JP5192358B2 - 位置合わせ方法、アライメントシステムおよびアライメントマークを有する製品 - Google Patents
位置合わせ方法、アライメントシステムおよびアライメントマークを有する製品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5192358B2 JP5192358B2 JP2008309352A JP2008309352A JP5192358B2 JP 5192358 B2 JP5192358 B2 JP 5192358B2 JP 2008309352 A JP2008309352 A JP 2008309352A JP 2008309352 A JP2008309352 A JP 2008309352A JP 5192358 B2 JP5192358 B2 JP 5192358B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- reflection efficiency
- polarization component
- wavelength
- alignment mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 56
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 47
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 46
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 29
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 27
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims description 15
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 48
- 230000006870 function Effects 0.000 description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7073—Alignment marks and their environment
- G03F9/7076—Mark details, e.g. phase grating mark, temporary mark
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54426—Marks applied to semiconductor devices or parts for alignment
Description
製品の表面にあるアライメントマークに電磁放射を伝送するステップと、
アライメントマークによって回折された放射を収集するステップと、
回折された放射の位相関係から位置情報を決定するステップと
を含み、そのアライメントマークが、回折された放射がそこから収集される相互に平行な導電体トラックのセットを備え、導電体トラックのセットが連続するトラックの間にピッチを有し、そのセット内のトラックのピッチが製品の表面に沿った位置の関数として変化し、収集される前記放射の回折が発生する角度が、そのセット内のトラックのピッチが位置の関数として変化するパターンに依存する、
製品の位置を測定する方法が提供される。
電磁放射を伝送するように構成された電磁放射源と、
放射を受けるためのアライメントマークを備える位置合わせしようとする製品であって、そのアライメントマークが、連続するトラックの間にピッチを有する相互に平行な導電体トラックのセットを備え、そのセット内のトラックのピッチが製品の表面に沿った位置の関数として変化し、収集される放射の回折が発生する角度が、そのセット内のトラックのピッチが位置の関数として変化するパターンに依存する製品と、
アライメントマークから回折された電磁放射から選択された回折次数から光の像を形成するように構成されたディテクタと
を備えるアライメントシステムが提供される。
例えば可視光、UVまたはEUVの波長範囲内の電磁放射のビームBを条件づけるように構成されている照明システム(イルミネータ)ILと、
パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構築され、パターニングデバイスを特定のパラメータにしたがって精密に位置決めするように構成されている第1のポジショナPMに連結されている支持構造物(例えばマスクテーブル)MTと、
基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、基板を特定のパラメータにしたがって精密に位置決めするように構成されている第2のポジショナPWに連結されている基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば複数のダイを備える)に投影するように構成されている投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを備える。
Claims (11)
- 製品の位置を測定する方法であって、
前記製品の表面にあるアライメントマークに電磁放射を伝送するステップと、
前記アライメントマークによって回折された放射を収集するステップと、
前記回折された放射の位相関係から位置情報を決定するステップと
を含み、
前記アライメントマークが、第1の領域において第1のピッチ値を有する相互に平行な第1の導電体トラックのセットと、第2の領域において第2のピッチ値を有する相互に平行な第2の導電体トラックのセットとを備え、
前記伝送された放射が、相互に直交する第1および第2の偏光成分を伴う放射を含み、
前記第1および第2の偏光成分が第1の波長を伴い、
前記第1の波長において、前記第1の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも高く、且つ、前記第2の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも低い、方法。 - 前記第1および第2のピッチ値のそれぞれが前記製品の前記表面に沿った位置の関数として変化し、収集される前記放射の回折が発生する角度が、前記第1および第2のピッチ値それぞれの位置の関数として変化するパターンに依存する、請求項1に記載の方法。
- 前記電磁放射の波長が、前記第1および第2の偏光成分に対する反射効率が等しくなる特定のピッチ値を決定し、前記第1のピッチ値が前記特定のピッチ値よりも小さく、且つ、前記第2のピッチ値が前記特定のピッチ値よりも大きい、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記波長が、前記第1の偏光成分に対して反射効率が最小である最小ピッチ値を決定し、前記第2のピッチ値が、前記最小ピッチ値である、請求項3に記載の方法。
