JP5168827B2 - 部品接合方法、部品接合装置、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出ヘッド製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、部品接合方法、部品接合装置、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出ヘッド製造装置に関し、さらに詳しくは、接合時での部品同士の位置決めに関する。

薄片からなる部品同士を接合して製品とするものの一つにインク吐出用ノズル、いわゆる、インクジェット方式の印字ヘッドがある。
インクジェット方式の印字ヘッドは、インク滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルの裏側に位置するインク溜まりの容積を圧力によって変化させるための電気機械式変換素子や発熱抵抗体などのアクチュエータを主要構成として備えており、記録信号に応じて選択された位置のアクチュエータが駆動されることによりインク溜まりを圧縮させてインクをノズルから吐出させるようになっている。

印字ヘッドの構成の一つとして、基板上に並設された複数の圧電素子と、圧電素子に接合されている振動板と振動板と、インクを貯留し振動板の変位により容積変化を生じることで貯留室内の圧力を変化させる圧力室と、圧力室を挟んで振動板と対向してインク吐出口を有するインク板とを備えた構成がある（例えば、特許文献１）。

上記構成を備えた印字ヘッドは、高密度、高品質の記録を行うために、ヘッドを構成している微細な構成部品の個々の精度を高くしなければならないと共に、ノズル板、振動板、圧電素子等の各微細部品を接合して組み立てるときの組み立て精度（部品相互の位置精度即ち接合精度）を高くしなければならない。

特に、組立ての中でも、ノズル板のノズルと振動板の変位部との位置精度、振動板の変位部と圧電素子との位置精度、ノズル板のノズルと圧電素子との位置精度を高くしなければ、圧電素子の変位が効率的に振動板から液室に伝達されなくなってインクの吐出効率が低下したり、複数の圧電素子を同時に駆動したときに相互の干渉を生じて吐出速度が低下したりして、画像品質が低下するなどの不都合が発生する。

したがって、上述したようなインクジェットヘッドを構成している２つの微細部品を自動的に接合する組立装置を構成しようとする場合、接合に要する時間を短縮して生産タクトの短縮化を図ると共に、２つの微細部品の位置合せ精度の向上が要求される。

従来、微細部品同士の接合に用いられる構成としては、次のような構成が提案されている。
まず、第１は、微細部品同士の位置を撮像手段により監視しながらその位置が整合するように撮像手段により得られた各微細部品間での位置ずれを補正するように微細部品の一方の位置を調整紙ながら互いに接合する方向に加圧するようにした構成である（例えば、特許文献２）、
別な構成としては、互いの微細部品を加圧接合する際に少なくとも一方を予め予測して設定された予測位置ずれ量に相当する移動量だけ該部品を平行に移動させたうえで加圧するようにした構成である（例えば、特許文献３）。

特許文献２には、部品を供給する第一ステーションと、接着剤を塗布する塗布する第二ステーションと、２つの部品を接合する第三ステーションと、接合した組立物を排出する第四ステーションを順次配置し、第二ステーションには、位置検出手段と、接着剤塗布位置に位置決めする位置決め手段を備え、第三ステーションには、他方の微細部品を吸着する保持する保持手段と、この保持手段を他方の部品供給側との間で往復移動させる移動機構部と前記二つの部品が位置計測可能な位置検出手段と、その結果に基づいて一方の部品の位置を調整する位置調整手段を備えた構成が開示されている。この構成においては、２つの部品を同時に撮像可能な位置検出手段を具備し、一つの部品を基準として、他方の部品を位置調整することにより高精度な組み立てを実現している。

特許文献３には、垂直方向の加圧動作と水平方向の位置合わせ動作を交互あるいは同時に繰り返すことで、高精度位置決めを実現し、かつ、加圧動作に対応して、水平方向を予め設定された移動距離だけ、水平方向に対して移動させる構成が開示されている。

特開平９−１７４８３６号公報（段落「０００５」〜「０００６」欄） 特開平１０−２７７８５３号公報（段落「０００８」欄） 特開２００４−２１２９８７号公報（段落「００３０」欄）

しかし、特許文献２に開示された構成においては、非接触状態で、加圧後の位置ずれを考慮したオフセットを加えた状態でアライメントした後、所定加圧力で加圧するため、加圧時に接着剤の膜厚ばらつき等による位置ずれが発生した場合に、高精度に位置決めできないという問題がある。
また、特許文献３に開示されている構成においては、加圧方向に対して、水平方向に予め設定された距離のみ移動させるので、想定外の位置ずれが発生した場合には、その時点で再度アライメントを実行する必要があり、タクトが長くなるという問題がある。さらに、加圧状態が最終段階に近づくにつれて、上下基板間に働く摩擦抵抗が大きくなるため、移動指令値より実際の移動量が小さくなり、そのためアライメント回数が著しく多くなったり、最悪の場合、補正不可能になる場合があるという問題がある。

本発明の目的は、上記従来の微細部品を対象とした接合時に発生する問題に鑑み、加圧後の位置合わせ精度および、接合品質を確保できるとともに組み立てタクトタイムも短縮して生産性を高めることができる部品接合方法および装置そして、液滴吐出ヘッド製造方法および装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明は次の構成よりなる。

（１）２つの部品をそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、２つの部品のそれぞれの位置基準マークを計測し、上ステージ面と下ステージ面のいずれか一方を移動して２つの部品の相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、前記２つの部品を接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に２つの部品を加圧する加圧工程とを備え、
上ステージ面と下ステージ面のうち前記アライメント工程で移動するステージ面にセットされた部品を第１の部品とし、他方にセットされた部品を第２の部品としたとき、第１の部品の位置基準マークの第２の部品の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出工程と、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾きを調整して、第１の部品及び第２の部品をさらに加圧することにより前記位置ずれを補正する位置補正工程とを有し、
前記位置補正工程における前記ステージ面の傾きの調整は、前記位置検出工程において第１の部品の位置基準マークが第２の部品の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記第１の部品と前記第２の部品とのギャップを相対的に広げる傾きの調整であることを特徴とする部品接合方法。

（２）前記位置補正工程は、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾斜量を設定する面傾斜設定工程と、面傾斜設定工程において設定された傾斜量を補正する面傾斜補正工程と、前記第１の部品と第２の部品とをさらに加圧する追加圧工程とを有することを特徴とする（１）に記載の部品接合方法。

（３）前記面傾斜設定工程は、前記位置検出工程において検出した第1の部品の、第２の部品からの位置ずれの方向と大きさに基づいて、前記位置ずれを補正するように面傾斜補正工程の補正量を決定することを特徴とする（２）に記載の部品接合方法。

（４）前記面傾斜補正工程は、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾斜を構成する面傾斜工程と、前記面傾斜工程に対応して面傾斜量を検出する面傾斜検出工程とを有することを特徴とする（２）に記載の部品接合方法。
（５）前記位置検出工程で検出された位置ずれ量に基づいて前記位置補正工程の完了を判断する補正完了判断工程と、前記補正完了判断工程の完了の判断後に、前記第１の部品と第２の部品との接触面の平行度を調整する平行調整工程を有することを特徴とする（１）に記載の部品接合方法。

（６）前記補正完了判断工程は、前記位置検出工程で検出した位置ずれ量と、前記位置検出工程で前回検出された位置ずれ量との変化量を演算する位置変化演算工程を有することを特徴とする（５）に記載の部品接合方法。

