JP2016081993A - レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザを発振するレーザダイオードを収容するレーザモジュールと、レーザモジュールを収容する筐体と、レーザモジュールに接続された冷却経路と、外部から供給されたパージ用の圧縮空気から低露点のドライエアを生成してレーザモジュールに供給するエアパージユニットと、エアパージユニットによるドライエアの供給と並行して、筐体内部の温度を制御することにより、ドライエアの温度を制御するエアコンとを備える。
【選択図】図1
Description
次に、本発明の実施形態に係るファイバレーザ加工装置51を用いたレーザ発振器1の除湿方法の実施例を説明する。外気温40℃、湿度95%において、レーザ発振器1の出力を4.2kWとする。透湿膜モジュール23aに0.5MPaのパージエアを供給することで、パージエアの露点温度を−15℃程度まで除湿する。エアコンCは、設定温度35℃で筐体KT内の温度を制御する。そのときのパージエア温度、筐体KT内温度、外気温度の時間推移を測定した。測定結果を図4に示す。
次に、本発明の実施形態に係るレーザ発振器1の除湿方法の一例を説明する。ステップS1において、パージエアを供給開始するのと同時に、ステップS2において、エアコンCにより筐体KT内温度を設定温度で制御する。ステップS3において、制御部SGが、レーザモジュール2内の露点温度が閾値以下となったか判定する。閾値は、冷却水の温度未満に設定され、制御部SGのメモリ等に予め記憶しておけばよい。レーザモジュール2内の露点温度が閾値以下となったら、制御部SGは、圧力スイッチ25を制御し、パージエアの供給量を減少させるか、又は供給を停止する。なお、レーザモジュール2内の露点温度が閾値よりも高くなった場合、パージエアの供給量を増加するか、又は供給を再開させてもよい。このように、パージエアの流量を可変させることで、起動時は急速に効果を上げ、温度及び湿度が安定した後はパージエアの流量を抑えて省電力化を図ることができる。
本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
2…レーザモジュール
3…コンバイナ
4…ビームスイッチ
5…ディストリビュータ
6,8…温度センサ
7…露点温度センサ
10…レーザ加工機
12…コリメータレンズ
13…コリメータユニット
14…ベンドミラー
15…集光レンズ
16…レーザヘッド
18…加工テーブル
20…エアパージユニット
21…活性炭槽
22…オイルミストフィルタ
23…低露点化部
23a…透湿膜モジュール
24…流量計
25…圧力スイッチ
26…分岐部
51…ファイバレーザ加工装置
A,A1…圧縮空気
A2…ドライエア
AR1…エア供給路
AR1a、AR1b…エア支路
C…エアコン
EG…光エンジン
FB1…プロセスファイバ
FB2…ユニットファイバ
FB3…フィードファイバ
KT…筐体
L…レーザ光
P1…供給ポート
P2a,P2b…送出ポート
PW…電源部
PW1…筐体
RF…冷却部
RF1…冷却水供給部
RF2…水路系
SG…制御部
SG1…筐体
t…除湿時間
W…ワーク
Claims (7)
- レーザを発振するレーザダイオードを収容するレーザモジュールと、
前記レーザモジュールを収容する筐体と、
前記レーザモジュールに接続された冷却経路と、
外部から供給されたパージ用の圧縮空気から低露点のドライエアを生成して前記レーザモジュールに供給するエアパージユニットと、
前記エアパージユニットによるドライエアの供給と並行して、前記筐体内部の温度を制御することにより、前記ドライエアの温度を制御するエアコン
とを備えることを特徴とするレーザ発振器。 - 前記エアコンが、前記レーザダイオードが許容する上限温度以下となるように、前記筐体内部の温度を制御することを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振器。
- 前記ドライエアの露点温度が前記冷却経路の設定温度よりも低いことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ発振器。
- 前記ドライエアの露点温度が−25℃〜−5℃であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ発振器。
- 前記レーザモジュール内のパージエアの露点温度を計測する露点温度センサを更に備え、
前記レーザモジュール内のパージエアの露点温度が閾値以下となった場合に、前記パージエアの供給量を低下させることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のレーザ発振器。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のレーザ発振器と、
前記レーザ発振器により発振されたレーザ光を伝送する伝送ファイバと、
前記伝送ファイバにより伝送されたレーザ光を集光して被加工材を加工するレーザ加工機
とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のレーザ発振器の除湿方法であって、
前記外部から供給されたパージ用の圧縮空気から低露点のドライエアを生成し、配管を介してエアパージユニットと、
前記エアパージユニットにより低露点のドライエアを前記レーザモジュールに供給するステップと、
前記低露点のドライエアを供給するステップと並行して、前記エアコンにより前記筐体内部の温度を制御することにより、前記ドライエアの温度を制御するステップ
とを含むことを特徴とするレーザ発振器の除湿方法。
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