- 前記伝送された放射が、さらなる放射を含み、前記さらなる放射が相互に直交する第3および第4の偏光成分を伴い、前記第3および第4の偏光成分が前記第1および第2の偏光成分の第1の波長とは異なる第2の波長を伴い、前記第2の波長において、前記第1の導電体トラックからの前記第3の偏光成分に対する反射効率が前記第4の偏光成分に対する反射効率よりも高く、且つ、前記第2の導電体トラックからの前記第3の偏光成分に対する反射効率が前記第4の偏光成分に対する反射効率よりも低い、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 周期的な構成を備えた前記第1および第2の導電体トラックのセットのそれぞれが、位置の関数として交互になる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記導電体トラックの長手方向が前記第1と第2の領域の間の境界に平行に配向されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 電磁放射を伝送するように構成された電磁放射源と、
前記放射を受けるためのアライメントマークを備える位置合わせしようとする製品であって、前記アライメントマークが、第1の領域において第1のピッチ値を有する相互に平行な第1の導電体トラックのセットと、第2の領域において第2のピッチ値を有する相互に平行な第2の導電体トラックのセットとを備えた、製品と、
前記アライメントマークから回折された電磁放射から選択された回折次数から光を検出するように構成されたディテクタと
を備え、
前記伝送された放射が、相互に直交する第1および第2の偏光成分を伴う放射を含み、
前記第1および第2の偏光成分が第1の波長を伴い、
前記第1の波長において、前記第1の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも高く、且つ、前記第2の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも低い、アライメントシステム。 - 前記製品が半導体ウェーハである、請求項8に記載のアライメントシステムを備える、フォトリソグラフィ機器。
- 電磁放射を受けるアライメントマークを備える製品であって、
前記アライメントマークが、第1の領域において第1のピッチ値を有する相互に平行な第1の導電体トラックのセットと、第2の領域において第2のピッチ値を有する相互に平行な第2の導電体トラックのセットとを備え、
前記放射が、相互に直交する第1および第2の偏光成分を伴う放射を含み、
前記第1および第2の偏光成分が第1の波長を伴い、
前記第1の波長において、前記第1の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも高く、且つ、前記第2の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも低い、製品。 - 製造中にデバイスを含む製品にパターニングデバイスからのパターンを転写することを含むデバイスを製造するための方法であって、
電磁放射を前記製品の表面にあるアライメントマークに向かって伝送するステップと、
前記アライメントマークによって回折された放射を収集するステップと、
前記回折された放射の位相関係から位置情報を決定するステップと、を含む方法にしたがって前記基板を位置合わせすることを含み、
前記アライメントマークが、第1の領域において第1のピッチ値を有する相互に平行な第1の導電体トラックのセットと、第2の領域において第2のピッチ値を有する相互に平行な第2の導電体トラックのセットとを備え、
前記伝送された放射が、相互に直交する第1および第2の偏光成分を伴う放射を含み、
前記第1および第2の偏光成分が第1の波長を伴い、
前記第1の波長において、前記第1の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも高く、且つ、前記第2の導電体トラックからの前記第1の偏光成分に対する反射効率が前記第2の偏光成分に対する反射効率よりも低い、方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US99699907P | 2007-12-13 | 2007-12-13 | |
US60/996,999 | 2007-12-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009147328A JP2009147328A (ja) | 2009-07-02 |
JP5192358B2 true JP5192358B2 (ja) | 2013-05-08 |
Family
ID=40350252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008309352A Expired - Fee Related JP5192358B2 (ja) | 2007-12-13 | 2008-12-04 | 位置合わせ方法、アライメントシステムおよびアライメントマークを有する製品 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8072615B2 (ja) |
EP (1) | EP2071402B1 (ja) |
JP (1) | JP5192358B2 (ja) |
KR (1) | KR101074047B1 (ja) |
CN (1) | CN101458464B (ja) |
SG (1) | SG153747A1 (ja) |
TW (1) | TWI467350B (ja) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008299912A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | アライメント用パターンを備えたハードディスクメディアおよびアライメント方法 |
JP5006889B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2012-08-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 粗ウェーハ位置合わせ用マーク構造及びこのようなマーク構造の製造方法 |
JP5623033B2 (ja) * | 2009-06-23 | 2014-11-12 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置、リソグラフィ方法、及び半導体装置の製造方法 |
WO2012144904A2 (en) * | 2011-04-22 | 2012-10-26 | Mapper Lithography Ip B.V. | Position determination in a lithography system using a substrate having a partially reflective position mark |