（７）前記平行調整工程は、上下ステージ間のギャップを複数箇所測定するギャップ検出工程と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の上下ステージ間のギャップが均一になるように、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾きを補正するギャップ補正工程を有することを特徴とする（５）に記載の部品接合方法。

（８）前記平行調整工程は、第１の部品と第２の部品に作用する荷重を複数箇所測定する荷重検出工程と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の荷重が均一になるように、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾きを補正する荷重補正工程を有することを特徴とする（５）に記載の部品接合方法。
（９）ノズル板と、流路板を含む部品とをそれぞれ上ステージ面及び下ステージ面に上下対向するようにセットする部品供給工程と、ノズル板の位置基準マークと流路板の位置基準マークとを計測し、下ステージ面を移動してノズル板と流路板の相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、ノズル板と流路板とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向にノズル板及び流路板を加圧する加圧工程とを備え、流路板の位置基準マークのノズル板の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出工程と、前記下ステージ面の傾きを調整して前記ノズル板及び流路板をさらに加圧することにより、前記位置ずれを補正する位置補正工程とを有し、
前記位置補正工程における前記下ステージ面の傾きの調整は、前記位置検出工程において流路板の位置基準マークがノズル板の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記流路板と前記ノズル板とのギャップを相対的に広げる傾きの調整であることをすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。

（１０）前記位置検出工程で検出された位置ずれ量に基づいて前記位置補正工程の完了を判断する補正完了判断工程と、前記補正完了判断工程の完了の判断後に、前記ノズル板と前記流路板との接触面の平行度を調整する平行調整工程を有することを特徴とする（９）に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。

（１１）２つの部品をそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、２つの部品のそれぞれの位置基準マークを計測し、上ステージ面と下ステージ面のいずれか一方を移動して２つの部品の相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記２つの部品を接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に２つの部品を加圧する加圧手段と、
上ステージ面と下ステージ面のうち前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面にセットされた部品を第１の部品とし、他方にセットされた部品を第２の部品としたとき、第１の部品の位置基準マークの第２の部品の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出手段と、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾きを調整して、第１の部品及び第２の部品をさらに加圧することにより前記位置ずれを補正する位置補正手段とを有し、
前記位置補正手段では、前記ステージ面の傾きの調整が、前記位置検出手段において検出される第１の部品の位置基準マークが第２の部品の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記第１の部品と前記第２の部品とのギャップを相対的に広げる傾きを対象として調整されることを特徴とする部品接合装置。
（１２）前記位置補正手段は、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾斜量を設定する面傾斜設定手段と、面傾斜設定手段において設定された傾斜量を補正する面傾斜補正手段と、前記第1の部品及び第２の部品をさらに加圧する追加圧手段とを備えることを特徴とする（１１）に記載の部品接合装置。
（１３）前記面傾斜設定手段は、前記位置検出手段において検出した第1の部品の、第２の部品からの位置ずれの方向と大きさに基づいて、前記位置ずれを補正するように面傾斜補正手段の補正量を決定することを特徴とする（１２）に記載の部品接合装置。

（１４）前記面傾斜補正手段は、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾斜を構成する面傾斜手段と、前記面傾斜手段に対応して傾斜量を検出する面傾斜検出手段とを有することを特徴とする（１２）に記載の部品接合装置。

（１５）前記位置検出手段で検出された位置ずれ量に基づいて位置ずれの補正の完了を判断する補正完了判断手段と、前記第１の部品と第２の部品との接触面の平行度を調整する平行調整手段とを備えたことを特徴とする（１１）に記載の部品接合装置。

（１６）前記補正完了判断手段は、前記位置検出手段で検出した位置ずれ量と、前記位置検出手段で前回検出された位置ずれ量との変化量を演算する位置変化演算手段を備えたことを特徴とする（１５）に記載の部品接合装置。

（１７）前記平行調整手段は、上下ステージ間のギャップを複数箇所測定するギャップ検出手段と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の上下ステージ間のギャップが均一になるように、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾きを補正するギャップ補正手段を備えたことを特徴とする（１５）に記載の部品接合装置。
（１８）前記平行調整手段は、第１の部品と第２の部品に作用する荷重を複数箇所測定する荷重検出手段と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の荷重が均一になるように、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾きを補正する荷重補正手段を備えたことを特徴とする（１５）に記載の部品接合装置。

（１９）ノズル板と、流路板を含む部品とをそれぞれ上ステージ面及び下ステージ面に上下対向するようにセットする部品供給手段と、ノズル板の位置基準マークと流路板の位置基準マークとを計測し、下ステージ面を移動してノズル板と流路板の相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記ノズル板と流路板とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向にノズル板及び流路板を加圧する加圧手段と備え、流路板の位置基準マークの、ノズル板の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出手段と、前記下ステージ面の傾きを調整して前記ノズル板及び流路板をさらに加圧することにより、前記位置ずれを補正する位置補正手段とを有し、
前記位置補正手段による、前記下ステージ面の傾きの調整は、前記位置検出手段において流路板の位置基準マークがノズル板の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記流路板と前記ノズル板とのギャップを相対的に広げる傾きの調整であることをすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造装置。

（２０）前記位置検出手段で検出された位置ずれ量に基づいて位置ずれの補正の完了を判断する補正完了判断手段と、前記ノズル板と前記流路板との接触面の平行度を調整する平行調整手段とを備えたことを特徴とする（１９）に記載の液滴吐出ヘッド製造装置。

本発第１の部品と第２の部品を上下対向するようにセットする部品供給工程と、第1の部品の位置基準マークと、第２の部品の位置基準マークを計測し、相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、第１の部品と第２の部品を接着剤を介して接触させて、第1の部品と第２の部品が相対的に接近する方向に加圧する加圧工程からなる部品接合方法において、第１の部品と第２の部品の位置ずれ量を検出する位置検出工程と、上下ステージ面の相対的な傾きを調整して、加圧することにより、前記第１の部品と第２の部品の位置ずれを補正する位置補正工程とを具備することにより、加圧後の位置合わせ精度を確保でき、かつ組み立てタクトタイムを短縮化できる、生産性の高い部品接合方法並びに装置を提供できる。

さらに、本発明によれば、上下ステージ面の相対的な傾きを調整して、加圧することにより、前記第１の部品と第２の部品の位置ずれを補正する位置補正工程と、第１の部品と第２の部品の位置補正が完了したことを判断する位置補正判断工程と、前記位置補正判断工程の結果に基づき、前記第１の部品と第２の部品の平行度を調整する平行調整工程を具備することにより、位置補正後の位置合わせ精度および、接合品質を確保できる部品接合方法並びに装置を提供できる。

以下、図面により本発明を実施するための最良の形態について説明する。
本発明による部品接合方法が適用される部品として、後述するようにピエゾ（ＰＺＴ）で構成された圧電素子を用いた印字ヘッドが相当しているが、本発明ではこのような接合を要する微細部品として、液晶パネルにおける液晶物質を封入する空間部を構成する上基板と下基板あるいは長尺化を図るラインヘッドのエネルギー吐出素子などを対象とすることも可能であり、これらの部品を接合する場合にも適用することができる。

