JP2015023202A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015023202A JP2015023202A JP2013151402A JP2013151402A JP2015023202A JP 2015023202 A JP2015023202 A JP 2015023202A JP 2013151402 A JP2013151402 A JP 2013151402A JP 2013151402 A JP2013151402 A JP 2013151402A JP 2015023202 A JP2015023202 A JP 2015023202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation
- upper limit
- excitation power
- laser
- dispersion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
前記励起用電力測定器により測定された励起用電力の分散を算出する、励起用電力分散演算器と、励起用電力の分散上限を設定する、励起用電力分散上限設定器と、前記励起用電力分散演算器の出力と、前記励起用電力分散上限設定器の出力を比較する、励起用電力分散上限比較器を具備し、
前記励起用電力分散上限比較器の出力結果が、励起用電力分散>分散上限となる場合に、前記レーザ媒質ガス給排気装置を作動させて前記光共振器内のレーザ媒質ガスを入れ替え、前記励起用電力分散上限比較器の出力結果が、励起用電力分散≦分散上限となるまで、レーザ媒質ガスの励起と、レーザ媒質ガスの入れ替えを繰り返すことにより、所期の目的を達成するものである。
前記励起用電力測定器により測定された励起用電力の分散を算出する、励起用電力分散演算器と、励起用電力の分散上限を設定する、励起用電力分散上限設定器と、前記励起用電力分散演算器の出力と、前記励起用電力分散上限設定器の出力を比較する、励起用電力分散上限比較器を具備し、
前記励起用電力分散上限比較器の出力結果が、励起用電力分散>分散上限となる場合に、前記レーザ媒質ガス給排気装置を作動させて前記光共振器内のレーザ媒質ガスを入れ替え、前記励起用電力分散上限比較器の出力結果が、励起用電力分散≦分散上限となるまで、レーザ媒質ガスの励起と、レーザ媒質ガスの入れ替えを繰り返すことにより、操作者の時間的拘束やレーザ媒質ガスまたは励起エネルギー源であるところの電気量を適正化することができる。
以下、本発明の実施形態の一例について、図を用いて説明する。
2 出力鏡
3 リア鏡
4 放電管
5 ガス流路
6 電極
7 励起装置
8 励起用電力測定器
9 レーザ出力測定器
10 制御装置
11 送風機
12a、12b 熱交換器
13 レーザ媒質ガス給排気装置
14a、14b ソレノイドバルブ
15 真空ポンプ
20 励起用電力分散演算器
21 励起用電力分散上限設定器
22 励起用電力分散上限比較器
23 励起電力指令値変動量演算器
24 励起電力指令値変動量上限設定器
25 励起電力指令値変動量上限比較器
30 レーザ発振装置
31a、31b レーザ光
40 レーザ媒質ガス封入ボンベ(装置外)
Claims (2)
- 光共振器と、該光共振器内のレーザ媒質ガスに励起エネルギーを与える励起装置と、励起装置の励起用電力を測定する励起用電力測定器と、レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器と、レーザ出力値指令を受けて、前記レーザ出力測定器により測定されたレーザ出力値がレーザ出力値指令と一致するように前記励起装置をフィードバック制御する制御装置と、前記光共振器内のレーザ媒質ガスを外部から給気し、かつ外部へ排気するレーザ媒質ガス給排気装置を備えたレーザ発振装置において、
前記励起用電力測定器により測定された励起用電力の分散を算出する、励起用電力分散演算器と、
励起用電力の分散上限を設定する、励起用電力分散上限設定器と、
前記励起用電力分散演算器の出力と、前記励起用電力分散上限設定器の出力を比較する、励起用電力分散上限比較器を具備し、
前記励起用電力分散上限比較器の出力結果が、励起用電力分散>分散上限となる場合に、前記レーザ媒質ガス給排気装置を作動させて前記光共振器内のレーザ媒質ガスを入れ替え、
前記励起用電力分散上限比較器の出力結果が、励起用電力分散≦分散上限となるまで、レーザ媒質ガスの励起と、レーザ媒質ガスの入れ替えを繰り返すことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - 前記制御装置から前記励起装置に出力される励起電力指令値の経時的変動量を算出する励起電力指令値変動量演算器と、
励起電力指令値の経時変動量上限を設定する、励起電力指令値経時変動量上限設定器と、
前記励起電力指令値変動量演算器の出力と、前記励起電力指令値経時変動量上限設定器の出力を比較する、励起電力指令値変動量上限比較器を具備し、
前記励起用電力分散上限比較器の出力結果が、励起用電力分散≦分散上限となった後、前記励起電力指令値変動量上限比較器の出力結果が、励起電力指令値変動量>変動量上限となる場合に、前記レーザ媒質ガス給排気装置を作動させて前記光共振器内のレーザ媒質ガスを入れ替え、
前記励起電力指令値変動量上限比較器の出力結果が、励起電力指令値変動量≦変動量上限となるまで、レーザ媒質ガスの励起と、レーザ媒質ガスの入れ替えを繰り返すことを特徴とする請求項1に記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013151402A JP2015023202A (ja) | 2013-07-22 | 2013-07-22 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013151402A JP2015023202A (ja) | 2013-07-22 | 2013-07-22 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015023202A true JP2015023202A (ja) | 2015-02-02 |
Family
ID=52487391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013151402A Pending JP2015023202A (ja) | 2013-07-22 | 2013-07-22 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015023202A (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08168891A (ja) * | 1994-04-27 | 1996-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置およびその制御方法 |
JPH10173274A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-26 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
