JP5196159B2 - フォトマスク基板の作製方法及びその方法により作製されたフォトマスク基板 - Google Patents
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Description
、利用されるパターンのことをいう。第1面アライメント専用マーク110と第1面アライメント専用マーク111とは、予め定められた所定の相対位置関係にあるものである。また、第1面アライメント専用マーク110と第1面アライメント専用マーク111とは、同じ形状のマークが用いられる。
マーク125が追加的に描画されることであり、その他の点については先の実施形態と同様である。
説明したが、1つの面にアライメント専用マークを3つ以上設けておけば、複数回の位置
ずれ補正を行うことができる。また、1つの面に設けるアライメント専用マークの数に上
限を設ける必要はない。
い方の面を用いるようにするからである。
とがあり、このずれによって、描画装置による描画が想定されるものから外れてしまう、ということがあり得る。
図11において、実践で示されているが支点部材に基づく座標系であり、点線で示されているのが描画装置の座標系である。本来、描画装置で正しい描画を行うためには、実践の支点部材に基づく座標系と、点線の描画装置の座標系とが一致している必要がある。ところが、何らかの原因によってこれらの座標系がずれているような場合には、当該ずれのために想定された描画ができない事態を避けるために、支点部材に基づく座標系と、描画装置の座標系とを一致させるための調整作業を、必要に応じて行わなければならない。この調整作業のために用いられるのが、座標系調整用基板200である。
x方向の補正量は、
x補正量={(x3+x4)−(x1+x2)}/4
によって、またy方向の補正量は、
y補正量={(y1+y3)−(y2+y4)}/4
によって、また回転方向の補正量は、
θx補正量=arctan(RotX)
θy補正量=arctan(RotY)
ただし、
RotX={(x2+x3)−(x1+x4)}/4WidthX
RotY={(y1+y4)−(y3+y2)}/4WidthY
また、WidthXはx方向のマーク間距離、WidthYはy方向のマーク間距離、
によってそれぞれ求めることが可能である。
101・・・第1面本パターン、
102・・・第2面本パターン、
103・・・第1精度第1面本パターン
104・・・第2精度第1面本パターン
105・・・第1精度第2面本パターン
106・・・第2精度第2面本パターン
110、111、112、113・・・第1面アライメント専用マーク
115・・・第1面製品確認用アライメントマーク
120、121、122、123・・・第2面アライメント専用マーク
125・・・第2面製品確認用アライメントマーク
130・・・重ね合わせ時アライメント専用マーク、
200・・・座標系調整用基板、
201、202、203、204・・・座標系調整用マーク、
300・・・可動ステージ、
401・・・第1支点部材、
402・・・第2支点部材、
403・・・第3支点部材
Claims (9)
- 基板の第1面と第2面の両方に遮光パターンが形成されるフォトマスク基板を作製する方法であって、
描画装置により前記基板の第1面に第1面本パターンと共に第1面アライメント専用マークを描画する工程と、
描画装置により前記基板の第2面に第2面アライメント専用マークを描画する工程と、
前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークと基づいてずれ量を計算する工程と、
ずれ量分を補正して前記基板を描画装置に位置決めする工程と、
描画装置により前記基板の第2面に第2面本パターンを描画する工程と、からなり、
前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークとの寸法関係は、前記基板を描画装置に対して当て見当でセットしたとき、互いのマークが必ず重なるような裕度を有するように設定されることを特徴とするフォトマスク基板の作製方法。 - 基板の第1面と第2面の両方に遮光パターンが形成されるフォトマスク基板を作製する方法であって、
描画装置により前記基板の第1面に第1面本パターンと共に第1面アライメント専用マーク、第1面製品確認用アライメントマークを描画する工程と、
描画装置により前記基板の第2面に第2面アライメント専用マークを描画する工程と、
前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークと基づいてずれ量を計算する工程と、
ずれ量分を補正して前記基板を描画装置に位置決めする工程と、
描画装置により前記基板の第2面に第2面本パターンと共に第2面製品確認用アライメントマークを描画する工程と、からなり、
前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークとの寸法関係は、前記基板を描画装置に対して当て見当でセットしたとき、互いのマークが必ず重なるような裕度を有するように設定されることを特徴とするフォトマスク基板の作製方法。 - 基板の第1面と第2面の両方に遮光パターンが形成されるフォトマスク基板を作製する方法であって、
描画装置により前記基板の第1面に第1面本パターンと共に、3つ以上の第1面アライメント専用マークを描画する工程と、
描画装置により前記基板の第2面に第2面アライメント専用マークを描画する工程と、
前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークと基づいてずれ量を計算する工程と、
ずれ量分を補正して前記基板を描画装置に位置決めする工程と、
描画装置により前記基板の第2面に第2面本パターンを描画する工程と、からなり、
前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークとの寸法関係は、前記基板を描画装置に対して当て見当でセットしたとき、互いのマークが必ず重なるような裕度を有するように設定されることを特徴とするフォトマスク基板の作製方法。 - 基板の第1面と第2面の両方に遮光パターンが形成されるフォトマスク基板を作製する方法であって、
描画装置により前記基板の第1面に第1面本パターンと共に第1面アライメント専用マークを描画する工程と、
描画装置により前記基板の第2面に第2面アライメント専用マークと共に、所定精度を有する第2精度第2面本パターンを描画する工程と、
前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークと基づいてずれ量を計算する工程と、
ずれ量分を補正して前記基板を描画装置に位置決めする工程と、
描画装置により前記基板の第2面に、前記第2精度第2面本パターンより精度の高い第1精度第2面本パターンを描画する工程と、からなることを特徴とするフォトマスク基板の作製方法。 - 前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークとの寸法関係は、前記基板を描画装置に対して当て見当でセットしたとき、互いのマークが必ず重なるような裕度を有するように設定されることを特徴とする請求項4に記載のフォトマスク基板の作製方法。
- 前記第1面アライメント専用マークと前記第2面アライメント専用マークは共に田の字状であり、それぞれの寸法は、1次元方向の長さで2桁のオーダーの差となるように設定されることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のフォトマスク基板の作製方法。
- 前記第2面本パターンのパターン密度が、前記第1面本パターンより高いことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のフォトマスク基板の作製方法。
- 前記基板の第2面の平坦性が、前記基板の第1面の平坦性より高いことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のフォトマスク基板の作製方法。
- 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のフォトマスク基板の作製方法によって作製されたことを特徴とするフォトマスク基板。
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