JP2015204348A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015204348A JP2015204348A JP2014082466A JP2014082466A JP2015204348A JP 2015204348 A JP2015204348 A JP 2015204348A JP 2014082466 A JP2014082466 A JP 2014082466A JP 2014082466 A JP2014082466 A JP 2014082466A JP 2015204348 A JP2015204348 A JP 2015204348A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- medium gas
- laser output
- laser medium
- gas supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【課題】レーザ出力指令に応じたレーザ媒質ガス給排気量の最適化機能を備えたレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】本発明のガスレーザ発振装置は、レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器と、レーザ出力値指令を受けて励起装置を制御する制御装置と、光共振器内のレーザ媒質ガスを外部から給気し且つ外部へ排気するレーザ媒質ガス給排気装置を備え、レーザ出力測定器出力の時間に対するレーザ出力変化傾きを制御装置で算出し、レーザ出力値指令に応じたレーザ出力変化傾き基準と比較し、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に大きい場合は、レーザ媒質ガス給排気装置により光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を増やし、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に小さい場合は、レーザ媒質ガス給排気装置により光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を減らすようにしたものである。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のガスレーザ発振装置は、レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器と、レーザ出力値指令を受けて励起装置を制御する制御装置と、光共振器内のレーザ媒質ガスを外部から給気し且つ外部へ排気するレーザ媒質ガス給排気装置を備え、レーザ出力測定器出力の時間に対するレーザ出力変化傾きを制御装置で算出し、レーザ出力値指令に応じたレーザ出力変化傾き基準と比較し、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に大きい場合は、レーザ媒質ガス給排気装置により光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を増やし、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に小さい場合は、レーザ媒質ガス給排気装置により光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を減らすようにしたものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、レーザ媒質のガスを循環させ高出力を得る流軸型炭酸ガスレーザ発振装置に関し、特に、レーザ媒質ガス給排気量を最適化する機能を備えたガスレーザ発振装置に関するものである。
炭酸ガスレーザ発振装置は、レーザ媒質ガスに二酸化炭素と窒素、およびヘリウムの混合ガスを使用し、励起装置により放電管の電極部に高電圧を印加して発生するグロー放電によりエネルギーを与えレーザ発振を行わせる。
このグロー放電により電極から放出された電子はレーザ媒質ガスに衝突するが、二酸化炭素に電子が衝突した場合は(1)式に示されるように一酸化炭素と酸素に解離する。
CO2 ←→ CO + 1/2(O2) ・・・ (1)
解離した酸素は酸化特性が強く、電極部の金属やレーザ媒質ガスの窒素と速やかに結びつき種々の酸化物を生成する。この結果、レーザ発振に必要な二酸化炭素量が減少し光共振器から得られるレーザ出力も低下する。これを防止するため既知の方法として、光共振器内のレーザ媒質ガスを一定量入れ替え解離したレーザ媒質ガスを排出し、新しいレーザ媒質ガスを給気する構成が採用されている。
解離した酸素は酸化特性が強く、電極部の金属やレーザ媒質ガスの窒素と速やかに結びつき種々の酸化物を生成する。この結果、レーザ発振に必要な二酸化炭素量が減少し光共振器から得られるレーザ出力も低下する。これを防止するため既知の方法として、光共振器内のレーザ媒質ガスを一定量入れ替え解離したレーザ媒質ガスを排出し、新しいレーザ媒質ガスを給気する構成が採用されている。
また、上記の構成によるレーザ媒質ガスの消費を低減するため、光共振器内の一酸化炭素量を検出しレーザ媒質ガスの給排気量最適化する方法も考案されている(特許文献1を参照)。
しかしながら、一定量レーザ媒質ガスを給排気する場合では、必要なレーザ媒質ガス交換量の最大値を一意的に設定するため、レーザ出力指令が小さな場合には無駄にレーザ媒質ガスを消費することになるという課題を有している。
また、レーザ媒質ガスは光共振器内部およびガス流路を拡散あるいは循環しているため一酸化炭素分布が時間的および空間的に一様ではなく、一酸化炭素検出器を付加してもレーザ媒質ガスの給排気量最適化が難しいという課題を有している。
そこで本発明はレーザ発振装置に具備されるレーザ出力測定器を応用し、新たな検出器を付加することなくレーザ媒質ガスの精度良い給排気量最適化ができる安価なガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
