JP5195051B2 - UV irradiation equipment - Google Patents

UV irradiation equipment Download PDF

Info

Publication number
JP5195051B2
JP5195051B2 JP2008150748A JP2008150748A JP5195051B2 JP 5195051 B2 JP5195051 B2 JP 5195051B2 JP 2008150748 A JP2008150748 A JP 2008150748A JP 2008150748 A JP2008150748 A JP 2008150748A JP 5195051 B2 JP5195051 B2 JP 5195051B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transformer
excimer lamp
ultraviolet irradiation
transformers
excimer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008150748A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009295923A (en
Inventor
賢治 山森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Denki KK
Original Assignee
Ushio Denki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ushio Denki KK filed Critical Ushio Denki KK
Priority to JP2008150748A priority Critical patent/JP5195051B2/en
Priority to TW098114431A priority patent/TWI409848B/en
Priority to KR1020090039843A priority patent/KR101255408B1/en
Priority to CN2009101413532A priority patent/CN101603640B/en
Publication of JP2009295923A publication Critical patent/JP2009295923A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5195051B2 publication Critical patent/JP5195051B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Description

本発明は、エキシマ発光するエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、特に複数のエキシマランプを備えた紫外線照射装置に関する。   The present invention relates to an ultraviolet irradiation apparatus including an excimer lamp that emits excimer light, and more particularly to an ultraviolet irradiation apparatus including a plurality of excimer lamps.

従来、半導体基板や液晶基板の製造工程には、これら基板の洗浄を目的として真空紫外線を照射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置が用いられる。このようなエキシマランプを備えた紫外線照射装置には、特許文献１に記載されるものがあった。   Conventionally, in the manufacturing process of a semiconductor substrate or a liquid crystal substrate, an ultraviolet irradiation device including an excimer lamp that irradiates vacuum ultraviolet rays for the purpose of cleaning these substrates is used. There exist some which were described in patent document 1 in the ultraviolet irradiation device provided with such an excimer lamp.

従来に係る紫外線照射装置１について、図６を用いて説明する。
図６は、従来に係る紫外線照射装置１の説明図であり、紫外線照射装置１に具備されたエキシマランプ２の管軸方向に対して直交する断面図である。 A conventional ultraviolet irradiation apparatus 1 will be described with reference to FIG.
FIG. 6 is an explanatory view of the conventional ultraviolet irradiation device 1 and is a cross-sectional view orthogonal to the tube axis direction of the excimer lamp 2 provided in the ultraviolet irradiation device 1.

従来に係る紫外線照射装置１は、真空紫外線を照射するエキシマランプ２を具備したランプユニット１１と、被照射物Ｗを搬送する搬送ユニット１２とにより構成される。   The ultraviolet irradiation apparatus 1 according to the related art includes a lamp unit 11 including an excimer lamp 2 that irradiates vacuum ultraviolet rays, and a transport unit 12 that transports an object W to be irradiated.

ランプユニット１１は、エキシマランプ２と、エキシマランプ２への給電電圧を昇圧するトランス６と、エキシマランプ２とトランス６とを保持する筐体３とにより構成され、その詳細な構成について、以下に述べる。   The lamp unit 11 includes an excimer lamp 2, a transformer 6 that boosts the power supply voltage to the excimer lamp 2, and a casing 3 that holds the excimer lamp 2 and the transformer 6. The detailed configuration is described below. State.

筐体３には、その内部にエキシマランプ２とトランス６とが配置されており、エキシマランプ２とトランス６との間に隔壁３２が設けられ、エキシマランプ２が配置される光源部３５とトランス６が配置される電装部３４とが設けられる。   The casing 3 has an excimer lamp 2 and a transformer 6 disposed therein, a partition wall 32 is provided between the excimer lamp 2 and the transformer 6, and a light source unit 35 in which the excimer lamp 2 is disposed and a transformer. 6 is disposed.

筐体３の電装部３４は、トランス６を載置する隔壁３２と、隔壁３２に連接されると共にトランス６の四方を取り囲む電装部側側壁３４１（図６におけるトランス６の紙面左右方向の電装部側側壁３４１と、紙面奥手前に位置する図示しない電装部側側壁）と、電装部側側壁３４１に蓋をするように設けられた天板３１とにより構成される。   The electrical component 34 of the housing 3 includes a partition wall 32 on which the transformer 6 is placed, and an electrical component side wall 341 that is connected to the partition wall 32 and surrounds the four sides of the transformer 6. A side wall 341, an electrical component side wall (not shown) located in front of the paper surface, and a top plate 31 provided so as to cover the electrical unit side wall 341.

筐体３の光源部３５は、エキシマランプ２を保持するランプ保持体３６と、ランプ保持体３６が設けられた隔壁３２と、隔壁３２に連接されると共にエキシマランプ２の四方を取り囲む光源部側側壁３５１（図６におけるエキシマランプ２の紙面左右方向の光源部側側壁３５１と、紙面奥手前に位置する図示しない光源部側側壁）とにより構成される。
また、光源部３５には、光源部側側壁３５１に蓋をするように、光透過窓４が設けられる。 The light source unit 35 of the housing 3 includes a lamp holder 36 that holds the excimer lamp 2, a partition wall 32 provided with the lamp holder 36, a light source unit side that is connected to the partition wall 32 and surrounds the four sides of the excimer lamp 2. The side wall 351 (the light source unit side wall 351 in the left-right direction of the excimer lamp 2 in FIG. 6 and the light source unit side wall (not shown) located in front of the page) is configured.
In addition, the light source part 35 is provided with the light transmission window 4 so as to cover the light source part side wall 351.

トランス６とエキシマランプ２とを電気的に接続するため、隔壁３２には、電装部３４と光源部３５とを連通する貫通孔３３１が設けられ、この貫通孔３３１には、トランス６とエキシマランプ２とを電気的に接続した給電線５が挿通される。
隔壁３２の貫通孔３３１には、光源部３５の内部と電装部３４の内部とを空間的に隔てるため、給電線５を挿通した状態で封止体３３２が設けられる。 In order to electrically connect the transformer 6 and the excimer lamp 2, the partition wall 32 is provided with a through hole 331 that communicates the electrical part 34 and the light source part 35, and the through hole 331 includes the transformer 6 and the excimer lamp. 2 is inserted.
In the through hole 331 of the partition wall 32, a sealing body 332 is provided in a state in which the power supply line 5 is inserted in order to spatially separate the inside of the light source unit 35 and the inside of the electrical unit 34.

上述したランプユニット１１は、搬送ユニット１２上に載置されるように設けられる。
搬送ユニット１２は、被照射物Ｗを搬送する複数のローラ１２１と、各ローラ１２１を回転駆動させる駆動体１２１により構成される。
複数のローラ１２１は、ランプユニット１１の光透過窓４の平面に並行するように配列される。 The lamp unit 11 described above is provided so as to be placed on the transport unit 12.
The transport unit 12 includes a plurality of rollers 121 that transport the irradiated object W, and a driving body 121 that rotationally drives each roller 121.
The plurality of rollers 121 are arranged in parallel to the plane of the light transmission window 4 of the lamp unit 11.

上述エキシマランプ２は、例えばキセノンガスのような発光ガスが封入された例えば石英ガラスからなる放電容器と、放電容器の外周面に設けられた外側電極と、放電容器の内周面に設けられた内側電極により構成される。
エキシマランプ２の内側電極には、上述のトランス６が給電線５を介して電気的に接続される。また、エキシマランプ２の外側電極には、例えばステンレスのような電気伝導性を有する金属部材からなるランプ保持体３６が設けられる。 The excimer lamp 2 is provided on a discharge vessel made of, for example, quartz glass in which a luminescent gas such as xenon gas is sealed, an outer electrode provided on the outer peripheral surface of the discharge vessel, and an inner peripheral surface of the discharge vessel. Consists of inner electrodes.
The above-described transformer 6 is electrically connected to the inner electrode of the excimer lamp 2 via the feeder line 5. The outer electrode of the excimer lamp 2 is provided with a lamp holder 36 made of a metal member having electrical conductivity such as stainless steel.