KR20140027298A (ko) | 2011-04-22 | 2014-03-06 | 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. | 웨이퍼와 같은 타겟의 처리를 위한 리소그래피 시스템 및 웨이퍼와 같은 타겟의 처리를 위한 리소그래피 시스템 작동 방법 |
US8692204B2 (en) * | 2011-04-26 | 2014-04-08 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for electron beam detection |
JP5932023B2 (ja) | 2011-05-13 | 2016-06-08 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | ターゲットの少なくとも一部を処理するためのリソグラフィシステム |
JP5696079B2 (ja) | 2012-03-22 | 2015-04-08 | 株式会社東芝 | マスクおよび半導体装置の製造方法 |
US9034720B2 (en) * | 2012-08-17 | 2015-05-19 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | Litho scanner alignment signal improvement |
NL2011726A (en) * | 2012-11-05 | 2014-05-08 | Asml Netherlands Bv | Method and apparatus for measuring asymmetry of a microstructure, position measuring method, position measuring apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method. |
US10698321B2 (en) * | 2012-11-21 | 2020-06-30 | Kla-Tencor Corporation | Process compatible segmented targets and design methods |
CN104007611B (zh) * | 2013-02-25 | 2018-01-16 | 斯克林集团公司 | 图案形成装置及图案形成方法 |
JP6181284B2 (ja) | 2013-03-20 | 2017-08-16 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 微小構造の非対称性の測定方法ならびに測定装置、位置測定方法、位置測定装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
CN105408721B (zh) * | 2013-06-27 | 2020-01-10 | 科磊股份有限公司 | 计量学目标的极化测量及对应的目标设计 |
US9410902B1 (en) | 2015-05-05 | 2016-08-09 | United Microelectronics Corp. | Overlay measurement method |
JP6595870B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-10-23 | 株式会社Screenホールディングス | 補正情報生成装置、描画装置、補正情報生成方法および描画方法 |
KR102170147B1 (ko) | 2015-12-28 | 2020-10-27 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 모듈레이션 기술을 이용한 메트롤로지를 위한 대체 타겟 디자인 |
CN108010857B (zh) * | 2016-11-01 | 2020-12-29 | 北大方正集团有限公司 | 离子注入工艺对准质量的检验方法 |
CN110431486B (zh) * | 2017-03-16 | 2022-03-15 | 株式会社尼康 | 控制装置及控制方法、曝光装置及曝光方法、元件制造方法、数据生成方法和计算机可读介质 |
DE102017204719A1 (de) * | 2017-03-21 | 2018-09-27 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Metrologie-Target |
US10663633B2 (en) * | 2017-06-29 | 2020-05-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Aperture design and methods thereof |
EP3451060A1 (en) * | 2017-08-28 | 2019-03-06 | ASML Netherlands B.V. | Substrate, metrology apparatus and associated methods for a lithographic process |
CN109062452B (zh) * | 2018-07-26 | 2021-06-25 | 业成科技(成都)有限公司 | 对位记号辨识系统 |
US10651129B1 (en) * | 2019-02-12 | 2020-05-12 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming alignment marks during patterning of semiconductor material |
US10922808B2 (en) * | 2019-02-14 | 2021-02-16 | KLA—Tencor Corp. | File selection for test image to design alignment |
WO2020169419A1 (en) * | 2019-02-19 | 2020-08-27 | Asml Holding N.V. | Metrology system, lithographic apparatus, and method |
EP3938837A4 (en) | 2019-03-25 | 2022-11-23 | KLA Corporation | IMPROVED SELF-MOTORING GRID CONSTRUCTION FOR USE IN METROLOGY |
CN110676243B (zh) * | 2019-09-30 | 2021-09-14 | 芯盟科技有限公司 | 芯片及对位方法 |