そして、この目的を達成するために本発明のガスレーザ発振装置は、光共振器と、該光共振器内のレーザ媒質ガスに励起電力を与える励起装置と、レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器と、レーザ出力値指令を受けて、前記励起装置を制御する制御装置と、前記光共振器内のレーザ媒質ガスを外部から給気し、かつ外部へ排気するレーザ媒質ガス給排気装置を備えたレーザ発振装置において、前記レーザ出力測定器出力の時間に対するレーザ出力変化傾きを前記制御装置で算出し、レーザ出力値指令に応じたレーザ出力変化傾き基準と比較し、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に大きい場合は、前記レーザ媒質ガス給排気装置により前記光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を増やし、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に小さい場合は、前記レーザ媒質ガス給排気装置により前記光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を減らすことにより、所期の目的を達成するものである。
以上のように本発明は、光共振器と、該光共振器内のレーザ媒質ガスに励起電力を与える励起装置と、レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器と、レーザ出力値指令を受けて、前記励起装置を制御する制御装置と、前記光共振器内のレーザ媒質ガスを外部から給気し、かつ外部へ排気するレーザ媒質ガス給排気装置を備えたレーザ発振装置において、前記レーザ出力測定器出力の時間に対するレーザ出力変化傾きを前記制御装置で算出し、レーザ出力値指令に応じたレーザ出力変化傾き基準と比較し、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に大きい場合は、前記レーザ媒質ガス給排気装置により前記光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を増やし、レーザ出力変化傾きがレーザ出力変化傾き基準より負に小さい場合は、前記レーザ媒質ガス給排気装置により前記光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を減らすことにより、レーザ媒質ガスの精度良い給排気量最適化ができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の図面においては、同じ構成要素については同じ符号を付しているので説明を省略する場合がある。
(実施の形態1)
図1は本発明のレーザ発振装置の実施の形態を示す構成図である。
図1は本発明のレーザ発振装置の実施の形態を示す構成図である。
図1において、レーザ発振装置30は出力鏡2とリア鏡3との間に配置された放電管4を具備した光共振器1と、放電管4に接続されたガス流路5と、放電管4に配置された電極6に励起電力を供給する励起装置7と、レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器8と、励起装置7を制御する制御装置9を具備する。
制御装置9は外部からのレーザ出力指令に応じ、レーザ発振装置から任意のレーザ出力を得るための励起電力Pを算出し励起装置7に指令を与える。前記の励起電力Pをレーザ出力指令から算出するにあたり図2に示す任意レーザ出力に対する励起電力の相関関係を事前に測定しておき参照すると演算がより短時間で行えて実用的である。
なお安定したレーザ出力を得たい場合は、レーザ出力指令とレーザ出力測定器8の出力を制御装置9で比較して逐次励起装置7に与える励起電力Pの指令を補正するレーザ出力のフィードバック制御が採用される。
二酸化炭酸や窒素、およびヘリウムを含んだレーザ媒質ガスはレーザ発振装置30の外部に設置されたレーザ媒質ガス封入ボンベ40から、ソレノイドバルブ13bを経由してガス流路5に給気され、およびガス流路5よりソレノイドバルブ13aを経由して真空ポンプ14によって時間当たり一定量のレーザ媒質ガスを外部に排出し、光共振器1およびガス流路5内部のレーザ媒質ガス給排気量を制御する。
光共振器1またはガス流路5の圧力が一定になるようにソレノイドバルブ13aおよび13bはレーザ媒質ガス給排気装置12により開閉頻度を制御される。前記のレーザ媒質ガスは送風機10により、ガス流路5および放電管4を循環する。ここで、熱交換器11aは送風機10の圧縮熱を除去し、熱交換器11bは放電管4通過後の放電時の熱を除去する。
放電管4を通過するレーザ媒質ガスは、励起装置7による励起電力によって電極6間で放電励起される。この場合の放電は状態が安定しやすいグロー放電を使用する。
放電管4で放電励起したレーザ媒質ガスからは自然放出および誘導放出により特定波長の光が選択的に発生し、出力鏡2とリア鏡3との間で増幅され、部分透過鏡である出力鏡2よりレーザ発振装置30の外部にレーザ光31aとして出力される。
レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器8は、部分透過鏡であるリア鏡3より光共振器1外部に取り出されたレーザ光31bを、熱電対等の熱センサで受光することでレーザ光31bに比例した電気信号に変換される。
励起装置7により電極6間でグロー放電が発生するに伴い、電極6から電子が放出されレーザ媒質ガスの二酸化炭素に衝突し一酸化炭素と酸素に解離する。
解離した酸素は電極6やガス流路5などの金属部およびレーザ媒質ガスの窒素などと酸化結合して減少し、二酸化炭素に再結合できない一酸化炭素の量が時間経過と共に増加する。
しかし、前記レーザ媒質ガス給排気装置12により開閉されるソレノイドバルブ13aおよび13bと真空ポンプ14により一定量のレーザ媒質ガスを光共振器1およびガス流路5に給排気しているため、時間経過と共に一酸化炭素の量はバランスし一定となる。
この一酸化炭素量の変化によるレーザ出力経時変化を示したのが図3である。
励起装置7により電極6間のグロー放電開始初期は二酸化炭素量が十分あり一酸化炭素が少ないためレーザ出力は高い状態を保持するが、二酸化炭素に再結合できない一酸化炭素の量が時間経過と共に増加すると二酸化炭素量が減少しレーザ出力が低下し始める。酸素の酸化反応速度とレーザ媒質ガス給排気量によりレーザ出力が低下する傾きαは決定される。
その後、一酸化炭素の量が一定になるとレーザ出力も一定となるが、このレーザ出力は初期の出力より低い値となる。
ここで、励起電力の大小による上記レーザ出力経時変化への影響を考える。
なお、条件としてレーザ媒質ガス給排気量は同一で一定とする。
励起電力P1>P2の関係が成り立つとき、時間当たりに解離する二酸化炭素の量は励起電力P1の方が多い。これは電極6から放出される電子の量が励起電力に比例して多くなるからである。
したがって、図3に示すようにレーザ出力が低下する傾きαも励起電力の大小によって(2)式の関係を有する。
|傾きα(P1)| > |傾きα(P2)| ・・・ (2)
(ここで、傾きα(P1)<0、傾きα(P2)<0、励起電力P1>P2)
次にレーザ媒質ガス給排気量によるレーザ出力経時変化を示したのが図4である。
(ここで、傾きα(P1)<0、傾きα(P2)<0、励起電力P1>P2)
次にレーザ媒質ガス給排気量によるレーザ出力経時変化を示したのが図4である。
上記の一酸化炭素の影響によるレーザ出力経時変化の傾向は同じであるが、レーザ媒質ガス給排気量により一酸化炭素量が変化することを図4は示している。
なお、条件として励起電力は同一とする。
レーザ媒質ガスガス給排気量Lが、L1<L2である場合一酸化炭素量が増加していく影響でレーザ出力が低下する傾きαも(3)式の関係を有する。
|傾きα(L1)| > |傾きα(L2)| ・・・ (3)
(ここで、傾きα(L1)<0、傾きα(L2)<0、レーザ媒質ガス給排気量L1<L2)
また、一酸化炭素量が一定になった状態でのレーザ出力は(4)式の関係を有する。
(ここで、傾きα(L1)<0、傾きα(L2)<0、レーザ媒質ガス給排気量L1<L2)
また、一酸化炭素量が一定になった状態でのレーザ出力は(4)式の関係を有する。
レーザ出力(L1) < レーザ出力(L2) ・・・ (4)
(ここで、レーザ媒質ガス給排気量L1<L2)
一酸化炭素が一定になった状態で任意のレーザ出力指令値と同一となる場合、その時のレーザ媒質ガス給排気量をL基準とし、レーザ出力が低下する傾きα(L基準)としたならば、任意のレーザ出力指令に応じた傾きα(L基準)を得ることができ、かつ任意のレーザ出力指令に応じたレーザ媒質ガス給排気量(L基準)を得ることができる。
(ここで、レーザ媒質ガス給排気量L1<L2)
一酸化炭素が一定になった状態で任意のレーザ出力指令値と同一となる場合、その時のレーザ媒質ガス給排気量をL基準とし、レーザ出力が低下する傾きα(L基準)としたならば、任意のレーザ出力指令に応じた傾きα(L基準)を得ることができ、かつ任意のレーザ出力指令に応じたレーザ媒質ガス給排気量(L基準)を得ることができる。
前記のレーザ出力指令値と傾きα(L基準)の関係を示したのが図5である。
前記のレーザ出力指令値とレーザ媒質ガス給排気量(L基準)の関係を示したのが図6である。
図5および図6の関係は事前に測定し取得してもよいが、図6のレーザ出力指令値とレーザ媒質ガス給排気量(L基準)の関係は、二酸化炭素が解離してできた酸素の酸化結合反応状況に左右され、電極6やガス流路5などの金属部の酸化状態は継時的に進行変化するため、事前に取得した関係と一致しなくなることが想定される。
したがって、本発明は継時的な影響も受けず安定した関係を有する図5のレーザ出力指令値と傾きα(L基準)の関係を制御装置9に事前に記憶させ制御に利用する。
レーザ媒質ガス給排気量の最適化を図るため、まずレーザ出力測定器8の出力の時間経過による変化量を制御装置9で計算しレーザ出力が低下する傾きαを求める。
なお、傾きαがゼロや正の値であった場合は以下の制御は行わない。傾きαがゼロの結果はレーザ発振を行っていない場合でも得られ、制御に使用する場合はより複雑なレーザ発振装置の状態による制御判断が必要となる。また傾きαが正の結果はレーザ媒質ガスの異常、例えばガス流路5に油分が混入したような異常時に発生する現象であり制御対象としては妥当ではない。
傾きαが負の値であった場合、制御装置9はその時のレーザ出力指令値に応じた傾きα(L基準)と比較する。
傾きαが傾きα(L基準)より負に大きい場合は、レーザ媒質ガス給排気装置12によりソレノイドバルブ13aおよび13bの開閉頻度を制御し、光共振器1内のレーザ媒質ガス給排気量を増やし、傾きαが傾きα(L基準)より負に小さい場合は、レーザ媒質ガス給排気装置12によりソレノイドバルブ13aおよび13bの開閉頻度を制御し、光共振器1内のレーザ媒質ガス給排気量を減らすように制御装置9により制御する。
この結果、一酸化炭素が安定した時のレーザ出力が、任意のレーザ指令値に等しくあるいは近似した値を得ることができる必要最小限のレーザ媒質ガス給排気量得る、つまりレーザ媒質ガス給排気量最適化が実現できる。
本発明のレーザ発振装置は、レーザ媒質ガス給排気量最適化を行うことにより希少なヘリウム使用量の低減を可能としたガスレーザ発振装置を提供することでき、産業上有用である。
1 光共振器
2 出力鏡
3 リア鏡
4 放電管
5 ガス流路
6 電極
7 励起装置
8 レーザ出力測定器
9 制御装置
10 送風機
11a、11b 熱交換器
12 レーザ媒質ガス給排気装置
13a、13b ソレノイドバルブ
14 真空ポンプ
30 レーザ発振装置
31a、31b レーザ光
40 レーザ媒質ガス封入ボンベ(装置外)
2 出力鏡
3 リア鏡
4 放電管
5 ガス流路
6 電極
7 励起装置
8 レーザ出力測定器
9 制御装置
10 送風機
11a、11b 熱交換器
12 レーザ媒質ガス給排気装置
13a、13b ソレノイドバルブ
14 真空ポンプ
30 レーザ発振装置
31a、31b レーザ光
40 レーザ媒質ガス封入ボンベ(装置外)
Claims (1)
- 光共振器と、該光共振器内のレーザ媒質ガスに励起電力を与える励起装置と、レーザ出力値を測定するレーザ出力測定器と、レーザ出力値指令を受けて前記励起装置を制御する制御装置と、前記光共振器内のレーザ媒質ガスを外部から給気し且つ外部へ排気するレーザ媒質ガス給排気装置を備えたレーザ発振装置であって、
前記レーザ出力測定器出力の時間に対するレーザ出力変化傾きを前記制御装置で算出し、
前記レーザ出力値指令に応じたレーザ出力変化傾き基準と比較し、
前記レーザ出力変化傾きが前記レーザ出力変化傾き基準より負に大きい場合は、前記レーザ媒質ガス給排気装置により前記光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を増やし、
前記レーザ出力変化傾きが前記レーザ出力変化傾き基準より負に小さい場合は、前記レーザ媒質ガス給排気装置により前記光共振器内のレーザ媒質ガス給排気量を減らすガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014082466A JP2015204348A (ja) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014082466A JP2015204348A (ja) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015204348A true JP2015204348A (ja) | 2015-11-16 |
Family
ID=54597640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014082466A Pending JP2015204348A (ja) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015204348A (ja) |
-
2014
- 2014-04-14 JP JP2014082466A patent/JP2015204348A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4611409B2 (ja) | プラズマ温度制御装置 | |
JP6310390B2 (ja) | レーザ装置の制御方法及びレーザ装置 | |
US6879617B2 (en) | Two stage laser system | |
JP2015204348A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JP2016021489A (ja) | ガス圧及びガス消費量を制御可能なガスレーザ発振器 | |
Hassouba et al. | A comparative spectroscopic study on emission characteristics of DC and RF discharges plasma using different gases | |
JP2014192199A (ja) | 放電開始を判定する機能を有するガスレーザ発振器 | |
US8576891B2 (en) | Gas laser oscillator and gas exchange method for gas laser oscillator | |
US7529285B2 (en) | Frequency stabilised gas laser | |
JP2015023202A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
US11239625B2 (en) | Laser apparatus including gas supply device and exhausting device | |
Sousa et al. | Pressure effects in the spatial development of microcathode sustained discharges in rare-gas oxygen mixtures | |
Filonov et al. | A reversible HBr source for a copper bromide vapor laser | |
GB1044999A (en) | Improvements in or relating to gas lasers | |
JP5810264B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
JP2002223020A (ja) | フッ素分子レーザ装置、及びフッ素露光装置 | |
JP6288290B2 (ja) | 発光分光分析装置 | |
Grierson et al. | High speed measurements of neutral beam turn-on and impact of beam modulation on measurements of ion density | |
Ernst et al. | XeF laser characteristics studied at elevated temperatures | |
JP3061937B2 (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
JPH04364789A (ja) | レーザ発振装置 | |
JP2007205897A (ja) | Icp用高周波電源装置 | |
JPH0629629A (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
RU125780U1 (ru) | Газоразрядный со2 лазер | |
JPS62265785A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 |