エキシマランプ２の内側電極及び外側電極には、トランス６を介して図示しない高周波電源が接続されており、外側電極は、当接するランプ保持体３６を介して接地される。このため、ランプ点灯時には、エキシマランプ２の内側電極に図示しない高周波電源から給電され、給電された内側電極と接地された外側電極との間に位置する放電容器２１の内部でエキシマ発光が開始され、放電容器２１の外方に例えば２００ｎｍ以下にピーク波長を有する真空紫外線が照射される。
エキシマランプ２から照射された真空紫外線は、光透過窓４を透過し、光透過窓４に対向するように搬送された被照射物Ｗに照射される。
搬送ユニット１２の内部は大気状態であり、光透過窓４を透過した真空紫外線は、搬送ユニット１２の内部で大気中の酸素に吸収され、オゾンガスを発生される。このため、被照射物Ｗは、真空紫外線とオゾンによって処理される。 A high frequency power source (not shown) is connected to the inner electrode and the outer electrode of the excimer lamp 2 via a transformer 6, and the outer electrode is grounded via a lamp holder 36 that abuts. For this reason, when the lamp is lit, the inner electrode of the excimer lamp 2 is fed from a high-frequency power source (not shown), and excimer light emission is started inside the discharge vessel 21 located between the fed inner electrode and the grounded outer electrode. The outside of the discharge vessel 21 is irradiated with vacuum ultraviolet light having a peak wavelength of, for example, 200 nm or less.
The vacuum ultraviolet rays irradiated from the excimer lamp 2 pass through the light transmission window 4 and are irradiated to the irradiation object W conveyed so as to face the light transmission window 4.
The inside of the transport unit 12 is in the atmospheric state, and the vacuum ultraviolet light that has passed through the light transmission window 4 is absorbed by oxygen in the atmosphere inside the transport unit 12 to generate ozone gas. For this reason, the irradiated object W is processed with vacuum ultraviolet rays and ozone.

エキシマランプ２に設けられるトランス６としては、例えば特許文献２に記載されるものが挙げられ、トランス６を構成する部材に例えばシリコン樹脂のような樹脂部材を含むものがある。樹脂部材は、真空紫外線を直接照射されると分解されてしまい劣化する問題があり、またオゾンによっても分解されて劣化する問題がある。
このため、トランス６とエキシマランプ２との間には、真空紫外線を透過しない例えばアルミニウムのような金属部材により構成された隔壁３２が設けられる。また、トランス６を配置する電装部３４は、オゾンの流入を防止するため、密閉構造を構成する。 Examples of the transformer 6 provided in the excimer lamp 2 include those described in Patent Document 2, for example, and the members constituting the transformer 6 include a resin member such as silicon resin. The resin member has a problem of being decomposed and deteriorated when directly irradiated with vacuum ultraviolet rays, and also has a problem of being decomposed and deteriorated by ozone.
For this reason, a partition wall 32 made of a metal member such as aluminum that does not transmit vacuum ultraviolet rays is provided between the transformer 6 and the excimer lamp 2. Moreover, the electrical equipment part 34 which arrange | positions the transformer 6 comprises a sealed structure in order to prevent inflow of ozone.

なお、上述においては、光透過窓４を有する紫外線照射装置１について説明したが、従来に係る紫外線照射装置には、特許文献３に記載されるような光透過窓を有しないものもある。また、特許文献３に記載されるエキシマランプは、一対の電極が放電容器の外面に設けられたものが記載されている。
また、上述においては、エキシマランプ２を一本具備する紫外線照射装置１について説明したが、従来に係る紫外線照射装置には、特許文献４に記載されるような複数のエキシマランプを設けるものもあり、各エキシマランプには個別のトランスが設けられることが記載されている。 In the above description, the ultraviolet irradiation device 1 having the light transmission window 4 has been described. However, some conventional ultraviolet irradiation devices do not have the light transmission window as described in Patent Document 3. In addition, the excimer lamp described in Patent Document 3 describes a pair of electrodes provided on the outer surface of the discharge vessel.
In the above description, the ultraviolet irradiation apparatus 1 including one excimer lamp 2 has been described. However, some conventional ultraviolet irradiation apparatuses are provided with a plurality of excimer lamps as described in Patent Document 4. It is described that each excimer lamp is provided with a separate transformer.

特開２００１−２４３９２３公報JP 2001-243923 A 特開２００５−２６０００７公報JP 2005-260007 A 特開２００４−０９７９８６公報JP 2004-097986 A 特開２００３−３０３６９４公報JP 2003-303694 A

近時の要望としては、被照射物Ｗの大型化に合わせてエキシマランプ２の長尺化があり、また処理時間短縮のためにエキシマランプ２からの真空紫外線の照度向上がある。このため、エキシマランプ２に入力される電力の向上を目的として、トランス６への入力電力を向上させる必要がある。トランス６への入力電力が例えば５００Ｗのような高入力になったとき、電装部３４のような密閉空間に配置されたトランス６は加熱されてしまい、トランス６を構成する部材に樹脂が含まれるとき、この樹脂を加熱によって劣化させてしまう問題があった。   Recent demands include an increase in the length of the excimer lamp 2 in accordance with an increase in the size of the irradiated object W, and an improvement in the illuminance of vacuum ultraviolet rays from the excimer lamp 2 in order to shorten the processing time. For this reason, it is necessary to improve the input power to the transformer 6 for the purpose of improving the power input to the excimer lamp 2. When the input power to the transformer 6 becomes a high input such as 500 W, for example, the transformer 6 disposed in the sealed space such as the electrical component 34 is heated, and resin is contained in the members constituting the transformer 6. There was a problem that this resin was deteriorated by heating.

特に、複数のエキシマランプ２を具備し、各エキシマランプ２に個別のトランス６を設けた場合、ランプ点灯時に各トランス６がそれぞれ加熱されることから、各トランス６が隣接するトランス６から加熱されてしまい、樹脂の劣化が早まってしまう問題があった。   In particular, when a plurality of excimer lamps 2 are provided and each of the excimer lamps 2 is provided with an individual transformer 6, each transformer 6 is heated when the lamp is turned on, so that each transformer 6 is heated from the adjacent transformer 6. As a result, there is a problem that the deterioration of the resin is accelerated.

このため、トランス６を配置した電装部３４の内部を冷却するため、例えば電装部３４の電装部側側壁３４１に通風口を設けると共にこの通風口にダクトを設けることで、冷却風をダクトから電装部３４の内部に向かって送風し、トランス６を冷却することが考えられる。
しかしながら、トランス６を構成する部材に樹脂が含まれるとき、前述のように、トランス６を劣化させる例えばオゾンガスのような腐食性ガスが冷却風に混入しないように、腐食性ガスを取り除くフィルタを設けるなど、装置が複雑化する問題があった。また、ダクトを設けると装置が大型化するという問題もあった。 For this reason, in order to cool the inside of the electrical part 34 in which the transformer 6 is arranged, for example, a ventilation port is provided in the electrical part side wall 341 of the electrical part 34 and a duct is provided in this ventilation port, so that the cooling air can be supplied from the duct. It is conceivable to blow the air toward the inside of the section 34 and cool the transformer 6.
However, when resin is contained in the members constituting the transformer 6, as described above, a filter for removing the corrosive gas is provided so that a corrosive gas such as ozone gas that degrades the transformer 6 is not mixed into the cooling air. There was a problem that the device was complicated. In addition, there is a problem that the apparatus becomes large when the duct is provided.

そこで、本発明の目的は、電装部を密閉しつつ、その密閉された電装部の内部を冷却する紫外線照射装置を提供することである。   Then, the objective of this invention is providing the ultraviolet irradiation device which cools the inside of the sealed electrical equipment part, sealing an electrical equipment part.

第１の発明に係る紫外線照射装置は、放電容器と該放電容器の放電空間を介して対向配置された電極とからなるエキシマランプと、複数の該エキシマランプにそれぞれ電気的に接続されると共に千鳥状に配置されたトランスと、該複数のエキシマランプと該複数のトランスとを保持すると共に、該複数のエキシマランプと該複数のトランスとの間に設けられた隔壁を具備する筐体と、該筐体内で該隔壁を介して該複数のトランスを取り囲む電装部と、からなる紫外線照射装置において、該電装部には、冷却液の流路を具備する冷却手段が設けられ、該各トランスの外方には、該各トランスを個別に囲うと共に、該トランスを介して対向された一対の開口部を具備した風洞体が、前記エキシマランプの管軸方向に沿って伸びるようにそれぞれ千鳥状に設けられ、該電装部の内部には、該風洞体の一方の開口部から他方の開口部に送風する送風手段が設けられたことを特徴とする。


UV irradiation device according to the first invention, the excimer lamp comprising a counter electrode disposed through the discharge space of the discharge vessel and the discharge vessel, are electrically connected to a plurality of the excimer lamp Rutotomoni staggered A plurality of excimer lamps and the plurality of transformers, and a housing provided with a partition wall provided between the plurality of excimer lamps and the plurality of transformers, An ultraviolet irradiating device comprising an electrical component that surrounds the plurality of transformers via the partition walls in a housing, wherein the electrical component is provided with cooling means having a coolant flow path, the person, with surrounds the respective transformer individually air channel provided with the pair of openings which face through the transformer, respectively so as to extend along the tube axis direction of the excimer lamp thousand Provided Jo, inside the electrical instrumentation unit, characterized in that the blowing means for blowing air from one opening of該風Hora body to the other opening portion is provided.


