JP5188364B2 - レーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5188364B2 JP5188364B2 JP2008288500A JP2008288500A JP5188364B2 JP 5188364 B2 JP5188364 B2 JP 5188364B2 JP 2008288500 A JP2008288500 A JP 2008288500A JP 2008288500 A JP2008288500 A JP 2008288500A JP 5188364 B2 JP5188364 B2 JP 5188364B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- laser
- mask
- laser beam
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
レーザ発振器10として、スペクトラ・フィジックス社製のQスイッチNd+:YVO4レーザを用い、発振波長が532nm、照射時間が約35nsの直線偏光のレーザ光11を出射させた。
第1マスク41aに長辺方向0.38mm,短辺方向0.05mmの長丸形状の第1開口42aを形成し、また、第2マスク41bに長辺方向0.34mm、短辺方向0.05mmの長丸形状の開口42bを形成し、第1マスク41aを結像光学系50に対する光路長が長くなるように、光軸方向に2mmの段差を設けて配置した。すなわち第1開口42aの像が被加工物60の表面に結像され、第2開口42bの像が被加工物60の表面から約7μmとした。それ以外の条件は実施例1と同じとした。
比較例1としての従来のレーザ加工装置の概略構成を図5に示す。図6に当該加工装置により加工した凹部の断面模式図を示す。マスク4は分割せず1枚とし、長辺0.38mm,短辺0.05mmの長丸形状の開口3を1箇所に設けた。レーザ発振器1から出射されたレーザ光2はマスク4を透過した後に、ビーム分岐光学系5である偏光ビームスプリッタにより分岐し、平行光となるように再度合成し、結像光学系6に導入した。光ビーム2を被加工物7に照射させることにより、被加工物7に凹部8を形成させた。それ以外の条件は実施例1と同じとした。
10 レーザ発振器
11 レーザ光
11a 第1レーザ光
11b 第2レーザ光
20 ビーム整形光学系
30 ビーム分岐光学系
40 マスク部
41a 第1マスク
41b 第2マスク
42a 第1開口
42b 第2開口
43 スペーサ
44 マスクホルダ
45 放熱板
50 結像光学系
60 被加工物
61 凹部
61a 第1凹部
61b 第2凹部
61c 第3凹部
70 回転駆動部
80 移動駆動部
90 制御部
Claims (3)
- 回転する被加工物にレーザ光学系を介してレーザ光を投影し、前記被加工物を所定の形状に加工するレーザ加工方法であって、
前記被加工物を回転させながら、前記レーザ光の光軸方向の異なる位置に配設された複数のマスクに設けた開口に対し、レーザ発振源から出射されて複数に分岐したレーザ光をそれぞれ入射させ、前記複数のマスクの前記各開口を通過した複数のレーザ光を、前記被加工物の複数の箇所に断続的に照射して複数の未貫通の凹部を形成し、
前記複数の未貫通の凹部を形成して少なくとも前記被加工物を1回転以上させた後に、前記被加工物と前記レーザ光学系との相対位置を前記被加工物の回転軸方向に移動させて、前記複数の未貫通の凹部のうちの所定の未貫通の凹部に、その所定の未貫通の凹部を形成したマスクとは異なるマスクの開口を通過したレーザ光を照射する
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記所定の未貫通の凹部を形成するマスクを通過するレーザ光を前記被加工物の表面近傍に集光させ、
前記複数の未貫通の凹部を形成して少なくとも前記被加工物を1回転以上させた後に、前記所定の未貫通の凹部を形成したマスクとは異なるマスクの開口を通過して、前記所定の未貫通の凹部に照射されるレーザ光を、前記被加工物の表面より内側に集光させる
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。 - 前記被加工物がロール形状または軸対称の回転体であることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008288500A JP5188364B2 (ja) | 2008-11-11 | 2008-11-11 | レーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008288500A JP5188364B2 (ja) | 2008-11-11 | 2008-11-11 | レーザ加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010115661A JP2010115661A (ja) | 2010-05-27 |
JP5188364B2 true JP5188364B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=42303643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008288500A Expired - Fee Related JP5188364B2 (ja) | 2008-11-11 | 2008-11-11 | レーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5188364B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6255656B2 (ja) * | 2014-10-06 | 2018-01-10 | Rtm 株式会社 | 金型補修方法および該金型補修方法により補修した金型 |
CN105935839A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-09-14 | 南京国轩电池有限公司 | 一种方形锂电池激光切割机 |
JP6821758B1 (ja) * | 2019-08-20 | 2021-01-27 | キヤノンマシナリー株式会社 | 周期構造作成装置および周期構造作成方法 |
DE102022101349A1 (de) * | 2022-01-21 | 2023-07-27 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5913589A (ja) * | 1982-07-16 | 1984-01-24 | Toshiba Corp | レ−ザ加工装置 |
JPH01254392A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-10-11 | Nippon Steel Corp | 製品表面のダル加工法 |
JPH02284786A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-22 | Toshiba Corp | レーザマーキング方法及びその装置 |
JPH10156572A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
JPH10286683A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Sharp Corp | エキシマレーザ加工装置ならびに加工方法 |
JP2003080388A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-18 | Komatsu Ltd | レーザ加工装置 |
JP4338536B2 (ja) * | 2004-01-23 | 2009-10-07 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
-
2008
- 2008-11-11 JP JP2008288500A patent/JP5188364B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010115661A (ja) | 2010-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101101469B1 (ko) | 롤러가공방법 | |
Zhou et al. | A review of the techniques for the mold manufacturing of micro/nanostructures for precision glass molding | |
EP2768626B1 (en) | Method and device for producing a structured surface on a steel embossing roller | |
KR101080342B1 (ko) | 금속 롤러의 제조방법 | |
JP5435146B2 (ja) | レーザ切断方法 | |
TW201826611A (zh) | 繞射光學元件及用於圖案化薄膜電化學元件的方法 | |
JP5188364B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
US20210370445A1 (en) | Laser assisted machining of electric motor cores | |
JP4960215B2 (ja) | 金属箔負極集電体加工用ローラ及び金属箔負極集電体加工方法 | |
US20210162534A1 (en) | Laser assisted machining of sheet material | |
JP2016016432A (ja) | 表面改質方法及び表面改質金属部材 | |
Patwa et al. | Investigation of different laser cutting strategies for sizing of Li-Ion battery electrodes | |
WO2018083878A1 (ja) | ダイヤモンド表面に微細周期構造溝を形成する方法 | |
JP6348051B2 (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工品 | |
JP6062798B2 (ja) | ダイヤモンド工具の製造方法および製造装置 | |
CN114918546A (zh) | 一种金属材料表面波纹结构可控制备方法 | |
JP6781645B2 (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置、及び材料の製造方法 | |
Miyazaki et al. | Spinning of thin metal plate with diode laser |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100917 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100927 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121016 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130122 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5188364 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |