。カメラ17は、チャックテーブル16に保持されたワーク2の表面を撮像するためのものであり、図示しないアライメント部は、カメラ17によって取得した画像を基に切削すべき領域部分を検出し、切削手段18による切削動作の位置づけに供する。
The chuck table 16 is connected to a drive source (not shown) and is rotatable. The chuck table 16 is provided so as to be movable in the X-axis direction by a feed mechanism such as a ball screw, a nut, a pulse motor or the like. The camera 17 is for imaging the surface of the
切削手段18は、チャックテーブル16に保持されたダイシング用フレームユニット3上のワーク2をダイシングブレード19によって切削するもので、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない切り込み送り機構によってZ軸方向に昇降移動可能に設けられ、また、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない割り出し送り機構によってY軸方向に移動可能に設けられている。
The cutting means 18 cuts the
ついで、本実施の形態のダイシング用フレームユニット3について説明する。図2は、チャックテーブル16上に保持された本実施の形態のダイシング用フレームユニット3の構成例を示す平面図であり、図3は、ワークダイシング時のチャックテーブル16周りの構成を示す正面図であり、図4は、ドレッシング時のチャックテーブル16周りの構成を示す正面図である。本実施の形態のダイシング用フレームユニット3は、中央に開口部6を有してリング状に形成された環状フレーム5と、粘着面4a側を上向きとして開口部6を閉塞するように環状フレーム5の下面側に貼着されたダイシングテープ4とからなり、環状フレーム5の開口部6の中央にワーク2をダイシングテープ4で保持するためのものである。ここで、環状フレーム5は、図3等に示すように、チャックテーブル16上にマグネット方式で磁気吸着されるものであり、例えば磁性体材料により形成されている。なお、チャックテーブル16は、図3等に示すように、頂部中央にワーク2部分を負圧源による吸引力で吸着保持するためのポーラス材による吸着部16aを有する。
Next, the
また、環状フレーム5は、その表面上に、例えば3箇所に分散させたダイシング用補助部材であるドレス部材7を備える。これらドレス部材7は、フレームサイズや必要加工量等に応じて任意サイズ、形状のものでよいが、本実施の形態では、環状フレーム5の環状領域の範囲内に収まる短冊形状に形成されている。また、これらドレス部材7は、ダイシング用フレームユニット3がチャックテーブル16上に装着された場合にX軸方向またはY軸方向にその短手方向が位置するように直交配設されている。ここで、ドレス部材7の種類としては、使用するダイシングブレード19の砥粒サイズやボンド種類に合せ、GC(グリーンカーボランダム)砥粒、WA(ホワイトアランダム)砥粒などの砥粒が含まれる樹脂板や、Si板等が用いられる。また、環状フレーム5表面に対するドレス部材7の取り付けは、接着剤による接着、ワックスによる接着、両面テープによる接着等の適宜方法を用いればよいが、ドレス部材7自体は消耗品であるので、交換自在に装着することが望ましい。また、環状フレーム5のドレス部材7が装着される部分は、凹部形状として肉薄に形成されていてもよい。
The
このような構成において、対象となるワーク2を有するダイシング用フレームユニット3をチャックテーブル16上に装着し、カメラ17を用いてワーク2のストリートに対する切削位置のアライメント処理を事前に行った後、図3に示すように、ワーク2の切削すべき部分にダイシングブレード19を位置付け、チャックテーブル16をX軸方向に加工送りさせることで、ワーク2のダイシングを行う。ここで、ワーク2のストリートは、升目状に形成されているため、一方向のストリートに沿ったダイシングの終了後、チャックテーブル16を90度回動させることで、一方向に直交する他方向のストリートに沿ったダイシングを行う。この際、環状フレーム5上のドレス部材7は、図3に示すようにワーク2の表面より一段低い位置に保持されており、ドレス部材7がダイシングブレード19によるダイシング動作に支障をきたすことはない。
In such a configuration, the
そして、このようなダイシング動作中またはダイシング動作の終了後の任意の時点で、ダイシングブレード19のドレッシングを行うときには、例えば、図4に示すように、チャックテーブル16を−X方向にわずかに移動させるとともにダイシングブレード19をわずかに下降させてドレス部材7に接触するように位置付け、チャックテーブル16を+X方向に移動させてドレス部材7を短手方向に切削させる。このとき、チャックテーブル16は、ワーク2の向きを回転させるために、90度回転され得るが、ドレス部材7は、X,Y軸方向の両方に直交配設されているので、ワーク2がいずれの向きであっても、X軸方向のワーク2外にドレス部材7が存在することとなり、チャックテーブル16の回転の影響を受けずにドレッシングを行うことができる。また、ドレス部材7は、常にワーク2の近傍に存在するため、ワーク2の切削途中においてダイシングブレード19をドレッシングする場合においても、チャックテーブル16を若干X軸方向に加工送りするだけで実行させることができる。このようなドレッシング作業は、ダイシングブレード19のY軸方向の割り出し送りを行うことで、数ライン〜数十ライン分実行させる。
When dressing the
よって、本実施の形態によれば、ダイシング用フレームユニット3自身が環状フレーム5上にドレス部材7を備えるので、ワーク2を保持したダイシング用フレームユニット3を通常通りチャックテーブル16に装着すればよく、ダイシング装置1側に専用スペースや構造変更を要することなく、必要時にドレス部材7を用いたドレッシング作業を実行させることができる。また、ドレス部材7は、環状フレーム5自体なる開口部6周りの環状領域に配設されており、ワーク2の大きさによる制約を受けないとともに、ドレス部材7を装着したままワーク2の交換作業を行うこともでき、ドレス部材7の脱着作業回数を減らすこともできる。