第２の発明に係る紫外線照射装置は、第１の発明に係る紫外線照射装置において、該隔壁は、その内部に冷却液の流路を具備した冷却手段で構成されたことを特徴とする。   An ultraviolet irradiation apparatus according to a second aspect of the invention is the ultraviolet irradiation apparatus according to the first aspect of the invention, characterized in that the partition wall is constituted by a cooling means having a coolant flow path therein.

第１の発明に係る紫外線照射装置は、上記特徴により、トランスを冷却することができる。   The ultraviolet irradiation device according to the first aspect of the invention can cool the transformer due to the above characteristics.

第２の発明に係る紫外線照射装置は、上記特徴により、エキシマランプからの照射熱を冷却手段で構成した隔壁によって冷却し、トランスが照射熱で加熱されることを抑制できる。   The ultraviolet irradiation apparatus according to the second aspect of the present invention can cool the irradiation heat from the excimer lamp by the partition configured by the cooling means and suppress the transformer from being heated by the irradiation heat.

本発明に係る紫外線照射装置は、トランスを取り囲む電装部に冷却液の流路を具備する冷却手段が設けられ、トランスの外方に一対の開口部を有する風洞体が設けられ、風洞体の一方の開口部から他方の開口部に送風する送風手段が設けられる。
まず、本発明の第１の実施例に係る紫外線照射装置は、冷却手段が電装部側側壁に設けられた構成について説明する。 In the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention, a cooling means having a coolant flow path is provided in an electrical part surrounding the transformer, a wind tunnel body having a pair of openings is provided outside the transformer, and one of the wind tunnel bodies is provided. Blowing means for blowing air from one opening to the other opening is provided.
First, in the ultraviolet irradiation apparatus according to the first embodiment of the present invention, a configuration in which the cooling means is provided on the electrical component side wall will be described.

図１は、第１の実施例に係る紫外線照射装置１の説明図であり、紫外線照射装置１に具備されたエキシマランプ２の管軸方向に対して直交する断面図である。図２は、図１の紫外線照射装置１のエキシマランプ２の管軸方向に沿った断面図（図１において紫外線照射装置１のＡ−Ａ断面図）である。
なお、図１及び図２には、図６に示したものと同じものに同一の符号が付されている。 FIG. 1 is an explanatory diagram of the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment, and is a cross-sectional view orthogonal to the tube axis direction of an excimer lamp 2 provided in the ultraviolet irradiation device 1. FIG. 2 is a cross-sectional view along the tube axis direction of the excimer lamp 2 of the ultraviolet irradiation device 1 of FIG. 1 (AA cross-sectional view of the ultraviolet irradiation device 1 in FIG. 1).
In FIG. 1 and FIG. 2, the same components as those shown in FIG.

第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、真空紫外線を照射するエキシマランプ２を具備したランプユニット１１と、被照射物Ｗを搬送する搬送ユニット１２とにより構成される。   The ultraviolet irradiation apparatus 1 according to the first embodiment includes a lamp unit 11 including an excimer lamp 2 that irradiates vacuum ultraviolet rays, and a transport unit 12 that transports an object to be irradiated W.

ランプユニット１１は、エキシマランプ２と、エキシマランプ２への給電電圧を昇圧するトランス６と、エキシマランプ２とトランス６とを保持する筐体３とにより構成され、その詳細な構成について以下に述べる。   The lamp unit 11 includes an excimer lamp 2, a transformer 6 that boosts a power supply voltage to the excimer lamp 2, and a casing 3 that holds the excimer lamp 2 and the transformer 6. The detailed configuration will be described below. .

筐体３には、その内部にエキシマランプ２とトランス６とが配置されており、エキシマランプ２とトランス６との間に隔壁３２が設けられ、エキシマランプ２が位置する光源部３５とトランス６が位置する電装部３４とが設けられる。   The casing 3 has an excimer lamp 2 and a transformer 6 disposed therein, a partition wall 32 is provided between the excimer lamp 2 and the transformer 6, and the light source unit 35 and the transformer 6 in which the excimer lamp 2 is located. And an electrical component 34 in which is located.

筐体３の電装部３４は、トランス６を載置する長方形平面を有する板状の隔壁３２と、隔壁３２の長方形平面の周縁に連接されると共にトランス６の四方を取り囲む電装部側側壁３４１（図１における隔壁３２の長方形平面に対して垂直方向の紙面上方に伸びる電装部側側壁３４１と、図２における隔壁３２の長方形平面に対して垂直方向の紙面上方に伸びる電装部側側壁３４１）と、電装部側側壁３４１に蓋をするように設けられた天板３１とにより構成された六面構造からなり、その内部に密閉空間を有する。
電装部３４の密閉空間に複数のトランス６が配置されることで、複数のトランス６は電装部３４に取り囲まれた状態になる。 The electrical component 34 of the housing 3 includes a plate-shaped partition wall 32 having a rectangular plane on which the transformer 6 is placed, and an electrical component side wall 341 that is connected to the periphery of the rectangular plane of the partition wall 32 and surrounds the four sides of the transformer 6. An electrical component side wall 341 extending upwards in the direction perpendicular to the rectangular plane of the partition wall 32 in FIG. 1, and an electrical unit side wall 341) extending upward in the direction perpendicular to the rectangular plane of the partition wall 32 in FIG. It has a six-sided structure composed of a top plate 31 provided so as to cover the electrical equipment side wall 341, and has a sealed space inside.
By arranging the plurality of transformers 6 in the sealed space of the electrical equipment section 34, the plurality of transformers 6 are surrounded by the electrical equipment section 34.

電装部３４を構成する部材としては、例えばアルマイト処理を施したアルミニウム又はステンレスからなる耐オゾン性を有する金属部材が挙げられる。   As a member which comprises the electrical equipment part 34, the metal member which has the ozone resistance which consists of aluminum or stainless steel which performed the alumite process, for example is mentioned.

筐体３の光源部３５は、エキシマランプ２の両端を保持するランプ保持体３６と、ランプ保持体３６が設けられると共に長方形平面を有する板状の隔壁３２と、隔壁３２の長方形平面の周縁に連接されると共にエキシマランプ２の四方を取り囲む光源部側側壁３５１（図１における隔壁３２の長方形平面に対して垂直方向の紙面下方に伸びる光源部側側壁３５１と、図２における隔壁３２の長方形平面に対して垂直方向の紙面下方に伸びる光源部側側壁３５１）とにより構成された五面構造からなる。
光源部３５には、光源部側側壁３５１に蓋をすると共に隔壁３２に対向するように、例えば石英ガラスのような真空紫外線を透過する部材からなる板状の光透過窓４が設けられる。
光透過窓４が設けられた光源部３５は、その内部に複数のエキシマランプ２が配置されることで、複数のエキシマランプ２は光源部３５と光透過窓４に取り囲まれた状態になる。 The light source unit 35 of the housing 3 includes a lamp holder 36 that holds both ends of the excimer lamp 2, a plate-like partition wall 32 having a rectangular plane provided with the lamp holder 36, and a peripheral edge of the rectangular plane of the partition wall 32. The light source unit side wall 351 that is connected and surrounds the four sides of the excimer lamp 2 (the light source unit side wall 351 that extends downward in the drawing in the direction perpendicular to the rectangular plane of the partition wall 32 in FIG. 1 and the rectangular plane of the partition wall 32 in FIG. The light source unit side wall 351) extends downward in the vertical direction with respect to the paper surface.
The light source unit 35 is provided with a plate-like light transmission window 4 made of a member that transmits vacuum ultraviolet rays such as quartz glass so as to cover the light source unit side wall 351 and to face the partition wall 32.
The light source section 35 provided with the light transmission window 4 has a plurality of excimer lamps 2 disposed therein, so that the plurality of excimer lamps 2 are surrounded by the light source section 35 and the light transmission window 4.

