JP5192165B2 - ガスレーザ装置及びガスレーザ装置の起動方法 - Google Patents
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また、本発明では、前記計測部が数値制御されることを特徴とする。
また、本発明では、前記計測部による前記水分量の計測が、フーリエ変換赤外吸収分光法、四重極型質量分析法によって行われることを特徴とする。
11 ガスコントロールユニット
12,20 コントローラ
14 第1の判定部
15 予備放電制御部
16 主放電制御部
21 第2の判定部
51 共振器ユニット
52 送風機ユニット
53 ガスコントローラユニット
54 放電管
Claims (8)
- コントロールユニットを有し、放電管内の媒質ガスを放電により励起してレーザ光を発振するガスレーザ装置において、
前記コントロールユニットが、
前記媒質ガス中の水分量を計測する計測部と、
前記レーザ光を出力する主放電に先立ち、前記計測部により計測された前記媒質ガス中の前記水分量が、前記媒質ガスに含まれる許容水分量である予め設定された第1閾値以下になるまで、放電と、放電停止と、前記媒質ガスの排気及び供給と、を行う予備放電を繰り返し実行する手段と、
を備えたことを特徴とする、レーザ装置。 - 前記予備放電を繰り返し実行する手段が、前記計測部により計測された前記水分量が前記第1閾値以下になるまで、主放電時の電圧よりも低い電圧で実施される前記媒質ガスの予備放電を制御する予備放電制御部であることを特徴とする、請求項1に記載のガスレーザ装置。
- 前記計測部により計測された前記水分量と前記第1閾値より大きいか、もしくは等しい設定値である第2閾値とを比較する判定部を備え、
前記予備放電が最初に開始されてから所定時間内で、前記水分量が前記第2閾値以下にならなかった場合に、前記放電管内の前記媒質ガスを排気し新しい媒質ガスを入れて前記予備放電を行うことを特徴とする、請求項1又は2に記載のガスレーザ装置。 - 前記媒質ガスは、ヘリウム、窒素、炭酸ガスを含むことを特徴とする、請求項1〜3の何れか1項に記載のガスレーザ装置。
- 前記計測部が数値制御されることを特徴とする、請求項1〜4の何れか1項に記載のガスレーザ装置。
- 前記計測部による前記水分量の計測が、フーリエ変換赤外吸収分光法、四重極型質量分析法によって行われることを特徴とする、請求項1〜5の何れか1項に記載のガスレーザ装置。
- 放電管内の媒質ガスを放電により励起してレーザ光を発振するガスレーザ装置の起動方法において、
前記媒質ガス中の水分量を計測し、
前記水分量と前記媒質ガスに含まれる許容水分量である第1閾値とを比較し、
前記水分量が前記第1閾値以下になるまで、第1電圧で行う放電と、放電停止と、前記媒質ガスの排気及び供給と、を行う予備放電を繰り返し、
前記水分量が前記第1閾値未満になった後、前記レーザ光を外部へ発振するために、前記媒質ガスを前記第1電圧よりも高い第2電圧で主放電する、
ことを特徴とする、ガスレーザ装置の起動方法。 - 前記予備放電が最初に開始されてから所定時間内で、前記水分量が前記第1閾値より大きいか、もしくは等しい設定値である第2閾値以下にならなかった場合に、前記レーザ装置内の前記媒質ガスを排気し新しい媒質ガスを入れて前記予備放電を行うことを特徴とする、請求項7に記載のガスレーザ装置の起動方法。
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