CN114384769A (zh) * | 2020-10-19 | 2022-04-22 | 联华电子股份有限公司 | 对准系统及对准标记 |
CN113725197A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-30 | 长江存储科技有限责任公司 | 半导体结构及其形成方法 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63153818A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | アライメント用マ−ク |
US5418613A (en) * | 1990-11-20 | 1995-05-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for detecting the position of a substrate having first and second patterns of different sizes |
US5422723A (en) | 1992-09-21 | 1995-06-06 | Texas Instruments Incorporated | Diffraction gratings for submicron linewidth measurement |
JP2548068B2 (ja) * | 1993-02-22 | 1996-10-30 | 株式会社ソルテック | 位置ずれ及びギャップ検出方法 |
US5777392A (en) | 1995-03-28 | 1998-07-07 | Nec Corporation | Semiconductor device having improved alignment marks |
JP2666761B2 (ja) * | 1995-03-28 | 1997-10-22 | 日本電気株式会社 | 半導体ウェハ |
EP0823667A2 (en) | 1996-08-06 | 1998-02-11 | Nikon Corporation | Alignment apparatus and exposure apparatus equipped with same |
JPH10270347A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-10-09 | Nikon Corp | 位置ずれ検出方法及びその装置 |
JP2000252190A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Matsushita Electronics Industry Corp | 半導体装置のアライメントマーク |
JP4269393B2 (ja) | 1999-03-03 | 2009-05-27 | 株式会社ニコン | アライメントマーク及びアライメント方法 |
JP3371852B2 (ja) | 1999-07-09 | 2003-01-27 | 日本電気株式会社 | レチクル |
US7115858B1 (en) * | 2000-09-25 | 2006-10-03 | Nanometrics Incorporated | Apparatus and method for the measurement of diffracting structures |
KR100500469B1 (ko) * | 2001-01-12 | 2005-07-12 | 삼성전자주식회사 | 정렬마크와 이를 이용하는 노광정렬시스템 및 그 정렬방법 |
DE60319462T2 (de) * | 2002-06-11 | 2009-03-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels |
TWI227814B (en) * | 2002-09-20 | 2005-02-11 | Asml Netherlands Bv | Alignment system and methods for lithographic systems using at least two wavelengths |
US7440105B2 (en) * | 2002-12-05 | 2008-10-21 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Continuously varying offset mark and methods of determining overlay |
SG124270A1 (en) * | 2002-12-16 | 2006-08-30 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus with alignment subsystem, device manufacturing method using alignment, and alignment structure |
DE10315086B4 (de) * | 2003-04-02 | 2006-08-24 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten von Halbleiterwafern bei der Halbleiterherstellung |
US7113255B2 (en) * | 2003-12-19 | 2006-09-26 | Asml Holding N.V. | Grating patch arrangement, lithographic apparatus, method of testing, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
US7130049B2 (en) * | 2003-12-24 | 2006-10-31 | Asml Netherlands B.V. | Method of measurement, method for providing alignment marks, and device manufacturing method |
JP4401814B2 (ja) * | 2004-02-25 | 2010-01-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 測長用標準部材及び電子ビーム測長装置 |
US7737566B2 (en) * | 2005-06-01 | 2010-06-15 | Asml Netherlands B.V. | Alignment devices and methods for providing phase depth control |
US7687925B2 (en) | 2005-09-07 | 2010-03-30 | Infineon Technologies Ag | Alignment marks for polarized light lithography and method for use thereof |