光源部３５を構成する部材としては、例えばアルマイト処理を施したアルミニウム又はステンレスからなる耐紫外線性及び耐オゾン性を有する金属部材が挙げられる。   As a member which comprises the light source part 35, the metal member which has the ultraviolet-ray resistance and ozone resistance which consist of aluminum or stainless steel which performed the alumite process, for example is mentioned.

複数のエキシマランプ２には、それぞれ個別のトランス６が設けられる。例えば図１においては、三本のエキシマランプ２が記載されており、各エキシマランプ２の後述する内側電極（図１及び図２には不図示、後述する図３における符号２２２）にそれぞれ給電線５を介して個別のトランス６が電気的に接続される。   Each of the plurality of excimer lamps 2 is provided with an individual transformer 6. For example, in FIG. 1, three excimer lamps 2 are described, and power supply lines are respectively connected to inner electrodes (not shown in FIGS. 1 and 2; reference numeral 222 in FIG. 3 described later) of each excimer lamp 2 described later. Individual transformers 6 are electrically connected via 5.

各エキシマランプ２と各トランス６とを電気的に接続する給電線５を挿通するため、隔壁３２には、電装部３４と光源部３５とを連通する貫通孔３３１が設けられる。隔壁３２に設けた貫通孔３３１は、エキシマランプ２とトランス６との間に位置する隔壁３２の一部を削除するように設けられ、例えば図１のようにエキシマランプ２が三本設けられた場合には、各エキシマランプ２に対応した三箇所の貫通孔３３１が設けられる。
隔壁３２に設けた貫通孔３３１には、エキシマランプ２とトランス６とを電気的に接続する給電線５が挿通された状態で、光源部３５の内部と電装部３４の内部とを連通しないように空間的に隔てるため、例えばポリプロピレンからなる耐オゾン性を有する封止体３３２が設けられる。 In order to insert the power supply line 5 that electrically connects each excimer lamp 2 and each transformer 6, the partition wall 32 is provided with a through hole 331 that communicates the electrical component 34 and the light source 35. The through-hole 331 provided in the partition wall 32 is provided so as to delete a part of the partition wall 32 located between the excimer lamp 2 and the transformer 6, and for example, three excimer lamps 2 are provided as shown in FIG. In some cases, three through holes 331 corresponding to each excimer lamp 2 are provided.
The through hole 331 provided in the partition wall 32 does not allow the inside of the light source unit 35 and the inside of the electrical unit 34 to communicate with each other in a state where the feeder 5 that electrically connects the excimer lamp 2 and the transformer 6 is inserted. For example, an ozone-sealing sealing body 332 made of polypropylene is provided.

電装部３４の内部において、複数のトランス６は、隔壁３２に載置されると共に、その外方を囲うように風洞体７２が設けられる。
風洞体７２は、図１に示す断面コ字状部材が、図２に示すようにトランス６の外方を囲うように、エキシマランプ２の管軸方向に沿って伸びるように設けられる。風洞体７２には、トランス６を介して対向する一対の開口部７２１，７２２が設けられる。風洞体７２は、電装部３４の内部に配置された複数のトランス６を個別に囲うように複数設けられる。例えば、図１のように三つのトランス６が設けられている場合、風洞体７２もトランス６毎に設けられ、合計三つの風洞体７２が設けられる。風洞体７２を構成する部材としては、例えばガラスエポキシからなる電気絶縁性を有する樹脂部材が挙げられる。 Inside the electrical unit 34, the plurality of transformers 6 are placed on the partition wall 32, and a wind tunnel body 72 is provided so as to surround the outside.
The wind tunnel body 72 is provided so that the U-shaped member shown in FIG. 1 extends along the tube axis direction of the excimer lamp 2 so as to surround the outside of the transformer 6 as shown in FIG. The wind tunnel body 72 is provided with a pair of openings 721 and 722 that face each other with the transformer 6 interposed therebetween. A plurality of wind tunnel bodies 72 are provided so as to individually enclose a plurality of transformers 6 arranged inside the electrical component 34. For example, when three transformers 6 are provided as shown in FIG. 1, a wind tunnel body 72 is also provided for each transformer 6, and a total of three wind tunnel bodies 72 are provided. As a member which comprises the wind tunnel body 72, the resin member which has the electrical insulation which consists of glass epoxy, for example is mentioned.

風洞体７２の一方の開口部７２１の外方には、一方の開口部７２１から他方の開口部７２２に向かって送風する例えば冷却ファンのような送風手段７１が設けられている。送風手段７１は、トランス６を冷却するために設けられるため、各トランス６に対応する風洞体７２毎に設けられる。   Outside the one opening 721 of the wind tunnel body 72, an air blowing means 71 such as a cooling fan for blowing air from the one opening 721 toward the other opening 722 is provided. Since the air blowing means 71 is provided for cooling the transformer 6, it is provided for each wind tunnel body 72 corresponding to each transformer 6.

電装部３４の内部には、例えばラジエータなどの熱交換器のような冷却手段７３が設けられる。
冷却手段７３は、電装部３４の内部において、送風手段７１を介して一方の開口部７２１に対向するように配置される。また、第１の実施例に示すように、複数のトランス６を具備する場合、冷却手段７３は、複数のトランス６を効率良く冷却するために、各トランスに設けた各風洞体の各一方の開口部７２に対向するように、複数配置される。（後述する図４（ｂ）を参照）
冷却手段７３には、その内部に冷却液Ｌが供給・排出されるように、流路７３１が設けられている。
冷却手段７３の流路７３１は、図２に示すように、電装部３４の内部から外部に延びるように、電装部側側壁３４１に設けた貫通孔３４２から導出される。
電装部側側壁３４１の貫通孔３４２と冷却手段７３の流路７３１との間には、例えばアルミニウムからなる封止体３４３が設けられ、電装部３４の内部を密閉空間に構成する。
電装部３４から導出された流路７３１は、電装部３４の外部において、図示しない循環手段が設けられることで、流路７３１の内部の冷却液Ｌが循環される。 A cooling means 73 such as a heat exchanger such as a radiator is provided inside the electrical component 34.
The cooling means 73 is disposed inside the electrical equipment section 34 so as to face the one opening 721 via the air blowing means 71. In addition, as shown in the first embodiment, in the case where a plurality of transformers 6 are provided, the cooling means 73 is provided so that the cooling means 73 efficiently cools the plurality of transformers 6 in each one of the wind tunnel bodies provided in each transformer. A plurality are arranged so as to face the opening 72. (Refer to FIG. 4B described later)
The cooling means 73 is provided with a flow path 731 so that the coolant L is supplied and discharged therein.
As shown in FIG. 2, the flow path 731 of the cooling means 73 is led out from a through hole 342 provided in the electrical component side wall 341 so as to extend from the inside of the electrical component 34 to the outside.
A sealing body 343 made of, for example, aluminum is provided between the through hole 342 in the electrical equipment side wall 341 and the flow path 731 of the cooling means 73, and the interior of the electrical equipment 34 is configured as a sealed space.
The flow path 731 led out from the electrical equipment section 34 is provided with a circulation means (not shown) outside the electrical equipment section 34 so that the coolant L inside the flow path 731 is circulated.

上述したランプユニット１１は、搬送ユニット１２上に載置されるように設けられる。
搬送ユニット１２は、被照射物Ｗを搬送する複数の円筒状のローラ１２１と、各ローラ１２１の中心軸に対して回転駆動させる駆動体１２１により構成される。
複数の円筒状のローラ１２１は、ランプユニット１１に設けた光透過窓４の平面に並行するように配列される。 The lamp unit 11 described above is provided so as to be placed on the transport unit 12.
The transport unit 12 includes a plurality of cylindrical rollers 121 that transport the irradiated object W, and a drive body 121 that is driven to rotate with respect to the central axis of each roller 121.
The plurality of cylindrical rollers 121 are arranged so as to be parallel to the plane of the light transmission window 4 provided in the lamp unit 11.

