JP5188351B2 - 微粒子塗布方法及び微粒子塗布装置 - Google Patents
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Description
3 ステージ
6 塗布ヘッド
7 ノズル
7d 圧電素子
9 CCDカメラ(測定手段)
G 画素
P 遮光膜
S スペーサ(微粒子)
SP スペーサ部
W 基板(処理対象物)
Claims (3)
- 塗布ヘッドの少なくとも1個のノズルに対して微粒子を溶剤に分散させた分散液を供給し、前記ノズルからの液滴吐出量を調節する圧電素子に所定のパルス幅の駆動電圧を印加してノズルから処理対象物上に分散液を滴下する工程と、前記溶剤を乾燥させて複数個の微粒子を凝集配置する工程とを含む微粒子塗布方法において、
前記圧電素子への一定のパルス幅に対する駆動電圧又は一定の駆動電圧に対するパルス幅を変化させて分散液を滴下したときの処理対象物上での微粒子の個数の変化率を予め取得しておき、所定のパルス幅の駆動電圧にて処理対象物上に分散液を滴下したときの微粒子の個数を実測し、前記実測値と前記変化率から前記圧電素子に印加すべき駆動電圧又はパルス幅を決定することを特徴とする微粒子塗布方法。 - 前記微粒子は、液晶表示装置にてセルギャップを維持するスペーサ部形成用のスペーサであることを特徴とする請求項1記載の微粒子塗布方法。
- 処理対象物を保持した状態で1軸方向に移動自在なステージと、前記ステージの移動方向をX軸方向として、当該X軸方向に直交するY軸方向に設けられた少なくとも1個のノズルを有する塗布ヘッドとを備え、前記塗布ヘッドと処理対象物とを相対移動させながら、圧電素子に所定のパルス幅の駆動電圧を印加してノズルから微粒子を溶剤に分散させた分散液を処理対象物上に滴下して塗布する微粒子塗布装置において、
前記ノズルから分散液を処理対象物上に滴下して塗布したときの微粒子の個数を実測する測定手段と、一定のパルス幅に対する駆動電圧又は一定の駆動電圧に対するパルス幅の変化に応じた処理対象物上の微粒子の個数の変化率が記憶され、測定手段での実測値と変化率からノズル毎に印加すべき駆動電圧又はパルス幅を制御する制御手段とを更に備えることを特徴とする微粒子塗布装置。
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