図１乃至図４によりピエゾ（ＰＺＴ）方式印字ヘッド（以下、便宜上、ＰＺＴ方式印字ヘッドという）の概要構造を説明する。
図１に示すように、ＰＺＴ方式印字ヘッド１は、駆動ユニット３と、この駆動ユニット３に接合した液室ユニット２とを備えている。

まず、駆動ユニット３は、基板１５上に複数の圧電素子駆動部（以下駆動部）１４ａ及び支柱部１４ｂを交互に配設してなり、これらの駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂは所定の間隔をおいて、基板１５に接合している。
また、液室ユニット２は、図３に示すように、インク滴を吐出する複数のノズル４０を有するノズル板１１と、図２に示すように、ノズル４０に対応した液室３０が形成されている流路板１２と、液室３０に対応し、かつ駆動ユニット３の駆動部１４ａの振動を液室に伝える振動板１３とから構成されている。

液室ユニット２を構成するノズル板１１と流路板１２、及び振動板１３と流路板１２とは、流路板上面に接着剤１６を塗布し、接着剤１６を介して接合されている。

液室ユニット２には図示しないインク供給機構によりインクが供給され、液室３０にインクが供給される。そして、駆動ユニット３の各圧電素子駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂ上面に接着剤１６を介して液室ユニット２を接着接合している。
この駆動ユニット３の圧電素子駆動部１４ａを選択的に駆動することにより、液室ユニット２のノズル４０からインク滴が吐出される。つまり、高品質な印字ヘッドを提供するためには、前記液室ユニット２を構成するノズル板１１と流路板１２、及び振動板１３と流路板１２、そして液室ユニット２と駆動ユニット３とは、接着剤１６を介して高い精度で接合される必要がある。

ここで、印字ヘッドの組立に関して、図２〜６を用いて、ノズル板１１と流路板１２の位置調整方式を説明する。
図２に示すように、流路板１２の両端には、位置検出用基準マーク２２ａが形成されている。
一方、図３に示されているように、ノズル板１１の両端にも、位置検出用基準マーク２１が形成されており、こちらのマークは貫通穴で構成され、この貫通穴を透してのみ、下の流路板１２が検出可能となる。
そして、図５に示すように、２視野検出系の場合は、部品の両端に形成された流路板位置検出用基準マーク２２ａと、ノズル板位置検出用基準マーク２１のそれぞれの中心を検出してから、各部品の両端のマークから演算される各中心位置、つまり、センター、水平面内でのノズル板センター（Ｘｓ，Ｙｓ，θｓ）、水平面内での流路板センター（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）を求め（ただし、Ｘ，Ｙは水平面内での２次元方向を、そしてθは、水平面内での回転角を意味する）、それぞれのセンターが合うように、ノズル板１１と、流路板１２のセンター間の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）を、
（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）＝（Ｘｓ，Ｙｓ，θｓ）−（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）
により演算し、ノズル板１１を基準に、流路板１２をＸＹθ補正する。
今回は、ノズル板１１（以下振動板１３の場合も同様である）の位置を基準として、流路板１２の水平面内での位置をＸＹθ補正しているが、逆にノズル板１１側を補正する方法でもよい。

そして、ＸＹθ補正完了後に、Ｚ軸方向に加圧接合する。このとき、上下ステージの平行度を厳密に調整しても、接着剤の厚さばらつき等により加圧されるに従い接着剤上で部品の滑動が発生することで初期のアライメント精度に対して、位置ずれを起こす場合がある。

ここで、図６（Ａ）に示すように、厚さｈの粘弾性体（粘度ｋ）を間に挟んだ２枚の面積Ａの平面が相対速度Ｕで運動する時に発生する力Ｆは、
Ｆ＝ｋＡＵ／ｈ・・・・（１）
である。すなわち、接合加圧により、接着剤に垂直方向の力が加わると、接着剤が押しつぶされると同時に、水平方向へ接着剤が広がり、その広がる時の粘弾性体内の速度勾配（Ｕ／ｈ）に比例して、上部品あるいは下部品を横方向に動かそうとする力Ｆが発生する。これを水平面全体で考えた場合、水平面全体での合力がそれぞれの部品にかかる力になる。

これらの原理を応用した面傾斜による位置補正方法を、図６（Ｂ）から（Ｃ）で説明する。
図６（Ｂ）に示すように、厚さｈ０の粘弾性体（粘度ｋ）を間に挟んだ２枚の面積Ａ１の平面に荷重をかけた場合、簡略化のため、接着剤が左右にのみ、それぞれ速度Ｕ０１，Ｕ１１で広がるとすると、部品にかかる力（ΔＦｂ）は、
ΔＦｂ＝Ｆ０１−Ｆ１１＝ｋＡ１（Ｕ０１／ｈ０１−Ｕ１１／ｈ０１）・・（２）
となり、部品に力（ΔＦｂ）の水平方向の力が作用することになる。

加圧前に、上下のステージをどれだけ平行にしても、加圧により、挟まれた粘弾性体内部に速度勾配に差が出た場合は、上記力（ΔＦｂ）が部品に作用するため、位置ずれがおきる。仮に、Ｕ０１／ｈ０１ ＞ Ｕ１１／ｈ０１とすると、右方向にΔＦｂの力が加わり、部品が右方向にずれることになる。

次に、この力（ΔＦｂ）による右方向の位置ずれを補正するためには、逆に左方向に力が加わるようにすればよい。
図６（Ｃ）に示すように、上下ステージ面の相対的な傾きを調整（左側のギャップをｈ０１からｈ１２に縮小）して、加圧することにより、左側の速度勾配（Ｕ１２／ｈ１２）が、右側の速度勾配（Ｕ０２／ｈ０２）より大きくなり、左方向の力が、部品に作用することになる。

この時、部品にかかる左方向の力（ΔＦｃ）は、以下の式（３）により求められる。
ΔＦｃ＝Ｆ０２−Ｆ１２＝ｋＡ２（Ｕ０２／ｈ０２−Ｕ１２／ｈ１２）・・（３）
となり、いままで、右方向にかかっていた力ΔＦｂが、面の傾きを調整して、粘弾性体内部の速度勾配を変化させることにより、左方向のΔＦｃに力が変化し、その力により部品を左方向に移動させ、位置ずれ量を補正する。
このように、上下ステージの相対的な傾きを調整して、加圧して、接着剤の流動を積極的に制御することにより位置補正することが可能である。

また、同様に、上下ステージ面の相対的な傾きを調整して、加圧することにより、左側の速度勾配と、右側の速度勾配が同等の状態にすることにより、左右それぞれにかかる力が等しくなり、部品を特定方向の動かそうとする力（ΔＦ）が発生せず、部品の位置ずれを防止できる。
これを水平面全方位で考えた場合も同様に、接着剤の厚さばらつきや、部品の表面性状等により、水平面内での接着剤の速度勾配にばらつきが出た場合は、水平面の合力ΔＦが部品に作用し、例えばステージ剛性より、接着剤流動による水平面合力が大きければ、部品はステージごとずれることになる。またあるいは、ステージと部品の保持力より大きければ、ステージと部品間の保持が破壊されて、結果的に部品がずれることになる。
このことは、加圧時に発生する接着剤の流動の不均質性により発生する水平方向の力を、上下ステージの面傾斜を相対的に傾斜させ、接着剤の流動を制御して、水平方向の力を均一化させることにより、特定方向に作用する力を抑制し、位置ずれの防止が可能ということであり、また、接着剤の流動を積極的に制御して、位置補正を行うことが可能となる。これが本発明における接合方法の特徴部分である。
このように、本装置は加圧時のずれを検出して、そのずれ量に対応して、上下いずれかのステージの面傾斜を相対的に傾斜させ、再度加圧することにより、ノズル板１１と流路板１２の位置補正を行う。
この加圧と面傾斜による位置補正は、段階的に行われても、連続的行われてもどちらでもよい。目標精度とタクトの関係から適宜最適な方法を選択する。