上述したランプユニット１１に具備されるエキシマランプ２の構成の一例について、図３を用いて説明する。
図３は、図１に記載したエキシマランプ２の説明図である。図３（ａ）はエキシマランプ２を構成する放電容器２１の管軸方向に沿った断面図であり、図３（ｂ）はエキシマランプ２を構成する放電容器２１の管軸方向に対して直交する拡大断面図（図３（ａ）のＢ−Ｂ断面の拡大図）である。
なお、図３には、図１及び図２に示したものと同じものに同一の符号が付されている。 An example of the configuration of the excimer lamp 2 provided in the lamp unit 11 described above will be described with reference to FIG.
FIG. 3 is an explanatory diagram of the excimer lamp 2 shown in FIG. FIG. 3A is a cross-sectional view along the tube axis direction of the discharge vessel 21 constituting the excimer lamp 2, and FIG. 3B is orthogonal to the tube axis direction of the discharge vessel 21 constituting the excimer lamp 2. It is an expanded sectional view (enlarged view of the BB cross section of Fig.3 (a)).
In FIG. 3, the same components as those shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.

エキシマランプ２は、発光ガスを封入する放電空間２１４を有した放電容器２１と、放電空間２１４を介して対向配置された電極２２１，２２２により構成される。   The excimer lamp 2 includes a discharge vessel 21 having a discharge space 214 that encloses a luminescent gas, and electrodes 221 and 222 arranged to face each other with the discharge space 214 interposed therebetween.

放電容器２１は、円筒状の外側管２１１と、外側管２１１の内部に位置すると共に外側管２１１の直径より小径な直径を有する円筒状の内側管２１２と、円筒状の外側管２１１の管軸と円筒状の内側管２１２の管軸とを一致するように保持すると共に外側管２１１と内側管２１２との管軸方向の両端に設けた円環状の端壁部２１３とにより構成された二重管構造からなる。
放電容器２１には、外側管２１１と内側管２１２と一対の端壁部２１３とにより取り囲まれた放電空間２１４が構成され、この放電空間２１４に例えばキセノンガスのような希ガスが発光ガスとして封入される。 The discharge vessel 21 includes a cylindrical outer tube 211, a cylindrical inner tube 212 that is located inside the outer tube 211 and has a diameter smaller than that of the outer tube 211, and a tube axis of the cylindrical outer tube 211. And the cylindrical inner tube 212 are held so as to coincide with each other, and the outer tube 211 and the inner tube 212 are constituted by annular end wall portions 213 provided at both ends in the tube axis direction. It consists of a tube structure.
The discharge vessel 21 includes a discharge space 214 surrounded by an outer tube 211, an inner tube 212, and a pair of end walls 213. A rare gas such as xenon gas is enclosed in the discharge space 214 as a luminescent gas. Is done.

放電容器２１を構成する部材としては、例えば石英ガラスのように誘電性を有すると共に、２００ｎｍ以下のピーク波長を有する真空紫外線に対して光透過性を有する部材が挙げられる。   Examples of the member constituting the discharge vessel 21 include a member having a dielectric property such as quartz glass and a light transmissive property against vacuum ultraviolet rays having a peak wavelength of 200 nm or less.

放電容器２１を構成する内側管２１２の内周面には、その長手方向に亘って密着するように円筒状の内側電極２２２が設けられる。
また、放電容器２１を構成する外側管２１１の外周面には、その長手方向に亘って密着するように網状の外側電極２２１が設けられる。
外側電極２２１と内側電極２２２とは、このように設けられることにより、誘電体からなる放電容器２１の外側管２１１と内側管２１２と放電空間２１４とを介して対向される。
内側電極２２２及び外側電極２２１を構成する部材としては、例えば銅・ニッケル合金のような電気伝導性を有する金属部材が挙げられる。 A cylindrical inner electrode 222 is provided on the inner peripheral surface of the inner tube 212 constituting the discharge vessel 21 so as to be in close contact with the longitudinal direction.
Further, a net-like outer electrode 221 is provided on the outer peripheral surface of the outer tube 211 constituting the discharge vessel 21 so as to be in close contact with the longitudinal direction thereof.
By providing the outer electrode 221 and the inner electrode 222 in this manner, the outer tube 211, the inner tube 212, and the discharge space 214 of the discharge vessel 21 made of a dielectric material are opposed to each other.
As a member which comprises the inner side electrode 222 and the outer side electrode 221, the metal member which has electrical conductivity like a copper-nickel alloy, for example is mentioned.

図３で示した内側電極２２２及び外側電極２２１には、図１で示したトランス６の不図示の二次側が電気的に接続され、トランス６の不図示の一次側が不図示の高周波電源に電気的に接続される。
また、外側電極２２１の外周には、例えばアルマイト処理を施したアルミニウム又はステンレスのような金属部材からなるランプ保持体３６が設けられることで、外側電極２２１はランプ保持体３６を介して接地される。 The secondary electrode (not shown) of the transformer 6 shown in FIG. 1 is electrically connected to the inner electrode 222 and the outer electrode 221 shown in FIG. 3, and the primary side (not shown) of the transformer 6 is electrically connected to a high-frequency power source (not shown). Connected.
Further, the outer electrode 221 is grounded via the lamp holder 36 by providing the lamp holder 36 made of a metal member such as anodized aluminum or stainless steel on the outer periphery of the outer electrode 221. .

上述の第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、ランプ点灯時において、図示しない高周波電源からの給電電圧がトランス６によって昇圧され、エキシマランプ２に給電される。
給電されたエキシマランプ２は、一対の電極２２１，２２２間の電位差によって、放電容器２１の内部に封入した発光ガスによるエキシマ発光が開始され、発光ガスが例えばキセノンガスのとき１７２ｎｍ以下にピーク波長を有する真空紫外線が生じる。放電空間２１４で生じた真空紫外線は、放電容器２１を透過し、エキシマランプ２の外方に照射される。
筐体３の光源部３５は例えば窒素ガスのような不活性ガスが充填されるので、エキシマランプ２からの真空紫外線は、不活性ガスに吸収されること無く、光透過窓４を透過して搬送ユニット１２側を照射する。 In the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment described above, a power supply voltage from a high frequency power source (not shown) is boosted by the transformer 6 and supplied to the excimer lamp 2 when the lamp is lit.
The excimer lamp 2 supplied with power starts excimer emission by the luminescent gas enclosed in the discharge vessel 21 due to the potential difference between the pair of electrodes 221 and 222. When the luminescent gas is, for example, xenon gas, the peak wavelength is 172 nm or less. The vacuum ultraviolet ray which has is produced. The vacuum ultraviolet rays generated in the discharge space 214 pass through the discharge vessel 21 and are irradiated to the outside of the excimer lamp 2.
Since the light source part 35 of the housing 3 is filled with an inert gas such as nitrogen gas, the vacuum ultraviolet rays from the excimer lamp 2 pass through the light transmission window 4 without being absorbed by the inert gas. Irradiate the transport unit 12 side.

搬送ユニット１２の駆動体１２１は、図示しない電源に接続されており、各ローラ１２１を回転駆動させる。ローラ１２１上に載置された被照射物Ｗは、ローラ１２１の回転駆動によって搬送され、光透過窓４に対向される。例えば、図１においては、被照射物Ｗは、紙面右側から紙面左側に搬送され、光透過窓４に対向する下方側に移動される。
搬送ユニット１２の内部は大気雰囲気であるので、光透過窓４を透過した真空紫外線は、大気中の酸素に一部吸収されるが、搬送された被照射物Ｗと光透過窓４とが近接配置されることで、酸素に全て吸収される前に被照射物Ｗに照射される。 The driving body 121 of the transport unit 12 is connected to a power source (not shown) and rotates each roller 121. The irradiated object W placed on the roller 121 is conveyed by the rotational drive of the roller 121 and is opposed to the light transmission window 4. For example, in FIG. 1, the irradiated object W is transported from the right side of the drawing to the left side of the drawing and is moved to the lower side facing the light transmission window 4.
Since the inside of the transport unit 12 is an air atmosphere, the vacuum ultraviolet light transmitted through the light transmission window 4 is partially absorbed by oxygen in the air, but the transported object W and the light transmission window 4 are close to each other. By being arranged, the irradiated object W is irradiated before it is completely absorbed by oxygen.

