JP2005033040A - レーザー湿度調節装置 - Google Patents
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Abstract
レーザー光学共振器又はレーザー装置においてアライメント調節時と同様な定格出力を得られるような装置を提供する。
【解決手段】
誘電体多層膜が施された光学部品を用いたレーザー共振器内の湿度を管理する装置であって、湿度検出器と、気体供給部と、気体排出部とを有し、該レーザー共振器内に気体の供給又は排出を行うことにより湿度を所定の範囲内に維持する湿度管理装置を提供する。さらにレーザー光学共振器のアラインメント調節時と出力時で、レーザー光学共振器内の湿度を実質的に同一に維持することで定格出力を維持するレーザー装置の管理方法を提供する。
【選択図】 図1
Description
3 流量検出器
4 湿度検出器
5 排気開閉弁
6 安全弁
7 信号コネクタ
8 気体入口
9 気体出口
10 排気入口
11 排気出口
12 信号比較器
13 信号表示器
15 湿度調節ユニット
16 気体供給部
17 気体排出部
30 外部電子装置
40 制御ユニットを使用しない場合の湿度変化
41 制御ユニットを使用した場合の湿度変化
42 湿度調節装置
43 気体流路
44 本発明を使用したときの特性
Claims (12)
- 誘電体多層膜が施された光学部品を用いたレーザー共振器内の湿度を管理する装置であって、湿度検出器と、気体供給部と、気体排出部とを有し、該レーザー共振器内に気体の供給又は排出を行うことにより湿度を所定の範囲内に維持する湿度管理装置。
- 前記記載の湿度管理装置は、レーザー光学共振器内の湿度をアライメント調整時の湿度に実質的に等しい湿度に維持する請求項1に記載の装置。
- 余剰気体の排気は、共振器内圧力が所定の値を上回ったとき、排気口に配置された圧力センサ又は差圧弁が作動することにより、自動的に行うことができる請求項1又は2の何れかに記載の湿度管理装置。
- レーザー光学共振器内の湿度を管理する装置であって、湿度検出器と、気体循環部とを有し、
湿度が所定値から一定値以上の変移があった場合、レーザー光学共振器内の気体循環部が動作し、内部気体をゼオライト、シリカゲル、飽和溶液等の湿度調整剤を通過させることにより、内部気体の湿度を所定値に維持する湿度管理装置。 - レーザー光学共振器内の湿度を管理する装置であって、湿度検出器と、湿度調整機能とを有し、飽和溶液、シリカゲル、繊維、塗料などの吸水性と撥水性を両立する材料の特性を利用して、該内部の湿度を所定値に維持する湿度管理装置。
- レーザー光学共振器の温度を所定の温度に維持する温度調節手段を具備する請求項1ないし5の何れかに記載の湿度管理装置。
- 前記請求項1ないし6の何れかに記載の湿度管理装置を備えたレーザー装置。
- 誘電体多層膜偏光子又は波長依存性ミラーを用いたレーザー共振器内の湿度を管理する前記請求項1ないし7の何れかに記載の湿度管理装置。
- 誘電体多層膜偏光子又は波長依存性ミラーを用いたQスイッチレーザー共振器内の湿度を管理する前記請求項1ないし7の何れかに記載の湿度管理装置。
- レーザー光学共振器内の湿度を所定の範囲に維持するレーザー装置の管理方法。
- レーザー光学共振器のアラインメント調節時と出力時で、レーザー光学共振器内の湿度を実質的に同一に維持することで実質的に定格出力を維持するレーザー装置の管理方法。
- レーザー光学共振器のアラインメント調節時と温度及び湿度を実質的に同一に維持して行うことを特徴とするレーザー装置の出力方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007123322A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Cyber Laser Kk | レーザ装置並びにレーザ装置の運転方法 |
WO2013153704A1 (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-17 | 三菱電機株式会社 | レーザ装置 |
JP2016081993A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法 |
JP2017191907A (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | ファナック株式会社 | ファイバレーザ発振器及びこれに搭載可能なクリーンベンチ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04326339A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
JPH08204261A (ja) * | 1995-01-25 | 1996-08-09 | Toshiba Seiki Kk | レーザ装置 |
JPH10256624A (ja) * | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Amada Eng Center:Kk | レーザ発振器における吸湿装置 |
JP2002057385A (ja) * | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Komatsu Ltd | レーザ装置 |
JP2003060268A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ装置 |
JP2003133629A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 波長可変光源とその使用方法 |
-
2003
- 2003-07-07 JP JP2003271630A patent/JP2005033040A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04326339A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
JPH08204261A (ja) * | 1995-01-25 | 1996-08-09 | Toshiba Seiki Kk | レーザ装置 |
JPH10256624A (ja) * | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Amada Eng Center:Kk | レーザ発振器における吸湿装置 |
JP2002057385A (ja) * | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Komatsu Ltd | レーザ装置 |
JP2003060268A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ装置 |
JP2003133629A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 波長可変光源とその使用方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007123322A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Cyber Laser Kk | レーザ装置並びにレーザ装置の運転方法 |
WO2013153704A1 (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-17 | 三菱電機株式会社 | レーザ装置 |
JP2016081993A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法 |
JP2017191907A (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | ファナック株式会社 | ファイバレーザ発振器及びこれに搭載可能なクリーンベンチ |
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