JP5169354B2 - 接合材料及びそれを用いた接合方法 - Google Patents
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錫と銅とを含む合金からなる第1の金属粉末と、主成分としてニッケルを含む第2の金属粉末とが混合された接合材料。
前記第1の金属粉末が、さらに銀を含む付記1に記載の接合材料。
前記第2の金属粉末の平均粒径が3μm以下である付記1または2に記載の接合材料。
前記第1の金属粉末と第2の金属粉末との合計の重量に対するニッケルの重量の比が1.5%以下である付記1乃至3のいずれか1項に記載の接合材料。
錫を含む合金からなる第1の金属粉末と、主成分としてニッケルを含み、平均粒径が3μm以下の第2の金属粉末とが混合された接合材料。
前記第1の金属粉末と第2の金属粉末との合計の重量に対するニッケルの重量の比が1.5%以下である付記5に記載の接合材料。
前記第1の金属粉末と第2の金属粉末との合計の重量に対するニッケルの重量の比が0.5%以上である付記5または6に記載の接合材料。
第1の基板の表面に形成された銅を含む金属からなる電極の上に、付記1乃至5に記載された接合材料を塗布する工程と、
錫を含むはんだバンプが表面に形成された第2の基板の該はんだバンプを、前記第1の基板の電極上に塗布された前記接合材料に接触させる工程と、
前記はんだバンプ及び前記第1の金属粉末を溶融させ、その後固化させることにより、前記第2の基板を前記第1の基板に固定する工程と
を有する基板の接合方法。
前記はんだバンプ及び前記第1の金属粉末を溶融させる工程において、前記第2の金属粉末の融点よりも低い温度まで加熱し、該第2の金属粉末は、前記はんだバンプ及び前記第1の金属粉末が溶融した融液中に溶解する付記8に記載の接合方法。
15 電極
40 半導体装置
50 パッケージ基板
51 封止樹脂
52 電極
60 はんだバンプ
61 中間層
63 接合材料
63A 第1の金属粉末(Sn−Ag−Cu)
63B 第2の金属粉末(Ni)
63C フラックス
64 はんだバンプ
Claims (3)
- 錫と銅とを含む合金からなる第1の金属粉末と、主成分としてニッケルを含む第2の金属粉末とが、それぞれ独立に混在し、前記第1の金属粉末と第2の金属粉末との合計の重量に対するニッケルの重量の比が1.5%以下であり、前記第2の金属粉末の平均粒径が3μm以下である接合材料。
- 錫を含む合金からなる第1の金属粉末と、主成分としてニッケルを含み、平均粒径が3μm以下の第2の金属粉末とが、それぞれ独立に混在し、前記第1の金属粉末と第2の金属粉末との合計の重量に対するニッケルの重量の比が1.5%以下である接合材料。
- 第1の基板の表面に形成された銅を含む金属からなる電極の上に、請求項1乃至2に記載された接合材料を塗布する工程と、
錫を含むはんだバンプが表面に形成された第2の基板の該はんだバンプを、前記第1の基板の電極上に塗布された前記接合材料に接触させる工程と、
前記はんだバンプ及び前記第1の金属粉末を溶融させ、その後固化させることにより、前記第2の基板を前記第1の基板に固定する工程と
を有する基板の接合方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008069913A JP5169354B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 接合材料及びそれを用いた接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008069913A JP5169354B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 接合材料及びそれを用いた接合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009224700A JP2009224700A (ja) | 2009-10-01 |
JP5169354B2 true JP5169354B2 (ja) | 2013-03-27 |
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ID=41241148
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008069913A Expired - Fee Related JP5169354B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 接合材料及びそれを用いた接合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5169354B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5521584B2 (ja) * | 2010-01-28 | 2014-06-18 | Tdk株式会社 | Pbフリーはんだ及び電子部品内蔵モジュール |
TWI461252B (zh) * | 2010-12-24 | 2014-11-21 | Murata Manufacturing Co | A bonding method, a bonding structure, an electronic device, an electronic device manufacturing method, and an electronic component |
JP5573792B2 (ja) * | 2011-07-25 | 2014-08-20 | Tdk株式会社 | はんだバンプ形成方法 |
JP6154110B2 (ja) * | 2012-01-20 | 2017-06-28 | 京セラ株式会社 | 実装基板 |
JP6287739B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2018-03-07 | 株式会社村田製作所 | ステンドグラスの製造方法 |
JP6089243B2 (ja) * | 2015-05-22 | 2017-03-08 | 株式会社弘輝 | 接合構造体の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000197988A (ja) * | 1998-03-26 | 2000-07-18 | Nihon Superior Co Ltd | 無鉛はんだ合金 |
JPWO2003021664A1 (ja) * | 2001-08-31 | 2005-07-07 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置、構造体及び電子装置 |
JP4022139B2 (ja) * | 2002-12-25 | 2007-12-12 | 富士通株式会社 | 電子装置及び電子装置の実装方法及び電子装置の製造方法 |
KR101233926B1 (ko) * | 2006-04-26 | 2013-02-15 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | 솔더 페이스트 |
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- 2008-03-18 JP JP2008069913A patent/JP5169354B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009224700A (ja) | 2009-10-01 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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