JP5191220B2 - 剥離シート及び剥離シート積層体 - Google Patents
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Description
小型、薄型、軽量で実装密度の高い半導体装置の要求に応えるために、剥離シート上の接着剤層の厚さも、薄いものが望まれている。
また、本発明は、上記剥離シートにおいて、剥離層の厚さが0.03〜1μmであり、剥離層の表面の純水を用いた静的接触角が95°以下である剥離シートを提供するものである。
また、本発明は、上記剥離シートの剥離層の表面に、接着樹脂層が設けられていることを特徴とする接着性剥離シート積層体を提供するものである。
基材シートの厚さは、特に制限ないが、通常10〜300μmであればよく、好ましくは20〜200μmである。基材シートの厚さが薄すぎると、接着剤層の乾燥温度、硬化温度が高い場合に、基材シートの収縮が起こり、平滑な接着剤層が形成できないことがある。
目止め層を基材の一方又は両方の表面に設けるには、目止め機能を有する成分を、分散媒又は溶媒で希釈して得られる液状目止め層用組成物を、基材の一方又は両方の表面に塗布し、乾燥させることにより、行うことができる。
分散媒又は溶媒としては、水やトルエン、酢酸エチル、メチルエチルケトン等の有機溶剤等が挙げられる。
両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体の官能基としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、イソシアネート基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体の硬化は、官能基の種類により決まるが、熱硬化であってもよいし、光硬化であってもよく、熱硬化と光硬化を併用してもよい。官能基としてアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体は、光硬化性化合物として使用することができる。
両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体の硬化が熱硬化である場合、硬化触媒を配合して行うことができる。硬化触媒としては、特に制限なく、架橋反応触媒として機能するものであればよいが、例えば、p−トルエンスルホン酸、メタンスルホン酸などの有機系の酸性触媒が好適である。硬化触媒は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
硬化触媒の含有量は、樹脂固形分100質量部に対して0.1〜15質量部が好ましく、0.5〜10質量部がより好ましい。
架橋剤としては、メラミン樹脂、尿素樹脂などのアミノ樹脂、アジリジン化合物、金属キレート化合物などが挙げられる。両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体の官能基が水酸基である場合、架橋剤はメラミン樹脂が好ましい。この組合せによると、メラミン樹脂の配合量により、接着剤層を剥離する際の剥離力を調節することができる。
架橋剤の含有量は、両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体100質量部に対して、5〜500質量部が好ましく、10〜300質量部がより好ましい。
また、両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体を硬化させた硬化皮膜は、本発明の目的を損なわない範囲内で、他の硬化樹脂を含んでもよいが、ポリ(メタ)アクリル酸エステルは含まない。
両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体を硬化させた硬化皮膜には、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、界面活性剤、光開始剤、光安定剤などの各種添加剤を含有させることができる。
剥離層は、実質的にシリコーン化合物を含まない材料で構成されている。これにより、接着剤層を剥離層上に塗工する際にはじきが生じたり、ピンホールが生成したりすることがあるのを防止することができる。また、接着剤層にシリコーン化合物が移行すると、接着力が低下することがあるのを防止することができる。
剥離層の表面は、純水を用いた静的接触角が95°以下であることが好ましく、92°以下であることがより好ましく、89°以下であることが特に好ましい。また、純水を用いた静的接触角が95°を超えると、接着剤を塗工する際に、はじきが生じたり、ピンホールが生成したりする傾向がある。純水を用いた静的接触角の下限は、特に制限ないが、70°以上であることが好ましく、75°以上であることがより好ましい。
また、接着剤層の剥離シートの剥離層に対する剥離力は、100〜600mN/20mmが好ましく、150〜550mN/20mmがより好ましい。
また、後述する接着剤層の剥離シートの剥離層に対する剥離力変化率の好ましい範囲は、7%以内であり、より好ましくは5%以内である。
剥離層の厚さは、0.03〜1μmが好ましく、0.05〜0.5μmがより好ましく、0.08〜0.3μmが特に好ましい。
上記溶媒としては、特に制限なく、ジメチルケトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプタン、オクタンなどの脂肪族炭化水素類などや、これらの混合溶媒が挙げられる。溶媒の量は、両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体組成物の塗工時の粘度を適当な範囲にするために適宜選定すればよい。