US7863763B2 (en) | 2005-11-22 | 2011-01-04 | Asml Netherlands B.V. | Binary sinusoidal sub-wavelength gratings as alignment marks |
US7460231B2 (en) * | 2006-03-27 | 2008-12-02 | Asml Netherlands B.V. | Alignment tool for a lithographic apparatus |
JP2008003520A (ja) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Toshiba Corp | フォトマスク及び半導体装置の製造方法 |
TWI339778B (en) * | 2006-07-12 | 2011-04-01 | Ind Tech Res Inst | Method for designing gratings |
-
2008
- 2008-12-01 SG SG200808908-8A patent/SG153747A1/en unknown
- 2008-12-04 JP JP2008309352A patent/JP5192358B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-09 TW TW97147853A patent/TWI467350B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-12-11 US US12/332,953 patent/US8072615B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-12 KR KR1020080126565A patent/KR101074047B1/ko active IP Right Grant
- 2008-12-12 CN CN200810185523.2A patent/CN101458464B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-12 EP EP08171582.3A patent/EP2071402B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090153861A1 (en) | 2009-06-18 |
EP2071402A3 (en) | 2012-02-29 |
KR20090063157A (ko) | 2009-06-17 |
EP2071402A2 (en) | 2009-06-17 |
TWI467350B (zh) | 2015-01-01 |
SG153747A1 (en) | 2009-07-29 |
US8072615B2 (en) | 2011-12-06 |
EP2071402B1 (en) | 2013-11-06 |
TW200931209A (en) | 2009-07-16 |
KR101074047B1 (ko) | 2011-10-17 |
CN101458464B (zh) | 2013-03-27 |
JP2009147328A (ja) | 2009-07-02 |
CN101458464A (zh) | 2009-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5192358B2 (ja) | 位置合わせ方法、アライメントシステムおよびアライメントマークを有する製品 | |
JP4584139B2 (ja) | リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置中の位置合わせ測定方法 | |
JP4541374B2 (ja) | 基板計測のための縮小されたスクライブレーンの使用を有するリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4454614B2 (ja) | アライメントマークとしての2元正弦サブ波長回折格子 | |
JP5265721B2 (ja) | 照明システム、リソグラフィ装置、及び放射ビームの偏光を制御する方法 | |
JP4797087B2 (ja) | サブセグメント化されたアライメントマーク構成 | |
JP4509131B2 (ja) | リソグラフィ装置用アライメントツール | |
JP4520429B2 (ja) | 位置合わせ装置への2次元フォトニック結晶の応用 | |
JP5312501B2 (ja) | アライメントマーク、基板、パターニングデバイスの組、およびデバイス製造方法 | |
JP2007227918A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP2007266601A (ja) | オーバーレイ測定を使用するリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4404814B2 (ja) | アライメントシステムおよびそのようなアライメントシステムを備えたリソグラフィ装置 | |
JP2007335863A (ja) | グレーフィルタを有する波面センサおよびそれを含むリソグラフィ装置 | |
JP2010272863A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
KR101593534B1 (ko) | 정렬 타겟들을 위한 회절 요소들 | |
US20110304851A1 (en) | Scatterometry Method and Measurement System for Lithography | |
JP4643627B2 (ja) | フォーカステスト実施方法およびデバイス製造方法 | |
KR20090101123A (ko) | 리소그래피 장치에서의 개략적인 웨이퍼 정렬을 위한 방법 | |
JP5006889B2 (ja) | 粗ウェーハ位置合わせ用マーク構造及びこのようなマーク構造の製造方法 | |
JP2006179907A (ja) | 自動焦点システムを備えたリソグラフィ機器 | |
JP2007158313A (ja) | 光学システム、リソグラフィ装置および投影方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130131 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5192358 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160208 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |