JP5198535B2 - Glass substrate cut surface inspection system - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス基板の切断面検査装置に関し、更に詳しくは、ガラス基板の切断面を、映像光学系を用いて、様々な方向から立体的に検査することにより、ガラス基板の切断面に対する情報を迅速且つ正確に検出することができるガラス基板の切断面検査装置に関する。 The present invention relates to a glass substrate cut surface inspection device, and more specifically, information on the cut surface of a glass substrate by three-dimensionally inspecting the cut surface of the glass substrate from various directions using an imaging optical system. It is related with the cut surface inspection apparatus of the glass substrate which can detect swiftly and correctly.
一般に、TFT−LCD(薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、EL(Electro luminescence)などの平板ディスプレイの製造分野で用いられるガラス基板は、ガラス溶解炉で溶解されるガラス液を溶解成形機に供給して製造された後、ダイアモンドホイールなどのカッティング機(cutting apparatus)によって一次規格に合わせて切断され、表面に保護用フィルムがコーティングされて、加工ラインに運搬される。 In general, a glass substrate used in the field of manufacturing flat panel displays such as TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), EL (Electro luminescence), etc. is a melt molding machine for glass liquid melted in a glass melting furnace After being manufactured, the film is cut according to the primary standard by a cutting apparatus such as a diamond wheel, the surface is coated with a protective film, and is transported to the processing line.
上記のようなガラス基板のカッティング工程において、カッティング機の状態によってカッティングされる程度が異なり、且つ、切断面に欠陥が発生するため、切断面の情報を得ることが重要であり、従来は作業者が顕微鏡を用いてガラス基板の切断面を肉眼で観察した。 In the glass substrate cutting process as described above, the degree of cutting differs depending on the state of the cutting machine, and defects occur on the cut surface, so it is important to obtain information on the cut surface. However, the cut surface of the glass substrate was observed with the naked eye using a microscope.
このように、従来の顕微鏡を用いたガラス基板の切断面の検査には、長時間を要するだけでなく、検査の精度が低いため、正確なガラス基板の切断面の情報を得ることはできない不都合があった。 As described above, the inspection of the cut surface of the glass substrate using the conventional microscope not only takes a long time, but also the inaccuracy of the inspection makes it impossible to obtain accurate information on the cut surface of the glass substrate. was there.
特に、ガラス基板の切断面に対して、時間的な制約から一側面のみの検査しか行われないため、ガラス基板の切断面に対する立体的な観察が行なわれず、ガラス基板の切断面に対する正確な情報が得られず、工程にフィードバックするためのデータとして活用することが困難であるという不都合があった。 In particular, since only one side of the cut surface of the glass substrate is inspected due to time constraints, three-dimensional observation is not performed on the cut surface of the glass substrate, and accurate information on the cut surface of the glass substrate is not obtained. Cannot be obtained, and it is difficult to utilize as data for feedback to the process.
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ガラス基板の切断面を、映像光学系を用いて立体的に検査することにより、ガラス基板の切断面に対する情報、例えば、欠陥の種類及び大きさ、ガラス基板の厚さ、ガラス基板の切断面の直進性、カッティング機のホイール深さなどを、迅速且つ正確に検出し、このような情報を工程のフィードバック用データに活用することができるようにすることで、カッティング機のホイールの交換時期を判断するなど工程改善が容易に実施できるようにして、ガラス基板の生産性向上や品質の向上に寄与するガラス基板の切断面検査装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and its object is to inspect the cut surface of the glass substrate in a three-dimensional manner using an image optical system, thereby providing information on the cut surface of the glass substrate, For example, the type and size of defects, the thickness of the glass substrate, the straightness of the cut surface of the glass substrate, the wheel depth of the cutting machine, etc. can be detected quickly and accurately. By making it possible to make use of the glass substrate, it is possible to easily implement process improvements such as judging when to replace the cutting machine wheel, and to improve the productivity and quality of the glass substrate. It is to provide a cut surface inspection device.
上記目的を達成するために、本発明は、ガラス基板の切断面を検査する装置であって、前記ガラス基板の前記切断面が一方の側に突出するように前記ガラス基板を固定する固定プレートと、前記ガラス基板の上面の上方に位置し、前記切断面の上側に向かって前記上面に垂直に前記ガラス基板を撮影して映像を得る第1カメラを有する第1撮影手段と、前記ガラス基板の前記切断面に対向するように位置し、前記切断面に垂直に前記ガラス基板を撮影して映像を得る第3カメラを有する第3撮影手段と、前記ガラス基板の前記切断面に隣接して設置され、前記第1及び第3撮影手段がそれぞれ結合されるフレームと、前記フレームに装着された前記第1及び第3撮影手段を、前記切断面の長手方向に沿って移動させ、前記切断面を撮影できるように前記フレームを移動させるフレーム移動手段とを含んでいる。更に、前記フレームは、前記第3撮影手段と結合される部分に設置され、前記第1撮影手段から得られる前記映像から算出される切断面間の位置差(Δd)値に基づいて前記切断面に垂直な方向に前記第3撮影手段を移動させる第3フォーカシング用ステージを有する第3調整手段を備えている。 In order to achieve the above object, the present invention is an apparatus for inspecting a cut surface of a glass substrate, and a fixing plate for fixing the glass substrate so that the cut surface of the glass substrate protrudes to one side; A first photographing means having a first camera located above the upper surface of the glass substrate and capturing an image by photographing the glass substrate perpendicularly to the upper surface toward the upper side of the cut surface; A third photographing means having a third camera which is located so as to face the cut surface and obtains an image by photographing the glass substrate perpendicularly to the cut surface; and installed adjacent to the cut surface of the glass substrate. The first and third imaging means mounted on the frame and the frame to which the first and third imaging means are respectively coupled are moved along the longitudinal direction of the cut surface, and the cut surface is moved. Can shoot And a frame moving means for moving the sea urchin said frame. Further, the frame is installed at a portion coupled with the third imaging unit, and the cutting plane is based on a position difference (Δd) value between the cutting planes calculated from the video obtained from the first imaging unit. And third adjusting means having a third focusing stage for moving the third imaging means in a direction perpendicular to the first photographing means.
本発明によるガラス基板の切断面検査装置は、ガラス基板の切断面を、第1撮影手段及び第3撮影手段を用いて立体的に検査することができるため、ガラス基板の切断面に対する情報、例えば、欠陥の種類及び大きさ、ガラス基板の厚さ、ガラス基板の切断面の直進性、カッティング機のホイール深さなどを、迅速且つ正確に検出することができる。これにより、不良検出が効率良く実施され、このような情報を工程にフィードバックするためのデータとして活用することにより、カッティング機のホイールの交換時期を判断するなど工程改善が容易になり、もってガラス基板の生産性及び品質が向上する効果を得ることができる。 The apparatus for inspecting a cut surface of a glass substrate according to the present invention can three-dimensionally inspect the cut surface of the glass substrate using the first photographing means and the third photographing means. The type and size of the defect, the thickness of the glass substrate, the straightness of the cut surface of the glass substrate, the wheel depth of the cutting machine, etc. can be detected quickly and accurately. As a result, defect detection is efficiently performed, and by utilizing such information as data for feedback to the process, it is easy to improve the process such as judging the replacement time of the cutting machine wheel, and thus the glass substrate The effect of improving the productivity and quality can be obtained.
以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施例を説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明によるガラス基板の切断面検査装置を示す側面図、図2は、本発明によるガラス基板の切断面検査装置を示す平面図、図3は、本発明によるガラス基板の切断面検査装置のカメラ及び照明を示す断面図、図4は、本発明によるガラス基板の切断面検査装置の第4照明及び第4反射ミラーを示す側面図である。 FIG. 1 is a side view showing a glass substrate cut surface inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a glass substrate cut surface inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 3 is a glass substrate cut surface according to the present invention. Sectional drawing which shows the camera and illumination of an inspection apparatus, FIG. 4 is a side view which shows the 4th illumination and the 4th reflective mirror of the cut surface inspection apparatus of the glass substrate by this invention.