位置の補正は、位置ずれ量が規定値以内（例えば１μｍ以下）であり、かつ位置ずれ変化量（例えば０．５μｍ以下）の時、補正完了としている。ここで、位置ずれ変化量を規定値以内にすることにより、接着剤の流動が十分に均一化されていると判断できる。よって、この後に微小な平行調整を行ったとしても、接着剤の大きな流動は起こらないので、再度位置ずれを起すことはない。また、面傾斜補正において、十分に加圧している状態では、接着剤の流動はほぼ均一化されているため、位置ずれ変化量の他に、加圧力あるいは、ステージ間ギャップをパラメータとして使用してもよい。位置補正完了後に、平行調整を行い、規定圧力まで加圧される。
また、加圧による位置ずれに関して、ノズル板１１と流路板１２の接触初期の段階で大きくずれることがある場合は、接触初期の面傾斜位置補正を行う前に、１度ＸＹθ補正を行ったほうが好ましい。

このように加圧と面傾斜による位置補正を行い、所定の加圧力で接合後は、図４に示すように、両端のノズル板位置検出用基準マーク２１の中に、流路板１２位置検出用基準マーク２２ａが高精度に位置合わせされる。

本実施形態では、位置検出用基準マーク２２ａおよび２１は、同心円上に配置されるように設定しているため、このノズル板位置検出用基準マーク２１は、流路板１２位置検出用基準マーク２２ａより大径に形成している。しかし、必ずしも位置基準孔１１と１２は、同心円上に配置される必要はなく、上方からのカメラ（撮像手段）で撮像したときに検出可能な位置に配置され、そのマーク間の位置関係（オフセット）が明確になっていれば良い。

ここで、上部品のノズル板１１および振動板１３の貫通穴２１、２３に、下部品である流路板１２のマーク２２ａ、２２ｂ（２２ｂは、図１に示すように２２ａの反対側に設けられている）を配置するアライメント方法においては、上部品であるノズル板１１あるいは振動板１３の貫通穴２１、２３を透して、下部品である流路板１２のマーク２２ａ、２２ｂを検出する。
上部品のノズル板１１および振動板１３に隠れて、下部品の流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａが検出できなくならないように、上部品のノズル板１１おおよび振動板１３の位置情報に基づいて、流路板１２の粗調整を行うことにより、確実に、上部品を透して、下部品のマークを検出することかできる。

また、流路板１２と振動板１３も、前記ノズル板１１と流路板１２と同様のマーク構成となっており、位置調整方式も同様である。以後は、振動板１３と流路板１２を例に説明すると次の通りである。
本実施形態における部品接合装置１００は、振動板１３と流路板１２の、それぞれに設けた位置検出基準を検出して、その検出結果に基づいて部品の位置調整を行うことができる装置であって、図７および図８に示すように、本装置は、振動板１３が供給される第１ステーションと、第１ステーションの上方に配置され、振動板１３の位置を吸着保持する第２ステーションと、第２ステーションから、第２移載手段（インデックステーブル）により移載された、振動板１３の位置を基準として、流路板１２位置を調整する第３ステーションと全体を制御する制御手段からなる。

第２移載手段６１は、上部品である振動板１３の移載を行い、第２ステーションと第３ステーションを１８０度単位で反転移動する。振動板１３は、ｎ番目の部品が第３ステーションで接合されている間に、ｎ＋１番目の部品が第２ステーションに移載される。

第１ステーションは、振動板１３を第１仮置き部５２に供給する第１部品供給手段と、振動板１３を仮置きする第１仮置き部５２と、振動板１３を第２ステーションに配置された接合上ステージに移載する第１移載手段５１からなる。第１仮置き部５２は、振動板１３の仮置き台と、前記仮置き台上で、振動板１３を、突き当て仮位置決めする仮位置決め機構と、振動板１３を吸着保持する保持機構からなる。

第２ステーションは、振動板１３を吸着保持する接合上ステージ８０を有する。接合上ステージ８０は、中央部には透視窓を有しており、第１移載手段５１によって接合上ステージ８０の直下に移載された振動板１３を吸着固定する。

第３ステーションは、完成品の排出と、流路板１２を、第３ステーションに配置されたアライメント手段８１上の第２仮置き部７２に、流路板の供給／排出する第２部品供給／排出手段と、振動板１３の位置基準マーク２３と、振動板１３の位置基準マーク２３を通して、流路板１２の位置を計測する部品検出手段７０と、振動板１３と流路板１２の位置検出結果に基づいて、振動板１３に対して流路板１２のアライメントを行うアライメント手段と、部品検出手段７０の位置ずれ量の検出結果に対応して、上下ステージ面の相対的な傾きを調整して、加圧することにより位置ずれを補正する位置補正手段８２を具備する。

アライメント手段は、水平方向であるＸＹθ軸と、垂直方向であるＺ軸を有する駆動機構で構成される接合下ステージ８３と、駆動機構上面に設けた第２仮置き部７２と、流路板１２の仮位置決めする仮位置決め機構を有する。

位置調整手段の上部に配置された第２仮置き部７２は、流路板１２の仮置き台と、前記仮置き台上で、流路板１２を、突き当て仮位置決めする仮位置決め機構と、流路板１２を吸着保持する保持機構からなる。

位置補正手段８２は、部品検出手段７０の位置ずれ量の検出結果に対応したステージの傾斜量を設定する面傾斜量設定手段９０と、位置ずれ変化量を演算する位置変化量演算手段９３と、アライメント手段の接合下ステージ８３上に配置され、前記面傾斜設定手段９０において設定されたステージの傾斜量を補正する面傾斜補正手段９１と、アライメント手段８１上に配置され、連続的な荷重を発生可能な加圧手段９２と、上下ステージ間の複数のギャップを計測するギャップ検出手段９７と、また、上下ステージ間の複数の荷重を測定する荷重測定手段（図示されず）を具備する。

加圧手段９２は、電空レギュレータにより、連続的な荷重を発生可能で、数ｍｍストロークを要したエアベアリングアクチュエータなどが好ましい。荷重検出手段等の検出手段を常設する場合は、荷重検出手段の検出結果から、フィードバック制御が可能である。また、荷重検出手段等の検出手段を常設しない場合は、エアベアリングアクチュエータの加圧力と電空レギュレータの制御電圧の相関を測定しておき、電空レギュレータの制御電圧から間接的に荷重値を設定してもよい。