JP2002181623A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-26 | Amada Eng Center Co Ltd | ガスレーザー発振器のプラズマ監視装置および監視方法 |
JP2007270337A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Hoya Corp | 処理データ管理システム、処理システム、および、処理装置のデータ管理方法 |
JP2008196722A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Daido Steel Co Ltd | アーク炉の溶解終了判定方法 |
JP2008244077A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置及びガスレーザ装置の起動方法 |
JP2009278744A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Sinfonia Technology Co Ltd | アーク検出装置及びこれを備えた航空機 |
-
2013
- 2013-07-22 JP JP2013151402A patent/JP2015023202A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08168891A (ja) * | 1994-04-27 | 1996-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置およびその制御方法 |
JPH10173274A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-26 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
JP2002181623A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-26 | Amada Eng Center Co Ltd | ガスレーザー発振器のプラズマ監視装置および監視方法 |
JP2007270337A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Hoya Corp | 処理データ管理システム、処理システム、および、処理装置のデータ管理方法 |
JP2008196722A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Daido Steel Co Ltd | アーク炉の溶解終了判定方法 |
JP2008244077A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置及びガスレーザ装置の起動方法 |
JP2009278744A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Sinfonia Technology Co Ltd | アーク検出装置及びこれを備えた航空機 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102219779B1 (ko) | 가스 방전 광원 내의 가스 혼합물 제어 기술 | |
JP4611409B2 (ja) | プラズマ温度制御装置 | |
US9350133B2 (en) | Method of controlling laser apparatus and laser apparatus | |
US8411720B2 (en) | System and method for automatic gas optimization in a two-chamber gas discharge laser system | |
TWI683490B (zh) | 用於兩腔室氣體放電雷射系統中之自動氣體最佳化之系統及方法 | |
JP2007294498A (ja) | パルスレーザ装置及びパルスレーザビーム生成方法 | |
JP2015023202A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
US10777961B2 (en) | Generating plasma or laser pulses by radiofrequency excitation pulses | |
US8576891B2 (en) | Gas laser oscillator and gas exchange method for gas laser oscillator | |
JP2015204348A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JP2009070809A (ja) | 発光させた紫外線光を制御するための紫外線ランプ・システム及び方法 | |
JP5810264B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
JP5153115B2 (ja) | 周波数安定化ガスレーザ | |
TW201332236A (zh) | 連續質量流動氣體補充系統、氣體放電雷射裝置、氣體補充方法、及控制一雷射放電之方法 | |
JP2001144351A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
JP2002223020A (ja) | フッ素分子レーザ装置、及びフッ素露光装置 | |
JP3779010B2 (ja) | エキシマレーザ装置のガス供給制御装置およびガス供給制御方法 | |
JP4077592B2 (ja) | レーザ装置の不純物濃度計測装置 | |
Mildren et al. | Input/output power scaling of a compact (0.8 L) kinetically enhanced copper-vapor laser | |
RU125780U1 (ru) | Газоразрядный со2 лазер | |
JP2010212559A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JP2008244077A (ja) | ガスレーザ装置及びガスレーザ装置の起動方法 | |
JPH04364789A (ja) | レーザ発振装置 | |
CN104868349A (zh) | 提高启动工序效率的气体激光装置 | |
US20110051761A1 (en) | Operating method of excimer laser system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150122 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20150224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160105 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20160519 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160614 |