図示のように、本発明によるガラス基板の切断面検査装置100は、ガラス基板1を吸着して固定するための固定プレート110と、ガラス基板1の切断面1aの水平方向の両側と垂直方向に設置される第1、第2及び第3撮影手段120、130、140と、第1、第2及び第3撮影手段120、130、140が設置されるフレーム151をガラス基板1の切断面1aの長手方向に沿って移動させるフレーム移動手段としてのメインロボット150とを含む。
As shown in the figure, a glass substrate cutting surface inspection apparatus 100 according to the present invention includes a
固定プレート110は、ガラス基板1の切断面1aが固定プレート110の一方の側から突出されるようにガラス基板1を支持する。
ガラス基板1に接する固定プレート110の一方の側には、複数の真空ホール(図示せず)が形成され、この真空ホールには、外部の真空ユニットから吸引力が供給されてガラス基板1を吸着する。ガラス基板1が撓んでいる場合でも、固定プレート110の長手方向に沿って一方の側から他方の側へ順次真空ホールに吸着力が供給されるようにすることにより、ガラス基板1が全体的に固定プレート110に密着される。
The
A plurality of vacuum holes (not shown) are formed on one side of the
また、固定プレート110に固定されるガラス基板1の切断面1aと、後述する第3撮影手段140の第3カメラ141との間の距離が一定に保持されるように、切断面1aを基準位置に支持するための複数個のガイド160が水平に動き、固定できるように、固定プレート110に対向する位置に設置されることが好ましい。このような構成によって、ガラス基板1の切断面1aが第3撮影手段140の第3カメラ141の焦点距離に位置するように、ガラス基板1を固定プレート110に固定させることが容易となるため、第3カメラ141のフォーカシングが容易になる。
Further, the cut surface 1a is set to the reference position so that the distance between the cut surface 1a of the
第1〜第3撮影手段120、130、140は、メインロボット150のフレーム151にそれぞれ設置される。
The first to third imaging means 120, 130, and 140 are installed on the
第1撮影手段120は、ガラス基板1の上面の上方にそれぞれ位置する第1カメラ121と、第1照明122とを備え、第1カメラ121は、切断面1aの上側、すなわち、ガラス基板1の上面と切断面1aが会う上側端に向かってガラス基板1に垂直になるようにガラス基板1を撮影して切断面1aの上側プロフィール映像を得ることになり、第1照明122は、第1カメラ121の撮影部位に光を照射する。
The first photographing means 120 includes a
第2撮影手段130は、ガラス基板1の切断面1aを基準に第1撮影手段120に対向するように設置され、ガラス基板1の下面の下方にそれぞれ位置する第2カメラ131と第2照明132とを備え、第2カメラ131は、切断面1aの下側、すなわち、ガラス基板1の下面と切断面1aとが会う下側端に向かって、ガラス基板1の下面に垂直になるようにガラス基板1を撮影して切断面1aの下側プロフィール映像を得ることになり、第2照明132は、第2カメラ131の撮影部位に光を照射する。
The second photographing means 130 is installed to face the first photographing means 120 with respect to the cut surface 1 a of the
第3撮影手段140は、ガラス基板1の切断面1aに対向するようにそれぞれ位置する第3カメラ141と、第3照明142とを備え、第3カメラ141は、切断面1aに向かって切断面1aに垂直にガラス基板1を撮影して、切断面1aの平面映像を得ることになり、第3照明142は、第3カメラ141の撮影部位に光を照射する。
The 3rd imaging means 140 is provided with the
第1〜第3撮影手段120、130、140の第1〜第3照明122、132、142は、第1〜第3カメラ121、131、141のレンズ123、133、143の光軸と同じ方向に光を照射することが好ましい。このために、第1〜第3照明122、132、142は、図3に示すように、第1〜第3カメラ121、131、141に垂直に光を照射するように設置され、第1〜第3照明122、132、142から照射された光は、第1〜第3反射ミラー124、134、144によって反射され、レンズ123、133、143の光軸に沿って照射される。よって、第1〜第3カメラ121、131、141は、第1〜第3照明122、132、142から照射される光によって干渉を受けることなく、ガラス基板1の切断面1aを正確に撮影することができる。
The 1st-3rd illumination 122,132,142 of the 1st-3rd imaging means 120,130,140 is the same direction as the optical axis of the lens 123,133,143 of the 1st-3rd camera 121,131,141. It is preferable to irradiate light. For this purpose, as shown in FIG. 3, the first to
