JP5185645B2 - 流量計 - Google Patents
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Description
て、前記流体の流れ方向が正流か逆流かを判別する流れ方向判別手段13をさらに備え、
前記重み付け加算器は、前記流れ方向判別手段で正流と判別された場合、前記第1の流速
信号と、重み付けされた前記第2の流速信号とを加算し、前記流れ方向判別手段で逆流と
判別された場合、前記第2の流速信号と、重み付けされた前記第1の流速信号とを加算す
ることを特徴とする。
V=(VA/R1+VB/R2)×R3=(VA+5VB)×R/R1・・・(1)
V=(VB/R1+VA/R2)×R3=(5VA+VB)×R/R1・・・(2)
φt=tan-1{(Au・sinφu+Ad・sinφd)/(Au・cosφu+Ad・cosφd)}・・・(1)
1 流量計
3 フローセンサ
5 増幅器(第2の増幅手段)
7 増幅器(第1の増幅手段)
9 加算器(合成手段)
11 位相差検出器(位相差検出手段)
13 演算器(流量算出手段、流れ方向判別手段)
15 駆動回路(駆動手段)
32 マイクロヒータ(ヒータ)
33 下流側サーモパイル(第1の温度センサ)
34 上流側サーモパイル(第2の温度センサ)
Claims (5)
- 流体の流路中に配置したヒータと、前記流路における流体の流れ方向に前記ヒータから間隔をおいて下流側に配置した第1の温度センサと、前記ヒータから間隔をおいて上流側に配置した第2の温度センサと、前記第1および第2の温度センサが出力する第1および第2の流速信号に基づいて前記流体の流量を測定する流量計であって、
前記ヒータを正弦波状駆動信号で駆動する駆動手段と、
前記第1および第2の温度センサからの前記第1および第2の流速信号を合成して合成波流速信号を生成する合成手段と、
前記合成手段からの前記合成波流速信号と前記正弦波状駆動信号との位相差を検出する位相差検出手段と、
前記位相差検出手段で検出された位相差に基づいて、前記流量を算出する流量算出手段と、
を備えていることを特徴とする流量計。 - 請求項1記載の流量計において、
前記合成手段は、前記第1の流速信号と、重み付けされた前記第2の流速信号とを加算する重み付け加算器を含むことを特徴とする流量計。 - 請求項2記載の流量計において、
前記流体の流れ方向が正流か逆流かを判別する流れ方向判別手段をさらに備え、
前記重み付け加算器は、前記流れ方向判別手段で正流と判別された場合、前記第1の流
速信号と、重み付けされた前記第2の流速信号とを加算し、前記流れ方向判別手段で逆流
と判別された場合、前記第2の流速信号と、重み付けされた前記第1の流速信号とを加算
することを特徴とする流量計。 - 請求項1記載の流量計において、
前記第1の温度センサからの前記流速信号を所定の増幅率で増幅して前記合成手段へ出力する第1の増幅手段と、前記第2の温度センサからの第2の流速信号を前記所定の増幅率より大きい増幅率で増幅して前記合成手段ヘ出力する第2の増幅手段とをさらに備えていることを特徴とする流量計。 - 請求項1記載の流量計において、
前記ヒータと前記第2の温度センサの間隔が、前記ヒータと前記第1の温度センサの間隔よりも小さく設定されていることを特徴とする流量計。
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JP2008026007A JP5185645B2 (ja) | 2008-02-06 | 2008-02-06 | 流量計 |
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JP2008026007A JP5185645B2 (ja) | 2008-02-06 | 2008-02-06 | 流量計 |
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JP2009186306A JP2009186306A (ja) | 2009-08-20 |
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Family Applications (1)
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JP3718198B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2005-11-16 | 株式会社日立製作所 | 流量センサ |
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2008
- 2008-02-06 JP JP2008026007A patent/JP5185645B2/ja not_active Expired - Fee Related
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