面傾斜補正手段９１は、本実施形態の特徴部であり、ステージの面傾斜を構成する複数の面傾斜手段９５と、面傾斜手段に対応した面傾斜検出手段９６を具備する。面傾斜手段９５は、ＰＺＴアクチュエータにより構成され、面傾斜補正手段９１の複数箇所（例えば４箇所）に配置される。また、面傾斜手段９５に対応して配置される面傾斜検出手段９６は、面傾斜手段９５の変位を直接検出するリニアセンサ、あるいは、ギャップを測定する静電センサ、あるいは、面傾斜そのものを測定するオートコリメータなど適宜用途に適したものを選択する。このように、面傾斜補正手段９１は、複数の面傾斜手段９５を個別に変位させて、制御することにより、Ｘ軸周りの傾斜αと、Ｙ軸周りの傾斜βを自在に調整可能である。

ギャップ検出手段９７は、上下ステージ間ギャップを直接検出するリニアセンサ、あるいは、静電センサなどを選択する。また、荷重検出手段は、ロードセルなどを選択する。ギャップ検出手段９７あるいは、荷重検出手段は、面傾斜補正手段９１の配置箇所と同数配置されており、ギャップ検出手段９７と、荷重検出手段の検出値から、面傾斜補正手段９１が制御可能となっている。

部品検出手段７０は、２視野以上で、第３ステーションの接合上ステージ８０および第２移載手段６１の上部に配置され、振動板位置検出基準マーク２３および流路板位置検出基準マーク２２が、加圧接合前の僅かな間隙をあけた状態および、加圧接合後の密着状態どちらの状態においても、同時に検出可能な構成となっている。接合上ステージ８０は、中央部には透視窓を有しており、接合上ステージの直下に吸着固定された振動板１３と流路板１２は、僅かな間隙を設けて配置され、部品検出手段７０は、振動板１３の位置検出基準マーク２３と、振動板１３の位置検出基準マーク２３を通して、流路板１２の位置検出基準マーク２２を検出可能である。

なお、図７において示した位置変化量演算手段９３は、位置ずれ変化量を演算する位置変化量演算手段９３により求められた変化量を前回検出された変化量に対する変化度合いを判断することでより高精度に位置ずれ状態の割り出しを行える目的で設けられているが、本発明の所期の目的である相対的なステージ面の傾き補正を行うことを主眼とする場合には、図９に示すように、上述した位置変化量演算手段９３を設けなくても位置ずれ調整を行うことが可能であり、この構成においては位置ずれ調整コストの軽減が図れる。

このような構成を備えた部品接合装置１００において、振動板１３と流路板１２とを位置調整する動作を、図１０乃至図１５を用いて説明する。
図１０に、第１ステーション振動板供給工程に関する手順を説明するフローチャートを示す。同図において、図７に示した第１仮置き部５２に、振動板１３のあるなしを確認する（ＳＴ１）。
そして、振動板１３が無い場合は、第１部品供給手段により、第１仮置き部５２の仮置き台の上に移載される（ＳＴ２）。
移載された振動板１３は、第１仮置き部５２の仮位置決め機構により、ＸＹ方向に突き当て位置決めされ、仮位置決め完了後に、保持機構により吸着保持される（ＳＴ３，ＳＴ４）。

吸着保持完了した振動板１３は、第２ステーションに対して、振動板１３移載要求をだし、振動板移載完了後の振動板移載完了信号で、ｎ番目の動作完了する。次に、再び振動板１３のあるなしを確認し、無い場合は、（ｎ＋１）番目の振動板をセットする（ＳＴ５）。このように、第１ステーション振動板供給工程においては、常に次の振動板１３を用意している。

図１１に、第２ステーションの振動板移載工程の手順に関するフローチャートを示す。 図１０におけるステップＳＴ６の結果に従い（ＳＴ１０）、まず、第１ステーションの振動板移載要求信号を受けて、第１移載手段５１（Ｚ軸）を上昇させる（ＳＴ１１）。
第１移載手段５１と接合上ステージ８０は、僅かな間隙をもって位置決めされ、振動板１３を、第１仮置き部５２から接合上ステージ８０に吸着機構の切替により受け渡し、第１移載手段５１は下降する（ＳＴ１２，ＳＴ１３）。
第１移載手段下降後に、第１ステーションに対して、振動板移載完了信号を出力する。そして、第２移載手段６１が回転可能になったら、第２移載手段が回転し、振動板１３を第３ステーションに移載する（ＳＴ１４〜ＳＴ１６）。

図１２に、図９に示した構成を対象とした第３ステーションの位置調整工程に関するフローチャートを示す。第３ステーションにおいて、振動板１３と、流路板１２は、僅かな間隙をあけて、対向して配置されている。
まず、部品検出手段７０において、振動板１３の位置検出基準マーク２３を検出し、振動板センター座標（Ｘｓ，Ｙｓ，θｓ）を算出する（ＳＴ２０〜ＳＴ２１）。この算出された振動板センター座標（Ｘｓ、Ｙｓ、θｓ）に対して、流路板の初期投入位置を変更して、振動板１３の位置基準孔を通して、確実に検出できる位置に、流路板１２を粗調整する（ＳＴ２２）。
次に、流路板１２の位置基準マーク２２ｂを、振動板１３の位置検出基準マーク２３を通して検出し、流路板センター座標（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）を算出する。それぞれのセンター同士の位置ずれ量（ΔＸｕ、ΔＹｕ、Δθｕ）が規定値外であれば、アライメント手段８１によって、流路板１２のＸＹθ方向のアライメント調整を行う（ＳＴ２３〜ＳＴ２４）。

位置ずれ量が規定値以内（例えば１μｍ）であれば、Ｚ軸上昇し、加圧手段により振動板１３と流路板１２を、接着剤を介して、接触させる（ＳＴ２５）。
加圧の方法としては、段階的に加圧する段階加圧と、連続的に加圧する連続加圧の両方式があるが、目標精度とタクトの関係から適宜最適な方法を選択すればよい。タクト短縮をめざす場合は、段階的な回数を減らして位置補正を行う、あるいは連続荷重変化速度を早くすればよい。また、高精度を目指す場合は、段階的な加圧回数と位置補正を増やすか、連続荷重変化速度を遅くして補正遅れがでないように位置補正すればよい。今回は１つの実施形態として、段階加圧方式で説明する。

まず初めに弱い荷重（例えば２Ｎ）で、振動板１３と流路板１２を接触させる。このとき、部品検出手段７０で振動板１３と流路板１２のセンター位置ずれ量（ΔＸｕ１、ΔＹｕ１、Δθｕ１）を検出する（ＳＴ２６）。このときの位置ずれ量が規定値（例えば１μｍ）より大きい場合（ＳＴ２７）、面傾斜による位置補正工程に入る（ＳＴ２８〜ＳＴ２９）。ただし、この接触時は、接着剤の膜厚ばらつき等の影響が大きいので、ギャップをあけてアライメントした結果に対して、大きくずれる（例えば１０μｍ）場合は、面傾斜位置補正を行う前に、１度ＸＹθ位置補正を行ったほうが好ましい。

ステップＳＴ２７において部品検出手段７０で検出した、振動板１３と流路板１２のセンター位置ずれ量（ΔＸｕ１、ΔＹｕ１、Δθｕ１）の位置ずれの方向と大きさから、面傾斜設定手段により、面傾斜補正手段の補正値が設定される。この設定方法は、簡単な外挿方式からの演算結果や、蓄積されたデータベースから設定されるものであってもよい。

設定された補正量に基づいて、面傾斜補正手段が面傾斜を補正する（ＳＴ２８〜ＳＴ２９）。補正が完了したら、再び加圧手段により加圧することにより、面傾斜方向にあわせて、流路板１２の位置が補正される。

ここで、図１６を用いて、１視野の場合の、面傾斜と加圧による位置補正の振動板と流路板の位置関係を示す。まず、加圧により、流路板１２が、位置ずれし、振動板Ｔａｒｇｅｔ座標（Ｘｔ、Ｙｔ、θｔ）に対して、（ΔＸ１、ΔＹ１、Δθ１）だけ位置ずれしたした場合、このＴａｒｇｅｔ座標（Ｘｔ、Ｙｔ、θｔ）方向に位置調整するためには、流路板マークのＯｂｊｅｃｔ座標（Ｘｏ、Ｙｏ、θｏ）から、Ｔａｒｇｅｔ座標（Ｘｔ、Ｙｔ、θｔ）に引いた、図中矢印Ａの方向に合わせて、上ステージと、下ステージのギャップを３次元的に小さくしてから、加圧すればよい。

このように、上下ステージの相対的な面傾斜補正と段階加圧による補正を所定の回数繰り返して、位置ずれ量が収束するようにする。そして、位置精度が規定値（例えば１μｍ）以内で、かつ荷重が規定加圧（例えば１００Ｎ）に達したら、判定フラグＯＫを付与し（ＳＴ３０〜ＳＴ３１）、また、規定荷重に達したが、位置精度が規定値から外れた場合は、ＮＧフラグを付与し（ＳＴ３２〜ＳＴ３３）、補正完了となる（ＳＴ３４）。

また、図１３に示すように、ＮＧ品に関しては、接着剤が剥離または分断しないレベルまで一度減圧して（ＳＴ３５）、再度、補正工程を実施してもよい。

補正完了後は、図示しない仮接着手段により仮接着した後、加圧開放する。

一方、図７に示した位置変化量演算手段９３を用いた場合を対象とした場合の第３ステーションでの位置調整工程に関する手順を図１４のフローチャートで示す。なお、図１４において図１２に示した場合と同じ手順に関しては同じステップ表示がしてあることを前置きしておく。

図１４において第３ステーションでは、振動板１３と、流路板１２は、僅かな間隙をあけて、対向して配置されている。

まず、部品検出手段７０において、振動板１３の位置検出基準マーク２３を検出し、振動板センター座標（Ｘｓ，Ｙｓ，θｓ）を算出する（ＳＴ２０〜ＳＴ２１）。この算出された振動板センター座標（Ｘｓ、Ｙｓ、θｓ）に対して、流路板の初期投入位置を変更して、振動板１３の位置基準孔を通して、確実に検出できる位置に、流路板１２を粗調整する（ＳＴ２２）。
次に、流路板１２の位置基準マーク２２ｂを、振動板１３の位置検出基準マーク２３を通して検出し、流路板センター座標（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）を算出する。それぞれのセンター同士の位置ずれ量（ΔＸｕ、ΔＹｕ、Δθｕ）が規定値外であれば、アライメント手段８１によって、流路板１２のＸＹθ方向のアライメント調整を行う（ＳＴ２３〜ＳＳＴ２４）。

位置ずれ量が規定値以内（例えば１μｍ）であれば、Ｚ軸上昇し、加圧手段により振動板１３と流路板１２を、接着剤を介して、接触させる（ＳＴ２５）。

加圧の方法としては、段階的に加圧する段階加圧と、連続的に加圧する連続加圧の両方式があるが、目標精度とタクトの関係から適宜最適な方法を選択すればよい。タクト短縮をめざす場合は、段階的な回数を減らして位置補正を行う、あるいは連続荷重変化速度を早くすればよい。また、高精度を目指す場合は、段階的な加圧回数と位置補正を増やすか、連続荷重変化速度を遅くして補正遅れがでないように位置補正すればよい。今回は１つの実施例として、段階加圧方式で説明する。

まず初めに弱い荷重（例えば２Ｎ）で、振動板１３と流路板１２を接触させる（ＳＴ２５）。
このとき、部品検出手段７０で振動板１３と流路板１２のセンター位置ずれ量（ΔＸｕ１、ΔＹｕ１、Δθｕ１）を検出する（ＳＴ２６）。このときの位置ずれ量が規定値（例えば１μｍ）より大きい場合（ＳＴ２７）、面傾斜による位置補正工程に入る。ただし、この接触時は、接着剤の膜厚ばらつき等の影響が大きいので、ギャップをあけてアライメントした結果に対して、大きくずれる（例えば１０μｍ）場合は、面傾斜位置補正を行う前に、１度ＸＹθ補正を行ったほうが好ましい。

ステップＳＴ２７において部品検出手段７０で検出した、振動板１３と流路板１２のセンター位置ずれ量（ΔＸｕ１、ΔＹｕ１、Δθｕ１）の位置ずれの方向と大きさから、面傾斜設定手段により、面傾斜補正手段の補正値が設定される（ＳＴ２８〜ＳＴ２９）。この設定方法は、簡単な外挿方式からの演算結果や、蓄積されたデータベースから設定されるものであってもよい。

設定された補正量に基づいて、面傾斜補正手段が面傾斜を補正する（ＳＴ２８〜ＳＴ２９）。補正が完了したら、再び加圧手段により加圧することにより、面傾斜方向にあわせて、流路板１２の位置が補正される。
このときの流路板１２の位置補正に関する振動板と流路板との位置関係は、図１６を用いて説明した場合と同様である。

このように、上下ステージの相対的な面傾斜補正と段階加圧による位置補正を複数回数繰り返して、位置ずれ量が収束するようにする。そして、位置精度が規定値（例えば１μｍ）以内で、かつ、位置ずれ変化量が規定値（例えば０．５μｍ）以内であれば（ＳＴ４０）、補正工程が完了となる。
位置ずれ変化量の演算に関しては、複数回の平均値をとることが好ましい。位置ずれ変化量を規定値（例えば０．５μｍ）以内にすることにより、接着剤の流動が十分に均一化されていると判断できる。この処理は、この後に微小な平行調整（ＳＴ４１）を行ったとしても、接着剤の大きな流動が起こらず、滑動による位置ずれが生じないっことにより再度位置ずれを起すことがないようにするための処理である。

また、面傾斜補正において、十分に加圧している状態では、接着剤の流動はほぼ均一化されているため、位置ずれ変化量の他に、荷重あるいは、ステージ間ギャップをパラメータとして使用してもよい。

次に、部品間の平行調整を行う（ＳＴ４１）。
平行調整のための１つの方法は、上下ステージ間ギャップを、複数のギャップ検出手段９７で検出して、面傾斜補正手段９１により上下ステージ間のギャップが、全体的に均一になるように、ステージを制御する。また、もう１つの方法としては、上下ステージ間の荷重を複数箇所で、荷重検出手段により検出し、面傾斜補正手段９１により、各測定ポイントの荷重が均一になるように、ステージを制御する。位置補正完了後に、部品の平行調整を行うことにより上下部品の接合状態が良好となり、接合品質が確保される。