メインロボット150は、ガラス基板1の切断面1aに隣接して設置され、また、第1〜第3撮影手段120、130、140が設置されたフレーム151は、第1〜第3撮影手段120、130、140が切断面1aの長手方向に沿って移動すると共に、切断面1aの上側端、下側端及び切断面1aの全面を撮影するように、切断面1aに沿って移動自在にメインロボット150に装着される。
The
フレーム151は、図示しないモータの駆動によってメインロボット150の長手方向に切断面1aに沿って往復移動されるが、フレーム151の駆動装置は、これに限られず、空圧シリンダが用いられることもある。
The
また、フレーム151は、ガラス基板1の切断面1aに対して第1〜第3撮影手段120、130、140の位置を調整し、第1〜第3カメラ121、131、141のフォーカシングのための第1〜第3調整手段152、153、154を具備する。
The
第1調整手段152は、フレーム151と第1撮影手段120が連結される部分に設置される。また、ガラス基板1の切断面1aに垂直である方向に第1撮影手段120を移動させる第1位置調整用ステージ152aと、第1撮影手段120が固定され、第1位置調整用ステージ152aに対して切断面1aに水平な方向に第1撮影手段120を移動させる第1フォーカシング用ステージ152bとを含む。
The
かかる構成により、第1調整手段152は、第1位置調整用ステージ152aを移動させることにより、第1撮影手段120をガラス基板1の切断面1aに対して容易に位置調整することを可能にし、第1フォーカシング用ステージ152bを移動させることにより、第1カメラ121のフォーカシングを容易に実施できるようにする。
With this configuration, the
第2調整手段153は、フレーム151と第2撮影手段130が連結される部分に設置される。また、ガラス基板1の切断面1aに垂直である方向に第2撮影手段130を移動させる第2位置調整用ステージ153aと、第2撮影手段130が固定され、第2位置調整用ステージ153aに対して切断面1aに水平な方向に第2撮影手段130を移動させる第2フォーカシング用ステージ153bとを含む。
The second adjusting unit 153 is installed at a portion where the
かかる構成により、第2調整手段153は、第2位置調整用ステージ153aを移動させることにより、第2撮影手段130によるガラス基板1の切断面1aに対して容易に位置調整をすることを可能にし、第2フォーカシング用ステージ153bを移動させることにより、第2カメラ131のフォーカシングを容易に実施できるようにする。
With this configuration, the second adjustment unit 153 can easily adjust the position of the
第3調整手段154は、フレーム151と第3撮影手段140が連結される部分に設置される。また、ガラス基板1の切断面1aに水平である方向に第3撮影手段140を移動させる第3位置調整用ステージ154aと、第3撮影手段140が固定され、第3位置調整用ステージ154aに対して切断面1aに垂直な方向に第3撮影手段140を移動させる第3フォーカシング用ステージ154bからなる。
The
かかる構成により、第3調整手段154は、第3位置調整用ステージ154aを移動させることにより、第3撮影手段140をガラス基板1の切断面1aに対して容易に位置調整することを可能にし、第3フォーカシング用ステージ154bを移動させることにより、第3カメラ141のフォーカシングを容易に実施できるようにする。
With such a configuration, the
第1〜第3調整手段152、153、154の第1〜第3位置調整用ステージ152a、153a、154aと、第1〜第3フォーカシング用ステージ152b、153b、154bは、フレーム151にそれぞれ設置されるモータ(図示せず)の駆動によって往復移動されるが、モータの代わりに、空圧シリンダ(図示せず)の圧縮や膨脹によって往復移動するように構成され得る。
The first to third
また、図4に示すように、第1〜第3撮影手段120、130、140の第1〜第3カメラ121、131、141によって撮影される映像において、ガラス基板1の形状が背景より更に明確に区別できるようにするために、ガラス基板の切断面検査装置100は、光を照射する第4照明171と、第4照明171から照射された光をガラス基板1の切断面1aの周辺に反射する第4反射ミラー172とを備える。かかる構成により、第4照明171から照射された光を第4反射ミラー172に反射させてガラス基板1の切断面1aの周辺を照射させることで、第1〜第3カメラ121、131、141によって撮影された映像において、ガラス基板1aの形状が背景より更に明確に区別できるように、背景の明暗や色を異なったものとすることができる。
In addition, as shown in FIG. 4, the shape of the
また、ガラス基板1の切断面1aの周辺に付着された異物を除去するために、空気を噴射するエアーノズル180がガラス基板1の上面及び下面の方にそれぞれ設置される。
In addition,
エアーノズル180は、外部のエアー供給部(図示せず)から空気が供給されてガラス基板1の切断面1aの周辺に噴射して異物を除去することにより、第1〜第3撮影手段120、130、140の第1〜第3カメラ121、131、141で撮影された映像に異物が撮影されることを防止し、ガラス基板1の切断面1aの鮮明な映像を得ることができる。
The
一方、メインロボット150には、フレーム151の位置を知るためのリニアスケーラー192と、スケーラー192からデータを読み出すためのヘッド191がそれぞれ設置される。
On the other hand, the