Therefore, according to the present embodiment, since the
また、本実施の形態によれば、ドレス部材7は環状フレーム5上に装着されているので、切削途中でドレッシングを行う場合でもチャックテーブル16からワーク2を取り外してドレス部材を載置させるといった煩雑な作業を不要にでき、ワーク2の保持状態に変更がないため、アライメントをやり直す必要もないものである。また、ドレス部材7がダイシングブレード19のドレッシングに供され、消耗した際には、環状フレーム5から剥がして、新たなドレス部材7を交換装着すればよい。
In addition, according to the present embodiment, since the
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態では、環状フレーム5上の一部(3箇所)にドレス部材7を設けるようにしたが、図5に示すように、環状フレーム5の表面全体を覆うように略同一形状・大きさの環状に形成されたドレス部材21を設けるようにしてもよい。このようなドレス部材21によれば、任意の位置でダイシングブレード19のドレッシングを行わせることができ、ドレス部材21の交換頻度を減らすことができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the present embodiment, the
また、図6に示すように、一部を切り欠いた切欠部31を有する環状フレーム32と、環状フレーム32の開口部33を閉塞するダイシングテープ34とからなるダイシング用フレームユニット30として構成し、切欠部31に対応するダイシングテープ34の粘着面34a上にダイシング用補助部材であるドレス部材35を直接貼着させて設けてもよい。この際、切欠部31は、図6に示すように、環状フレーム32が平面的に見て略C字形状となるように半径方向に完全に切り欠いた形状であってもよいが、この部分を薄肉構造として矩形開口形状に切り欠いて環状フレーム32自身の円周方向の連続性が維持されるようにしてもよい。すなわち、図6に示す例では、ドレス部材35は、環状フレーム32の切欠部31を利用したダイシングテープ34上なる開口部33周りの環状領域に配設されている。
Further, as shown in FIG. 6, it is configured as a
この場合、ダイシングテープ34の粘着面34aを利用してドレス部材35をそのまま交換自在に装着させることができる。また、ドレス部材35を環状フレーム32上に設けずにダイシングテープ34上に直接設けているので、ダイシング用フレームユニット30をチャックテーブル16上に載置させる際に、環状フレーム32に歪みが生じてとしてもドレス部材35上面の高さが不安定になることはなく、ドレッシング作業を安定して行わせることができる。
In this case, the
また、本実施の形態では、ダイシング用補助部材としてドレス部材7,21,35を用い、ダイシングブレード19のドレッシング作業に供する例で説明したが、ドレス部材に限らず、同様に適用可能である。例えば、ワークを加工中、ブレード破損等の理由により、ブレード交換をせざるを得ない場合、ブレード装着ナットの締め付け具合やブレード個体差により、ブレード交換後のダイシング位置がY軸方向に微妙に変動する。そのため、ブレード交換後のダイシング位置を補正するため、ダミーのSi板等のワークに準ずる素材に実際に切り込み、アライメント用のカメラでダイシングラインを認識・補正する作業(カーフチェック)を行うのが一般的である。そこで、ダイシング用フレームユニットが備えるダイシング用補助部材としては、Si板等のカーフチェック用部材であってもよい。これによれば、カーフチェックを行う際も、ワークをダミーのSi部材等と交換し、載置し直す必要がないため、ワークを加工中であっても、容易にカーフチェックを実施することができる、といった効果を奏する。
In the present embodiment, the
1 ドレッシング装置
2 ワーク
3 ダイシング用フレームユニット
4 ダイシングテープ
5 環状フレーム
6 開口部
7 ドレス部材
16 チャックテーブル
19 ダイシングブレード
21 ドレス部材
30 ダイシング用フレームユニット
31 切欠部
32 環状フレーム
33 開口部
34 ダイシングテープ
35 ドレス部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (4)
前記環状フレーム上の少なくとも一部にダイシング用補助部材を備えることを特徴とするダイシング用フレームユニット。 A dicing frame unit that holds a work with a dicing tape in an opening of an annular frame and is attached to a chuck table of a dicing apparatus,
A dicing frame unit comprising a dicing auxiliary member on at least a part of the annular frame.
前記環状フレームは、一部を切り欠いた切欠部を有し、
該切欠部に対応する前記ダイシングテープ上にダイシング用補助部材を備えることを特徴とするダイシング用フレームユニット。 A dicing frame unit that holds a work with a dicing tape in an opening of an annular frame and is attached to a chuck table of a dicing apparatus,
The annular frame has a notch partly cut out,
A dicing frame unit comprising a dicing auxiliary member on the dicing tape corresponding to the notch.
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