平行調整後は、荷重が規定荷重（例えば１００Ｎ）に達するまで加圧し、規定荷重に達したら、判定フラグＯＫを付与する（ＳＴ３０〜ＳＴ３１）。また、規定荷重に達したが、位置精度が規定値から外れた場合は、ＮＧフラグを付与し（ＳＴ３２〜ＳＴ３３）、位置調整完了となる（ＳＴ３４）。

また、図１５に示すように、ＮＧ品に関しては、接着剤が剥離または分断しないレベルまで一度減圧して（ＳＴ３５）、再度、位置補正工程を実施してもよい。
補正完了後は、図示しない仮接着手段により仮接着した後、加圧開放する。

本発明で用いることができる印字ヘッド（インクジェットヘッド）は、インク流路から吐出口にかけての形状が直線的であるエッジシューター方式であっても良いし、インク流路の向きと吐出口の向きが異なるサイドシューター方式であっても良い。

エッジシューター方式の記録ヘッドの例を図１７，図１８に示す。
図１７（Ａ）、（Ｂ）に示す記録ヘッドは、吐出エネルギー発生体１０７（該発生体に吐出信号を印加する電極および該発生体に必要に応じて設けられる保護層などは省略してある）を有する基板１０１に、流路１０４の側壁およびオリフィス１０５を構成する壁材１０２および流路１０４の覆いを構成する天板１０３を積層した構成を有する。

このような記録ヘッドにおいては、インクが貯えられている液室（不図示）から流路１０４にインクが充填された状態で、不図示の電極を介して記録信号を吐出エネルギー発生体１０７に印加すると、該発生体から発生した吐出エネルギーが流路１０４内のインクに吐出エネルギー発生体１０７上方（吐出エネルギー作用部）で作用し、その結果インクがオリフィス１０５から液滴として一点鎖線１１４ａで示すように吐出される。吐出されたインク滴はオリフィス１０５の前方に送り込まれた紙などの被記録材に付着される。

図１７に示したようなエッジシューター方式の記録ヘッドにおいては、各部分の精度良い微細化やオリフィスのマルチ化、あるいは小型化が極めて容易であり、また量産性に富むという利点を有する。その一方で、インク滴吐出の際の応答周波数やインク滴の飛行速度に限界がある。また、電熱変換素子が発熱することでインク中に気泡が発生するが、この気泡が温度低下により収縮し、吐出エネルギー発生体１０７近辺で消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体１０７を徐々に破壊される。この現象はいわゆるキャビテーション現象と呼ばれ、エッジシューター方式において顕著である。そのため、エッジシューター方式の記録ヘッドは寿命が比較的短い。

次にサイドシューター方式の記録ヘッドの例を図１８に示す。
図１８に示す記録ヘッドは、天板１０３にオリフィスを設け、一点鎖線１１４ｃで示されたように流路１０４内の吐出エネルギー作用部へのインクの流れ方向とオリフィス１０５の開口中心軸とを直角となした構成を有する。

このような構成とすることによって、吐出エネルギー発生体１０７からのエネルギーをより効率良くインク滴の形成とその飛行の運動エネルギーへと変換でき、またインクの供給によるメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有し、吐出エネルギー発生体に発熱素子を用いた場合に特に効果的である。また、エッジシューターにおいて問題となる気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体１０７を徐々に破壊する、いわゆるキャビテーション現象をサイドシューターであれば回避することができる。つまり、サイドシューターにおいて気泡が成長し、その気泡がオリフィス１０５に達すれば気泡が大気に通じることになり温度低下による気泡の収縮が起こらない。そのため、記録ヘッドの寿命が長いという長所を有する。

本発明による具品接合方法が適用される対象となるＰＺＴ方式印字ヘッドの構成を説明するための模式図である。 図１に示したＰＺＴ方式印字ヘッドに用いられる流路板の平面図である。 図１に示したＰＺＴ方式印字ヘッドに用いられるノズルユニットの平面図である。 図２に示した流路板と図３に示したノズルユニットの接合後を示す平面図である。 本発明による部品接合方法に用いられる２視野の振動板と振動板との位置調整原理を説明するための模式図である。 粘弾性体の流動とこれにより発生する力との関係を説明するための模式図であ理、（Ａ）は上部品を水平方向に動かす力の関係を （Ｂ）は、加圧による弾性体の流動による力の関係を、（Ｃ）は、面傾斜による弾性体流動による力の関係をそれぞれ示している。 本発明による部品接合装置の実施形態の一つの構成を説明するための模式図である。 図８に示した部品接合装置の平面図である。 図７に示した部品接合装置の一部変形例を示す模式図である。 図９に示した部品接合装置を対象とした第１ステーションで実施される手順を説明するためのフローチャートである。 図９に示した部品接合装置を対象とした第２ステーションで実施される手順を説明するためのフローチャートである。 図９に示した部品接合装置を対象とした第３ステーションで実施される手順を説明するためのフローチャートである。 図１２に示した手順における一部変形例を説明するためのフローチャートである。 図７に示した部品接合装置を対象とした第３ステーションで実施される手順を説明するためのフローチャートである。 図１４に示した手順における一部変形例を説明するためのフローチャートである。 位置補正工程における振動板と流路板の位置関係を示す図であり、（Ａ）は、位置ずれ後の振動板と流路板の位置関係を、（Ｂ）は、面傾斜位置補正後の振動板と流路板の位置関係をそれぞれ示している。 本発明の部品接合方法の対象として用いられるエッジシュータ方式のインクジェット記録ヘッドの例を示す図であり、（Ａ）は吐出口を示す斜視図、（Ｂ）は吐出口を示す断面図である。 本発明の部品接合方法の対象として用いられるサイドシュータ方式インクジェット記録ヘッドの吐出口を示す断面図である。

符号の説明

１ ＰＺＴ方式印字ヘッド
２ 液室ユニット
３ 駆動ユニット
１１ ノズル板
１２ 流路板
１３ 振動板
１４ａ 圧電素子駆動部
１４ｂ 圧電素子支柱部
１５ 基板
１６ 接着剤
２１ ノズル板位置検出基準マーク
２２ａ 流路板のノズル板用位置検出基準マーク
２２ｂ 流路板の振動板用位置検出基準マーク
２３ 振動板位置検出基準マーク
３０ 液室
３１ 流路板接着剤非塗布領域
４０ ノズル穴
５１ 第１移載手段
５２ 第１仮置き部
６１ 第２部品移載手段
７０ 部品検出手段
７２ 第２仮置き部
８０ 接合上ステージ
８１ アライメント手段
９０ 面傾斜設定手段
９１ 面傾斜補正手段
９２ 加圧手段
９３ 位置変化演算手段
９５ 面傾斜手段
９６ 面傾斜検出手段
９７ ギャップ検出手段
９８ 荷重検出手段
１００ 部品接合装置
１０１ 基板

Claims (20)