このような構造からなるガラス基板の切断面検査装置100の動作を以下に説明する。 The operation of the glass substrate cut surface inspection apparatus 100 having such a structure will be described below.
まず、ガラス基板1を固定プレート110上に位置させる。このとき、切断面1aが予め定められた位置に固定されたガイド160に密着するようにする。よって、切断面1aは、基準位置に置かれることにより、第3撮影手段140の第3カメラ141のレンズ143と切断面1aとの間の距離が一定に維持され、第3カメラ141のフォーカシングを容易にする。
First, the
固定プレート110に置かれたガラス基板1は、固定プレート110の真空ホール(図示せず)を介して供給される吸引力によって、固定プレート110に吸着されて固定される。このとき、ガラス基板1が撓んでいる場合にも、固定プレート110の長手方向に沿って固定プレート110上の一方の側から他方の側へ順次真空ホールに吸着力が供給されるため、ガラス基板1が全体的に固定プレート110に密着される。
The
固定プレート110上にガラス基板1が真空吸着されると、第1〜第3撮影手段120、130、140が、メインロボット150の長手方向に切断面1aに沿って移動するフレーム151によって検査しようとする切断面1aの初期位置に置かれる。
When the
第1〜第3撮影手段120、130、140が検査しようとする切断面1aの初期位置に位置すると、第1〜第3調整手段152、153、154によって、すなわち、第1〜第3撮影手段120、130、140は、第1〜第3位置調整用ステージ152a、153a、154aの調整及び第1〜第3フォーカシング用ステージ152b、153b、154bの調整によって、第1〜第3カメラ121、131、141の位置調整及びフォーカシングが実施される。
When the first to third imaging means 120, 130, 140 are located at the initial position of the cut surface 1a to be inspected, the first to third adjustment means 152, 153, 154, that is, the first to third imaging means. 120, 130, 140 are the first to
第1〜第3カメラ121、131、141の位置調整及びフォーカシングが完了すると、撮影過程が実施される。このとき、図5に示すように、ガラス基板1の切断面1aが水平面ではなく、波状の波面であるため、切断面1aを撮影する第3カメラ141の焦点面が切断面1aと一致しない現象が生じる。
When the position adjustment and focusing of the first to
このような現象を防止するために、図5及び6に示すように、ガラス基板1の切断面1aが曲線をなしても、焦点が合わせられたときのiステップで第3カメラ141によって得た映像と、焦点が合わせられないi+1ステップで得た映像とを比較して、これらの映像において、切断面1a間の位置差であるΔdの値を計算する。
In order to prevent such a phenomenon, as shown in FIGS. 5 and 6, even if the cut surface 1 a of the
Δdは、切断面1aを撮影する第3カメラ141のレンズ143と切断面1aとの間の距離変化量であるため、Δdだけ第3フォーカシング用ステージ154bを切断面1aに垂直方向に接近させることにより、第3カメラ141のフォーカシングを実施する。これと同時に、第1及び第2カメラ121、131を、第1及び第2位置調整用ステージ152a、153aをそれぞれ移動させて、図6における校正後の映像を取得するようにする。
Since Δd is a distance change amount between the
すなわち、基準位置からの変化量を用いて、第3カメラ141はフォーカシングを行い、第1及び第2カメラ121、131は、位置を校正する。
That is, using the amount of change from the reference position, the
第1〜第3撮影手段120、130、140の第1〜第3照明122、132、142は、図3に示すように、例えば、反射ミラー124、134、144を介して第1〜第3カメラ121、131、141のレンズ123、133、143の光軸と同じ方向に光を照射することにより、第1〜第3カメラ121、131、141が、撮影の際、第1〜第3照明122、132、142から照射される光によって干渉を起すことなく、ガラス基板1の切断面1aを正確に撮影することができる。
As shown in FIG. 3, the first to
一方、図4に示すように、第4反射ミラー172は、固定プレート110上にガラス基板1が置かれるとき、干渉を回避するために、第3撮影手段140の方に移動する。また、固定プレート110上にガラス基板1が置かれて固定されると、ガラス基板1の上側に復帰する。
On the other hand, as shown in FIG. 4, when the
ガラス基板1の上側に復帰した第4反射ミラー172は、第4照明171から照射された光をガラス基板1の切断面1aの周辺に反射することにより、第1〜第3撮影手段120、130、140の第1〜第3カメラ121、131、141が撮影して取得した映像において、ガラス基板1の形状が背景から更によく区別できるようにする。
The
すなわち、第4反射ミラー172が位置するガラス基板1の上面の上方の背景は、第4反射ミラー172から反射される光によって明るくなり、ガラス基板1の下面の下方の背景は、第3照明142及び第4照明171から照射される光が固定プレート110の側面に反射されることにより、第4反射ミラー172のような効果を得ることができる。
That is, the background above the upper surface of the
エアーノズル180は、外部のエアー供給部(図示せず)から空気が供給されてガラス基板1の切断面1aの周辺に噴射して異物を除去することにより、第1〜第3撮影手段120、130、140の第1〜第3カメラ121、131、141で撮影された映像に異物が撮影されることを防止する。よって、ガラス基板1の切断面1a自体の鮮明な映像を得ることができる。
The
上記において、本発明の好適な実施例について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱することなく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。 While preferred embodiments of the invention have been described above, various modifications will occur to those skilled in the art without departing from the scope of the claims.
1 ガラス基板
1a ガラス基板の切断面
100 切断面検査装置
110 固定プレート
120 第1撮影手段
121 第1カメラ
122 第1照明
123 第1カメラのレンズ
130 第2撮影手段
131 第2カメラ
132 第2照明
133 第2カメラのレンズ
140 第3撮影手段
141 第3カメラ
142 第3照明
143 第3カメラのレンズ
150 メインロボット
151 フレーム
152 第1調整手段
153 第2調整手段
154 第3調整手段
152a〜154a 第1〜第3調整手段の位置調整用ステージ
152b〜154b 第1〜第3調整手段のフォーカシング用ステージ
160 ガイド
171 第4照明
172 第4反射ミラー
180 エアーノズル
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記ガラス基板の前記切断面が一方の側に突出するように前記ガラス基板を固定する固定プレートと、
前記ガラス基板の上面の上方に位置し、前記切断面の上側に向かって前記上面に垂直に前記ガラス基板を撮影して映像を得る第1カメラを有する第1撮影手段と、
前記ガラス基板の前記切断面に対向するように位置し、前記切断面に垂直に前記ガラス基板を撮影して映像を得る第3カメラを有する第3撮影手段と、
前記ガラス基板の前記切断面に隣接して設置され、前記第1及び第3撮影手段がそれぞれ結合されるフレームと、
前記フレームに装着された前記第1及び第3撮影手段を、前記切断面の長手方向に沿って移動させ、前記切断面を撮影できるように前記フレームを移動させるフレーム移動手段とを含み、
前記フレームは、
前記第3撮影手段と結合される部分に設置され、前記第1撮影手段から得られる前記映像から算出される切断面間の位置差(Δd)値に基づいて前記切断面に垂直な方向に前記第3撮影手段を移動させる第3フォーカシング用ステージを有する第3調整手段を備えることを特徴とするガラス基板の切断面検査装置。 An apparatus for inspecting a cut surface of a glass substrate,
A fixing plate for fixing the glass substrate such that the cut surface of the glass substrate protrudes on one side;
A first photographing means having a first camera located above the upper surface of the glass substrate and capturing an image by photographing the glass substrate perpendicularly to the upper surface toward the upper side of the cut surface;
A third photographing means having a third camera located so as to face the cut surface of the glass substrate and obtaining an image by photographing the glass substrate perpendicular to the cut surface;
A frame installed adjacent to the cut surface of the glass substrate and to which the first and third imaging means are respectively coupled;
Frame moving means for moving the first and third photographing means mounted on the frame along the longitudinal direction of the cut surface and moving the frame so as to photograph the cut surface;
The frame is