被照射物Ｗは、図２に示すように、紙面左右方向において大型であった場合、エキシマランプ２を千鳥状に配置（図２においては、紙面手前側で一方のエキシマランプ２を紙面右側に配置し、紙面奥側で他方のエキシマランプ２を紙面左側に配置）することにより、エキシマランプ２からの真空紫外線が被照射物Ｗ全体に照射され、処理される。また、搬送ユニット１２の内部において、真空紫外線が酸素に吸収されることでオゾンが生じ、このオゾンによっても被照射物Ｗは処理される。   As shown in FIG. 2, when the irradiated object W is large in the horizontal direction on the paper, the excimer lamps 2 are arranged in a staggered manner (in FIG. 2, one excimer lamp 2 is placed on the right side of the paper on the front side of the paper. And the other excimer lamp 2 is arranged on the left side of the drawing surface), and vacuum ultraviolet rays from the excimer lamp 2 are irradiated to the entire irradiated object W and processed. Further, ozone is generated by absorbing vacuum ultraviolet rays into oxygen inside the transport unit 12, and the irradiated object W is also processed by this ozone.

第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、上述のように、筐体３の電装部３４の内部が密閉空間となっていることから、搬送ユニット１２で生じたオゾンが電装部３４に流入することが防止され、電装部３４の内部に配置されたトランス６がオゾンに曝されることを防止できる。   In the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment, as described above, since the interior of the electrical component 34 of the housing 3 is a sealed space, ozone generated in the transport unit 12 flows into the electrical component 34. It is possible to prevent the transformer 6 disposed inside the electrical unit 34 from being exposed to ozone.

第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、ランプ点灯時において、エキシマランプ２への給電電圧をトランス６によって昇圧するため、トランス６が加熱される。第１の実施例に係る紫外線照射装置１におけるトランス６を冷却する構成及びその作用・効果について、風洞体７２を示し、これと比較することで説明する。
図４（ａ）は、比較例に係る紫外線照射装置１の説明図であり、電装部側側壁３４１の長手方向に沿った断面図である。図４（ｂ）は、第１の実施例に係る紫外線照射装置１の説明図であり、電装部側側壁３４１の長手方向に沿った断面図（図１におけるＣ−Ｃ断面図）である。
なお、図４には、図１及び図２に示したものと同じものに同一の符号が付されている。 In the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment, the transformer 6 is heated in order to boost the power supply voltage to the excimer lamp 2 by the transformer 6 when the lamp is turned on. The structure for cooling the transformer 6 in the ultraviolet irradiating apparatus 1 according to the first embodiment and the operation and effect thereof will be described by showing a wind tunnel body 72 and comparing it.
FIG. 4A is an explanatory diagram of the ultraviolet irradiation device 1 according to the comparative example, and is a cross-sectional view along the longitudinal direction of the electrical equipment side wall 341. FIG. 4B is an explanatory diagram of the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment, and is a cross-sectional view (CC cross-sectional view in FIG. 1) along the longitudinal direction of the electrical equipment side wall 341.
In FIG. 4, the same components as those shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.

比較例に係る紫外線照射装置１は、風洞体７２を設けていない点で、第１の実施例と相違する。
比較例及び第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、エキシマランプ２が千鳥状に配置されていることから、トランス６もエキシマランプ２の配列に合わせて千鳥状に配置される。これにより、エキシマランプ２とトランス６とを電気的に接続する給電線５は、不所望に長くなることがなく、その取り回しを簡便にすることができる。 The ultraviolet irradiation device 1 according to the comparative example is different from the first embodiment in that the wind tunnel body 72 is not provided.
In the ultraviolet irradiation apparatus 1 according to the comparative example and the first embodiment, the excimer lamps 2 are arranged in a staggered manner, and therefore the transformers 6 are also arranged in a staggered manner in accordance with the arrangement of the excimer lamps 2. As a result, the feeder 5 that electrically connects the excimer lamp 2 and the transformer 6 does not become undesirably long and can be easily routed.

比較例及び第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、ランプ点灯時において、図示しない電源によって送風手段７１及び冷却手段７３が稼動される。
比較例及び第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、具備する送風手段７１によって、トランス６に冷却風Ａを送風する。
比較例に係る紫外線照射装置１のように、具備した複数のエキシマランプ２に個別のトランス６を設ける場合、送風手段７１によって送風した冷却風Ａがトランス６に衝突したのち拡散してしまう。具体的には、図４（ａ）に示すように、トランス６に冷却風Ａが衝突した後、紙面上側及び下側のトランス６は、電装部側側壁３４１が無い側に冷却風Ａが拡散しており、紙面真ん中側のトランス６に至っては、紙面上下方向に冷却風Ａが拡散してしまっている。このように、比較例に係る紫外線照射装置１の場合、トランス６における冷却手段７３に対向する側に対して反対側の冷却が不十分となってしまう。 In the ultraviolet irradiation device 1 according to the comparative example and the first example, the blower unit 71 and the cooling unit 73 are operated by a power source (not shown) when the lamp is turned on.
The ultraviolet irradiation device 1 according to the comparative example and the first example blows the cooling air A to the transformer 6 by the blowing means 71 provided.
When the individual transformers 6 are provided in the plurality of excimer lamps 2 provided as in the ultraviolet irradiation device 1 according to the comparative example, the cooling air A blown by the blower 71 is diffused after colliding with the transformer 6. Specifically, as shown in FIG. 4A, after the cooling air A collides with the transformer 6, the cooling air A diffuses in the upper and lower transformers 6 on the side where there is no electrical equipment side wall 341. The cooling air A is diffused in the vertical direction on the paper surface until reaching the transformer 6 at the center of the paper surface. Thus, in the case of the ultraviolet irradiation device 1 according to the comparative example, the cooling on the opposite side to the side facing the cooling means 73 in the transformer 6 becomes insufficient.

第１の実施例に係る紫外線照射装置１の場合は、比較例と同じく具備した複数のエキシマランプ２に個別のトランス６を設けると共に、風洞体７２を具備することにより、送風手段７１によって送風した冷却風Ａがトランス６に衝突したのちの拡散を防止することができる。具体的には、図４（ｂ）に示すように、筐体３の電装部３４に、各トランス６を個別に囲うと共にトランス６を介して対向された一対の開口部７２１，７２２を具備した風洞体７２が設けられ、且つ、送風手段７１が風洞体７２の一方の開口部７２１に設けられると共に、送風手段７１によって風洞体７２の一方の開口部７２１から他方の開口部７２２に向かって冷却風Ａが送風される。この構成により、送風手段７１からの冷却風Ａは、風洞体７２の内方を通ることで拡散されること無く、風洞体７２の内方に配置されたトランス６に好適に吹付けられ、加熱されたトランス６を好適に冷却することができる。
第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、筐体３の電装部３４が密閉空間に構成されることにより、風洞体７２の他方の開口部７２２から加熱されたトランス６によって高温になった排熱風が導出され、筐体３の内部を循環される。第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、電装部３４の密閉空間に、冷却液Ｌの流路７３１を具備する冷却手段７３が設けられることにより、加熱されたトランス６からの排熱風が冷却手段７３によって熱交換され、密閉された電装部３４を冷却することができる。この冷却手段７３は、送風手段７２１を介して、各トランス６に個別に対向配置されることから、冷却手段７３によって熱交換された冷却風Ａを各トランス６に好適に吹付けることができる。 In the case of the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment, the plurality of excimer lamps 2 provided in the same way as the comparative example are provided with individual transformers 6, and the wind tunnel body 72 is provided so that the air is blown by the blowing means 71. The diffusion after the cooling air A collides with the transformer 6 can be prevented. Specifically, as shown in FIG. 4B, the electrical component 34 of the housing 3 includes a pair of openings 721 and 722 that individually surround each transformer 6 and face each other via the transformer 6. A wind tunnel body 72 is provided, and the air blowing means 71 is provided in one opening 721 of the wind tunnel body 72, and the air blowing means 71 cools from one opening 721 of the wind tunnel body 72 toward the other opening 722. Wind A is blown. With this configuration, the cooling air A from the air blowing means 71 is suitably blown to the transformer 6 disposed inside the wind tunnel body 72 without being diffused by passing through the inside of the wind tunnel body 72, and is heated. The transformer 6 thus made can be suitably cooled.
In the ultraviolet irradiation device 1 according to the first example, the electrical component 34 of the housing 3 is configured in a sealed space, and thus the temperature is increased by the transformer 6 heated from the other opening 722 of the wind tunnel body 72. The exhaust hot air is led out and circulated inside the housing 3. In the ultraviolet irradiation apparatus 1 according to the first embodiment, the cooling unit 73 including the flow path 731 of the cooling liquid L is provided in the sealed space of the electrical unit 34, so that the exhaust heat air from the heated transformer 6 is generated. Heat-exchanged by the cooling means 73 and the sealed electrical component 34 can be cooled. Since the cooling means 73 is individually arranged to face each transformer 6 via the air blowing means 721, the cooling air A heat-exchanged by the cooling means 73 can be suitably blown to each transformer 6.