1. ２つの部品をそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、２つの部品のそれぞれの位置基準マークを計測し、上ステージ面と下ステージ面のいずれか一方を移動して２つの部品の相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、前記２つの部品を接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に２つの部品を加圧する加圧工程とを備え、
   上ステージ面と下ステージ面のうち前記アライメント工程で移動するステージ面にセットされた部品を第１の部品とし、他方にセットされた部品を第２の部品としたとき、第１の部品の位置基準マークの第２の部品の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出工程と、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾きを調整して、第１の部品及び第２の部品をさらに加圧することにより前記位置ずれを補正する位置補正工程とを有し、
   前記位置補正工程における前記ステージ面の傾きの調整は、前記位置検出工程において第１の部品の位置基準マークが第２の部品の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記第１の部品と前記第２の部品とのギャップを相対的に広げる傾きの調整であることを特徴とする部品接合方法。
2. 前記位置補正工程は、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾斜量を設定する面傾斜設定工程と、面傾斜設定工程において設定された傾斜量を補正する面傾斜補正工程と、前記第１の部品と第２の部品とをさらに加圧する追加圧工程とを有することを特徴とする請求項1に記載の部品接合方法。
3. 前記面傾斜設定工程は、前記位置検出工程において検出した第1の部品の、第２の部品からの位置ずれの方向と大きさに基づいて、前記位置ずれを補正するように面傾斜補正工程の補正量を決定することを特徴とする請求項２に記載の部品接合方法。
4. 前記面傾斜補正工程は、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾斜を構成する面傾斜工程と、前記面傾斜工程に対応して面傾斜量を検出する面傾斜検出工程とを有することを特徴とする請求項２に記載の部品接合方法。
5. 前記位置検出工程で検出された位置ずれ量に基づいて前記位置補正工程の完了を判断する補正完了判断工程と、前記補正完了判断工程の完了の判断後に、前記第１の部品と第２の部品との接触面の平行度を調整する平行調整工程を有することを特徴とする請求項1に記載の部品接合方法。
6. 前記補正完了判断工程は、前記位置検出工程で検出した位置ずれ量と、前記位置検出工程で前回検出された位置ずれ量との変化量を演算する位置変化演算工程を有することを特徴とする請求項５に記載の部品接合方法。
7. 前記平行調整工程は、上下ステージ間のギャップを複数箇所測定するギャップ検出工程と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の上下ステージ間のギャップが均一になるように、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾きを補正するギャップ補正工程を有することを特徴とする請求項５に記載の部品接合方法。
8. 前記平行調整工程は、第１の部品と第２の部品に作用する荷重を複数箇所測定する荷重検出工程と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の荷重が均一になるように、前記アライメント工程で移動するステージ面の傾きを補正する荷重補正工程を有することを特徴とする請求項５に記載の部品接合方法。
9. ノズル板と、流路板を含む部品とをそれぞれ上ステージ面及び下ステージ面に上下対向するようにセットする部品供給工程と、ノズル板の位置基準マークと流路板の位置基準マークとを計測し、下ステージ面を移動してノズル板と流路板の相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、ノズル板と流路板とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向にノズル板及び流路板を加圧する加圧工程とを備え、流路板の位置基準マークのノズル板の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出工程と、前記下ステージ面の傾きを調整して前記ノズル板及び流路板をさらに加圧することにより、前記位置ずれを補正する位置補正工程とを有し、
   前記位置補正工程における前記下ステージ面の傾きの調整は、前記位置検出工程において流路板の位置基準マークがノズル板の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記流路板と前記ノズル板とのギャップを相対的に広げる傾きの調整であることをすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
10. 前記位置検出工程で検出された位置ずれ量に基づいて前記位置補正工程の完了を判断する補正完了判断工程と、前記補正完了判断工程の完了の判断後に、前記ノズル板と前記流路板との接触面の平行度を調整する平行調整工程を有することを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
11. ２つの部品をそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、２つの部品のそれぞれの位置基準マークを計測し、上ステージ面と下ステージ面のいずれか一方を移動して２つの部品の相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記２つの部品を接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に２つの部品を加圧する加圧手段と、
    上ステージ面と下ステージ面のうち前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面にセットされた部品を第１の部品とし、他方にセットされた部品を第２の部品としたとき、第１の部品の位置基準マークの第２の部品の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出手段と、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾きを調整して、第１の部品及び第２の部品をさらに加圧することにより前記位置ずれを補正する位置補正手段とを有し、
    前記位置補正手段では、前記ステージ面の傾きの調整が、前記位置検出手段において検出される第１の部品の位置基準マークが第２の部品の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記第１の部品と前記第２の部品とのギャップを相対的に広げる傾きを対象として調整されることを特徴とする部品接合装置。
12. 前記位置補正手段は、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾斜量を設定する面傾斜設定手段と、面傾斜設定手段において設定された傾斜量を補正する面傾斜補正手段と、前記第1の部品及び第２の部品をさらに加圧する追加圧手段とを備えることを特徴とする請求項１１に記載の部品接合装置。
13. 前記面傾斜設定手段は、前記位置検出手段において検出した第1の部品の、第２の部品からの位置ずれの方向と大きさに基づいて、前記位置ずれを補正するように面傾斜補正手段の補正量を決定することを特徴とする請求項１２に記載の部品接合装置。
14. 前記面傾斜補正手段は、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾斜を構成する面傾斜手段と、前記面傾斜手段に対応して傾斜量を検出する面傾斜検出手段とを有することを特徴とする請求項１２に記載の部品接合装置。
15. 前記位置検出手段で検出された位置ずれ量に基づいて位置ずれの補正の完了を判断する補正完了判断手段と、前記第１の部品と第２の部品との接触面の平行度を調整する平行調整手段とを備えたことを特徴とする請求項1１に記載の部品接合装置。
16. 前記補正完了判断手段は、前記位置検出手段で検出した位置ずれ量と、前記位置検出手段で前回検出された位置ずれ量との変化量を演算する位置変化演算手段を備えたことを特徴とする請求項１５に記載の部品接合装置。
17. 前記平行調整手段は、上下ステージ間のギャップを複数箇所測定するギャップ検出手段と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の上下ステージ間のギャップが均一になるように、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾きを補正するギャップ補正手段を備えたことを特徴とする請求項１５に記載の部品接合装置。
18. 前記平行調整手段は、第１の部品と第２の部品に作用する荷重を複数箇所測定する荷重検出手段と、前記検出結果に基づいて、前記複数箇所の荷重が均一になるように、前記アライメント手段による位置合わせのために移動するステージ面の傾きを補正する荷重補正手段を備えたことを特徴とする請求項１５に記載の部品接合装置。
19. ノズル板と、流路板を含む部品とをそれぞれ上ステージ面及び下ステージ面に上下対向するようにセットする部品供給手段と、ノズル板の位置基準マークと流路板の位置基準マークとを計測し、下ステージ面を移動してノズル板と流路板の相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記ノズル板と流路板とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向にノズル板及び流路板を加圧する加圧手段と備え、流路板の位置基準マークの、ノズル板の位置基準マークからの位置ずれを検出する位置検出手段と、前記下ステージ面の傾きを調整して前記ノズル板及び流路板をさらに加圧することにより、前記位置ずれを補正する位置補正手段とを有し、
    前記位置補正手段による、前記下ステージ面の傾きの調整は、前記位置検出手段において流路板の位置基準マークがノズル板の位置基準マークから位置ずれした方向側の前記流路板と前記ノズル板とのギャップを相対的に広げる傾きの調整であることをすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造装置。
20. 前記位置検出手段で検出された位置ずれ量に基づいて位置ずれの補正の完了を判断する補正完了判断手段と、前記ノズル板と前記流路板との接触面の平行度を調整する平行調整手段とを備えたことを特徴とする請求項１９に記載の液滴吐出ヘッド製造装置。

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