Based on a position difference (Δd) value between the cutting planes, which is installed in a portion coupled with the third imaging unit and calculated from the video obtained from the first imaging unit, in the direction perpendicular to the cutting plane. An apparatus for inspecting a cut surface of a glass substrate, comprising: third adjusting means having a third focusing stage for moving the third imaging means.
前記第3撮影手段と結合される部分に設置され、前記ガラス基板の前記切断面に水平な方向に前記第3撮影手段を移動させる第3位置調整用ステージを更に含むことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の切断面検査装置。 The third adjusting means is
The apparatus further comprises a third position adjusting stage that is installed at a portion coupled to the third imaging unit and moves the third imaging unit in a direction horizontal to the cut surface of the glass substrate. The cut | disconnection surface inspection apparatus of the glass substrate of 1.
前記第1撮影手段と結合される部分に設置され、前記ガラス基板の前記切断面に垂直な方向に前記第1撮影手段を移動させる第1位置調整用ステージと、前記第1撮影手段が固定され、前記第1位置調整用ステージに対して前記切断面に水平な方向に前記第1撮影手段を移動させる第1フォーカシング用ステージとを有する第1調整手段と、
前記第2撮影手段と結合される部分に設置され、前記ガラス基板の前記切断面に垂直な方向に前記第2撮影手段を移動させる第2位置調整用ステージと、前記第2撮影手段が固定され、前記第2位置調整用ステージに対して前記切断面に水平な方向に前記第2撮影手段を移動させる第2フォーカシング用ステージとを有する第2調整手段と、
を更に含むことを特徴とする請求項3に記載のガラス基板の切断面検査装置。 The frame is
A first position adjusting stage, which is installed at a portion coupled with the first imaging means and moves the first imaging means in a direction perpendicular to the cut surface of the glass substrate, and the first imaging means are fixed. First adjusting means having a first focusing stage for moving the first photographing means in a direction parallel to the cut surface with respect to the first position adjusting stage;
A second position adjusting stage, which is installed at a portion coupled with the second imaging means and moves the second imaging means in a direction perpendicular to the cut surface of the glass substrate, and the second imaging means are fixed. Second adjusting means having a second focusing stage for moving the second photographing means in a direction horizontal to the cut surface with respect to the second position adjusting stage;
The glass substrate cut surface inspection apparatus according to claim 3, further comprising:
前記第2カメラの撮影部位に光を照射する第2照明と、
前記第3カメラの撮影部位に光を照射する第3照明と、
を更に含むことを特徴とする請求項3に記載のガラス基板の切断面検査装置。 First illumination for irradiating light to the imaging region of the first camera;
A second illumination for irradiating light to the imaging region of the second camera;
A third illumination that irradiates light to the imaging region of the third camera;
The glass substrate cut surface inspection apparatus according to claim 3, further comprising:
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