JP5179339B2 - 混合ガスの供給方法及び混合ガスの供給装置 - Google Patents
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- 共通配管に接続された複数の個別ガス供給ラインを通して複数種のガスを供給し、当該複数種のガスの混合ガスを、前記共通配管のガスアウト部を通じて混合ガス供給ラインによりガス使用対象に供給する混合ガスの供給方法であって、
ガス供給源から気体の状態で供給される通常ガスと、液体原料供給源から供給される液体原料を気化ユニットで加熱して気化させた液体原料ガスとを同時に供給する際に、
前記通常ガスより前記液体原料ガスを前記ガスアウト部に近い位置に設けた前記個別ガス供給ラインから供給し、かつ、前記通常ガス中のパーティクルを除去するためのフィルタの後段に前記液体原料ガスを供給し、
前記液体原料ガスを供給する前記個別ガス供給ラインの、前記気化ユニットと前記共通配管との接続部との間を第1のヒータにより第1の温度に加熱し、
前記共通配管の、少なくとも前記液体原料ガスを供給する前記個別ガス供給ラインの接続部と前記ガスアウト部との間を第2のヒータにより前記第1の温度より低い第2の温度に加熱し、
前記液体原料ガスの前記気化ユニットより下流側の前記個別ガス供給ライン及び前記共通配管の双方に、ガス中のパーティクルを除去するためのフィルタを設けない
ことを特徴とする混合ガスの供給方法。 - 請求項1記載の混合ガスの供給方法であって、
前記液体原料を供給する配管にフィルタを設け、前記液体原料中のパーティクルを除去することによって前記液体原料ガス中へのパーティクルの混入を防止する
ことを特徴とする混合ガスの供給方法。 - 請求項1又は2記載の混合ガスの供給方法であって、
前記第1の温度は、前記液体原料の蒸気圧が、前記液体原料ガスを供給する前記個別ガス供給ラインの内部の圧力以上となる温度であることを特徴とする混合ガスの供給方法。 - 請求項1〜3いずれか1項記載の混合ガスの供給方法であって、
前記第2の温度は、前記液体原料の蒸気圧が、前記共通配管内における前記液体原料ガスの分圧以上となる温度であることを特徴とする混合ガスの供給方法。 - 請求項1〜4いずれか1項記載の混合ガスの供給方法であって、
前記ガス使用対象が、プラズマエッチング装置の処理チャンバーであることを特徴とする混合ガスの供給方法。 - 請求項1〜5いずれか1項記載の混合ガスの供給方法であって、
前記液体原料ガスが、C5F8、C6F6、SiCl4、HFのうちの少なくともいずれか1つであることを特徴とする混合ガスの供給方法。 - 共通配管に接続された複数の個別ガス供給ラインを通して複数種のガスを供給し、当該複数種のガスの混合ガスを、前記共通配管のガスアウト部を通じて混合ガス供給ラインによりガス使用対象に供給する混合ガスの供給装置であって、
ガス供給源から気体の状態で供給される通常ガスと、液体原料供給源から供給される液体原料を気化ユニットで加熱して気化させた液体原料ガスとを同時に供給する際に、
前記通常ガスより前記液体原料ガスを前記ガスアウト部に近い位置に設けた前記個別ガス供給ラインから供給し、かつ、前記通常ガス中のパーティクルを除去するためのフィルタの後段に前記液体原料ガスを供給するよう構成され、
前記液体原料ガスを供給する前記個別ガス供給ラインの、前記気化ユニットと前記共通配管との接続部との間を第1のヒータにより第1の温度に加熱し、
前記共通配管の、少なくとも前記液体原料ガスを供給する前記個別ガス供給ラインの接続部と前記ガスアウト部との間を第2のヒータにより前記第1の温度より低い第2の温度に加熱するよう構成され、
前記液体原料ガスの前記気化ユニットより下流側の前記個別ガス供給ライン及び前記共通配管の双方に、ガス中のパーティクルを除去するためのフィルタが設けられていない
ことを特徴とする混合ガスの供給装置。 - 請求項7記載の混合ガスの供給装置であって、
前記液体原料を供給する配管にフィルタを設け、前記液体原料中のパーティクルを除去することによって前記液体原料ガス中へのパーティクルの混入を防止するよう構成された
ことを特徴とする混合ガスの供給装置。 - 請求項7又は8記載の混合ガスの供給装置であって、
前記第1の温度は、前記液体原料の蒸気圧が、前記液体原料ガスを供給する前記個別ガス供給ラインの内部の圧力以上となる温度であることを特徴とする混合ガスの供給装置。 - 請求項7〜9いずれか1項記載の混合ガスの供給装置であって、
前記第2の温度は、前記液体原料の蒸気圧が、前記共通配管内における前記液体原料ガスの分圧以上となる温度であることを特徴とする混合ガスの供給装置。 - 請求項7〜10いずれか1項記載の混合ガスの供給装置であって、
前記ガス使用対象が、プラズマエッチング装置の処理チャンバーであることを特徴とする混合ガスの供給装置。 - 請求項7〜11いずれか1項記載の混合ガスの供給装置であって、
前記液体原料ガスが、C5F8、C6F6、SiCl4、HFのうちの少なくともいずれか1つであることを特徴とする混合ガスの供給装置。
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