上述のように、第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、電装部３４を密閉空間に構成しつつ、該電装部３４には、冷却液Ｌの流路７３１を具備する冷却手段７３が設けられ、該各トランス６の外方には、該各トランス６を個別に囲うと共に、該トランス６を介して対向された開口部７２１，７２２を具備した風洞体７２が設けられ、該電装部３４の内部には、該風洞体７２の一方の開口部７２１から他方の開口部７２２に送風する送風手段７１が設けられたことを特徴とする。これにより、第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、電装部３４の内部を外部からの腐食性ガスの進入が防止されつつ、電装部３４の内部を冷却手段７３によって熱交換して高温になることを防止でき、高温になることを防止された電装部３４の内部で風洞体７２の内方に配置したトランス６を送風手段７１によって冷却することができる。   As described above, in the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment, the electrical unit 34 is configured as a sealed space, and the electrical unit 34 includes the cooling unit 73 including the flow path 731 of the coolant L. Provided outside the transformers 6 is a wind tunnel body 72 that individually surrounds the transformers 6 and includes openings 721 and 722 that are opposed to each other via the transformers 6. 34 is provided with a blowing means 71 for blowing air from one opening 721 of the wind tunnel body 72 to the other opening 722. As a result, the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment has a high temperature by heat-exchanging the interior of the electrical component 34 by the cooling means 73 while preventing the inside of the electrical component 34 from entering corrosive gas from the outside. It is possible to cool the transformer 6 disposed inside the wind tunnel body 72 inside the electrical part 34 that is prevented from becoming high temperature by the air blowing means 71.

なお、第１の実施例に係る紫外線照射装置１は、光透過窓４を設けた構成について説明したが、本発明に係る紫外線照射装置１は、電装部３４に配置したトランス６が腐食性ガスに曝されることを防止できればよく、電装部３４の内部と光源部３５との内部とが大気的に連通していない構成であれば、光透過窓を設けなくてもかまわない。
また、本発明に係る紫外線照射装置１に具備されるエキシマランプ２は、放電空間２１４と誘電体２１を介して一対の電極２２１，２２２が対向配置され、真空紫外線を照射するものであればかまわなく、例えば、上述した特許文献３のように、一対の電極２２１，２２２が放電容器２１の外面に設けられたエキシマランプ２であってもかまわない。 In addition, although the ultraviolet irradiation apparatus 1 which concerns on 1st Example demonstrated the structure which provided the light transmissive window 4, as for the ultraviolet irradiation apparatus 1 which concerns on this invention, the trans | transformer 6 arrange | positioned at the electrical equipment part 34 is corrosive gas. The light transmission window may not be provided as long as the interior of the electrical unit 34 and the interior of the light source unit 35 are not in air communication.
Further, the excimer lamp 2 provided in the ultraviolet irradiation device 1 according to the present invention may be any one as long as the pair of electrodes 221 and 222 are arranged to face each other via the discharge space 214 and the dielectric 21 and irradiate vacuum ultraviolet rays. For example, as in Patent Document 3 described above, the excimer lamp 2 in which the pair of electrodes 221 and 222 are provided on the outer surface of the discharge vessel 21 may be used.

上述の第１の実施例に係る紫外線照射装置１においては、電装部３４の内部に冷却手段７３を設けたが、隔壁３２を冷却手段７３で構成した紫外線照射装置１について、第２の実施例として説明する。   In the ultraviolet irradiation device 1 according to the first embodiment described above, the cooling means 73 is provided inside the electrical part 34. However, the ultraviolet irradiation device 1 in which the partition wall 32 is constituted by the cooling means 73 is the second embodiment. Will be described.

図５は、第２の実施例に係る紫外線照射装置１の説明図であり、紫外線照射装置１に具備されたエキシマランプ２の管軸方向に対して直交する断面図である。
なお、図５には、図１に示したものと同じものに同一の符号が付されている。 FIG. 5 is an explanatory view of the ultraviolet irradiation device 1 according to the second embodiment, and is a cross-sectional view orthogonal to the tube axis direction of the excimer lamp 2 provided in the ultraviolet irradiation device 1.
In FIG. 5, the same components as those shown in FIG.

図５に示した紫外線照射装置１は、隔壁３２を冷却手段７３で構成した点で、図１に示した紫外線照射装置１と相違する。
図５に示した紫外線照射装置１の説明として、図１で示した紫外線照射装置１の説明と共通する部分を省略し、図１との相違点について述べる。 The ultraviolet irradiation device 1 shown in FIG. 5 is different from the ultraviolet irradiation device 1 shown in FIG. 1 in that the partition wall 32 is constituted by the cooling means 73.
As the description of the ultraviolet irradiation apparatus 1 shown in FIG. 5, the same parts as the description of the ultraviolet irradiation apparatus 1 shown in FIG. 1 are omitted, and differences from FIG. 1 will be described.

トランス６を載置する隔壁３２は、例えばアルマイト処理を施したアルミニウムからなる熱伝導性を有する金属部材により構成され、その内部に冷却液Ｌを流通される流路７３１が設けられることで、冷却手段７３として構成される。   The partition wall 32 on which the transformer 6 is mounted is made of, for example, a metal member having thermal conductivity made of aluminum subjected to anodizing treatment, and a flow path 731 through which the cooling liquid L is circulated is provided. It is configured as means 73.

このように、第２の実施例に係る紫外線照射装置１は、隔壁３２が、冷却手段７３で構成されると共に、電装部３４の密閉空間の熱交換を可能とする熱伝導性を有する部材で構成されることで、ランプ点灯時において、トランス６の熱を奪った排熱風が隔壁３２を構成する冷却手段７３によって熱交換され、密閉された電装部３４を冷却することができる。   Thus, the ultraviolet irradiation device 1 according to the second embodiment is a member having a thermal conductivity that allows the partition wall 32 to be configured by the cooling means 73 and allows the heat exchange in the sealed space of the electrical equipment section 34. By being configured, when the lamp is turned on, the exhausted hot air that has taken away the heat of the transformer 6 is heat-exchanged by the cooling means 73 that configures the partition wall 32, and the sealed electrical component 34 can be cooled.

また、エキシマランプ２から照射される光には、真空紫外線以外にも異なる波長域の光が含まれており、その光の中には、隔壁３２を加熱する光も含まれている。また、エキシマランプ２からは、給電されることで加熱されるので、その輻射熱が放射されている。
第２の実施例に係る紫外線照射装置１は、エキシマランプ２とトランス６との間に位置する隔壁３２を冷却手段７３によって構成することにより、エキシマランプ２からの照射熱や輻射熱を隔壁３２によって熱交換され、トランス６が加熱されることを防止することができる。 The light emitted from the excimer lamp 2 includes light in a different wavelength region other than vacuum ultraviolet rays, and the light includes light for heating the partition wall 32. Further, since the excimer lamp 2 is heated by being supplied with power, the radiant heat is radiated.
In the ultraviolet irradiation apparatus 1 according to the second embodiment, the partition wall 32 located between the excimer lamp 2 and the transformer 6 is configured by the cooling means 73, so that the irradiation heat and radiant heat from the excimer lamp 2 are transmitted by the partition wall 32. Heat exchange can be performed to prevent the transformer 6 from being heated.

本発明の第１の実施例に係る紫外線照射装置の説明図である。It is explanatory drawing of the ultraviolet irradiation device which concerns on the 1st Example of this invention. 本発明の第１の実施例に係る紫外線照射装置の説明図である。It is explanatory drawing of the ultraviolet irradiation device which concerns on the 1st Example of this invention. 本発明の第１の実施例に係る紫外線照射装置に具備されるエキシマランプの説明図である。It is explanatory drawing of the excimer lamp with which the ultraviolet irradiation device concerning the 1st example of the present invention is equipped. 比較例に係る紫外線照射装置と本発明の第１の実施例に係る紫外線照射装置とを比較した説明図である。It is explanatory drawing which compared the ultraviolet irradiation device which concerns on a comparative example, and the ultraviolet irradiation device which concerns on the 1st Example of this invention. 本発明の第２の実施例に係る紫外線照射装置の説明図である。It is explanatory drawing of the ultraviolet irradiation device which concerns on the 2nd Example of this invention. 従来に係る紫外線照射装置の説明図である。It is explanatory drawing of the ultraviolet irradiation device concerning the former.