加熱処理温度は、100〜170℃が好ましく、130〜160℃がより好ましい。また、加熱処理時間は、特に制限ないが、30秒〜5分間が好ましい。
また、両末端の官能基が重合性不飽和基である1,4−ポリブタジエン重合体を用いる場合には、必要に応じて光開始剤、他の光硬化性樹脂、溶媒を配合した組成物を基材シートの表面に塗工し、所望により加熱乾燥を行なった後、これに紫外線等の電離放射線を照射して塗膜を硬化させる方法によっても剥離層を形成することができる。
上記紫外線は、高圧水銀ランプ、キセノンランプなどで得られ、照射量は、通常100〜500mJ/cm2である。
接着剤層は、接着樹脂からなる。接着樹脂は、エポキシ系樹脂、ポリアミド系樹脂、フェノール系樹脂及びポリイミド系樹脂から選ばれる少なくとも1種の接着樹脂が好ましい。接着樹脂は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
接着樹脂は、未硬化の状態であってもよいし、半硬化の状態であってもよく、また、硬化された状態であってもよいが、電子材料などの接着用フィルムとして使用する場合には、未硬化の状態、半硬化の状態が好ましく、特に半硬化の状態が好ましい。
硬化触媒としては、接着樹脂の硬化触媒として機能する種々のものが使用できる。硬化触媒は、接着樹脂の硬化を促進するためのものであり、硬化触媒の配合量は、通常接着樹脂100質量部に対して0.5〜3質量部が好ましい。
接着剤層の厚さは、用途に応じて適宜選定すればよいが、通常1〜100μmが好ましく、1〜50μmが特に好ましい。本発明においては、接着剤層の厚さの薄いものを製造することができ、厚さ30μm以下の性能の優れた接着剤層を容易に製造することができ、特に厚さ10μm以下の性能の優れた接着剤層を容易に製造することができる。
塗工方法としては、例えば、上記と同様な方法などが使用できる。
加熱処理温度は、要望される硬度を得るために適宜選定すればよいが、通常50〜200℃が好ましく、60〜120℃がより好ましい。
別の剥離シートとしては、基材シートの表面に剥離層を有するものが挙げられる。
剥離層形成用の樹脂としては、シリコーン系樹脂、アルキド系樹脂、メチロールメラミン系樹脂、メトキシメチロールメラミン系樹脂などのメラミン系樹脂、アクリル系樹脂等の熱硬化性又は電離放射線硬化性樹脂などが挙げられ、シリコーン転移により接着性能が低下する恐れがある場合には、シリコーン系樹脂を使用しないことが好ましい。
また、本発明の接着性剥離シート積層体は、その接着剤層の表面で、プリント配線基板の表面に貼り合わせ、次いで、本発明の剥離シートを剥離し、現れた接着剤層の別の表面に銅などの金属箔を貼り付けることにより、プリント配線板用積層体にすることができる。このプリント配線板用積層体は、銅等の金属箔をエッチングすることにより、配線を形成したプリント配線板を製造することができる。
本発明の実施例又は比較例で得られた剥離シートの性能評価は、次の方法により行った。
剥離シートの剥離層の表面に、製造例1で得たポリイミド系接着剤を25μmのアプリケーターで塗工した後、100℃で2分間乾燥処理して厚さ5μmの半硬化状態の接着剤層を形成した。塗工の際のはじきの有無、ピンホールの有無を目視にて観察した。
はじき及びピンホールが全く発生しなかった場合を○とし、ピンホールが発生した場合を△とし、はじきが発生した場合を×とした。
(2)剥離シートの剥離層の表面の静的接触角測定
剥離シートの剥離層の表面に、23℃、50%RHの雰囲気下で、純水2μリットルを滴下し、θ/2法により静的接触角を算出した。
剥離シートの剥離層の表面に、製造例1で得たポリイミド系接着剤を100μmのアプリケーターで塗工した後、100℃で2分間乾燥処理して厚さ25μmの半硬化状態の接着剤層を形成した。
次いで、この半硬化状態の接着剤層の表面に、ポリエチレンテレフタレート樹脂基板(厚み50μm)を貼り合わせた後、該半硬化状態の接着剤層の剥離シートの剥離層に対する剥離力を、JIS Z0237に準拠して、23℃、50%RHの雰囲気下で、引張試験機を用いて、180°方向に300mm/分の速度で150mm剥離させることにより測定した。
上記剥離力試験の剥離開始から剥離終了までの間において、剥離力の平均値(Fa)を求めると共に、剥離力変化率を、下記の式に従って算出した。
なお、剥離力の平均値(Fa)は、下記のようにして求めた値である。図1(a)は、剥離力測定試験において、ジッピングが生じない場合の剥離力との関係を示すグラフであり、この場合、Faは全測定点の平均値aで示される。一方、図1(b)は、剥離力測定試験において、ジッピングが生じた場合の時間と剥離力との関係を示すグラフであり、この場合、各測定点Pにおける極大剥離力P1、P2、P3、・・・・・・Pnの平均値Fpを求めると共に、各測定点Bにおける極小剥離力B1、B2、B3、・・・・・・・Bnの平均値Fbを求め、Fa=(Fp+Fb)/2の式より平均値(Fa)を求める。
剥離力変化率は、次式により算出する。
剥離力変化率(%)=[(Fp−Fb)/2Fa]×100
(5)ジッピングの評価としての接着剤層の表面状態
剥離シートの接着剤層を剥離層から剥離した後の、接着剤層の表面状態を目して観察し、以下の基準で評価した。
○:剥離層と接していた接着剤層の表面の変形がなく、表面状態は平滑であった。
×:剥離層と接していた接着剤層の表面の変形が起こり、目視にてスジ等が確認された。
ポリアミド樹脂(富士化成工業社製、商品名「トーマイドTXC−232−B」)の25質量%溶液(溶媒:イソプロピルアルコール/トルエン=1/1(質量比)の混合溶剤)100質量部に対し、ビスフェノールA型レゾールフェノール樹脂とアルキルフェノール型レゾールフェノール樹脂との混合物(昭和高分子社製、商品名「CKM−908」)の25質量%溶液(溶媒:トルエン)20質量部を添加することにより接着剤を製造した。
両末端に水酸基を有する1,4−ポリブタジエン重合体(出光興産(株)製、商品名「R−45HT」、数平均分子量約2800、1,4−付加単位含有割合80.8%)と、架橋剤としてメチル化メラミン樹脂(日立化成ポリマー(株)製、商品名「テスファイン200」)を質量比50:50になるように、混合した。この混合物に、硬化触媒としてp−トルエンスルホン酸の50質量%メタノール溶液を総樹脂量の5質量%の量になるように添加し、固形分濃度が2.0質量%となるようにトルエン/メチルエチルケトン混合溶媒にて希釈し、剥離剤塗工溶液を調製した。得られた剥離剤塗工溶液をマイヤーバー#4を用いて、乾燥後の膜厚が0.07μmとなるように、厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム(三菱化学ポリエステル社製、商品名「PET38T−100」)の片面に塗工した後、150℃で1分間加熱処理して、剥離層を硬化させ、剥離シートを作製した。
得られた剥離シートを用いて、上記評価方法により評価した。その結果を表1に示す。なお、得られた剥離シートの剥離層の中心線平均表面粗さ(Ra)は、36nmであった。
両末端に水酸基を有する1,4−ポリブタジエン重合体と、メチル化メラミン樹脂の混合比を質量比で70:30とした以外は、実施例1と同様にして剥離シートを作成した。
得られた剥離シートを用いて、上記評価方法により評価した。その結果を表1に示す。なお、得られた剥離シートの剥離層の中心線平均表面粗さ(Ra)は、36nmであった。
両末端に水酸基を有する1,4−ポリブタジエン重合体と、メチル化メラミン樹脂の混合比を質量比で30:70とした以外は、実施例1と同様にして剥離シートを作成した。
得られた剥離シートを用いて、上記評価方法により評価した。その結果を表1に示す。なお、得られた剥離シートの剥離層の中心線平均表面粗さ(Ra)は、38nmであった。
メチル化メラミン樹脂(日立化成ポリマー(株)製、商品名「テスファイン200」、固形分濃度80質量%)に、p−トルエンスルホン酸の50質量%メタノール溶液を総樹脂量の5質量%の割合になるように添加し、固形分濃度2質量%となるように、トルエン/メチルエチルケトン混合溶媒にて希釈し、調製した剥離剤塗工溶液を使用した以外は、実施例1と同様にして剥離シートを作成した。
得られた剥離シートを用いて、上記評価方法により評価した。その結果を表1に示す。
両末端に水酸基を有するポリブタジエン重合体(出光興産(株)製、商品名「R−45HT」、数平均分子量約2800、1,4−付加単位含有割合80.8%)の代わりに、両末端に水酸基を有するポリブタジエン重合体(日本曹達(株)製、商品名「G−3000」、1,2−付加単位含有割合100%)を用いた以外は、実施例1と同様にして剥離シートを作成した。
得られた剥離シートを用いて、上記評価方法により評価した。その結果を表1に示す。
付加反応型シリコーン樹脂(信越化学(株)製、商品名「KS−847H」)100重量部及び塩化白金酸系硬化剤(信越化学(株)製、商品名「CAT−PL−50T」)1.0重量部をトルエンにて固形分濃度が1.1質量%となるように希釈して剥離剤溶液を調製した。
次いで、上記剥離剤溶液をマイヤーバー#4を用いて、乾燥後の膜厚が0.1μmとなるように厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム(三菱化学ポリエステル社製、商品名「PET38T−100」)の片面に塗工した後、130℃で約1分間乾燥させ、剥離シートを作製した。
得られた剥離シートを用いて、上記評価方法により評価した。その結果を表1に示す。
なお、表1中の測定不可a)及びb)は、以下に示す意味である。
a):基材シートと接着剤層間の界面破壊が生じた為、測定不可であった。
b):接着剤塗工時に、ハジキ等が発生した為、測定不可であった。
Claims (5)
- 基材シートの少なくとも一方の表面に、剥離層が形成されており、該剥離層が両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体を硬化させた硬化皮膜であり、実質的にシリコーン化合物を含まないと共にポリ(メタ)アクリル酸エステルを含まないものであることを特徴とする剥離シート。
- 剥離層が、両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体と、その官能基と反応し得る架橋剤とを硬化させた硬化皮膜である請求項1に記載の剥離シート。
- 剥離層の厚さが0.03〜1μmであり、剥離層の表面の純水を用いた静的接触角が95°以下である請求項1に記載の剥離シート。
- 両末端に官能基を有する1,4−ポリブタジエン重合体の官能基が水酸基であり、架橋剤がメラミン樹脂である請求項2又は3に記載の剥離シート。
- 請求項1〜4のいずれかの剥離シートの剥離層の表面に、接着剤層が設けられていることを特徴とする接着性剥離シート積層体。
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