符号の説明Explanation of symbols

１ 紫外線照射装置
１１ ランプユニット
１２ 搬送ユニット
１２１ ローラ
１２２ 駆動体
２ エキシマランプ
２１ 放電容器
２１１ 外側管
２１２ 内側管
２１３ 端壁部
２１４ 放電空間
２２１ 外側電極
２２２ 内側電極
３ 筐体
３１ 天板
３２ 隔壁
３３１ 貫通孔
３３２ 封止体
３４ 電装部
３４１ 電装部側側壁
３４２ 貫通孔
３４３ 封止体
３５ 光源部
３５１ 光源部側側壁
３６ ランプ保持体
４ 光透過窓
５ 給電線
６ トランス
７１ 送風手段
７２ 風洞体
７２１ 一方の開口部
７２２ 他方の開口部
７３ 冷却手段
７３１ 流路
Ａ 冷却風の流れ
Ｌ 冷却液の流れ
Ｗ 被照射物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultraviolet irradiation device 11 Lamp unit 12 Conveyance unit 121 Roller 122 Driver 2 Excimer lamp 21 Discharge vessel 211 Outer tube 212 Inner tube 213 End wall 214 Discharge space 221 Outer electrode 222 Inner electrode 3 Housing 31 Top plate 32 Bulkhead 331 Through Hole 332 Sealing body 34 Electrical part 341 Electrical part side wall 342 Through hole 343 Sealing body 35 Light source part 351 Light source part side wall 36 Lamp holder 4 Light transmission window 5 Feed line 6 Transformer 71 Air blow means 72 Wind tunnel body 721 Opening 722 Other opening 73 Cooling means 731 Flow path A Flow of cooling air L Flow of cooling liquid W Subject to be irradiated

Claims (2)

放電容器と該放電容器の放電空間を介して対向配置された電極とからなるエキシマランプと、
複数の該エキシマランプにそれぞれ電気的に接続されると共に千鳥状に配置されたトランスと、
該複数のエキシマランプと該複数のトランスとを保持すると共に、該複数のエキシマランプと該複数のトランスとの間に設けられた隔壁を具備する筐体と、
該筐体内で該隔壁を介して該複数のトランスを取り囲む電装部と、
からなる紫外線照射装置において、
該電装部には、冷却液の流路を具備する冷却手段が設けられ、
該各トランスの外方には、該各トランスを個別に囲うと共に、該トランスを介して対向された一対の開口部を具備した風洞体が、前記エキシマランプの管軸方向に沿って伸びるようにそれぞれ千鳥状に設けられ、
該電装部の内部には、該風洞体の一方の開口部から他方の開口部に送風する送風手段が設けられた
ことを特徴とする紫外線照射装置。 An excimer lamp comprising a discharge vessel and an electrode disposed opposite to the discharge vessel through the discharge space;
A transformer disposed in electrically connected to Rutotomoni staggered in a plurality of the excimer lamp,
A housing that holds the plurality of excimer lamps and the plurality of transformers and includes a partition wall provided between the plurality of excimer lamps and the plurality of transformers;
An electrical component that surrounds the plurality of transformers via the partition in the housing;
In the ultraviolet irradiation device consisting of
The electrical component is provided with a cooling means having a coolant flow path,
Outside the transformers, a wind tunnel body that individually surrounds the transformers and includes a pair of openings opposed to the transformers extends along the tube axis direction of the excimer lamp. Each is provided in a staggered pattern ,
An ultraviolet irradiating device, characterized in that a blower for blowing air from one opening of the wind tunnel body to the other opening is provided inside the electrical component. 該隔壁は、その内部に冷却液の流路を具備した冷却手段で構成された
ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。 The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the partition wall is constituted by a cooling means having a cooling liquid flow path therein.
JP2008150748A 2008-06-09 2008-06-09 UV irradiation equipment Active JP5195051B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008150748A JP5195051B2 (en) 2008-06-09 2008-06-09 UV irradiation equipment
TW098114431A TWI409848B (en) 2008-06-09 2009-04-30 Ultraviolet radiation device
KR1020090039843A KR101255408B1 (en) 2008-06-09 2009-05-07 Ultraviolet irradiation apparatus
CN2009101413532A CN101603640B (en) 2008-06-09 2009-06-02 Ultraviolet radiation device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008150748A JP5195051B2 (en) 2008-06-09 2008-06-09 UV irradiation equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009295923A JP2009295923A (en) 2009-12-17
JP5195051B2 true JP5195051B2 (en) 2013-05-08

Family

ID=41469482

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008150748A Active JP5195051B2 (en) 2008-06-09 2008-06-09 UV irradiation equipment

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5195051B2 (en)
KR (1) KR101255408B1 (en)
CN (1) CN101603640B (en)
TW (1) TWI409848B (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5651985B2 (en) * 2010-04-01 2015-01-14 ウシオ電機株式会社 UV irradiation equipment
CN103962346B (en) * 2014-05-21 2016-08-24 深圳市华星光电技术有限公司 The method of the ultraviolet rays cleaning substrate of adjustable ultraviolet radiation energy
CN111359994B (en) * 2020-03-16 2021-06-01 Tcl华星光电技术有限公司 Cleaning device

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08146097A (en) * 1994-11-24 1996-06-07 Advantest Corp Integrated type hermetically closed cooling device for semiconductor ic tester
DE20114380U1 (en) * 2001-08-31 2002-02-21 Hoenle Ag Dr UV irradiation device
JP2003303694A (en) * 2002-04-08 2003-10-24 Ushio Inc Excimer light irradiation device
JP4260588B2 (en) * 2003-09-22 2009-04-30 ウシオ電機株式会社 High voltage pulse generator and discharge excitation gas laser apparatus equipped with high voltage pulse generator
JP4424296B2 (en) * 2005-10-13 2010-03-03 ウシオ電機株式会社 UV irradiation equipment
US20070295012A1 (en) * 2006-06-26 2007-12-27 Applied Materials, Inc. Nitrogen enriched cooling air module for uv curing system
JP5019156B2 (en) * 2006-08-21 2012-09-05 ウシオ電機株式会社 Excimer lamp device

Also Published As

Publication number Publication date
CN101603640A (en) 2009-12-16
KR20090127804A (en) 2009-12-14
TW201009888A (en) 2010-03-01
CN101603640B (en) 2013-05-08
KR101255408B1 (en) 2013-04-17
JP2009295923A (en) 2009-12-17
TWI409848B (en) 2013-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4424296B2 (en) UV irradiation equipment
CN105074882B (en) Light irradiation device
WO2000006961A1 (en) Drier, drier assembly and drying method
JP5928527B2 (en) Excimer light irradiation equipment
US9616469B2 (en) Light projection device
JP5195051B2 (en) UV irradiation equipment
JPH0768163A (en) Ultraviolet irradiation device
TWI504970B (en) Ultraviolet radiation device
JP2014103028A (en) Compact ultraviolet ray irradiator
WO2016208110A1 (en) Optical treatment device and optical treatment method
WO2015083435A1 (en) Ashing method and ashing device
US9171747B2 (en) Method and apparatus for irradiating a semi-conductor wafer with ultraviolet light
JP2012215539A (en) Weather-resistance testing device for solar battery panel
JP2017157458A (en) Ultraviolet irradiation device
KR100902633B1 (en) Heating unit and substrate processing apparatus therewith
JP2013093107A (en) Ultraviolet irradiation device
JP2014226605A (en) Compact size ultraviolet irradiation device
JP4917993B2 (en) UV irradiation equipment
WO2021084794A1 (en) Ultraviolet radiation device
JP4769688B2 (en) UV sterilizer
JP2004039511A (en) Irradiation device
JP2016189394A (en) Excimer light irradiation device for desmear and desmearing method
CN220456352U (en) Irradiation device
JP2018073692A (en) Light source unit for heating
JP2007265737A (en) Photochemical treatment device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110317

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120711

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120731

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120926

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130108

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130121

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5195051

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250